JP2000149862A - 光電子増倍管及びその製造方法 - Google Patents
光電子増倍管及びその製造方法Info
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract
かも、側管と受光面板との一体化を向上させて密封容器
の気密性の向上を図るようにした光電子増倍管及びその
製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による光電子増倍管1において、
反り上がった複数枚の枠部80によって、側管2の上端
は多角形に形成されると共に、各コーナー部81は他の
部分より高い位置にある。その結果、コーナー部81の
上端81aは受光面板3内に深く埋設されることにな
り、側管2と受光面板3との接合状態の向上に寄与する
ものである。更に、側管2の上端を受光面板3に埋設さ
せる結果、側管2と受光面板3との接合が確実となり、
接合作業時の歩留まり性を向上させている。
Description
た微弱な光を電子の増倍によって検出させる構成をもっ
た光電子増倍管及びその製造方法に関するものである。
開平5−290793号公報がある。この公報に記載さ
れた光電子増倍管は、密封容器内に電子増倍部を収容さ
せた構成を有し、この密封容器は、金属製の側管の上端
をフランジ状に形成し、このフランジ部を、受光面板の
上面に圧着するように固定させており、フランジ部によ
る気密性確保の実効を図っている。そして、側管のフラ
ンジ部を受光面板に融着させる場合、側管を加熱しなが
ら行っていた。
た従来の光電子増倍管及びその製造方法には、次のよう
な課題が存在していた。すなわち、図18に示すよう
に、側管100には、その上端で全周に亙って設けられ
たフランジ部101を有し、フランジ部101の下面1
01aと受光面板102の上面102aとを当接させる
ようにして、側管100と受光面板102とを融着接続
させていた。この融着にあたって、側管100を加熱さ
せる必要があるが、側管100が四角筒形状になってい
る場合、フランジ部101の四つの各コーナー部分での
発熱量が他の部分の発熱量よりかなり大きくなる。その
結果、フランジ部101を受光面板102に融着固定さ
せる場合、フランジ部101において、各コーナー部分
での融着固定状態とコーナー部分以外での融着固定状態
とにばらつきが発生する虞れがあり、光電子増倍管製造
時の歩留まりを悪化させると共に、熱等によりフランジ
部が変形すると、密封容器における一定の気密状態の確
保が行い難い場合もあった。
されたもので、特に、製造時の歩留まりを向上させ、し
かも、側管と受光面板との一体化を向上させて密封容器
の気密性の向上を図るようにした光電子増倍管及びその
製造方法を提供することを目的とする。
光電子増倍管は、受光面板に入射した光によって電子を
放出する光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍
させる電子増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増
倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを
もった光電子増倍管において、密封容器は、電子増倍部
及びアノードをステムピンを介して固定させるステム板
と、電子増倍部及びアノードを包囲すると共に、一側の
開口端にステム板を固定する金属製の側管と、側管の他
側の開口端に融着固定するガラス製の受光面板と、によ
り形成され、側管は、複数枚の枠部によって多角形状の
筒体に形成され、各枠部は、弓なりに反り上がった上端
を有し、各枠部の上端を、受光面板の光電面側に埋設さ
せるように融着固定させたことを特徴とする。
複数枚の枠部の端部を接合することによって、側管の上
端は多角形に形成されると共に、枠部の接合部分である
各コーナー部は他の部分より高い位置にある。その結
果、側管の上端は受光面板内に深く埋設されることにな
り、側管と受光面板との接合状態の向上に寄与するもの
である。更に、側管の上端を受光面板に埋設させる結
果、側管と受光面板との融着固定が確実となり、融着部
分での気密性の向上が図られることになる。
管の上端側には、受光面板の光電面側に埋設させた突き
刺し部が設けられていると好ましい。この場合、側管に
設けられた突き刺し部はガラス製の受光面板に突き刺す
ように埋め込まれる結果、側管と受光面板との馴染み性
向上に寄与し、高気密性の確保が図られる。しかも、側
管に設けられた突き刺し部は、フランジ部のように側管
