JP2002206985A - 気密性検査装置及び方法 - Google Patents
気密性検査装置及び方法Info
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- JP2002206985A JP2002206985A JP2001000887A JP2001000887A JP2002206985A JP 2002206985 A JP2002206985 A JP 2002206985A JP 2001000887 A JP2001000887 A JP 2001000887A JP 2001000887 A JP2001000887 A JP 2001000887A JP 2002206985 A JP2002206985 A JP 2002206985A
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- semiconductor wafer
- wafer storage
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の方法では、シール部材が劣化してから
交換していては製品に悪影響が生じるため予測されるシ
ール部材の寿命よりかなり早目に定期交換する必要があ
り劣化していないシール部材についても交換する虞があ
り交換費用及び交換工数においてかなりロスが多かっ
た。 【解決手段】 気密性検査装置１０１は、例えば、内部
を真空、またはドライエア，不活性ガスなどで所定の圧
力にした半導体ウエハ収納用容器１を入れる密閉性の高
い金属ボックス１０２と、金属ボックス１０２内を半導
体ウエハ収納用容器１内の圧力と異なる圧力にするため
にガスを供給するガス供給部１０３及び排気するガス排
気部１０４と、金属ボックス１０２内の圧力を測定する
圧力測定部１０５と、圧力測定部１０５のデータの経時
的変化を表示する表示部１０６とで構成される。
交換していては製品に悪影響が生じるため予測されるシ
ール部材の寿命よりかなり早目に定期交換する必要があ
り劣化していないシール部材についても交換する虞があ
り交換費用及び交換工数においてかなりロスが多かっ
た。 【解決手段】 気密性検査装置１０１は、例えば、内部
を真空、またはドライエア，不活性ガスなどで所定の圧
力にした半導体ウエハ収納用容器１を入れる密閉性の高
い金属ボックス１０２と、金属ボックス１０２内を半導
体ウエハ収納用容器１内の圧力と異なる圧力にするため
にガスを供給するガス供給部１０３及び排気するガス排
気部１０４と、金属ボックス１０２内の圧力を測定する
圧力測定部１０５と、圧力測定部１０５のデータの経時
的変化を表示する表示部１０６とで構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの収
納用容器の気密性検査装置及び方法に関する。
納用容器の気密性検査装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ収納用容器に半導体ウエハ
を収納した状態の構造を断面図として示す図２を用いて
従来の気密性を維持する方法を説明する。半導体ウエハ
収納用容器１は、内部に複数のウエハ２を搭載し押え板
３で保持されたカセット４を収納し、不活性ガスで充満
され蓋５と本体６との間にシール部材７を介して外気か
ら隔離されている。このようにして、温度・湿度・気圧
の変化によりウエハ２上に塵埃による汚染や結露などが
生じないようにしている。この半導体ウエハ収納用容器
１は製造工程中で多数使用されるがシール部材７の経時
劣化に対して劣化具合を定量的に把握することが困難で
あった。そのため気密性を確保する方法としてシール部
材７を定期的に交換することで対応し、交換時期として
は過去の実績を考慮して例えば１年毎に一律に交換する
などの方法を採用していた。
を収納した状態の構造を断面図として示す図２を用いて
従来の気密性を維持する方法を説明する。半導体ウエハ
収納用容器１は、内部に複数のウエハ２を搭載し押え板
３で保持されたカセット４を収納し、不活性ガスで充満
され蓋５と本体６との間にシール部材７を介して外気か
ら隔離されている。このようにして、温度・湿度・気圧
の変化によりウエハ２上に塵埃による汚染や結露などが
生じないようにしている。この半導体ウエハ収納用容器
１は製造工程中で多数使用されるがシール部材７の経時
劣化に対して劣化具合を定量的に把握することが困難で
あった。そのため気密性を確保する方法としてシール部
材７を定期的に交換することで対応し、交換時期として
は過去の実績を考慮して例えば１年毎に一律に交換する
などの方法を採用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、シー
ル部材が劣化してから交換していては製品に悪影響が生
