JP2000133768A - 半導体パワーモジュール - Google Patents

半導体パワーモジュール

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JP2000133768A JP10305484A JP30548498A JP2000133768A JP 2000133768 A JP2000133768 A JP 2000133768A JP 10305484 A JP10305484 A JP 10305484A JP 30548498 A JP30548498 A JP 30548498A JP 2000133768 A JP2000133768 A JP 2000133768A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 主回路で発生する損失熱を十分に放散できる
と共に、耐ノイズ性に優れ、低コストで製造できる半導
体パワーモジュールを得る。 【解決手段】 金属板2、絶縁層3および銅箔パターン
4からなる絶縁金属基板1における銅箔パターン4に
て、パワー半導体素子20を載置する主回路用パターン
部4aと制御半導体素子21を載置する制御回路用パタ
ーン部4bとを直線状の分離帯を挟んで分離形成し、か
つ、絶縁金属基板1をケース7に収納して樹脂封止した
構造とし、パワー半導体素子20で発生するノイズによ
る制御半導体素子21の誤動作を防止すると共に主回路
と制御回路とを同一平面上に形成することにより部品実
装を容易とし、耐ノイズ性の向上と製造コストの低減を
図った。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体パワーモ
ジュールに関し、特に、その耐ノイズ性を維持しつつ製
造工数低減を可能とする構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】インテリジェントパワーモジュールとし
ての半導体パワーモジュールは、スイッチング等の電力
制御用に供するパワー半導体素子を備える主回路と、該
主回路の動作を制御する制御半導体素子を備える制御回
路とを、1個の装置に組み込んだものであり、主として
モータ等を制御するインバータ等に応用されている。
【0003】図7は従来の半導体パワーモジュールにお
ける回路基板の断面図である。図において、11は主回
路基板であり、熱良導性の金属板12の一主面上に配設
された絶縁層13と、さらにその上に配設された主回路
配線パターン14とからなる。主回路配線パターン14
には、主回路を構成するパワー半導体素子20が載置さ
れ、半田付けされている。
【0004】15は制御回路基板であり、絶縁層13の
主面上における主回路配線パターン14が配設されてい
ない一定の領域に載置されている。制御回路基板15
は、板状の絶縁体である回路基板本体16と、回路基板
本体16の両主面に配設された制御回路配線パターン1
7からなり、制御回路配線パターン17には、制御回路
を構成する制御半導体素子21が載置され、半田付けさ
れている。そして、制御回路基板15は絶縁層13上に
固着されている。
【0005】半導体パワーモジュールは、主回路におい
て発生する損失熱を効果的に、装置の外部に放散する必
要があり、従って、図7に示した従来の半導体パワーモ
ジュールにおいては、大きな電流が流れるパワー半導体
素子20および主回路配線パターン14において発生す
る損失熱は、絶縁層13を介して金属板12に伝わり、
さらに金属板12に接合された外部の放熱機構(図示せ
ず)へと放散される。
【0006】なお、制御半導体素子21はパワー半導体
素子20へ入力する制御信号を発生する制御ICであ
り、微弱な電流が流れるのみであるので、制御回路基板
15は熱を放散するための特別の考慮が不要であり、こ
のため、主回路基板11の絶縁層13の主面上の領域に
制御回路基板15を載置した構造とし、パワー半導体素
子20のスイッチング時に発生するノイズが金属板12
を介して制御半導体素子21へ伝播するのを防止するよ
うになされている。
【0007】しかし、従来の半導体パワーモジュール
は、主回路基板11の上に制御回路基板15を積み重ね
