JP2000146551A - 光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法 - Google Patents
光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】反射光路を長くすることなく、したがって装置
の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影響を大き
くすることなく、容易かつ確実に、光反射方式角度検出
計の感度またはダイナミックレンジの制御方法を提供す
ること 【解決手段】反射面５からの反射光８の位置を光位置検
出器１５で検出して前記反射光の位置の変化から前記反
射面の角度変化を検出する光反射方式角度検出計１にお
いて、前記反射光８の発散角φを制御して検出の感度ま
たはダイナミックレンジを制御すること
の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影響を大き
くすることなく、容易かつ確実に、光反射方式角度検出
計の感度またはダイナミックレンジの制御方法を提供す
ること 【解決手段】反射面５からの反射光８の位置を光位置検
出器１５で検出して前記反射光の位置の変化から前記反
射面の角度変化を検出する光反射方式角度検出計１にお
いて、前記反射光８の発散角φを制御して検出の感度ま
たはダイナミックレンジを制御すること
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光反射方式角度検出計
の感度またはダイナミックレンジの制御方法に関するも
のである。
の感度またはダイナミックレンジの制御方法に関するも
のである。
【０００２】この技術は面の角度変化の精密計測技術、
接触式表面粗さ計、走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕
微鏡等に用いられる光テコ方式を用いた変位センサーの
感度またはダイナミックレンジの制御に用いることがで
きる。
接触式表面粗さ計、走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕
微鏡等に用いられる光テコ方式を用いた変位センサーの
感度またはダイナミックレンジの制御に用いることがで
きる。
【０００３】
【従来の技術】光反射を用いて反射面の角度変化を検出
する方式例えば原子間力顕微鏡の光テコにおいては、図
６に示すように光源からの入射光を被検出体であるテコ
の上面の反射面に当て、その反射光を２分割フォトダイ
オードに当て、２分割フォトダイオード上の光スポット
の移動による２つのフォトダイオードＡとＢの出力の差
分を、テコの角度変化として検出している。角度変化に
対して得られる出力は２分割フォトダイオ−ド上での光
スポットの変位に基づいており、感度は反射光路の長さ
Ｌに比例すると考えられている。従来はこの原理にのみ
基づいて光学的な高感度化のために反射光路を長くする
手法が実施されている。
する方式例えば原子間力顕微鏡の光テコにおいては、図
６に示すように光源からの入射光を被検出体であるテコ
の上面の反射面に当て、その反射光を２分割フォトダイ
オードに当て、２分割フォトダイオード上の光スポット
の移動による２つのフォトダイオードＡとＢの出力の差
分を、テコの角度変化として検出している。角度変化に
対して得られる出力は２分割フォトダイオ−ド上での光
スポットの変位に基づいており、感度は反射光路の長さ
Ｌに比例すると考えられている。従来はこの原理にのみ
基づいて光学的な高感度化のために反射光路を長くする
手法が実施されている。
【０００４】
【解決すべき課題】しかし、高感度を実現するために反
射光路を長くすることは装置の大型化をもたらすことに
なるし、また反射光路における屈折率のゆらぎ等の空気
の状態の影響も受け易い。
射光路を長くすることは装置の大型化をもたらすことに
なるし、また反射光路における屈折率のゆらぎ等の空気
の状態の影響も受け易い。
【０００５】このようなことから、光反射方式角度検出
計において、反射光路を長くすることなしに、高感度が
実現でき、またダイナミックレンジの制御も行うことが
できる技術の開発が望まれている。
計において、反射光路を長くすることなしに、高感度が
実現でき、またダイナミックレンジの制御も行うことが
できる技術の開発が望まれている。
【０００６】この発明は上記の如き事情に鑑みてなされ