から側方に向けて延び出るものではなく、側管から切り
立つようにして延びるものであるから、突き刺し部を受
光面板の側面に可能な限り近づけるようにして埋設させ
た場合に、受光面板の有効利用面積を100%近くまで
高めることを可能にし、受光面板のデッドエリアを可能
な限りゼロに近づけることができる。
き刺し部の先端部分は、真っすぐに延びていると好まし
い。このような構成を採用した場合、側管の端部を受光
面板内に突き刺し易く、しかも、側管の延長上に突き刺
し部が設けられることになるから、受光面板の有効利用
面積の確保が促進される。
き刺し部の先端部分は、内側又は外側に曲げられている
と好ましい。このような構成を採用した場合、受光面板
内に埋設させる突き刺し部の表面積を拡大することがで
き、側管と受光面板との接合部分での気密性の向上に寄
与することになる。
き刺し部は、その先端をナイフエッジ状に尖らせている
と好ましい。このような構成を採用した場合、側管の端
部を受光面板に突き刺し易く、ガラス製の受光面板に側
管を融着固定させる際に、その組立て作業の向上及び確
実性が図られることになる。
管の下端側の内壁面を金属製のステム板の縁面に当接さ
せて、金属製の側管と金属製のステム板とを溶接すると
好ましい。このような構成を採用した場合、側管の下端
の内壁面をステム板の縁面に当接させた状態で、側管と
ステム板とを溶接固定させる結果、光電子増倍管の下端
で、フランジのような張り出しを無くしている。従っ
て、抵抗溶接は行い難いけれども、光電子増倍管の外形
寸法の縮小化を可能にし、光電子増倍管を並べて利用す
る場合でも、側管同士を密に並べることができる。よっ
て、金属製のステム板と金属製の側管とが溶接によって
組み付けられた光電子増倍管は、その高密度配列を可能
にするものである。
造方法は、受光面板に入射した光によって電子を放出す
る光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる
電子増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増倍させ
た電子に基づいて出力信号を送出するアノードをもった
光電子増倍管において、弓なりに反り上がった上端を有
する複数枚の枠部によって多角形状の筒体に形成された
側管のコーナー部の上端を、受光面板の裏面に当接させ
る工程と、側管を加熱させて受光面板に側管の上端を融
着させる工程とを備えたことを特徴とする。
がった上端を有する複数枚の枠部によって多角形状の筒
体に形成された側管を利用する結果、側管と受光面板と
の組付け時において、側管のコーナー部の上端が受光面
板に最初に当たることになる。そして、側管を加熱させ
ると、発熱量の大きいコーナー部から受光面板の溶融が
始まり、順次枠部の中央に向けて溶融が進むことにな
る。従って、加熱された側管による受光面板の溶融初期
段階において、先ず、コーナー部の上端が受光面板に融
着固定されることになるから、加熱時においても側管の
形状保持が確実に行われる。そして、コーナー部の上端
の融着時間が他の部分よりも長くなるので、コーナー部
の上端でガラスの馴染み性が向上し、その結果、コーナ
ー部の上端でも融着強度が増し、コーナー部の上端で受
光面板にクラックが入り難くなる。
上端側には、受光面板に埋設させる突き刺し部が設けら
れていると好ましい。このような方法を採用した場合、
側管の端部を受光面板内に埋設させや易く、側管と受光
面板との接合性の向上に寄与すると共に、作業時間の短
縮を可能にする。
下端を回転台上に配置させ、受光面板を側管に押し付け
ると好ましい。この場合、側管を回転台上に載せる結
果、融着中における側管の加熱ムラを低減させることが
できる。しかも、受光面板を側管に押し付ける結果、側
管と受光面板との馴染み性の向上が図られることにな
る。
電子増倍管及びその製造方法の好適な実施形態について
詳細に説明する。
斜視図であり、図2は、図1の断面図である。これら図
面に示す光電子増倍管1は、略正四角筒形状の金属製
(例えば、コバール金属製やステンレス製)の側管2を
有し、この側管2の一側の開口端Aにはガラス製の受光
面板3が融着固定され、この受光面板3の内表面(裏
面)には、光を電子に変換する光電面3aが形成され、
この光電面3aは、受光面板2に予め蒸着させておいた
アンチモンにアルカリ金属蒸気を反応させることで形成
される。また、側管2の開口端Bには、金属製(例え
ば、コバール金属製やステンレス製)のステム板4が溶
接固定されている。このように、側管2と受光面板3と
ステム板4とによって密封容器5が構成され、この密封
容器5は、高さが10mm程度の極薄タイプのものであ