た積層構造を有し、この二つの基板の主面の間に相当の
段差が生じるため、予め二つの基板を積層構造に組んだ
後に、それぞれの基板上にパワー半導体素子20および
制御半導体素子21の実装を一括して行うことが困難で
あり、半導体パワーモジュールを製造する過程におい
て、主回路基板11へのパワー半導体素子20の実装
と、制御回路基板15への制御半導体素子21の実装と
が、別々の工程で行われ、その後で二つの基板が積層構
造に一体化されていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体パワーモ
ジュールとしての半導体パワーモジュールは、以上のよ
うに構成されているので、即ち、主回路基板11の上に
制御回路基板15を積み重ねた積層構造を有するので、
この二つの基板の主面の間に相当の段差を生じ、それぞ
れの基板上にパワー半導体素子の実装と素子の実装とを
一括して行うことが困難であり、これらが別々の工程で
行われていたので、半導体パワーモジュールの製造工程
において多くの工数を要し、それに伴ってコスト高にな
るという問題点があった。
【0009】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたものであり、主回路で発生する損失熱
を十分に放散することができると共に、耐ノイズ性に優
れ、かつ、製造工数が少なく、低コストで製造できる半
導体パワーモジュールを得ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】第1の発明に係わる半導
体パワーモジュールは、金属板の一主面上に配設された
絶縁層上に、パワー半導体素子を載置した複数の主回路
導体領域を有する主回路ブロックおよび制御半導体素子
を載置した複数の制御回路導体領域を有する制御回路ブ
ロックを備えた半導体パワーモジュールにおいて、前記
主回路ブロックおよび前記制御回路ブロックが直線状の
分離帯で分離されると共に、前記パワー半導体素子およ
び前記制御半導体素子が前記直線状の分離帯に略平行に
配列されるように前記複数の主回路導体領域および前記
複数の制御回路導体領域が配設され、かつ、前記複数の
主回路導体領域の一端部が前記直線状の分離帯より離れ
る方向に導出されて主電流入出力用外部リード端子が形
成されたものである。
【0011】第2の発明に係わる半導体パワーモジュー
ルは、第1の発明に係わる半導体パワーモジュールにお
いて、複数の主回路導体領域および複数の制御回路導体
領域がそれぞれリードフレームにて形成され、外部リー
ド端子が前記主回路導体領域および前記制御回路導体領
域と一体のリード群にて形成されたものである。
【0012】第3の発明に係わる半導体パワーモジュー
ルは、第1または第2の発明に係わる半導体パワーモジ
ュールにおいて、主回路ブロックと制御回路ブロックと
を分離する直線状の分離帯上に帯状の導体領域が配設さ
れ、該帯状の導体領域が金属箔パターン若しくはリード
フレームにて形成され、接地し得るように構成されてい
るものである。
【0013】
【発明の実施の形態】実施の形態1.この発明の実施の
形態1を図1〜図3に基づき説明する。図1は半導体パ
ワーモジュールにおける回路基板の平面図、図2は図1
に示した回路基板の断面図、図3は図1に示した半導体
パワーモジュールに載置された三相インバータの回路図
である。図中、従来例と同じ符号で示されたものは従来
例のそれと同一若しくは同等なものを示す。
【0014】図1、図3において、IGBT1〜IGB
T6は絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ(以下、
パワー素子と記す)、D1〜D6はパワー素子IGBT
1〜IGBT6のそれぞれに逆並列に接続されたフライ
ホイルダイオード(以下、ダイオード素子と記す)、I
C1〜IC3はハイサイド側の、IC4はロウサイド側
の制御IC(以下、制御素子と記す)であり、それぞれ
対応するパワー素子IGBT1〜IGBT6のゲートに
接続されている。
【0015】また、図1、図2において、1は絶縁金属
基板であり、金属板2、絶縁層3、銅箔パターン4にて
