JP2000117666A - 直動アクチュエータ - Google Patents

直動アクチュエータ

Info

Publication number
JP2000117666A
JP2000117666A JP10288015A JP28801598A JP2000117666A JP 2000117666 A JP2000117666 A JP 2000117666A JP 10288015 A JP10288015 A JP 10288015A JP 28801598 A JP28801598 A JP 28801598A JP 2000117666 A JP2000117666 A JP 2000117666A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
pair
carriers
carrier
bracket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10288015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3674338B2 (ja
Inventor
Naoki Igai
直樹 猪貝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP28801598A priority Critical patent/JP3674338B2/ja
Publication of JP2000117666A publication Critical patent/JP2000117666A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3674338B2 publication Critical patent/JP3674338B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】一対のZ軸ガイドの取付け誤差や運動誤差を吸
収できると共に上記Z軸キャリアの同期が崩れた場合で
あってもX軸ガイド取付け部の損傷・破損を防止するこ
とができる直動アクチュエータを提供することを課題と
している。 【解決手段】X軸ガイド3を、第1のZ軸キャリア2a
に対し、剛の第1のブラケット4を介してベアリング支
持させ、第2のZ軸キャリア2bに対し、柔構造の第2
のブラケット5を介して支持させる。さらに、上記一対
のZ軸キャリア2a,2b間にビーム材7を横架する。
そのビーム材7は、中央部位置で分断されていて、その
対向する一対の分断面は、所定間隙を持って非接触状態
となっていると共に凹部7a及び凸部7bによって、Z
軸方向からみて対向する面を持つ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、Z軸2軸の間にX
軸1軸を配置した直交座標系の3軸組合せロボットモジ
ュールなどの直動アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の2軸同期型の直動アクチュエータ
は、例えば図2に示すような構成となっている。
【0003】すなわち、所定間隔を開けて一対のZ軸ガ
イド50が並立し、その各Z軸ガイド50に沿って一対
のZ軸キャリア51が同期をとって移動可能となってい
る。その一対のZ軸キャリア51間に、X軸ガイド52
が水平に架設され、そのX軸ガイド52に沿ってX軸キ
ャリア53が直線駆動されるようになっている。
【0004】そして、上記各Z軸キャリア51は、一対
のサーボモータ等を駆動源として駆動され、その二つの
Z軸キャリア51が同期して平行移動するように制御さ
れることで、X軸ガイド52(X軸キャリア53)は水
平状態を維持したままZ軸方向に移動する。
【0005】ここで、上記図2に示す直動アクチュエー
タにおけるZ軸キャリア51とX軸ガイド52との取付
け構造は、2つのZ軸ガイド50の取付け誤差を吸収す
るために、X軸ガイド52の各端部は、一方のZ軸ガイ
ド50には剛に結合(図2中右側)されると共に、片方
のZ軸ガイド50にはピン支持(図2中左側)で接続し
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ここで、停電やモータ
及び制御部の故障などよって上記2つのモータのブレー
キタイミングがずれたり一方のモータのブレーキだけが
効かなくなったりすると、ブレーキが効かなくなかった