じるため予測されるシール部材の寿命よりかなり早目に
定期交換する必要があった。シール部材を一定期間で交
換することは、まだ、劣化していないシール部材につい
ても交換する虞があり交換費用及び交換工数においてか
なりロスが多かった。
ル部材が劣化してから交換していては製品に悪影響が生
じるため予測されるシール部材の寿命よりかなり早目に
定期交換する必要があった。シール部材を一定期間で交
換することは、まだ、劣化していないシール部材につい
ても交換する虞があり交換費用及び交換工数においてか
なりロスが多かった。
【０００４】本発明の目的は、半導体ウエハ収納用容器
の気密性を比較的簡単な方法で定量的に検査できるよう
にしシール部材の不必要な交換費用及び交換工数のロス
を低減することである。
の気密性を比較的簡単な方法で定量的に検査できるよう
にしシール部材の不必要な交換費用及び交換工数のロス
を低減することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案されたもので、内部を所定の圧力に設定
された半導体ウエハ収納用容器を内部圧力が調整可能な
密閉容器に入れ、密閉容器内の圧力を半導体ウエハ収納
用容器内の圧力と異なる圧力にし、前記密閉容器内の圧
力の経時的変化を基準となる圧力変化と比較することで
前記半導体ウエハ収納用容器の気密性を検査することを
特徴とする気密性検査方法である。上記検査方法におい
て好適するものとして内部を所定の圧力に設定された半
導体ウエハ収納用容器を入れる内部圧力が調整可能な密
閉容器と、前記密閉容器内の圧力を測定する圧力測定部
と、前記圧力測定部のデータの経時的変化を表示する表
示部とで構成されたことを特徴とする気密性検査装置を
提供する。
するために提案されたもので、内部を所定の圧力に設定
された半導体ウエハ収納用容器を内部圧力が調整可能な
密閉容器に入れ、密閉容器内の圧力を半導体ウエハ収納
用容器内の圧力と異なる圧力にし、前記密閉容器内の圧
力の経時的変化を基準となる圧力変化と比較することで
前記半導体ウエハ収納用容器の気密性を検査することを
特徴とする気密性検査方法である。上記検査方法におい
て好適するものとして内部を所定の圧力に設定された半
導体ウエハ収納用容器を入れる内部圧力が調整可能な密
閉容器と、前記密閉容器内の圧力を測定する圧力測定部
と、前記圧力測定部のデータの経時的変化を表示する表
示部とで構成されたことを特徴とする気密性検査装置を
提供する。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の半導体ウエハ収納用容器
の気密性検査装置の一例を断面図として示す図１を参照
して説明する。図２と同一部分には同一符号を付して説
明を省略する。気密性検査装置１０１は、例えば、内部
を真空、またはドライエア，不活性ガスなどで所定の圧
力にした半導体ウエハ収納用容器１を入れる密閉性の高
い金属ボックス１０２と、金属ボックス１０２内を半導
体ウエハ収納用容器１内の圧力と異なる圧力にするため
にガスを供給するガス供給部１０３及び排気するガス排
気部１０４と、金属ボックス１０２内の圧力を測定する
圧力測定部１０５と、圧力測定部１０５のデータの経時
的変化を表示する表示部１０６とで構成される。
の気密性検査装置の一例を断面図として示す図１を参照
して説明する。図２と同一部分には同一符号を付して説
明を省略する。気密性検査装置１０１は、例えば、内部
を真空、またはドライエア，不活性ガスなどで所定の圧
力にした半導体ウエハ収納用容器１を入れる密閉性の高
い金属ボックス１０２と、金属ボックス１０２内を半導
体ウエハ収納用容器１内の圧力と異なる圧力にするため
にガスを供給するガス供給部１０３及び排気するガス排
気部１０４と、金属ボックス１０２内の圧力を測定する
圧力測定部１０５と、圧力測定部１０５のデータの経時
的変化を表示する表示部１０６とで構成される。
【０００７】この気密性検査装置１０１を用いた気密性
検査方法を説明する。内部を所定の圧力の不活性ガスで
充満させた半導体ウエハ収納用容器１を金属ボックス１
０２に入れ密閉する。次に、金属ボックス１０２内にガ
ス供給部１０３から半導体ウエハ収納用容器１内の不活
性ガスと同じ種類のガスを注入していく。金属ボックス
１０２内にあった空気が不活性ガスと置換されたらガス
排気部１０４のコックを閉め、金属ボックス１０２内が
所定の高圧に達したらガス注入を停止しガス供給部１０
３のコックを閉める。金属ボックス１０２内の圧力は圧
力測定部１０５で測定されており、所定の圧力に達した
後の圧力変化は表示部１０６で表示される。金属ボック
ス１０２内のガスは半導体ウエハ収納用容器１内及び金
属ボックス１０２の外部にリークする。金属ボックス１
０２の外部へのリーク量を略一定とすると圧力変化曲線
は気密性の悪い半導体ウエハ収納用容器１を入れたとき
ほど急激に減少するので、それを金属ボックス１０２内
