JP2000145729A - 固定器具及び該固定器具の取り外し方法、並びに半導体製造装置及びウェハの処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 固定対象たるシャフト部から容易に取り外し
可能なハブを得る。 【解決手段】 まず、直径が５ｍｍのネジ１３及びワッ
シャ１４をハブ３から取り外す。次に、取り外したネジ
１３を、切り込み１９側からネジ穴２０に螺挿する。こ
のとき、ネジ１３の長さはネジ穴２０の長さよりも長い
ので、ネジ１３の先端は第１の面１５から突出する。次
に、直径が８ｍｍのネジ２２を、切り込み１８側からネ
ジ穴２１に螺挿する。ネジ２２をネジ穴２１に螺挿する
ことによりネジ２２の先端が第２の面１６から突出する
と、ネジ１３とネジ２２とが互いに押し合い、その力に
よって隙間１７が広がる。その結果、開口部１１の側面
によるシャフト部１０の挟着が解かれる。その後、ハブ
３をシャフト部１０から取り外す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、固定器具の構
造、特に半導体装置製造用のボート装置に用いられるハ
ブの構造に関するものである。さらに、該固定器具の取
り外し方法、並びに該固定器具を用いた半導体製造装
置、及び該半導体製造装置を用いたウェハの処理方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ボート装置は、半導体装置の製造工程に
おける熱処理、シンタ処理、減圧ＣＶＤ成膜処理等にお
いて、処理対象たる複数のウェハを水平状態に載置保持
するための、半導体製造装置の一種である。図２３は、
従来のボート装置の構造の一部を拡大して示す斜視図で
ある。フランジ１０２の上面上には磁気シールユニット
１０９が取り付けられており、ハブ１０３は、磁気シー
ルユニット１０９のシャフト部１１０に固定される。

【０００３】図２４，２５は、図２３に示したハブ１０
３の具体的な構造をそれぞれ示す上面図及び側面図であ
る。ハブ１０３は、シャフト部１１０（図２４，２５に
は表れない）の径と略同径の開口部１１１と、開口部１
１１を割る隙間１１７とを備えている。また、ハブ１０
３には、その外周縁からの切り込み１１８ａ，１１８ｂ
が設けられている。図２４，２５に示すハブ１０３にお
いては、隙間１１７を挟んで第１の面１１５と第２の面
１１６とが対峙しており、第１の面１１５を含む部分
（図２４においては隙間１１７と切り込み１１８ａとに
よって挟まれる部分：以下、従来技術の説明において
「第１の片部」と表記する）には、第１の面１１５と切
り込み１１８ａとの間で第１の片部を貫通するネジ穴１
２０が設けられている。また、第２の面１１６を含む部
分（図２４において隙間１１７と切り込み１１８ｂとに
よって挟まれる部分：以下、従来技術の説明において
「第２の片部」と表記する）には、第２の面１１６と切
り込み１１８ｂとの間で第２の片部を貫通するネジ穴１
２１が設けられている。また、ハブ１０３の上面には、
保温筒受け皿（図２４，２５には示さない）をハブ１０
３に固定するための複数のネジ穴１１２が設けられてい
る。

【０００４】ハブ１０３をシャフト部１１０に取り付け
るためには、開口部１１１にシャフト部１１０を挿通し
た状態で、第２の片部に設けられたネジ穴１２１に切り
込み１１８ｂ側からボルト１１３を螺挿し、さらに第１
の片部に設けられたネジ穴１２０にこのボルト１１３を
隙間１１７側から続けて螺挿する。そして、切り込み１
１８ａ側に突出したボルト１１３にナット１１４をはめ
込み、このボルト１１３及びナット１１４によって、第
１及び第２の片部を隙間１１７を無くす方向に両側から
締め付ける。これにより、第１の片部と第２の片部とが
螺着され、開口部１１１の側面によってシャフト部１１
０が挟着される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように従来のハブ
１０３においては、ボルト１１３及びナット１１４によ
る締め付けにより、ハブ１０３をシャフト部１１０に取
り付ける。しかし、工具を用いて作業を行うためのスペ
ースが狭いため、ボルト１１３及びナット１１４による
締め付け作業が行いにくいという問題があった。

【０００６】また、磁気シールユニット１０９は定期的
に交換しなければならないが、その際、ハブ１０３をシ
ャフト部１１０から取り外す必要がある。このとき、半
導体製造工程おける高温熱処理による影響で、第１の片
部及び第２の片部は焼き付けられた状態となっている。
従って、ハブ１０３をシャフト部１１０から取り外すた
めには、ボルト１１３及びナット１１４を取り外した
後、先端がくさび形の器具を隙間１１７に差し込み、外
力によって第１及び第２の片部をこじ開ける必要があ
る。その結果、ハブ１０３の本体に傷が付いたり破損が
生じるのみならず、ハブ１０３の上面の水平性に歪みが
生じるという問題があった。