構成されており、銅箔パターン4は、パワー半導体素子
20を搭載した主回路パターン部4a、制御半導体素子
21を搭載した制御回路パターン部4bからなり、接続
線22〜接続線24により電気的に接続されている。5
は電力用リード、6は制御用リードであり、それぞれの
一端が主回路パターン部4a、制御回路パターン部4b
に半田付けされている。7は絶縁金属基板1やパワー半
導体素子20、制御半導体素子21等を収納するケース
であり、電力用リード5、制御用リード6の他端がケー
ス7を貫通し、外部に露出して外部リード端子を形成し
ている。
【0016】なお、図2に示した回路基板の断面図で
は、図1、図3に示した6個のパワー素子IGBT1〜
IGBT6およびダイオード素子D1〜D6を総称して
パワー半導体素子20として示し、制御用ICである3
個のハイサイド側の制御素子IC1〜IC3、1個のロ
ウサイド側の制御素子IC4を総称して制御半導体素子
21として示している。また、パワー素子IGBT1〜
IGBT6の主電流入力端子P、Nおよび主電流出力端
子U、V、Wを電力用リード5として、制御素子IC1
〜IC3の制御信号入力端子UP、VP、WP、UN、V
N、WNおよび接地用リードGND等を制御用リード6と
して示している。
【0017】また、銅箔パターン4は、パワー半導体素
子20、即ち、パワー素子IGBT1〜IGBT6等が
それぞれ載置され、半田付けされた導体領域およびその
電力入出力部としての導体領域からなる複数の主回路導
体領域を有する主回路ブロックとしての主回路パターン
部4aと、制御半導体素子21、即ち、制御素子IC1
〜IC4がそれぞれ載置され、半田付けされた導体領域
およびその制御信号入力部ならびに電源入力部としての
導体領域からなる複数の制御回路導体領域を有する制御
回路ブロックとしての制御回路パターン部4bとから構
成されている。
【0018】そして、前記主回路ブロックと前記制御回
路ブロック、即ち、主回路パターン部4aと制御回路パ
ターン部4bとは、絶縁金属基板1の一辺に略平行な、
即ち、図1の図面上の中央部上下に設けられた直線状の
分離帯Sで左右に分離して配置されている。
【0019】さらに、パワー半導体素子20としてパワ
ー素子IGBT1〜IGBT6および制御半導体素子2
1としての制御素子IC1〜IC4がそれぞれ前記直線
状の分離帯に略平行に直列に配列されるように前記複数
の主回路導体領域および前記複数の制御回路導体領域が
配設され、かつ、前記複数の主回路導体領域における直
線状の分離帯S側とは反対側の一端部が該直線状の分離
帯より離れる方向、即ち、絶縁金属基板1における前記
直線状の分離帯に平行な周辺側に導出され、その先端部
にパワー素子IGBT1〜IGBT6の主電流入出力用
外部リード端子P、N、U、V、Wが形成されている。
【0020】即ち、主回路パターン部4aおよび制御回
路パターン部4bには、外部と接続のため、その一端部
がそれぞれ絶縁金属基板1の図面左右側の一辺に並列に
配列され、電力用リード5および制御用リード6の一端
部がそれぞれ半田付けにより接合され、他端部が絶縁金
属基板1の端縁からそれぞれ図面上左右に突出し、ケー
ス7を貫通して外部に露出し、外部リード端子を形成し
ている。なお、絶縁金属基板1を収納したケース7内は
樹脂封止されている。
【0021】以上の構成により、制御素子IC1〜IC
4が外部からの信号を受け、駆動信号を対応するパワー
素子IGBT1〜IGBT6に出力し、各パワー素子I
GBT1〜IGBT6が前記駆動信号の入力により、端
子P、Nからの直流入力をON、OFFし、端子U、
V、Wより負荷である三相モータ(図示せず)に任意の
周波数の交流出力を供給する。即ち、制御素子IC1、
制御素子IC4が外部制御信号の入力により対応するパ
ワー素子IGBT1、パワー素子IGBT4へそれぞれ
駆動信号を出力し、これらの駆動信号の入力によりパワ
ー素子IGBT1がON、パワー素子IGBT4がOF
Fすることにより、端子Pから入力された主電流が端子
Uを介して三相モータ(図示せず)へ出力される。
【0022】図1から明白であるように、パワー素子I
GBT1〜IGBT6の電流経路は、主回路パターン部
