JP4078574B2 - 位置検出センサ用ビーム拡大光学系 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は変位センサ等に使用される光半導体位置検出センサPSDを用いた光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、レーザ光を用いた変位計等が開発されており、これらには光半導体位置検出センサ、一般にPSDと呼ばれる素子が使用されることが多くなった。PSDは半導体受光素子の両端に電極を設置し、光スポットが受光素子内の一点にあたると、当たった点から各電極までの抵抗に応じて分極された電流が各電極から出力されるのでこの電流から光スポットの照射位置を算出できる。非分割型の素子であり、位置分解能、応答性に優れることなどから光を用いた位置センサ等に使用されている。
【0003】
位置センサ等に使用する場合の一般的な使用法としては例えば図5のようなものである。半導体レーザ31の光をレンズ32で集光して対象物33にあてる。対象物33から反射した光を結像レンズ34で集めてPSD35にいれる。対象物33が33aに移動するとレーザ光の反射点が変わり、それに応じてPSD上の集光点36が36aに移動してPSD35の出力が変化する。この変化から対象物の移動量を算出できる。
【0004】
一方PSDには光スポットが小さすぎると出力が非線形になるという問題点が指摘されている。図6は50μm径のスポットをPSDに当てた場合に観測されたPSD出力の非線形の例であり、本来なら破線で示される矩形波になるべき出力が立ち上がりが遅く立ち下がりがはやい鋸状の波形になっている。一般のPSDでは光スポット径を200μm以上にするよう注意書きがかかれている。これは通常結像レンズ34の焦点36とPSD35の位置を光軸方向にずらし、像をぼかすことで実現している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし対象物には正反射光、乱反射光、平坦なもの、曲面のもの、傾いたもの等いろいろな場合がある。よって対象物によって結像レンズ上の反射光分布は様々に変化する。ところがPSDの非線形対策のためにPSD35と焦点36をずらすと、反射光分布の変化がPSD上の光分布の変化となり位置の変化に変換されてしまうので精度がおちる。一方精度をあげるためPSD35と反射光の結像レンズによる焦点36とを一致させると光量分布の変化による位置の変動はなくなるが、スポットが小さくなる事によるPSD自身の非線形がでて図6のように応答性が悪くなる。よってPSDを用いた光センサでは高速と高精度を両立させることができなかった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明はこれらの課題を解決するため次のような構造にしたものである。半導体の抵抗層を利用した位置検出素子であるPSDを用いた光学系において測定対象物からの光をほぼ平行な光束に変換する第1のレンズ系とそのほぼ平行な光束をPSD上に結像する第2のレンズ系を設け第1レンズ系と第2レンズ系との間にPSDの位置検出方向と直交する方向に曲率をもったシリンドリカルレンズを設けることを特徴とする位置検出センサ用ビーム拡大光学系である。
【0007】
【作用】
測定対象物からの光をほぼ平行な光束に変換する第1レンズ系及びそのほぼ平行な光束をPSD上に結像する第2レンズ系により測定対象物の像がPSD上に形成される。この場合はPSD上の像はこれらのレンズ系の収差量に応じた大きさの点像となりレンズ系の収差が少ない場合極めて小さくなりPSDの応答遅れが発生する。
【0008】
この第1、第2レンズ系の間にPSDの位置検出方向と直交する方向に曲率をもっているシリンドリカルレンズをいれるとシリンドリカルレンズにより光束はPSDの位置検出方向と直交する方向に屈折され、PSD上で位置検出方向と直交する方向にのびた線像となる。このことにより結像光が微小スポットに集中することがなくなるのでPSDの応答遅れを解消することができ、またPSDの位置検出方向においては焦点で結像しているので高精度な測定をすることができる。
【0009】
一方PSDの位置検出方向については平行光束が平行平面板を通過するのと等価となりシリンドリカルレンズによる収差は発生しないか非常に少ない。よって測定対象物からの光の強度分布による誤差がほとんど発生しないため高精度、高速な測定が可能になる。
【0010】
【実施例】
以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図1は本発明の第1の実施例である。光源である半導体レーザ7から発した光は投光レンズ系6で集光され測定対象物5上に集光される。対象物上で反射した光は第1のレンズ系1でほぼ平行な光束に変換される。次にシリンドリカルレンズ4により光は紙面に垂直な方向のみ屈折され紙面に平行な方向では平行光のまま次の第2レンズ系2にはいる。第2レンズ系2は平行光束をPSD3上に結像するよう設置されているので紙面に平行な方向ではPSD3上に点となって結像するが紙面に垂直な方向ではシリンドリカルレンズ4により平行光束ではなくなっているのでPSD3上には線となって結像する。