たものであって、反射光路を長くすることなく、したが
って装置の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影
響を大きくすることなく、容易かつ確実に、光反射方式
角度検出計の感度及びダイナミックレンジを制御するこ
とができる光反射方式角度検出計の感度またはダイナミ
ックレンジの制御方法を提供することを目的とするもの
である。
たものであって、反射光路を長くすることなく、したが
って装置の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影
響を大きくすることなく、容易かつ確実に、光反射方式
角度検出計の感度及びダイナミックレンジを制御するこ
とができる光反射方式角度検出計の感度またはダイナミ
ックレンジの制御方法を提供することを目的とするもの
である。
【０００７】
【課題を解決すべき手段】この目的に対応して、この発
明の光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法は、反射面からの反射光の位置を光位置
検出器で検出して前記反射光の位置の変化から前記反射
面の角度変化を検出する光反射方式角度検出計におい
て、前記反射光の発散角を制御して検出の感度またはダ
イナミックレンジを制御することを特徴としている。
明の光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法は、反射面からの反射光の位置を光位置
検出器で検出して前記反射光の位置の変化から前記反射
面の角度変化を検出する光反射方式角度検出計におい
て、前記反射光の発散角を制御して検出の感度またはダ
イナミックレンジを制御することを特徴としている。
【０００８】
【実施の態様】この発明は反射光を用いて反射面の角度
変化を検出する方式の光学的な感度またはダイナミック
レンジの制御技術である。反射光の発散角の制御によ
り、反射光の位置検出器である２分割フォトダイオ−ド
上の反射光の大きさを制御する。単位角度変化当たりの
２分割フォトダイオ−ド差分出力すなわち角度検出感度
及びダイナミックレンジは反射光の大きさにそれぞれ比
例及び反比例していることから、反射光の発散角の制御
により感度とダイナミックレンジが制御できる。光反射
方式角度検出計において２分割フォトダイオ−ドの代わ
りに４分割フォトダイオ−ドを用いれば２方向の角度変
化が検出できるが、いずれの場合も本発明を利用して、
入射光にピンホ−ルを入れて入射光の収束角を制御する
ことにより高感度化及びダイナミックレンジの制御が実
現される。また、反射面に凹面鏡を設置して反射光を集
光して、その曲率を選択することにより発散角を制御し
ても感度及びダイナミックレンジの制御は実現される。
変化を検出する方式の光学的な感度またはダイナミック
レンジの制御技術である。反射光の発散角の制御によ
り、反射光の位置検出器である２分割フォトダイオ−ド
上の反射光の大きさを制御する。単位角度変化当たりの
２分割フォトダイオ−ド差分出力すなわち角度検出感度
及びダイナミックレンジは反射光の大きさにそれぞれ比
例及び反比例していることから、反射光の発散角の制御
により感度とダイナミックレンジが制御できる。光反射
方式角度検出計において２分割フォトダイオ−ドの代わ
りに４分割フォトダイオ−ドを用いれば２方向の角度変
化が検出できるが、いずれの場合も本発明を利用して、
入射光にピンホ−ルを入れて入射光の収束角を制御する
ことにより高感度化及びダイナミックレンジの制御が実
現される。また、反射面に凹面鏡を設置して反射光を集
光して、その曲率を選択することにより発散角を制御し
ても感度及びダイナミックレンジの制御は実現される。
【０００９】以下、この発明の詳細を一実施例を示す図
面について説明する。
面について説明する。
【００１０】図１において１は光反射方式角度検出計で
あって、テコ２の角度変化が検出の対象である。テコ２
は一端が固定端３であり、他端が自由端４となっている
片持梁であり、その上面が光反射面５となっている。
あって、テコ２の角度変化が検出の対象である。テコ２
は一端が固定端３であり、他端が自由端４となっている
片持梁であり、その上面が光反射面５となっている。
【００１１】光反射方式角度検出計１は入射光６側に入
射光光学系７を有し、反射光８側に反射光光学計１１を
有している。入射光光学系７は光源レンズ１３、ピンホ
ール１４を備えている。反射光光学計１１には２分割フ