4aと制御回路パターン部4bとが入れ子にならないよ
うに直線状の分離帯Sで図面上左右に2分割し、相互に
離して配置したので、制御素子IC1〜IC4から隔た
っている。また、パワー素子IGBT1〜IGBT6を
直線状の分離帯Sに略平行に直列に配列するように前記
複数の主回路導体領域を配設し、それらの一端部を直線
状の分離帯Sより離れる方向に導出してパワー素子IG
BT1〜IGBT6の主電流入出力用外部リード端子
P、N、U、V、Wを形成すると共に、ハイサイド側の
パワー素子IGBT1〜IGBT3とローサイド側のパ
ワー素子IGBT4〜IGBT6との接続線22が直線
状の分離帯Sに対してできるだけ直交する配置となるよ
うに考慮した。
【0023】また、制御素子IC1〜IC4も直線状の
分離帯Sに略平行に直列に配列するように前記複数の制
御回路導体領域を配設し、制御素子IC1〜IC4が対
応する制御対象のパワー素子IGBT1〜IGBT6と
の隔離距離を略等しくすると共に、できるだけ隔離され
るように考慮した。さらに、パワー素子IGBT1〜I
GBT6と制御素子IC1〜IC4とを接続する接続線
23は電気信号のみ伝達するものであり、前記主回路の
電流経路とは交叉しないように配線した。
【0024】以上の結果として、制御素子IC1〜IC
4に対するパワー素子IGBT1〜IGBT6のON、
OFFに伴って発生するノイズの影響を少なくすること
ができた。即ち、パワー半導体素子20は制御半導体素
子21からの制御信号の入力により、高速でON、OF
Fのスイッチングを繰り返し、この際の急峻な電流変化
di/dtにより、パワー半導体素子20及び主回路パ
ターン部4aの周辺にノイズが発生するが、上記一連の
処置により、金属板2を介して制御半導体素子21への
前記ノイズの伝播が阻止される。
【0025】以上のように、実施の形態1においては、
銅箔パターン4を主回路パターン部4a、制御回路パタ
ーン部4bにて構成すると共にこれらを直線状の分離帯
Sで分離し、信号伝達線の配線等を前記主回路の電流経
路と交叉させない等の配慮により、図7に示した従来の
ものと比較して、耐ノイズ性を維持しつつ、積層構造を
有せず、構造が簡単のために製造工数を低減でき、さら
に、前記直線状の分離帯が存在するも、図1に示したご
とく主回路パターン部4aおよび制御回路パターン部4
bのそれぞれを構成する各導体領域を相互に接近して配
置したことにより銅箔パターン4の、即ち、絶縁金属基
板1の省スペース化を図れ、小型で安価な半導体パワー
モジュールが得られる。
【0026】実施の形態2.この発明の実施の形態2を
図4に基づき説明する。図4は半導体パワーモジュール
における回路基板の断面を示す図である。図において、
1Aは絶縁金属基板、8は絶縁層3に接着されたリード
フレームであり、絶縁金属基板1Aは金属板2、絶縁層
3およびリードフレーム8にて構成されている。
【0027】また、リードフレーム8は、パワー半導体
素子20が載置され、半田付けされた導体領域としての
主回路リード部8aと、制御半導体素子21が載置さ
れ、半田付けされた導体領域としての制御回路リード部
8bとから構成され、主回路リード部8aと制御回路リ
ード部8bとは直線状の分離帯Sで分離配置されてい
る。そして、主回路リード部8aには絶縁金属基板1A
の端縁から突出した電力入出力部としての電力用リード
8cが、制御回路リード部8bには同じく、制御信号入
力部ならびに電源入力部としての制御用リード8dが一
体に形成されている。
【0028】即ち、直線状の分離帯Sを挟んで、主回路
リード部8aが金属絶縁基板1Aにおける図面左側に、
制御回路リード部8bが図面右側に配設され、また、主
回路リード部8aおよび制御回路リード部8bには絶縁
金属基板1Aの端縁からそれぞれ左右に突出した電力用
リード8cおよび制御用リード8dが形成され、接続線
22〜24により電気的に接続されている。なお、電力
用リード8cおよび制御用リード8dは絶縁金属基板1
Aを収納したケース(図示せず)を貫通し、外部に露出
して外部リード端子を形成している。
【0029】図2に示した実施の形態1のものとの相違
は、実施の形態1のものにおける銅箔パターン4、電力