【0011】
この状態を図2に示す。図2(a)は図1の測定対象物5からPSD3までを紙面に垂直な方向に見た図、図2(b)は同じく紙面に平行な方向に見た図である。図2(b)においてはシリンドリカルレンズ4は曲率をもっておらず平行平面板と同じであるが図2(a)においては曲率をもっており、光が屈折され図2(b)よりはるかに近距離に焦点ができる。その結果PSD3上では大きく広がり、一方図2(b)の方向では点に結像するので結果的にPSD3上には線状の像ができる。その結果像が1点に集中することによっておこる図6のようなPSDの出力の非線形を防止することができまた、測定方向には光は点に結像するため測定対象物の傾きなどによる誤差はシリンドリカルレンズによってはほとんど発生しないので高精度な測定が可能となる。
【0012】
図3は本原理を走査型測定器に応用した第2の実施例であり41は光源、42はポリゴンスキャナ、43はfθレンズ、44は測定対象物、45は第1レンズ系、46がシリンドリカルレンズ、47は第2のレンズ系、48がPSDである。
【0013】
光源41からでた光はポリゴンスキャナ42で走査され、fθレンズ43で測定対象物44上に集光される。反射光は第1レンズ系45で平行光にされシリンドリカルレンズ46により走査方向のみ屈折され第2レンズ系47によりPSD48上に線状に結像される。PSD48は長手方向と垂直方向に位置検出を行うPSDであり線状の像は位置検出をしない長手方向にできることになる。よって走査及びシリンドリカルレンズは位置検出機能には影響を与えない。
【0014】
次に本発明においてシリンドリカルレンズを平行光束部に挿入している理由を述べる。測定対象物からの光を平行光に変換せず直接PSD上に結像するようにして結像レンズ系とPSDの中間にシリンドリカルレンズを挿入した場合を考え図4で説明する。図4はシリンドリカルレンズをみたものでシリンドリカルレンズは紙面に垂直な方向に曲率を持っていて紙面に投影した側には曲率を持たない。この場合平行平面板と同じなので入射した光はガラスの屈折率による平行移動をうけ入射したのと同方向に出射する。
【0015】
このとき入射及び出射する光が収束光であるとシリンドリカルレンズの屈折率が空気より高いためにシリンドリカルレンズ内の収束光の角度が空気中より浅くなる。ところがシリンドリカルレンズは位置により厚みが違うのでその厚い箇所から出射した光と薄い位置から出射した光とは空気中とは異なる角度で進行した距離が違うために図のように収束位置が異なってくる。そのためPSD上の入射位置がシリンドリカルレンズの通過位置に依存して変動するため計測結果が対象物の反射光の光量分布により異なる結果となり計測精度を低下させる。シリンドリカルレンズへの入射及び出射光が平行光であればシリンドリカルレンズ内においてもシリンドリカルレンズが曲率を持たない方向には平行光でありシリンドリカルレンズの厚さが違っても厚さの違いによる焦点の移動はおこらずシリンドリカルレンズが曲率を持たない方向において正確に像を結ぶことができるのでこのような問題は発生しない。
【0017】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば測定方向に関しては反射光の焦点を正確に結ぶことができる一方で直交する方向にはPSDに入射する光スポットの大きさを大きくでき、PSDのもつ非線形を回避できるのでPSDを用いた高速高精度な光測定を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の原理図
【図2】シリンドリカルレンズの機能を説明する図
【図3】本発明の第2の実施例の斜視図
【図4】本発明によらない場合のシリンドリカルレンズ収差を説明する図
【図5】従来例の原理図
【図6】従来例の信号出力説明図
【符号の説明】
1 第1のレンズ系
2 第2のレンズ系
3 PSD
4 シリンドリカルレンズ
5 測定対象物
6 投光レンズ系
7 LD光源
41 光源
42 ポリゴンスキャナ
43 fθレンズ
44 測定対象物
45 第1レンズ系
46 シリンドリカルレンズ
47 第2レンズ系
48 PSD
31 LD光源
32 投光レンズ系
33 測定対象物
34 結像レンズ系
35 PSD
Claims (1)
- 半導体の抵抗層を利用した位置検出素子であるPSDを用いた光学系において測定対象物からの光をほぼ平行な光束に変換する第1のレンズ系とそのほぼ平行な光束をPSD上に結像する第2のレンズ系を設け第1レンズ系と第2レンズ系との間にPSDの位置検出方向と直交する方向に曲率をもったシリンドリカルレンズを設けることを特徴とする位置検出センサ用ビーム拡大光学系。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP28190598A Expired - Fee Related JP4078574B2 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 位置検出センサ用ビーム拡大光学系 |
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