ォトダイオ−ド１５が設けられている。このように構成
された光反射方式角度検出計１において、テコ２の角度
変化の検出は次のようにしてなされる。
射光光学系７を有し、反射光８側に反射光光学計１１を
有している。入射光光学系７は光源レンズ１３、ピンホ
ール１４を備えている。反射光光学計１１には２分割フ
ォトダイオ−ド１５が設けられている。このように構成
された光反射方式角度検出計１において、テコ２の角度
変化の検出は次のようにしてなされる。
【００１２】入射光光学系７の光源１２から発した入射
光６はレンズ１３、ピンホール１４を通してテコ２に達
し、光反射面５で反射して２分割フォトダオ−ド１５に
達する。
光６はレンズ１３、ピンホール１４を通してテコ２に達
し、光反射面５で反射して２分割フォトダオ−ド１５に
達する。
【００１３】テコ２が角度変化したとすると、反射光８
の方向が変化し、２分割フォトダイオ−ド１５上の光ス
ポットが移動するので、２分割フォトダイオ−ド１５の
ＡとＢの差分出力が変化し、この出力の変化からテコ２
の角度変化を検出することができる。
の方向が変化し、２分割フォトダイオ−ド１５上の光ス
ポットが移動するので、２分割フォトダイオ−ド１５の
ＡとＢの差分出力が変化し、この出力の変化からテコ２
の角度変化を検出することができる。
【００１４】ここで特に重要なことは、入射光６の光路
にピンホール１４が挿入されていることである。このピ
ンホール１４を通ることによって、入射光６の収束角φ
を小さくする。入射光６の収束角と反射光８の発散角は
同じであるところから、反射光８の発散角が小さくな
り、２分割フォトダイオ−ド１５上の光スポットの大き
さが小さくなる。その結果、単位角度変化当たりの２分
割フォトダイオ−ド１５の出力を制御することにより、
検出感度の向上を実現させるとともに、ダイナミックレ
ンジも制御可能となる。
にピンホール１４が挿入されていることである。このピ
ンホール１４を通ることによって、入射光６の収束角φ
を小さくする。入射光６の収束角と反射光８の発散角は
同じであるところから、反射光８の発散角が小さくな
り、２分割フォトダイオ−ド１５上の光スポットの大き
さが小さくなる。その結果、単位角度変化当たりの２分
割フォトダイオ−ド１５の出力を制御することにより、
検出感度の向上を実現させるとともに、ダイナミックレ
ンジも制御可能となる。
【００１５】光反射方式角度検出計において、反射光の
発散角を制御して小さくすることにより、２分割フォト
ダイオ−ド上の反射光の大きさを制御して小さくでき、
その結果、単位角度変化当たりの２分割フォトダイオ−
ドの差分出力を制御して感度を制御すると同時にダイナ
ンミックレンジを制御可能であることが、次のように幾
何学的に証明される。
発散角を制御して小さくすることにより、２分割フォト
ダイオ−ド上の反射光の大きさを制御して小さくでき、
その結果、単位角度変化当たりの２分割フォトダイオ−
ドの差分出力を制御して感度を制御すると同時にダイナ
ンミックレンジを制御可能であることが、次のように幾
何学的に証明される。
【００１６】光反射方式角度検出計１では、図１に示す
ように、反射面の角度変化を検出するために、反射光を
２分割フォトダイオ−ド１５で受けて、２分割フォトダ
イオ−ド１５のＡとＢの出力の差分を計測する。図２に
示すように、反射面の角度変化δにより、反射光は２分
割フォトダイオ−ド上で２Ｌδ変位し、それに応じてセ
グメントＡとＢで受ける光量が変化して、出力の差分
「（Ａ−Ｂ）」が変化する。ここで、「Ｌ：反射面から
２分割フォトダイオ−ドまでの距離」、「φ：反射光の
拡がり角」、「δ：反射面の角度変化、すなわち光軸の
角度変化の１／２」と定義する。簡単のため、図２に示
すように、反射面の角度変化は固定端は動かずに自由端
が動いて角度変化を起こすシステムを考える。光スポッ
トの位置に対応する検出信号は、２分割フォトダイオ−
ドのＡとＢ２つの部分の出力の差分である。反射面の角
度変化による反射光軸の変位が２分割フォトダイオ−ド
の分割線に垂直であるとする。現実の光スポットは楕円
形であるが、簡単のためそれを図３（ａ）に示すように
２分割ダイオ−ドの分割線に垂直に近似的に分解してそ
のひとつの長方形光スポットだけを考えることにする。
楕円はこの長方形の足し合わせであるので、定性的に同
じ変化を示す。２分割フォトダイオ−ド上での光スポッ
トサイズは変位方向に長さ「Ｌφ」となる。２分割フォ