る。
管6が固定されている。この排気管6は、光電子増倍管
1の組立て作業終了後、密封容器5の内部を真空ポンプ
(図示せず)によって排気して真空状態にするのに利用
されると共に、光電面3aの形成時にアルカリ金属蒸気
を密封容器5内に導入させる管としても利用される。
積層タイプの電子増倍器7が設けられ、この電子増倍器
7は、10枚(10段)の板状のダイノード8を積層さ
せた電子増倍部9を有し、電子増倍器7は、ステム板4
を貫通するように設けられたコバール金属製のステムピ
ン10によって密封容器5内で支持され、各ステムピン
10の先端は各ダイノード8と電気的に接続されてい
る。また、ステム板4には、各ステムピン10を貫通さ
せるためのピン孔4aが設けられ、各ピン孔4aには、
コバールガラス製のハーメチックシールとして利用され
るタブレット11が充填され、各ステムピン10は、タ
ブレット11を介してステム板4に固定される。なお、
各ステムピン10には、ダイノード用のものとアノード
用のものとがある。
下方に位置してステムピン10の上端に固定したアノー
ド12が並設させられている。また、電子増倍器7の最
上段において、光電面3aと電子増倍部9との間には平
板状の収束電極板13が配置され、この収束電極板13
には、スリット状の開口部13aが複数本形成され、各
開口部13aは一方向にリニアな配列をなす。同様に、
電子増倍部9の各ダイノード8には、開口部13aと同
数のスリット状電子増倍孔8aが複数本形成され、各電
子増倍孔8aを一方向にリニアで、紙面に垂直な方向に
複数配列させている。
aを段方向にそれぞれ配列してなる各電子増倍経路L
と、収束電極板13の各開口部13aとを一対一で対応
させることによって、電子増倍器7には、複数のチャン
ネルが形成されることになる。また、電子増倍器7に設
けられた各アノード12は、所定数のチャンネル毎に対
応するように8×8個設けられ、各アノード12を各ス
テムピン10にそれぞれ接続させることで、各ステムピ
ン10を介して外部に個別的な出力をチャンネル毎に取
り出している。
ア型チャンネルを有している。そして、図示しないブリ
ーダ回路に接続した所定のステムピン10によって、電
子増倍部9及びアノード12には所定の電圧が供給さ
れ、光電面3aと収束電極板13とは、同じ電位に設定
され、各ダイノード8とアノード12は、上段から順に
高電位の設定がなされている。従って、受光面板2に入
射した光は、光電面3aで電子に変換され、その電子
が、収束電極板13と電子増倍器7の最上段に積層され
ている第1段のダイノード8とによって形成される電子
レンズ効果により、所定のチャンネル内に入射すること
になる。そして、電子の入射したチャンネルにおいて、
電子は、ダイノード8の電子増倍経路Lを通りながら、
各ダイノード8で多段増倍されて、アノード12に入射
し、所定のチャンネル毎に個別的な出力が各アノード1
2から送出されることになる。
板4と金属製の側管2とを気密溶接するにあたって、ス
テム板4を側管2の開口端Bから挿入し、側管2の下端
2aの内壁面2cをステム板4の縁面4bに当接させ、
電子増倍管1の下端でフランジのような側方への張り出
しを無くしている。この状態で、接合部分Fに対し、外
側の真下あるいは接合部分を狙える方向からレーザビー
ムを照射し、接合部分Fをレーザ溶接する。
ランジのような張り出しを無くす結果、抵抗溶接は行い
難いけれども、光電子増倍管1の外形寸法の縮小化を可
能にし、光電子増倍管1を並べて利用する場合でも、デ
ッドスペースを可能な限り排除することができ、側管2
同士を密に配列させることができる。よって、金属製の
ステム板4と金属製の側管2との接合にレーザ溶接を採
用することは、光電子増倍管1の薄型化及びその高密度
配列化を可能にする。
り、この融接法を利用し、側管2をステム板4に溶接固
定する場合、抵抗溶接と異なり、側管2とステム板4と
の接合部分Fに圧力を加える必要がないので、接合部分
Fに残留応力が発生することがなく、使用中においても
接合箇所に亀裂が発生し難く、耐久性及び気密シール性
の著しい向上が図られる。なお、融接法のうちでも、レ
ーザ溶接や電子ビーム溶接は、抵抗溶接に比して、接合
部分Fでの熱の発生を小さく抑えることができる。従っ
て、光電子増倍管1の組立てにあたって、密封容器5内
に配置させた各構成部品に対する熱への影響が極めて少
なくなる。
に示すように、コバール金属やステンレス等からなる
0.25mmの肉厚を有する4枚の板状の枠部80によ
って四角筒体に形成されている。各枠部80は、両端が
持ち上がるようにして弓なりに反っている。そして、こ