に何も入れない状態で測定した圧力変化曲線や、新品の
シール部材７が装着された半導体ウエハ収納用容器１を
入れた状態で測定した圧力変化曲線や、劣化したシール
部材７が装着された半導体ウエハ収納用容器１を入れた
状態で測定した圧力変化曲線と比較することで半導体ウ
エハ収納用容器１の気密性の良否を判定するものであ
る。尚、金属ボックス１０２内に供給するガスとしては
例えばドライエアまたは不活性ガスがよく、特に高分子
量のガス（例えば、ジブチルオキシルフタレート）を用
いると高感度の検出が可能である。また、金属ボックス
１０２内を真空にしてもよい。また、被検査物として半
導体ウエハ収納用容器１単品でなく、半導体ウエハ収納
用容器１内にウエハ２が収納された状態であっても金属
ボックス１０２に供給する不活性ガスがウエハ２に無害
であれば検査しても問題ない。
検査方法を説明する。内部を所定の圧力の不活性ガスで
充満させた半導体ウエハ収納用容器１を金属ボックス１
０２に入れ密閉する。次に、金属ボックス１０２内にガ
ス供給部１０３から半導体ウエハ収納用容器１内の不活
性ガスと同じ種類のガスを注入していく。金属ボックス
１０２内にあった空気が不活性ガスと置換されたらガス
排気部１０４のコックを閉め、金属ボックス１０２内が
所定の高圧に達したらガス注入を停止しガス供給部１０
３のコックを閉める。金属ボックス１０２内の圧力は圧
力測定部１０５で測定されており、所定の圧力に達した
後の圧力変化は表示部１０６で表示される。金属ボック
ス１０２内のガスは半導体ウエハ収納用容器１内及び金
属ボックス１０２の外部にリークする。金属ボックス１
０２の外部へのリーク量を略一定とすると圧力変化曲線
は気密性の悪い半導体ウエハ収納用容器１を入れたとき
ほど急激に減少するので、それを金属ボックス１０２内
に何も入れない状態で測定した圧力変化曲線や、新品の
シール部材７が装着された半導体ウエハ収納用容器１を
入れた状態で測定した圧力変化曲線や、劣化したシール
部材７が装着された半導体ウエハ収納用容器１を入れた
状態で測定した圧力変化曲線と比較することで半導体ウ
エハ収納用容器１の気密性の良否を判定するものであ
る。尚、金属ボックス１０２内に供給するガスとしては
例えばドライエアまたは不活性ガスがよく、特に高分子
量のガス（例えば、ジブチルオキシルフタレート）を用
いると高感度の検出が可能である。また、金属ボックス
１０２内を真空にしてもよい。また、被検査物として半
導体ウエハ収納用容器１単品でなく、半導体ウエハ収納
用容器１内にウエハ２が収納された状態であっても金属
ボックス１０２に供給する不活性ガスがウエハ２に無害
であれば検査しても問題ない。
【０００８】上記の実施例では、金属ボックス１０２内
の圧力を半導体ウエハ収納用容器１内の圧力より高くし
た例で説明したが、当然これとは逆の圧力関係になるよ
うにして金属ボックス１０２内の圧力変化を観察しても
よい。また、被検査物として１つの半導体ウエハ収納用
容器１を検査する例で説明したが、判定基準となる圧力
変化曲線を準備しておけば、複数の半導体ウエハ収納用
容器１を同時に金属ボックス１０２内に入れて検査する
ことも可能である。
の圧力を半導体ウエハ収納用容器１内の圧力より高くし
た例で説明したが、当然これとは逆の圧力関係になるよ
うにして金属ボックス１０２内の圧力変化を観察しても
よい。また、被検査物として１つの半導体ウエハ収納用
容器１を検査する例で説明したが、判定基準となる圧力
変化曲線を準備しておけば、複数の半導体ウエハ収納用
容器１を同時に金属ボックス１０２内に入れて検査する
ことも可能である。
【０００９】
【発明の効果】本発明の気密性検査方法によれば、半導
体ウエハ収納用容器の気密性を比較的簡単な方法で定量
的に検査できるようになりシール部材の不必要な交換費
用及び交換工数のロスを低減することができる。
体ウエハ収納用容器の気密性を比較的簡単な方法で定量
的に検査できるようになりシール部材の不必要な交換費
用及び交換工数のロスを低減することができる。
【図１】 本発明に基づく気密性検査装置の断面図
【図２】 半導体ウエハ収納用容器の断面図
１０１ 気密性検査装置 １０２ 金属ボックス １０３ ガス供給部 １０４ ガス排気部 １０５ 圧力測定部 １０６ 表示部
Claims (4)
- 【請求項１】内部を所定の圧力に設定された半導体ウエ
ハ収納用容器を入れる内部圧力が調整可能な密閉容器
と、前記密閉容器内の圧力を測定する圧力測定部と、前
記圧力測定部のデータの経時的変化を表示する表示部と
で構成されたことを特徴とする気密性検査装置。 - 【請求項２】前記密閉容器内の圧力を高分子量のガスを
充満させて調整することを特徴とする請求項１に記載の
気密性検査装置。 - 【請求項３】内部を所定の圧力に設定された半導体ウエ
ハ収納用容器を内部圧力が調整可能な密閉容器に入れ、