トダイオ−ドのそれぞれ出力の差分出力Ｓは、図３
（ｂ）から Ｓは（Ｌφ／２＋２Ｌδ）−（Ｌφ／２−２Ｌδ）＝４Ｌδ …（１） に比例する。比例係数をｃとおくと、 Ｓ＝４ｃＬδ …（２） となる。式２から反射面すなわち光軸の角度変化δに差
分出力Ｓは比例する。他方、光のスポットの全てが２分
割フォトダイオ−ドの片方に入ったとき２Ｌδ＝Ｌφ／
２、つまりδ＝φ／４のとき、出力Ｓは飽和する。これ
が境界条件であり、式２の比例係数ｃが決まる。飽和出
力を定数Ｑとおくと、 Ｑ＝４ｃＬ（φ／４） ∴ｃ＝Ｑ／Ｌφ …（３） となり、この比例係数ｃはＬφに反比例していることが
わかる。よって、式２は、 Ｓ＝４（Ｑ／Ｌφ）Ｌδ＝４Ｑδ／φ …（４） となる。結局、出力Ｓは反射光の拡がり角φに反比例す
る。言い換えると、拡がり角φが小さくなると、出力は
大きくなる。
ように、反射面の角度変化を検出するために、反射光を
２分割フォトダイオ−ド１５で受けて、２分割フォトダ
イオ−ド１５のＡとＢの出力の差分を計測する。図２に
示すように、反射面の角度変化δにより、反射光は２分
割フォトダイオ−ド上で２Ｌδ変位し、それに応じてセ
グメントＡとＢで受ける光量が変化して、出力の差分
「（Ａ−Ｂ）」が変化する。ここで、「Ｌ：反射面から
２分割フォトダイオ−ドまでの距離」、「φ：反射光の
拡がり角」、「δ：反射面の角度変化、すなわち光軸の
角度変化の１／２」と定義する。簡単のため、図２に示
すように、反射面の角度変化は固定端は動かずに自由端
が動いて角度変化を起こすシステムを考える。光スポッ
トの位置に対応する検出信号は、２分割フォトダイオ−
ドのＡとＢ２つの部分の出力の差分である。反射面の角
度変化による反射光軸の変位が２分割フォトダイオ−ド
の分割線に垂直であるとする。現実の光スポットは楕円
形であるが、簡単のためそれを図３（ａ）に示すように
２分割ダイオ−ドの分割線に垂直に近似的に分解してそ
のひとつの長方形光スポットだけを考えることにする。
楕円はこの長方形の足し合わせであるので、定性的に同
じ変化を示す。２分割フォトダイオ−ド上での光スポッ
トサイズは変位方向に長さ「Ｌφ」となる。２分割フォ
トダイオ−ドのそれぞれ出力の差分出力Ｓは、図３
（ｂ）から Ｓは（Ｌφ／２＋２Ｌδ）−（Ｌφ／２−２Ｌδ）＝４Ｌδ …（１） に比例する。比例係数をｃとおくと、 Ｓ＝４ｃＬδ …（２） となる。式２から反射面すなわち光軸の角度変化δに差
分出力Ｓは比例する。他方、光のスポットの全てが２分
割フォトダイオ−ドの片方に入ったとき２Ｌδ＝Ｌφ／
２、つまりδ＝φ／４のとき、出力Ｓは飽和する。これ
が境界条件であり、式２の比例係数ｃが決まる。飽和出
力を定数Ｑとおくと、 Ｑ＝４ｃＬ（φ／４） ∴ｃ＝Ｑ／Ｌφ …（３） となり、この比例係数ｃはＬφに反比例していることが
わかる。よって、式２は、 Ｓ＝４（Ｑ／Ｌφ）Ｌδ＝４Ｑδ／φ …（４） となる。結局、出力Ｓは反射光の拡がり角φに反比例す
る。言い換えると、拡がり角φが小さくなると、出力は
大きくなる。
【００１７】反射光８の発散を小さくするためには前述
の入射光６の光路中にピンホール１４を挿入する方法の
他に、図４に示すように反射面５に反射光路の長さに対
して適切な曲率の凹面鏡１６を設置する事でも実現する
ことができる。この場合、凹面鏡１６に対して入射光６
側で焦点を結んだ後の発散している光を凹面鏡１６で反
射させる必要がある。 （実験例）ピンホ−ルを用いた高感度化（図１）は既に
実験及び実施しており、実証済みである。図５にピンホ
ール径に対する出力感度の変化を示す。式（４）での予
想と一致して、ほぼ比例関係にあることがわかる。
の入射光６の光路中にピンホール１４を挿入する方法の
他に、図４に示すように反射面５に反射光路の長さに対
して適切な曲率の凹面鏡１６を設置する事でも実現する
ことができる。この場合、凹面鏡１６に対して入射光６
側で焦点を結んだ後の発散している光を凹面鏡１６で反
射させる必要がある。 （実験例）ピンホ−ルを用いた高感度化（図１）は既に
実験及び実施しており、実証済みである。図５にピンホ
ール径に対する出力感度の変化を示す。式（４）での予
想と一致して、ほぼ比例関係にあることがわかる。
【００１８】
【発明の効果】この発明では、１）反射光の発散を抑え
る。図１に示すように、入射光の収束角と反射光の発散
角は同じであることを利用して、入射光にピンホ−ルを
入れて入射光の収束角を小さくすることにより実現され
る。
る。図１に示すように、入射光の収束角と反射光の発散