【０００７】本発明はこのような問題を解決するために
成されたものであり、ボルト及びナットによる締め付け
作業を行うことなくシャフトへの取り付けを実行し得る
とともに、シャフトから容易に取り外し可能なハブを得
ることを目的とするものである。さらに、そのハブのシ
ャフトからの取り外し方法、並びにそのハブを用いた半
導体製造装置、及びその半導体製造装置を用いたウェハ
の処理方法を得ることを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明のうち請求項１
に記載の固定器具は、固定対象たるシャフトの径と略同
径のシャフト挿通口と、シャフト挿通口を割る割り溝と
を備え、割り溝を挟んで対峙する第１及び第２の面をそ
れぞれ含む第１及び第２の片部を接離させて割り溝を開
閉することにより、割り溝を通してシャフトをシャフト
挿通口に挿脱したり、シャフト挿通口の側面によってシ
ャフトを挟着することが可能な固定器具であって、第１
の片部は、第１の面から第１の片部内に形成された第１
のネジ穴を有し、第２の片部は、固定器具の外周縁から
形成された第１の切り込みと、第１の切り込みと第２の
面との間で第２の片部を貫通する第２のネジ穴とを有
し、第２のネジ穴の径は、第１のネジ穴の径よりも大き
いことを特徴とするものである。

【０００９】また、この発明のうち請求項２に記載の固
定器具は、請求項１に記載の固定器具であって、第１の
片部は、少なくとも固定器具の側壁部において、固定器
具の外周縁から形成された第２の切り込みをさらに有
し、第１のネジ穴は、第１の面と第２の切り込みとの間
で第１の片部を貫通することを特徴とするものである。

【００１０】また、この発明のうち請求項３に記載の固
定器具は、請求項１に記載の固定器具であって、第１の
ネジ穴のネジ挿通口は第１の面内に含まれることを特徴
とするものである。

【００１１】また、この発明のうち請求項４に記載の固
定器具は、請求項１〜３のいずれか一つに記載の固定器
具であって、第１のネジ穴の第２の切り込み側におい
て、作業スペースを広く確保するために第１の片部に形
成された第３の切り込み、及び第２のネジ穴の第１の切
り込み側において、作業スペースを広く確保するために
第２の片部に形成された第４の切り込みのうち少なくと
も一方をさらに備えることを特徴とするものである。

【００１２】また、この発明のうち請求項５に記載の固
定器具は、半導体装置製造用のボート装置において、ボ
ートを載置するための台座と、ボートを回転するための
回転導入端子のシャフトとを互いに固定するための固定
器具であって、シャフトの径と略同径のシャフト挿通口
と、固定器具の外周側面からシャフト挿通口に貫通して
形成されたネジ穴とを備えるものである。

【００１３】また、この発明のうち請求項６に記載の固
定器具は、請求項５に記載の固定器具であって、ネジ穴
は、シャフトが延在する方向に関して、複数の箇所に形
成されていることを特徴とするものである。

【００１４】また、この発明のうち請求項７に記載の固
定器具の取り外し方法は、シャフトに固定された請求項
２に記載の固定器具を、シャフトから取り外す方法であ
って、（ａ）固定器具から第１のネジを取り外す工程
と、（ｂ）工程（ａ）よりも後に実行され、第１のネジ
穴の長さよりも長く、第１のネジ穴に螺合する第２のネ
ジを、第２の切り込み側から第１のネジ穴に螺挿する工
程と、（ｃ）工程（ａ）よりも後に実行され、第２のネ
ジ穴の長さよりも長く、第２のネジ穴に螺合する第３の
ネジを、第１の切り込み側から第２のネジ穴に螺挿する
工程とを備えるものである。

【００１５】また、この発明のうち請求項８に記載の固
定器具の取り外し方法は、シャフトに固定された請求項
３に記載の固定器具を、シャフトから取り外す方法であ
って、（ａ）固定器具から第１のネジを取り外す工程
と、（ｂ）工程（ａ）よりも後に実行され、第２のネジ
穴の長さよりも長く、第２のネジ穴に螺合する第２のネ
ジを、第１の切り込み側から第２のネジ穴に螺挿する工
程とを備えるものである。

【００１６】また、この発明のうち請求項９に記載の半
導体製造装置は、反応管と、反応管の内側に設置され、
処理対象たるウェハを保持するボートと、ボートを載置
するための台座と、反応管の内部においてボートを回転
するための回転導入端子と、台座と回転導入端子のシャ
フトとを固定するための、請求項１〜６のいずれか一つ
に記載の固定器具とを備えるものである。