用リード5および制御用リード6の代わりに、これらを
一体にリードフレーム8で構成し、金属板2上の絶縁層
3に接着した点にあり、その他の構成は実施の形態1の
ものと同じであり、実施の形態1のものと同様に耐ノイ
ズ性を確保しつつ、主回路リード部8aと電力用リード
8c、制御回路リード部8bと制御用リード8dが一体
構造であり、製造工数をさらに低減でき、安価に製造で
きるものが得られる。
【0030】実施の形態3.この発明の実施の形態3を
図5、図6に基づき説明する。図5は半導体パワーモジ
ュールにおける回路基板の平面図、図6は図5に示した
回路基板の断面図である。図5、図6において、1Bは
絶縁金属基板であり、金属板2、絶縁層3、銅箔パター
ン4Bにて構成されている。銅箔パターン4Bは、主回
路パターン部4aと、制御回路パターン部4bと、主回
路パターン部4aと制御回路パターン部4bとの間の直
線状の分離帯S上に設けられたGND領域としてのGN
D用パターン部4cとから構成されている。即ち、GN
D用パターン部4cは直線状の分離帯上に配設され、そ
の端子GNDが接地し得るように構成される。そして、
主回路パターン部4aと制御回路パターン部4bとは、
少なくとも、GND用パターン部4cの幅に相当する所
定の間隔だけ相互に離して配置されている。
【0031】図1、図2に示した実施の形態1としての
半導体パワーモジュールとの相違点は、主回路パターン
部4aと制御回路パターン部4bとが図面上左右に分離
する直線状の分離帯S上にGND領域としてのGND用
パターン部4cが挿入、配置されている点にあり、その
他の構成は実施の形態1のものと同一である。したがっ
て、実施の形態3においては、実施の形態1のものが有
する効果に加えるに、GND用パターン部4cを挿入
し、これを接地することにより、制御半導体素子21へ
の前記ノイズの伝播の阻止効果が増大し、耐ノイズ性の
極めて優れたものが得られる。
【0032】なお、実施の形態3においては、GND用
パターン部4cを主回路パターン部4aおよび制御回路
パターン部4bと共に銅箔パターン4Bで形成したが、
これを、図4に示した実施の形態3における主回路リー
ド部8aおよび制御回路リード部8bと共にリードフレ
ーム8で形成しても同様なノイズ伝播の阻止効果が得ら
れる。
【0033】また、実施の形態3においては、GND用
パターン部4cに専用の接地端子GNDを設けたが、こ
の専用の接地端子GNDは必ずしも必要でなく、直線状
のGND用パターン部4cにおける両端部を絶縁層3に
形成したスルーホール(図示せず)を介して金属板2と
直接接続し、該金属板2を介して接地しても同様な効果
が得られる。
【0034】なお、実施の形態1〜実施の形態3におい
て、制御半導体素子21として裸のチップを用いたが、
制御半導体素子21は裸のチップに限定されるものでは
なく、パッケージされたICであってもよい。
【0035】また、実施の形態1〜実施の形態3におい
て、電力用リード5、8cおよび制御用リード6、8d
等を絶縁金属基板1、1A、1B等の端縁からそれぞれ
図面上左右に突出させ、ケース7等の側壁を貫通させた
ものを例示したが、電力用リード5、8cおよび制御用
リード6、8d等は、ケース(図示せず)内にて折曲
げ、該ケースの開口面より外部に露出させ、外部リード
端子を形成してもよいことは言うまでもない。
【0036】
【発明の効果】第1の発明によれば、金属板の一主面上
に配設された絶縁層上において、パワー半導体素子を載
置した複数の主回路導体領域からなる主回路ブロックと
制御半導体素子を載置した複数の制御回路導体領域から
なる制御回路ブロックとの間を直線状の分離帯で分離す
ると共に、前記パワー半導体素子および前記制御半導体
素子が前記直線状の分離帯に略平行に配列されるように
前記複数の主回路導体領域および前記複数の制御回路導
体領域を配設し、かつ、前記複数の主回路導体領域の一
端部を前記直線状の分離帯より離れる方向に導出して主
電流入出力用外部リード端子を形成したので、前記パワ
ー半導体素子で発生するノイズの前記制御半導体素子へ
の伝播を阻止すると共に、前記パワー半導体素子および
前記制御半導体素子を同一平面上に配設して部品実装を