角は同じであることを利用して、入射光にピンホ−ルを
入れて入射光の収束角を小さくすることにより実現され
る。
【００１９】または、２）反射光を集光する。図４に示
すように、反射光路の長さに対して適切な曲率の凹面鏡
を反射面に設置することにより実現される。凹面鏡に対
して入射光側で焦点を結んだ後の発散している光を凹面
鏡で反射させる必要がある。こうすることにより １）検出装置の感度（Ｓ／Ｎ比）を従来より向上でき
る。 ２）検出装置の感度（Ｓ／Ｎ比）が制御できる。 ３）検出装置のダイナミックレンジが制御できる。
すように、反射光路の長さに対して適切な曲率の凹面鏡
を反射面に設置することにより実現される。凹面鏡に対
して入射光側で焦点を結んだ後の発散している光を凹面
鏡で反射させる必要がある。こうすることにより １）検出装置の感度（Ｓ／Ｎ比）を従来より向上でき
る。 ２）検出装置の感度（Ｓ／Ｎ比）が制御できる。 ３）検出装置のダイナミックレンジが制御できる。
【００２０】以上の説明から明らかな通り、この発明に
よれば、反射光路を長くすることなく、したがって装置
の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影響を大き
くすることなしに、容易かつ確実に、光反射方式角度検
出計の感度及びダイナミックレンジを制御することがで
きる光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法を得ることができる。
よれば、反射光路を長くすることなく、したがって装置
の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影響を大き
くすることなしに、容易かつ確実に、光反射方式角度検
出計の感度及びダイナミックレンジを制御することがで
きる光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法を得ることができる。
【図１】この発明の光反射方式角度検出計を示す構成説
明図
明図
【図２】反射面の角度変化（δ）と反射光の光軸の２分
割フォトダイオード上での変位（２Ｌδ）の関係を示す
説明図。
割フォトダイオード上での変位（２Ｌδ）の関係を示す
説明図。
【図３】２分割フォトダイオード上での光軸の変位（２
Ｌδ）と差分出力の関係を示す説明図。
Ｌδ）と差分出力の関係を示す説明図。
【図４】この発明のもうひとつの実施例の光反射方式角
度検出計を示す構成説明図
度検出計を示す構成説明図
【図５】ピンホール径に対する２分割フォトダイオード
の出力感度の変化を示すグラフ。
の出力感度の変化を示すグラフ。
【図６】従来の光反射方式角度検出計を示す構成説明図
【符号の説明】 １ 光反射方式角度検出計 ２ テコ ３ 固定端 ４ 自由端 ５ 光反射面 ６ 入射光 ７ 入射光光学系 ８ 反射光 １１ 反射光光学系 １２ 光源 １３ レンズ １４ ピンホール １５ ２分割フォトダイオード １６ 凹面鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１０月１日（１９９９．１０．
１）
１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【請求項２】 前記発散角の制御は、前記反射面に入射
する光の光路中に配置したピンホールによって行うこと
を特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検出計の感
度またはダイナミックレンジの制御方法。
する光の光路中に配置したピンホールによって行うこと
を特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検出計の感
度またはダイナミックレンジの制御方法。
【請求項３】 前記発散角の制御は、前記反射面を凹面
鏡で構成し、前記凹面鏡の曲率を選択することによって
行うことを特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検
出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法。
鏡で構成し、前記凹面鏡の曲率を選択することによって
行うことを特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検