【００１７】また、この発明のうち請求項１０に記載の
ウェハの処理方法は、請求項９に記載の半導体製造装置
を用いたウェハの処理方法である。

【００１８】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、縦型減圧
ＣＶＤ装置の構成を模式的に示す側面図である。ボート
エレベータ１にはフランジ２が設置されており、フラン
ジ２には、後述する磁気シールユニット９及びハブ３を
介して保温筒受け皿４が固定されている。保温筒受け皿
４上には保温筒５が載置されており、保温筒５上にはボ
ート６が載置されている。保温筒受け皿４及び保温筒５
は、ボート６を載置するための台座としての役割も果た
す。ボート６には処理対象たる複数のウェハ（図示しな
い）が水平状態に載置保持される。また、外管チューブ
７の内側には内管チューブ（反応管）８が設置されてお
り、ボートエレベータ１を上昇させることにより、内管
チューブ８内にボート６及び保温筒５が挿入される。

【００１９】図２は、図１に示したボート装置の一部を
拡大して示す斜視図である。フランジ２の上面には、図
１に示した内管チューブ８内においてボート６を回転す
るための回転導入端子である磁気シールユニット９が取
り付けられている。ハブ３は、磁気シールユニット９の
シャフト部１０に固定される。ハブ３の材質としては、
インコネル６００の合金、ステンレス鋼、ニッケル・モ
リブデン合金、ニッケル・クロム合金、ニッケル・モリ
ブデン・クロム合金、耐食耐熱超合金、オーステナイト
系耐熱鋼、Ｆｅ基耐熱合金、Ｎｉ基耐熱合金、Ｃｏ基耐
熱合金等の耐熱・耐食合金を用いる。ハブの材質に関し
ては、後述する実施の形態２〜５についても同様であ
る。

【００２０】図３，４は、図２に示したハブ３の具体的
な構造をそれぞれ示す上面図及び側面図である。ハブ３
は、固定対象たるシャフト部１０（図３，４には表れな
い）の径と略同径の開口部１１と、開口部１１を割る隙
間１７（割り溝）とを備えている。また、ハブ３には、
その外周縁からの切り込み１８，１９が設けられてい
る。ここで、切り込み１９は、ハブ３の上面と底面との
間を貫通して形成してもよいが、少なくともハブ３の外
周側壁部において、ハブ３の外周縁から形成されていれ
ば足りる。さらに、ハブ３の上面には、図１に示した保
温筒受け皿４（図３，４には表れない）をハブ３に固定
するための複数のネジ穴１２が設けられている。ここ
で、図３，４に示すハブ３においては、隙間１７を挟ん
で第１の面１５と第２の面１６とが対峙している。な
お、実際には、開口部１１に、ハブ３とシャフト部１０
とを位置決めするための凹凸形状が設けられているが、
図面の簡略化のため、図３においては省略している。

【００２１】図５は、図４に示したＡ部分の断面構造を
示す断面図である。第１の面１５を含む部分（図５にお
いては隙間１７よりも左側に示される部分：以下「第１
の片部」と表記する）には、第１の面１５と切り込み１
９との間で第１の片部を貫通する、直径５ｍｍのネジ穴
２０が設けられている。また、第２の面１６を含む部分
（図５においては隙間１７よりも右側に示される部分：
以下「第２の片部」と表記する）には、第２の面１６と
切り込み１８との間で第２の片部を貫通する、直径８ｍ
ｍのネジ穴２１が設けられている。ネジ穴２１には、切
り込み１８側からワッシャ１４を通して直径５ｍｍのネ
ジ１３が挿入されており、さらにこのネジ１３は、隙間
１７側からネジ穴２０に螺挿されている。

【００２２】図６は、図５に示したハブ３をシャフト部
１０に取り付ける方法を順に示すフローチャートであ
る。まず、ハブ３からネジ１３及びワッシャ１４を取り
外す（ステップＳ１１）。次に、ハブ３をシャフト部１
０に取り付けるために、ハブ３の開口部１１内にシャフ
ト部１０を挿通する（ステップＳ１２）。次に、ハブ３
にワッシャ１４及びネジ１３を取り付ける（ステップＳ
１３）。具体的には、切り込み１８側からワッシャ１４
を通してネジ穴２１にネジ１３を挿入し、さらにそのネ
ジ１３を隙間１７側からネジ穴２０に螺挿する。次に、
ネジ１３を締め付けて固定することにより、第１の片部
と第２の片部とを螺着する（ステップＳ１４）。以上の
工程により、シャフト部１０へのハブ３の取り付けが完
了する（ステップＳ１５）。

【００２３】図７は、取り付け完了後のハブ３及びシャ
フト部１０を示す断面図である。第１の片部と第２の片
部とがネジ１３によって螺着された結果、開口部１１の
側面によってシャフト部１０が挟着され、これによりハ
ブ３とシャフト部１０とが互いに固定される。