側のZ軸キャリア51だけが自重落下し、その自重を受
けつつX軸ガイド52が傾く。
【0007】すると、上記のような従来の直動アクチュ
エータでは、上記剛結合したX軸ガイド52とZ軸キャ
リア51との取付け部に大きなモーメントが入力され
て、当該取付け部が損傷・破損する恐れがある。上記取
付け部に損傷・破損が生じると、アクチュエータの位置
決め精度が劣化したり作動不能となる。さらに、場合に
よってはX軸ガイド52やX軸キャリア53が落下して
しまうという問題がある。
【0008】また、正常運転時であっても、上記二つの
Z軸キャリア51を駆動するモータの発生トルク差等に
よる微少な同期不一致から、剛結合側のZ軸ガイド50
に繰り返してモーメントが入力されて、装置の寿命低下
の一因となったり、その分だけZ軸ガイド50などの剛
性を高く設定するなどして装置を大型化する必要があっ
たりする。
【0009】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、一対のZ軸ガイドの取付け誤差や運動
誤差を吸収できると共に上記Z軸キャリアの同期が崩れ
た場合であってもX軸ガイド取付け部の損傷・破損を防
止することができる直動アクチュエータを提供すること
を課題としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、平行な一対のZ軸ガイドにそれぞれ案内
されて同期をとって直線移動する一対のZ軸キャリア
と、上記一対のZ軸キャリアに支持されてZ軸と直交す
るX軸方向に延在する第1のビーム材とを備えた直動ア
クチュエータにおいて、上記第1のビーム材は、上記Z
軸キャリアにそれぞれブラケットを介して取り付けら
れ、さらに、上記一対のZ軸キャリア間に第2のビーム
材が横架され、その第2のビーム材は、延在方向途中位
置で分断されていて、その対向する一対の分断面は、所
定間隙を持って非接触状態となっていると共にZ軸方向
からみて対向する面を備えることを特徴とする直動アク
チュエータを提供するものである。
【0011】本発明によれば、一対のZ軸キャリアの同
期が大きく崩れると、第1のビーム材はZ軸方向に傾こ
うとする。
【0012】このとき、そのままでは、ベアリング支持
部等のZ軸キャリアと第1のビーム材との取付け部に大
きな負荷が掛かって破損・損傷するおそれがあるが、本
発明では、2つのZ軸キャリアの相互高さがずれると、
第2のビーム材の分割面におけるZ軸方向からみて対向
する面同士が当接し、当該第2のビーム材によって、そ
れ以上のZ軸キャリア間の相互高さ位置のずれが規制さ
れ、上記第1のビーム材の各Z軸キャリア又は各ブラケ
ットへの取付け部の損傷・破損が防止される。
【0013】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照しつつ説明する。
【0014】なお、本実施形態では、上下垂直方向をZ
軸方向として説明する。
【0015】まず構成について説明すると、図1に示す
ように、Z軸方向に軸を向けた2本のZ軸ガイド1a,
1bが互いに所定間隔を開けて配設され、各Z軸ガイド
1a,1bには、それぞれ当該Z軸ガイド1a,1bに
案内されて直進移動するZ軸キャリア2a,2bが配設
されている。その各Z軸キャリア2a,2bは、リニア
ガイドやボールネジ等の公知の直線駆動機構(不図示)
によって、上記Z軸ガイド1a,1bに沿って直進移動
するようになっている。
【0016】ここで、下記の説明では、図1中左側のZ
軸ガイド1a及びZ軸キャリア2aを、第1のZ軸ガイ
ド及び第1のZ軸キャリアと、図1中右側のZ軸ガイド
1b及びZ軸キャリア2bを、第2のZ軸ガイド1b及
び第2のZ軸キャリア2bと呼んで両者1a,1b,2
a,2bを区別する。
【0017】そして、2つのZ軸ガイド1a,1bの間
に、第1のビーム材であるX軸ガイド3が水平に(X方
向に延在して)配置され、該X軸ガイド3の各端部は、
第1のブラケット4又は第2のブラケット5を介して各
Z軸キャリア2a,2bにそれぞれ取り付けられてい
る。
【0018】第1のZ軸キャリア2aに取り付けられた
第1のブラケット4は、当該Z軸キャリア2a位置から
下方に延在し、且つ本体が横断面T字形状となってい
る。すなわち、第1のブラケット4は、第1のZ軸キャ
リア2aに直接固定されて下方に延びる第1の板部材4
aと、その第1の板部材4aの側端面に突合せ溶接等で
一体的に固定され、第1のZ軸ガイド1aにおける第2
のZ軸ガイド1bと対向する面に沿って下方に延びる第