れら枠部80同士の接合部をなすコーナー部81は、仮
想平面Sに対して0.1mm程度の高さ寸法Pをもって
反り上がる。その結果、各コーナー部81の上端81a
は、各枠部80の中央より高くなる。また、矩形の受光
面板3の有効利用面積を極限まで高めるために、コーナ
ー部81には、R1.5mmといった極めて小さなアー
ル形状のエッジ処理が施されている。
ル金属等からなる一枚の平板をプレス成形したり、4枚
の枠部80をレーザ溶接等で接合させたりして製作する
と好適である。なお、側管2の肉厚が0.25mm程度
の極めて薄いものである場合には、平板のプレス成形に
よってアーチ状に反ったものが結果物として作り出され
ることになり、各枠部80を弓なりに反らせるような後
加工の必要がない。
口端Aには、ガラス製の受光面板3が融着固定されてい
る。図5に示すように、側管2において、枠部80の受
光面板3側の先端部分(上端)80aには、高周波加熱
によって、受光面板3の光電面3a側に溶融埋設させる
突き刺し部20が設けられている。この突き刺し部20
は、側管2の上端の全周に亙って設けられると共に、そ
の側管2の外壁面2b側に位置するR形状部20aを介
して、内側に押し曲げられるようにして形成されてい
る。そして、突き刺し部20の先端20bは、ナイフエ
ッジ状に尖らせてある。従って、側管2の上端を受光面
板3に突き刺し易く、ガラス製の受光面板3に側管2を
融着固定させる際に、その組立て作業の向上及び確実性
が図られることになる。
について説明する。
装置によって所定速度で回転するセラミックス製の回転
台90の上面90aに側管2を配置させる。このとき、
各枠部80が反り上がるようにして、側管2を回転台9
0上に載置させる。その後、受光面板3の裏面3fを側
管2上に配置させるが、受光面板3は、コーナー部81
の上端81aによって4点支持されることになる。この
とき、受光面板3の受光面3dを、加圧治具91により
受光面板3の中央を上から押えつけた状態にしておく。
この状態で、高周波加熱装置92を作動させると同時
に、側管2の加熱ムラに起因した融着ムラを無くすため
に、回転台90をゆっくりと回転させる。すると、図7
に示すように、側管2と受光面板3との一体化が図られ
ることになる。
20は、ガラス製の受光面板3を徐々に溶かしながら突
き進むことになる。その結果、図8に示すように、受光
面板3の下端縁に膨出部3bを形成しながら、側管2の
突き刺し部20が受光面板3に埋設され、受光面板3と
側管2との接合部分で高気密性が確保される。
の近傍で受光面板3の側面3cの一部に発生するだけで
あり、受光面板3の側面3c全体に亙った面ダレを引き
起こすものではない。従って、受光面3dの縁形状に悪
影響を与えることがなく、平滑化が図られている受光面
板3の形状を確実に維持させることができる。
うに側管2から側方に向けて延び出るものではなく、側
管2から切り立つようにして延びるものであるから、突
き刺し部20を受光面板3の側面3cに可能な限り近づ
けるようにして埋設させると、受光面板3の有効利用面
積を100%近くまで高めることができ、受光面板3の
デッドエリアを可能な限りゼロに近づけることができ
る。更に、突き刺し部20は、内側に曲げられるように
形成する結果、受光面板3内に埋設させる突き刺し部2
0の表面積の拡大化が図られ、側管2と受光面板3との
接合面積を大きくすることができ、密封容器5の気密性
の向上に寄与することになる。なお、突き刺し部20
は、0.1mm程度の僅かな突出量Hをもって内側に張
り出しており、これはプレス加工によって作り出すと適
切である。
コーナー部81の上端81aが受光面板3に最初に当た
ることになる。そして、側管2が加熱されると、発熱量
の大きいコーナー部81から受光面板3の溶融が始ま
り、順次、枠部80の中央に向けて溶融が行われること
になる。従って、側管2による受光面板3の溶融初期に
おいて、先ず、コーナー部81の上端81aが受光面板
3に融着されるから、加熱時においても側管2の正方形
状の保持を確実なものにする。そして、コーナー部81
の上端81aの融着時間が他の部分よりも長くなるの
で、図9に示すように、受光面板3の下端縁にダレ部3
eを形成しながら、コーナー部81の上端81aでガラ
スの馴染みが向上することになる。その結果、コーナー
部81において、受光面板3と側管2との接合部分で高
気密性が確保されると同時に、コーナー部81の上端8
1aで受光面板3にクラックが入り難くなる。
化が図られた後、図10に示すように、ステムピン10
を介して、ステム板4上にアノード12及び電子増倍器