【００２４】次に、図８は、図７に示したハブ３をシャ
フト部１０から取り外す方法を順に示すフローチャート
である。まず、ハブ３からネジ１３及びワッシャ１４を
取り外す（ステップＳ２１）。次に、取り外したネジ１
３を、切り込み１９側からネジ穴２０に螺挿する（ステ
ップＳ２２）。このとき、ネジ１３の長さはネジ穴２０
の長さよりも長いので、ネジ１３の先端は第１の面１５
から突出する。但し、必ずしもネジ１３を使用する必要
はなく、ネジ穴２０の長さよりも長く、直径が５ｍｍの
ネジであれば他のネジであってもよい。次に、ネジ穴２
１の長さよりも長く、直径が８ｍｍのネジ２２を、切り
込み１８側からネジ穴２１に螺挿する（ステップＳ２
３）。図９は、ステップＳ２３終了後のハブ３及びシャ
フト部１０の状態を示す断面図である。ネジ２２をネジ
穴２１に螺挿することによりネジ２２の先端が第２の面
１６から突出すると、ネジ１３とネジ２２とが互いに押
し合い、その力によって隙間１７が広がる。その結果、
開口部１１の側面によるシャフト部１０の挟着が解かれ
る。その後、ハブ３をシャフト部１０から取り外す（ス
テップＳ２４）。最後に、ハブ３からネジ１３，２２を
取り外し（ステップＳ２５）、シャフト部１０からのハ
ブ３の取り外しが完了する（ステップＳ２６）。

【００２５】なお、ネジ１３，２２の頭部構造は、すり
わり付き、四角、六角、十字穴付き、六角穴付き等、ど
のような構造であってもよく、また、ネジ溝の構造にお
いても、右ネジ、左ネジのどちらであってもよい。後述
する実施の形態２，３においても同様である。

【００２６】また、図１０は、第１の片部に形成される
ネジ穴２０の他の構造を示す断面図である。以上の説明
では、ネジ穴２０の全面にネジ溝が形成されることを前
提として述べたが、図１０に示すように、ネジ穴２０の
両端部に、ネジ穴２１の径以上の径を有する開口部２
３、及びネジ穴２０の径よりも大きい径を有する開口部
２４をそれぞれ設けてもよい。開口部２３は、切り込み
１８側からネジ穴２１を形成する際のねじ切りによって
第１の片部も併せてねじ切りされてしまうことを回避す
るための、いわゆる逃げ部分としての役割を果たす。開
口部２３を設けることにより、ネジ穴２１の加工が容易
となる。また、開口部２４を設けることにより、ハブ３
の取り外し時においてネジ１３を切り込み１９側からネ
ジ穴２０に螺挿するための所要時間を短縮することがで
きる。

【００２７】このように本実施の形態１に係るハブ３に
よると、切り込み１８側からネジ穴２１にネジ１３を挿
入し、さらにこのネジ１３を隙間１７側からネジ穴２１
に螺挿することにより、第１の片部と第２の片部とを螺
着し、これにより、開口部１１の側面によってシャフト
部１０を挟着する。従って、ボルト及びナットによる締
め付け作業を行うことなくハブ３とシャフト部１０とを
互いに固定することができ、シャフト部１０へのハブ３
の取り付け作業が容易となる。

【００２８】しかも、図２４に示した従来のハブ１０３
とは異なり、ナット１１４を取り付けるための切り込み
１１８ａを第１の片部に設ける必要がないので、ハブ３
自体の体積も大きくできる。その結果、ハブ３の剛性が
大きくなり、シャフト部１０は、ハブ３からの均一な力
によって開口部１１内に挟着される。このため、ハブ３
の上面の水平性、ひいてはボート６に装着されるウェハ
の水平性を維持することができる。

【００２９】また、本実施の形態１に係るハブ３による
と、ハブ３をシャフト部１０から取り外す際に、ネジ１
３とネジ２２とが互いに押し合う力によって隙間１７を
広げ、これにより、開口部１１の側面によるシャフト部
１０の挟着を解く。従って、先端がくさび形をした器具
によって隙間をこじ開ける従来の取り外し方法とは異な
り、ハブ３の本体に傷が付いたりハブ３の上面の水平性
に歪みが生じるという事態を回避しつつ、ハブ３の取り
外しを容易に実行することができる。なお、ネジ穴２０
の芯とネジ穴２１の芯とは必ずしも同一である必要はな
いが、同芯にすることにより、ネジ穴２０，２１の形成
の際等に多少のズレが生じた場合でも、ネジ１３とネジ
２２とが互いに接触する。従って、この場合にネジ２２
が第１の面１５に接触したり、ネジ１３が第２の面１６
に接触するという事態を回避することができる。

【００３０】実施の形態２．図１１は、本発明の実施の
形態２に係るハブ２５の内部構造を示す断面図である。
基本的には図５に示した上記実施の形態１に係るハブ３
の構造と同一であるが、第１の片部に切り込み１９が設
けられておらず、ネジ穴２６が第１の片部を貫通してい
ないことにおいて相違する。