密閉容器内の圧力を半導体ウエハ収納用容器内の圧力と
異なる圧力にし、前記密閉容器内の圧力の経時的変化を
基準となる圧力変化と比較することで前記半導体ウエハ
収納用容器の気密性を検査することを特徴とする気密性
検査方法。 - 【請求項４】前記密閉容器内の圧力を高分子量のガスで
充満させ前記半導体ウエハ収納用容器内の圧力と異なる
圧力に調整することを特徴とする請求項３に記載の気密
性検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001000887A JP2002206985A (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 気密性検査装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001000887A JP2002206985A (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 気密性検査装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002206985A true JP2002206985A (ja) | 2002-07-26 |
Family
ID=18869585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001000887A Pending JP2002206985A (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 気密性検査装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002206985A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004219253A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 浄水カートリッジのリーク検査方法 |
| CN104807604A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-07-29 | 珠海普乐美厨卫有限公司 | 一种净水器检测设备及利用净水器检测设备的检测方法 |
| JP2016081723A (ja) * | 2014-10-16 | 2016-05-16 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池の検査方法 |
| US11555791B2 (en) | 2019-12-03 | 2023-01-17 | Corning Incorporated | Chamber for vibrational and environmental isolation of thin wafers |
| KR20230035726A (ko) * | 2021-09-06 | 2023-03-14 | 국방기술품질원 | 휴대용 포장 누출 시험기 |
-
2001
- 2001-01-09 JP JP2001000887A patent/JP2002206985A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004219253A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 浄水カートリッジのリーク検査方法 |
| JP2016081723A (ja) * | 2014-10-16 | 2016-05-16 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池の検査方法 |
| CN104807604A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-07-29 | 珠海普乐美厨卫有限公司 | 一种净水器检测设备及利用净水器检测设备的检测方法 |
| US11555791B2 (en) | 2019-12-03 | 2023-01-17 | Corning Incorporated | Chamber for vibrational and environmental isolation of thin wafers |
| KR20230035726A (ko) * | 2021-09-06 | 2023-03-14 | 국방기술품질원 | 휴대용 포장 누출 시험기 |
| KR102586276B1 (ko) * | 2021-09-06 | 2023-10-11 | 국방기술품질원 | 휴대용 포장 누출 시험기 |
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