2の板部材4bとを備え、さらに補強板4dで補強され
て剛性が高く設定されている。
【0019】上記第2の板部材4bは縦断面L字形状と
なっていて、その下部の水平部分が、第2のZ軸ガイド
1b側に突出して取付け部4cを形成し、その取付け部
4cに、X軸ガイド3の一端部が、軸を上下に向けた軸
受8によってベアリング支持されている。なお、上記第
2の板部材4bの垂直部の厚みは19mmと厚く設定され
て撓み発生が防止されている。
【0020】また、第2のブラケット5は、縦断面L字
形状の板部材であって、垂直部5aの上部が第2のZ軸
キャリア2bに固定されて下方に延び、その垂直部5a
の下端部に連続する水平部5bが、第1のZ軸ガイド1
a側に突出している。このように第2のZ軸キャリア2
bに取り付けられることで、第2のブラケット5は、片
持ち支持状態となり、垂直部5aがZ軸に直交する方向
への撓むことで、X軸ガイド3を取り付ける水平部5b
がZ軸と直交する方向に移動することが許容されている
と共に、上記第2のZ軸キャリア2bへの取付け点周り
に、垂直部5aが撓むことで水平部5bが上下方向に若
干傾くことが許容されている。
【0021】そして、その水平部5bにX軸ガイド3の
他端部が取り付けられている。
【0022】なお、図1中、符号6は、X軸ガイド3に
沿って移動するX軸キャリアを表す。
【0023】また、左右のZ軸キャリア2a,2bの高
さとほぼ同じ高さで、上記左右のブラケット4,5間に
第2のビーム材7が横架されている。その第2のビーム
材7は、その延在方向中央部で分断されている(図1
中、符号A部分)。その分断による一対の分断面は、互
いに所定の隙間を有して非接触状態となり、一方の分断
面の中央部に凹部7aが形成され、他の分断面には、そ
の中央部に上記凹部7aに遊嵌可能な凸部7bが形成さ
れて、もって上記凹部7a内に上記凸部7bが所定の隙
間を持ってはめ込まれている。
【0024】ここで、上記凹部7aの上下の面及び上記
凸部7bの上下の面が、それぞれ、Z軸方向からみて対
向する面を形成する。なお、この対向する面は、Z軸に
直交する水平面である必要はなく、傾斜していてもよ
い。要は、Z軸方向からみて対向していればよい。ま
た、分断位置も中央部に限定されず、一方のZ軸ガイド
1a,1b寄りであってもよい。但し、分断位置は、凹
部7aと凸部7bが接触した場合にそれぞれのZ軸ガイ
ド1a及び1bが受けるモーメントを小さくする点か
ら、中央部であることが望ましい。
【0025】次に、上記構成の直動アクチュエータの作
用・効果等について説明する。
【0026】上記構成では、X軸ガイド3の一端部が、
剛的な第1のブラケット4と上下軸周りの回動を許容す
る軸受8を介して第1のZ軸キャリア2aに取り付けら
れていると共に、X軸ガイド3の他端部が、Z軸と直交
する方向に水平部5bの移動が許容された第2のブラケ
ット5を介して、第2のZ軸キャリア2bに取り付けら
れる。
【0027】この結果、2つのZ軸ガイド1a,1bに
多少の取付け誤差があっても、その誤差を、上記ブラケ
ット4,5へのX軸ガイド3の取付け構造によって、吸
収することができる。
【0028】例えば、Z軸ガイド1a,1b間のスパン
が所望寸法よりも若干長かったり短かったりしても、第
2のブラケット5の垂直部5aがX方向に撓むことで吸
収される。もっとも、第2のブラケット5の水平部5b
に対しX方向に長径を向けた長穴を設けて、X軸方向へ
の取り付け位置を調整できるようにしておけば、第2の
ブラケット5の垂直部5aが撓ました状態で取り付けら
れることはない。
【0029】また、上記2つのZ軸ガイド1a,1bが
Y軸方向に若干オフセットしていても、X軸ガイド3の
一端部が第1のブラケット4にベアリング支持されて、
当該一端部周りに、X軸ガイド3の端部はX−Y平面で
回動でき、また、第2ブラケットの水平部5bも若干Z
軸周りにも撓み可能であるので、上記Y軸方向の取付け
誤差も吸収できる。もっとも、X軸ガイド3の第2のブ
ラケット5への取付けを軸を上下にしたピン接合又はボ
ルト接合とすれば、2つのZ軸ガイド1a,1bにY軸
方向の取付け誤差があっても、第2のブラケット5に撓
みが生じることが防止される。
【0030】そして、上記構成の直動アクチュエータで
は、一対のサーボモータ等の駆動源によって、一対のZ
軸キャリア2a,2bが同期して昇降することで、X軸
ガイド3も水平状態を保持したまま昇降する。
【0031】この正常運転時であっても、常時、モータ