【００３１】図１２は、図１１に示したハブ２５をシャ
フト部１０に取り付ける方法を順に示すフローチャート
である。まず、ハブ２５からネジ１３及びワッシャ１４
を取り外す（ステップＳ３１）。次に、ハブ２５をシャ
フト部１０に取り付けるために、ハブ２５の開口部１１
内にシャフト部１０を挿通する（ステップＳ３２）。次
に、ハブ２５にワッシャ１４及びネジ１３を取り付ける
（ステップＳ３３）。次に、ネジ１３を締め付けて第１
の片部と第２の片部とを螺着する（ステップＳ３４）。
これにより、ハブ２５の取り付けが完了する（ステップ
Ｓ３５）。

【００３２】図１３は、取り付け完了後のハブ２５及び
シャフト部１０を示す断面図である。第１の片部と第２
の片部とがネジ１３によって螺着された結果、開口部１
１の側面によってシャフト部１０が挟着され、これによ
りハブ２５とシャフト部１０とが互いに固定される。

【００３３】次に、図１４は、図１３に示したハブ２５
をシャフト部１０から取り外す方法を順に示すフローチ
ャートである。まず、ハブ２５からネジ１３及びワッシ
ャ１４を取り外す（ステップＳ４１）。次に、ネジ穴２
１の長さよりも長く、直径が８ｍｍのネジ２２を、切り
込み１８側からネジ穴２１に螺挿する（ステップＳ４
２）。図１５は、ステップＳ４２終了後のハブ２５及び
シャフト部１０の状態を示す断面図である。ネジ２２を
ネジ穴２１に螺挿することによりネジ２２の先端が第２
の面１６から突出すると、ネジ２２と第１の面１５とが
互いに押し合い、その力によって隙間１７が広がる。そ
の結果、開口部１１の側面によるシャフト部１０の挟着
が解かれる。その後、ハブ２５をシャフト部１０から取
り外す（ステップＳ４３）。最後に、ハブ２５からネジ
２２を取り外し（ステップＳ４４）、ハブ２５の取り外
しが完了する（ステップＳ４５）。

【００３４】このように本実施の形態２に係るハブ２５
によると、シャフト部１０からハブ２５を取り外す際
に、ハブ２５の第１の面１５とネジ２２とが互いに押し
合う力によって隙間１７を広げ、これにより、開口部１
１の側面によるシャフト部１０の挟着を解く。従って、
器具によって隙間をこじ開けることによってハブ２５本
体に傷が付いたりハブ２５の上面の水平性に歪みが生じ
るということはなく、ハブ２５の取り外しを容易に実行
することができる。

【００３５】また、上記実施の形態１に係るハブ３と比
較すると、第１の片部に切り込み１９を設けないことか
ら、ハブ２５の体積を大きくすることができ、その結
果、ハブ２５の剛性も大きくなる。

【００３６】実施の形態３．図１６，１７は、本発明の
実施の形態３に係るハブ２７，３０の内部構造をそれぞ
れ示す断面図である。図１６に示すハブ２７は、図５に
示した上記実施の形態１に係るハブ３を前提としてお
り、ネジ穴２１の有する２つのネジ挿通口（即ち、隙間
１７側のネジ挿通口及び切り込み１８側のネジ挿通口）
のうち、切り込み１８側のネジ挿通口付近に切り込み２
８を形成するとともに、ネジ穴２０の有する２つのネジ
挿通口（即ち、隙間１７側のネジ挿通口及び切り込み１
９側のネジ挿通口）のうち、切り込み１９側のネジ挿通
口付近に切り込み２９を形成したものである。

【００３７】また、図１７に示すハブ３０は、図１１に
示した上記実施の形態２に係るハブ２５を前提としてお
り、ネジ穴２１の有する２つのネジ挿通口（即ち、隙間
１７側のネジ挿通口及び切り込み１８側のネジ挿通口）
のうち、切り込み１８側のネジ挿通口付近に切り込み３
１を形成したものである。

【００３８】切り込み２８，２９，３１の大きさは、ハ
ブ２７，３０の剛性を大きく保つためにも、ネジ１３，
２２をネジ締めする際に使用する工具の大きさ等を考慮
して、最小限の大きさとするのが望ましい。

【００３９】このように本実施の形態３に係るハブ２
７，３０によると、ネジ穴２０，２１の近辺に切り込み
２８，２９，３１をそれぞれ設けることにより、工具を
用いてネジ１３，２２をネジ締めする際に、その作業ス
ペースを広げることができる。その結果、ネジ１３，２
２の締め付け作業を行い易くすることができる。