7を組み付けた組立体Kを、側管2の開口端B側から挿
入する。そして、図11に示すように、ステム板4と側
管2との一体化を図る。この場合、図12に示すよう
に、各枠部80の下端80bは、反り上がるように形成
されており、この状態で、金属製のステム板4と金属製
の側管2とを気密溶接するにあたって、ステム板4の下
面から枠部80の下端80bが突出しないような状態で
レーザ溶接が行われると好適である。これは、枠部80
の下端80bの反り具合に応じて、ステム板4の厚みを
適宜選択することにより可能となる。
た排気管6(図10参照)を介して、密封容器5の内部
を真空ポンプ(図示せず)によって真空状態に維持させ
る。そして、アルカリ金属蒸気を排気管6から装填し
て、受光面板3に光電面3aを形成させた後、排気管6
を封鎖する(図11参照)。
施形態に限定されるものではなく、以下のような変形も
可能である。
受光面板3側の先端部分(上端)には、高周波加熱によ
って、受光面板3の光電面3a側に溶融埋設させる突き
刺し部30が設けられている。この突き刺し部30は、
側管2Aの上端の全周に亙って設けられると共に、その
内壁面2c側に位置するR形状部30aを介して、外側
に押し曲げられるようにして形成されている。そして、
突き刺し部30の先端30bは、ナイフエッジ状に尖ら
せてある。従って、側管2Aの上端を受光面板30に突
き刺し易く、ガラス製の受光面板3に金属製の側管2A
を融着固定させる際に、その組立て作業の向上及び確実
性が図られることになる。この場合、受光面板3の下端
縁に膨出部3bを形成しながら、側管2Aの突き刺し部
30が受光面板3に埋設され、受光面板3と側管2Aと
の接合部分での高気密性が確保される。
るように形成する結果、受光面板3内に埋設させる突き
刺し部30の表面積の拡大化が図られ、側管2Aと受光
面板3との接合面積を大きくすることができ、密封容器
5の気密性の向上に寄与することになる。なお、突き刺
し部30は、0.1mm程度の僅かな突出量Hをもって
外側に張り出しており、これはプレス加工によって作り
出すと適切である。
0を側管2Bに沿って真っすぐに立ち上げてもよい。こ
の場合、突き刺し部40は、側管2Bの延長上に位置
し、側管2Bを端切り加工しただけの最もシンプルな形
状になっている。なお、突き刺し部40の表面積の拡大
及びガラスの馴染み性を向上させるために、突き刺し部
40の先端を丸めるようにしてもよい。
0は、側管2Cに沿って真っすぐに延在し、両刃のナイ
フエッジ状に尖らせてもよい。この場合、側管2Cを融
着固定させるに当たって、側管2Cを、受光面板3内に
極めて差し込み易くすることができる。
0は、側管2Dに沿って真っすぐに延在し、片刃のナイ
フエッジ状に尖らせてもよい。この場合、突き刺し部6
0の表面積の拡大及びガラスの馴染み性の向上のため
に、突き刺し部60には、側管2Dの内壁面2c側にR
形状部60aが設けられている。同様に、図17に示す
ように、突き刺し部70は、側管2Eに沿って真っすぐ
に延在し、片刃のナイフエッジ状に尖らせてもよい。こ
の場合、突き刺し部70には、側管2Eの外壁面2b側
にR形状部70aが設けられている。
施形態に限定されるものではない。例えば、側管2は、
その横断面形状を三角形、長方形、六角形や八角形等の
多角形状にした筒体あればよく、突き刺し部の形状とし
ては、断面ボール状であっても断面矢じり状であっても
よい。
うに構成されているため、次のような効果を得る。すな
わち、受光面板に入射した光によって電子を放出する光
電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子
増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増倍させた電
子に基づいて出力信号を送出するアノードをもった光電
子増倍管において、密封容器は、電子増倍部及びアノー
ドをステムピンを介して固定させるステム板と、電子増
倍部及びアノードを包囲すると共に、一側の開口端にス
テム板を固定する金属製の側管と、側管の他側の開口端
に融着固定するガラス製の受光面板と、により形成さ
れ、側管は、複数枚の枠部によって多角形状の筒体に形
成され、各枠部は、弓なりに反り上がった上端を有し、
各枠部の上端を、受光面板の光電面側に埋設させるよう
に融着固定させたことにより、製造時の歩留まりを向上
させ、しかも、側管と受光面板との一体化を向上させて
密封容器の気密性を向上させることができる。
法は、受光面板に入射した光によって電子を放出する光
電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子
