JP2000146686A5 - - Google Patents

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US7170059B2 (en) * 2003-10-03 2007-01-30 Wood Roland A Planar thermal array
JP4496751B2 (ja) * 2003-10-09 2010-07-07 日本電気株式会社 熱型赤外線固体撮像素子及びその製造方法
US7038623B2 (en) * 2003-12-04 2006-05-02 Raytheon Company Method and apparatus for detecting radiation at one wavelength using a detector for a different wavelength
FR2875298B1 (fr) * 2004-09-16 2007-03-02 Commissariat Energie Atomique Detecteur thermique de rayonnement electromagnetique comportant une membrane absorbante fixee en suspension
JP2007033154A (ja) * 2005-07-25 2007-02-08 Denso Corp 赤外線検出器
JP4441578B2 (ja) * 2006-10-11 2010-03-31 パナソニック株式会社 電子デバイスおよびその制御方法
DE102008054481B4 (de) * 2008-12-10 2021-11-25 Robert Bosch Gmbh Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
JP5636787B2 (ja) 2010-07-26 2014-12-10 セイコーエプソン株式会社 熱型光検出器、熱型光検出装置及び電子機器
WO2018193825A1 (ja) * 2017-04-17 2018-10-25 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 焦電センサ素子及びこれを用いた焦電センサ
JP7362602B2 (ja) * 2018-06-05 2023-10-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像装置
JP6854796B2 (ja) 2018-11-08 2021-04-07 三菱電機株式会社 半導体センサ装置

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