【００４０】実施の形態４．図１８は、本発明の実施の
形態４に係るハブ３２の上面構造を示す上面図である。
ハブ３２は、固定対象たるシャフト部１０（図１８には
表れない）の径と略同径の開口部１１を備えている。ま
た、本実施の形態４に係るハブ３２は、上記実施の形態
１〜３に係るハブ３，２５，２７，３０とは異なり、開
口部１１に連通する隙間１７を備えておらず、開口部１
１を中心とした環状構造を呈している。

【００４１】また、図１９は、図１８に示したハブ３２
の側面構造を示す側面図である。ハブ３２の外周側面に
は、複数のネジ穴３３が設けられている。

【００４２】また、図２０は、図１９に示したＢ部分の
断面構造を示す断面図である。複数（図２０に示す例で
は３個）のネジ穴３３のそれぞれは、ハブ３２の外周側
面と開口部１１の側面との間でハブ３２の内部を貫通し
ている。

【００４３】また、図２１は、ハブ３２とシャフト部１
０とを固定した状態を示す断面図である。開口部１１内
にシャフト部１０を挿通した状態で、ハブ３２の外周側
面側からネジ穴３３に止めネジ３４を螺挿し、複数の止
めネジ３４によって、開口部１１内にシャフト部１０を
挟着する。シャフト部１０からハブ３２を取り外すに
は、止めネジ３４を緩めることにより、開口部１１内に
おけるシャフト部１０の挟着を解く。

【００４４】なお、止めネジ３４は、六角穴付き止めネ
ジ、すりわり付き止めネジ、四角頭止めネジ等、どのよ
うなものであってもよい。後述する実施の形態５におい
ても同様である。

【００４５】このように本実施の形態４に係るハブ３２
によれば、複数の止めネジ３４によってシャフト部１０
を挟着するため、ハブ３２とシャフト部１０との固定を
簡易に実行することができる。

【００４６】また、上記実施の形態１〜３において用い
られたネジ１３，２２の使用を省略することができ、コ
ストの削減を図ることもできる。

【００４７】実施の形態５．図２２は、本発明の実施の
形態５に係るハブ３５の側面構造を示す側面図である。
本実施の形態５に係るハブ３５は、図１８〜２１に示し
た上記実施の形態４に係るハブ３２を前提として、止め
ネジ３４を螺挿するためのネジ穴を、上下２段構造のネ
ジ穴３３ａ，３３ｂとしたものである。即ち、ネジ穴３
３ａ，３３ｂは、開口部１１に挿通されるシャフト部１
０が延在する方向に関して、複数の箇所に形成されてい
る。ネジ穴３３ａ，３３ｂのそれぞれは、ハブ３５の外
周側面と開口部１１の側面との間でハブ３５の内部を貫
通している。本実施の形態５に係るハブ３５のその他の
構造は、上記実施の形態４に係るハブ３２と同様であ
る。

【００４８】このように本実施の形態５に係るハブ３５
によれば、上記実施の形態４に係るハブ３２を前提とし
て、止めネジ３４を螺挿するためのネジ穴を、上下２段
構造のネジ穴３３ａ，３３ｂとした。従って、ハブ３５
とシャフト部１０との固定を高精度に実行することがで
き、ハブ３５の上面の水平性、ひいてはボート内に保持
されるウェハの水平性を高精度に維持することができ
る。

【００４９】

【発明の効果】この発明のうち請求項１に係るものによ
れば、第１のネジ穴に螺合する第１のネジを、第１の切
り込み側から第２のネジ穴及び第１のネジ穴をこの順に
挿通することによって、第１の片部と第２の片部とを螺
着することができる。従って、ボルト及びナットによる
締め付け作業を行うことなく固定器具をシャフトに固定
することができ、シャフトへの固定器具の取り付け作業
が容易となる。

【００５０】しかも、ボルト及びナットによる締め付け
によって第１の片部と第２の片部とを螺着する従来の固
定器具とは異なり、ナットを取り付けるための切り込み
を第１の片部に設ける必要がないので、固定器具自体の
体積も大きくできる。その結果、固定器具の剛性が大き
くなり、固定器具からの均一な力によってシャフトをシ
ャフト挿通口内に挟着することができる。

【００５１】また、この発明のうち請求項２に係るもの
によれば、固定器具をシャフトから取り外すにあたり、
第１のネジを固定器具から取り外した後、第１のネジ穴
の長さよりも長く、第１のネジ穴に螺合する第２のネジ
を、第２の切り込み側から第１のネジ穴に螺挿するとと
もに、第２のネジ穴の長さよりも長く、第２のネジ穴に
螺合する第３のネジを、第１の切り込み側から第２のネ
ジ穴に螺挿することにより、第２のネジと第３のネジと
が押し合う力によって、シャフト挿通口の側面によるシ
ャフトの挟着を解くことができる。