容易とし、さらに、前記直線状の分離帯が存在するも各
ブロック内においては各導体領域を接近して配置したこ
とにより、耐ノイズ性を維持しつつ小型で安価な半導体
パワーモジュールが得られる効果がある。
【0037】また、第2の発明によれば、第1の発明に
よる半導体パワーモジュールにおける複数の主回路導体
領域および複数の制御回路導体領域をそれぞれリードフ
レームにて形成し、リード群で主電流の入出力端子部を
形成したので、前記主回路導体領域および制御回路導体
領域とそれぞれの外部リード端子とが一体のシンプルな
構造であり、製造工数を低減でき、さらに生産性の優れ
た半導体パワーモジュールが得られる効果がある。
【0038】また、第3の発明によれば、第1または第
2の発明による半導体パワーモジュールにおける主回路
ブロックと制御回路ブロックとを分離する直線状の分離
帯上に、金属箔パターン若しくはリードフレームにて形
成すると共に接地し得るように構成した帯状の導体領域
を形成したので、主回路で発生するノイズによる制御回
路の誤動作をより確実に防止できる耐ノイズ性が優れた
半導体パワーモジュールが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1としての半導体パワ
ーモジュールにおける回路基板の平面図である。
【図2】 図1に示した回路基板の断面図である。
【図3】 図1に示した半導体パワーモジュールに載置
された三相インバータの回路図である。
【図4】 この発明の実施の形態2としての半導体パワ
ーモジュールにおける回路基板の断面図である。
【図5】 この発明の実施の形態3としての半導体パワ
ーモジュールにおける回路基板の平面図である。
【図6】 図5に示した回路基板の断面図である。
【図7】 従来の半導体パワーモジュールにおける回路
基板の断面図である。
【符号の説明】
1、1A、1B 絶縁金属基板、2 金属板、3 絶縁
層、4、4B 銅箔パターン、4a 主回路パターン
部、4b 制御回路パターン部、4c GND用パター
ン部、5 制御用リード、6 電力用リード、7 ケー
ス、8 リードフレーム、20 パワー半導体素子、2
1 制御半導体素子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属板の一主面上に配設された絶縁層上
    に、パワー半導体素子を載置した複数の主回路導体領域
    を有する主回路ブロックおよび制御半導体素子を載置し
    た複数の制御回路導体領域を有する制御回路ブロックを
    備えた半導体パワーモジュールにおいて、前記主回路ブ
    ロックおよび前記制御回路ブロックは直線状の分離帯で
    分離されると共に、前記パワー半導体素子および前記制
    御半導体素子が前記直線状の分離帯に略平行に配列され
    るように前記複数の主回路導体領域および前記複数の制
    御回路導体領域が配設され、かつ、前記複数の主回路導
    体領域の一端部が前記直線状の分離帯より離れる方向に
    導出されて主電流入出力用外部リード端子が形成された
    ことを特徴とする半導体パワーモジュール。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体パワーモジュー
    ルにおいて、複数の主回路導体領域および複数の制御回
    路導体領域はそれぞれリードフレームにて形成され、外
    部リード端子が前記主回路導体領域および前記制御回路
    導体領域と一体のリード群にて形成されたことを特徴と
    する半導体パワーモジュール。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の半導体
    パワーモジュールにおいて、主回路ブロックと制御回路
    ブロックとを分離する直線状の分離帯上に帯状の導体領
    域が配設され、該帯状の導体領域が金属箔パターン若し
    くはリードフレームにて形成され、接地し得るように構
    成されていることを特徴とする半導体パワーモジュー
    ル。
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