増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増倍させた電
子に基づいて出力信号を送出するアノードをもった光電
子増倍管において、弓なりに反り上がった上端を有する
複数枚の枠部によって多角形状の筒体に形成された側管
のコーナー部の上端を、受光面板の裏面に当接させる工
程と、側管を加熱させて受光面板に側管の上端を融着さ
せる工程とを備えたことにより、光電子増倍管の製造時
の歩留まりを向上させ、しかも、側管と受光面板との一
体化を向上させて密封容器の気密性を向上が図られる。
斜視図である。
す斜視図である。
る。
る。
である。
状態を示す正面図である。
面図である。
他の変形例を示す要部拡大断面図である。
更に他の変形例を示す要部拡大断面図である。
更に他の変形例を示す要部拡大断面図である。
更に他の変形例を示す要部拡大断面図である。
更に他の変形例を示す要部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
…側管、2c…内壁面、3…受光面板、3a…光電面、
3f…受光面板の裏面、4…ステム板、4b…ステム板
の縁面、5…密封容器、9…電子増倍部、10…ステム
ピン、12…アノード、20,30,40,50,6
0,70…突き刺し部、80…枠部、80a…枠部の上
端、81…コーナー部、81a…コーナー部の上端、9
0…回転台、A,B…側管の開口端。
Claims (9)
- 【請求項1】 受光面板に入射した光によって電子を放
出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増
倍させる電子増倍部を密封容器内に有し、前記電子増倍
部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノ
ードをもった光電子増倍管において、 前記密封容器は、 前記電子増倍部及び前記アノードをステムピンを介して
固定させるステム板と、 前記電子増倍部及び前記アノードを包囲すると共に、一
側の開口端に前記ステム板を固定する金属製の側管と、 前記側管の他側の開口端に融着固定するガラス製の前記
受光面板と、により形成され、 前記側管は、複数枚の枠部によって多角形状の筒体に形
成され、前記各枠部は、弓なりに反り上がった上端を有
し、前記各枠部の前記上端を、前記受光面板の前記光電
面側に埋設させるように融着固定させたことを特徴とす
る光電子増倍管。 - 【請求項2】 前記側管の上端側には、前記受光面板の
前記光電面側に埋設させた突き刺し部が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。 - 【請求項3】 前記突き刺し部の先端部分は、真っすぐ
に延びていることを特徴とする請求項2記載の光電子増
倍管。 - 【請求項4】 前記突き刺し部の先端部分は、内側又は
外側に曲げられていることを特徴とする請求項2記載の
光電子増倍管。 - 【請求項5】 前記突き刺し部は、その先端をナイフエ
ッジ状に尖らせていることを特徴とする請求項2〜4の
いずれか一項記載の光電子増倍管。 - 【請求項6】 前記側管の下端側の内壁面を金属製の前
記ステム板の縁面に当接させて、金属製の前記側管と金
属製の前記ステム板とを溶接したことを特徴とする請求
項1〜5のいずれか一項記載の光電子増倍管。 - 【請求項7】 受光面板に入射した光によって電子を放
出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増
倍させる電子増倍部を密封容器内に有し、前記電子増倍
部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノ
ードをもった光電子増倍管において、 弓なりに反り上がった上端を有する複数枚の枠部によっ
て多角形状の筒体に形成された側管のコーナー部の上端
を、前記受光面板の裏面に当接させる工程と、 前記側管を加熱させて前記受光面板に前記側管の上端を
融着させる工程とを備えたことを特徴とする光電子増倍
管の製造方法。 - 【請求項8】 前記側管の上端側には、前記受光面板に
埋設させる突き刺し部が設けられていることを特徴とす
る請求項7記載の光電子増倍管の製造方法。 - 【請求項9】 前記側管の下端を回転台上に配置させ、
前記受光面板を前記側管に押し付けることを特徴とする
請求項7又は8記載の光電子増倍管の製造方法。
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