【００５２】しかも、第１のネジ穴の割り溝側のネジ挿
通口付近に開口部を設けることができ、これにより第２
の片部に第２のネジ穴を形成する際の加工が容易とな
る。

【００５３】また、この発明のうち請求項３に係るもの
によれば、第１のネジ穴のネジ挿通口が第１の面内に含
まれるため、第１の片部と第２の片部とが接触した状態
において、第１のネジ穴のネジ挿通口の周囲の第１の面
は第２のネジ穴に接する。従って、固定器具をシャフト
から取り外すにあたり、第１のネジを固定器具から取り
外した後、第２のネジ穴の長さよりも長く、第２のネジ
穴に螺合する第２のネジを、第１の切り込み側から第２
のネジ穴に螺挿することにより、第２のネジと第１の面
とが押し合う力によって、シャフト挿通口の側面による
シャフトの挟着を解くことができる。

【００５４】また、この発明のうち請求項４に係るもの
によれば、工具を用いて第１及び第２のネジをネジ締め
する際に、その作業スペースを広げることができ、作業
性の向上を図ることができる。

【００５５】また、この発明のうち請求項５に係るもの
によれば、半導体装置製造用のボート装置において、ネ
ジ穴に止めネジを螺挿することよってシャフトを挟着す
ることができ、固定器具とシャフトとの固定及び取り外
しを簡易に実行することができる。

【００５６】また、この発明のうち請求項６に係るもの
によれば、固定器具とシャフトとの固定を高精度に実行
することができる。

【００５７】また、この発明のうち請求項７に係るもの
によれば、第２のネジと第３のネジとが押し合う力によ
って、シャフト挿通口の側面によるシャフトの挟着を解
くことができる。

【００５８】また、この発明のうち請求項８に係るもの
によれば、第２のネジと第１の面とが押し合う力によっ
て、シャフト挿通口の側面によるシャフトの挟着を解く
ことができる。

【００５９】また、この発明のうち請求項９に係るもの
によれば、シャフトと台座とを固定するための固定器具
として、請求項１〜６のいずれか一つに記載の固定器具
を使用する。従って、回転導入端子を交換する際の固定
器具の取り外しが容易であるとともに、この取り外しに
よっても回転導入端子の上面の水平性は維持されるた
め、ボートが保持するウェハの水平性も維持される。

【００６０】また、この発明のうち請求項１０に記載の
ウェハの処理方法によれば、ウェハの水平性を維持しつ
つ、ウェハの処理を実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ボート装置の構成を模式的に示す側面図であ
る。

【図２】 図１に示したボート装置の一部を拡大して示
す斜視図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係るハブの具体的な
構造を示す上面図である。