出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決すべき手段】この目的に対応して、この発
明の光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法は、反射面からの反射光の位置を２分割
フォトダイオードまたは４分割フォトダイオードで検出
して前記反射光の位置の変化から前記反射面の角度変化
を検出する光反射方式角度検出計において、前記反射光
の前記分割フォトダイオードの分割線に垂直な方向の発
散角を制御して検出の感度またはダイナミックレンジを
制御することを特徴としている。
明の光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレ
ンジの制御方法は、反射面からの反射光の位置を２分割
フォトダイオードまたは４分割フォトダイオードで検出
して前記反射光の位置の変化から前記反射面の角度変化
を検出する光反射方式角度検出計において、前記反射光
の前記分割フォトダイオードの分割線に垂直な方向の発
散角を制御して検出の感度またはダイナミックレンジを
制御することを特徴としている。
Claims (4)
- 【請求項１】 反射面からの反射光の位置を光位置検出
器で検出して前記反射光の位置の変化から前記反射面の
角度変化を検出する光反射方式角度検出計において、前
記反射光の発散角を制御して検出の感度またはダイナミ
ックレンジを制御することを特徴とする光反射方式角度
検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法。 - 【請求項２】 前記光位置検出器は２分割フォトダイオ
ードまたは４分割フォトダイオードであることを特徴と
する請求項１記載の光反射方式角度検出計の感度または
ダイナミックレンジの制御方法。 - 【請求項３】 前記発散角の制御は、前記反射面に入射
する光の光路中に配置したピンホールによって行うこと
を特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検出計の感
度またはダイナミックレンジの制御方法。 - 【請求項４】 前記発散角の制御は前記反射面を凹面鏡
で構成し、前記凹面鏡の曲率を選択することによって行
うことを特徴とする請求項１記載の光反射方式角度検出
計の感度またはダイナミックレンジの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10330212A JP3044225B1 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10330212A JP3044225B1 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3044225B1 JP3044225B1 (ja) | 2000-05-22 |
| JP2000146551A true JP2000146551A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18230107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10330212A Expired - Lifetime JP3044225B1 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3044225B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010190590A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡及びその動作方法 |
-
1998
- 1998-11-05 JP JP10330212A patent/JP3044225B1/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010190590A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡及びその動作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3044225B1 (ja) | 2000-05-22 |
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