【図４】 本発明の実施の形態１に係るハブの具体的な
構造を示す側面図である。

【図５】 図４に示したＡ部分の断面構造を示す断面図
である。

【図６】 本発明の実施の形態１に係るハブをシャフト
部に取り付ける方法を順に示すフローチャートである。

【図７】 シャフト部に取り付け完了後の本発明の実施
の形態１に係るハブを示す断面図である。

【図８】 本発明の実施の形態１に係るハブをシャフト
部から取り外す方法を順に示すフローチャートである。

【図９】 図８に示したステップＳ２３終了後の、本発
明の実施の形態１に係るハブ及びシャフト部の状態を示
す断面図である。

【図１０】 本発明の実施の形態１に係るハブにおい
て、第１の片部に形成されるネジ穴の他の構造を示す断
面図である。

【図１１】 本発明の実施の形態２に係るハブの内部構
造を示す断面図である。

【図１２】 本発明の実施の形態２に係るハブをシャフ
ト部に取り付ける方法を順に示すフローチャートであ
る。

【図１３】 シャフト部に取り付け完了後の本発明の実
施の形態２に係るハブを示す断面図である。

【図１４】 本発明の実施の形態２に係るハブをシャフ
ト部から取り外す方法を順に示すフローチャートであ
る。

【図１５】 図１４に示したステップＳ４２終了後の、
本発明の実施の形態２に係るハブ及びシャフト部の状態
を示す断面図である。

【図１６】 本発明の実施の形態３に係るハブの内部構
造を示す断面図である。

【図１７】 本発明の実施の形態３に係るハブの内部構
造を示す断面図である。

【図１８】 本発明の実施の形態４に係るハブの上面構
造を示す上面図である。

【図１９】 本発明の実施の形態４に係るハブの側面構
造を示す側面図である。

【図２０】 図１９に示したＢ部分の断面構造を示す断
面図である。

【図２１】 本発明の実施の形態４に係るハブとシャフ
ト部とを固定した状態を示す断面図である。

【図２２】 本発明の実施の形態５に係るハブの側面構
造を示す側面図である。

【図２３】 従来のボート装置の構造の一部を拡大して
示す斜視図である。

【図２４】 従来のハブの具体的な構造を示す上面図で
ある。

【図２５】 従来のハブの具体的な構造を示す側面図で
ある。

【符号の説明】

２ フランジ、３，２５，２７，３０，３２，３５ ハ
ブ、４ 保温筒受け皿、５ 保温筒、６ ボート、９
磁気シールユニット、１０ シャフト部、１１開口部、
１３，２２ ネジ、１５ 第１の面、１６ 第２の面、
１７ 隙間、１８，１９，２８，２９，３１ 切り込
み、２０，２１，２６，３３，３３ａ，３３ｂ ネジ
穴、３４ 止めネジ。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定対象たるシャフトの径と略同径のシ
   ャフト挿通口と、該シャフト挿通口を割る割り溝とを備
   え、該割り溝を挟んで対峙する第１及び第２の面をそれ
   ぞれ含む第１及び第２の片部を接離させて前記割り溝を
   開閉することにより、前記シャフトを前記シャフト挿通
   口に挿脱したり、前記シャフト挿通口の側面によって前
   記シャフトを挟着することが可能な固定器具であって、 前記第１の片部は、前記第１の面から前記第１の片部内
   に形成された第１のネジ穴を有し、 前記第２の片部は、前記固定器具の外周縁から形成され
   た第１の切り込みと、該第１の切り込みと前記第２の面
   との間で前記第２の片部を貫通する第２のネジ穴とを有
   し、 前記第２のネジ穴の径は、前記第１のネジ穴の径よりも
   大きいことを特徴とする固定器具。
2. 【請求項２】 前記第１の片部は、少なくとも前記固定
   器具の側壁部において、前記固定器具の外周縁から形成
   された第２の切り込みをさらに有し、 前記第１のネジ穴は、前記第１の面と前記第２の切り込
   みとの間で前記第１の片部を貫通する、請求項１に記載
   の固定器具。
3. 【請求項３】 前記第１のネジ穴のネジ挿通口は前記第
   １の面内に含まれる、請求項１に記載の固定器具。
4. 【請求項４】 前記第１のネジ穴の前記第２の切り込み
   側において、作業スペースを広く確保するために前記第
   １の片部に形成された第３の切り込み、及び前記第２の
   ネジ穴の前記第１の切り込み側において、作業スペース
   を広く確保するために前記第２の片部に形成された第４
   の切り込みのうち少なくとも一方をさらに備える、請求
   項１〜３のいずれか一つに記載の固定器具。
5. 【請求項５】 半導体装置製造用のボート装置におい
   て、ボートを載置するための台座と、前記ボートを回転
   するための回転導入端子のシャフトとを互いに固定する
   ための固定器具であって、 前記シャフトの径と略同径のシャフト挿通口と、 前記固定器具の外周側面から前記シャフト挿通口に貫通
   して形成されたネジ穴とを備える固定器具。
6. 【請求項６】 前記ネジ穴は、前記シャフトが延在する
   方向に関して、複数の箇所に形成されていることを特徴
   とする、請求項５に記載の固定器具。
7. 【請求項７】 前記シャフトに固定された請求項２に記
   載の固定器具を、前記シャフトから取り外す方法であっ
   て、 （ａ）前記固定器具から前記第１のネジを取り外す工程
   と、 （ｂ）前記工程（ａ）よりも後に実行され、前記第１の
   ネジ穴の長さよりも長く、前記第１のネジ穴に螺合する
   第２のネジを、前記第２の切り込み側から前記第１のネ
   ジ穴に螺挿する工程と、 （ｃ）前記工程（ａ）よりも後に実行され、前記第２の
   ネジ穴の長さよりも長く、前記第２のネジ穴に螺合する
   第３のネジを、前記第１の切り込み側から前記第２のネ
   ジ穴に螺挿する工程とを備える、固定器具の取り外し方
   法。
8. 【請求項８】 前記シャフトに固定された請求項３に記
   載の固定器具を、前記シャフトから取り外す方法であっ
   て、 （ａ）前記固定器具から前記第１のネジを取り外す工程
   と、 （ｂ）前記工程（ａ）よりも後に実行され、前記第２の
   ネジ穴の長さよりも長く、前記第２のネジ穴に螺合する
   第２のネジを、前記第１の切り込み側から前記第２のネ
   ジ穴に螺挿する工程とを備える、固定器具の取り外し方
   法。
9. 【請求項９】 反応管と、 該反応管の内側に設置され、処理対象たるウェハを保持
   するボートと、 該ボートを載置するための台座と、 前記反応管の内部において前記ボートを回転するための
   回転導入端子と、 前記台座と前記回転導入端子のシャフトとを固定するた
   めの、請求項１〜６のいずれか一つに記載の固定器具と
   を備える半導体製造装置。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の半導体製造装置を用
    いたウェハの処理方法。