の発生トルク差などによって、2つのZ軸キャリア2
a,2bの相対高さ位置に若干のオフセットが生じた
り、他の機器からの振動入力などで、2つのZ軸ガイド
1a,1bがX−Y方向にオフセットする(拗れる)よ
うに振動する場合がある。
【0032】このとき、従来にあっては、このオフセッ
ト量や発生トルク差に応じたモーメントがZ軸ガイドに
負荷される。
【0033】これに対して、本実施形態では、2つのZ
軸キャリア2a,2b間の軽微な上下方向や水平方向の
各オフセットは、第1のブラケット4側は、軸受8の回
動で水平方向(X−Y平面)のオフセットが、ベアリン
グの調心作用で上下方向のオフセットがそれぞれ吸収さ
れ、また、第2のブラケット5は、撓むことで吸収され
て、Z軸ガイド1a,1bにはモーメントが負荷されな
いか微少である。この結果、従来と比較して、通常時に
Z軸ガイド1a,1bやZ軸キャリア2a,2bとX軸
ガイド3との取付け部に負荷される荷重が小さくなっ
て、装置の寿命が向上する。
【0034】また、サーボモータ等の故障や停電など
で、一方のZ軸キャリア2a,又は2bだけが自重落下
したり、一方のZ軸キャリア2a,又は2bが停止して
いるもの関わらず他方のZ軸キャリア2b,又は2aが
作動し続けるように、2つのZ軸キャリア2a,2b間
の同期が崩れると、そのままでは、X軸ガイド3が上下
に大きく傾いてベアリング支持部等の取付け部が破損す
るおそれがあるが、本実施形態では、正常運転で許容さ
れている以上にX軸ガイド3が上下に傾くと、第2のビ
ーム材7の分断面における凹部7aと凸部7bとがZ軸
方向で当接して、それ以上のZ軸キャリア2a,2bの
相互高さずれが規制され、すなわち、X軸ガイド3が少
しだけしか傾くことができず、上記ベアリング支持部等
の破損・損傷の発生が回避される。
【0035】ここで、図1及び図2に示すように諸元値
を設定した場合に、上記のように第1のZ軸キャリア2
aだけがサーボオフしてブレーキが効かなくなって自重
落下した場合を想定すると、上記従来例の直動アクチュ
エータ(図2参照)にあっては、第2のZ軸ガイド50
には、30kg×1.8m十60kg×1.0m=11
4kg・mのモーメントが加わる。
【0036】これに対し、本実施形態の直動アクチュエ
ータでは、X軸が同じ位置で、第2のZ軸ガイド1bに
加わるモーメントは、(30kg+60kg/2+5k
g)×1m+5kg×0.5m=67.5kg・mと小
さい値となり、有利なことが分かる。
【0037】さらに、片側のZ軸キャリア用のモータが
ロックし他方のZ軸キャリア用のモータ推力によりZ軸
がこじられる場合、従来例では推力×2mのモーメント
が発生するのに対し、本考案では推力×1mと半分に軽
減される。
【0038】以上のように、本実施形態の直動アクチュ
エータの構成を採用すると、Z軸ガイド1a,1bの取
付け誤差の許容が広がるばかりか、Z軸ガイド1a,1
bのモーメントに対する許容値を従来構造に比べ大幅に
小さくすることができ、低価格化、小型化が可能とな
る。
【0039】ここで、上記説明では、Z軸キャリア2
a,2bの高さ位置よりも下側にX軸ガイド3を配置し
てX軸ガイド3の上側に第2のビーム材7がある構成で
説明したが、これに限定されない。例えば、各ブラケッ
ト4,5を、Z軸キャリア2a,2bの高さ位置から上
方に延在させて、Z軸キャリア2a,2bの高さ位置よ
りも上側にX軸ガイド3を配置してもよい。または、Z
軸キャリア2a,2b位置からY軸方向へ水平にブラケ
ット4,5を張り出して、Z軸キャリア2a,2bの側
方にX軸ガイド3が配置するようにしてもよい。
【0040】また、上記第2のビーム材7の分断面位置
Aに、当該分断面の接触の有無を検知するスイッチ若し
くはセンサを設けておき、X軸ガイド3が許容以上に傾
いて第2のビーム材7の分断面が当接したら、モータ動
力を遮断してブレーキを作動させてそれ以上の負荷が掛
からないようにしてもよい。
【0041】または、第2のビーム材7の分断面同士の
接触圧又は隙間(接近距離)を2段階以上のレベルで方
向も含め検出するスイッチ若しくはセンサを設けておい
て、例えば、l段目のスイッチONとなったら、動作
が速いほうのZ軸電流制限値を小さくし動作を遅くして
同期をとらせ、さらに2段目のスイッチONとなった
ら、モータ動力を遮断しブレーキを作動させる、などの
制御を行うように構成してもよい。
【0042】また、本発明に係る直動アクチュエータ
は、Z軸ガイド1a,1bが上述のように上下方向に設
定される場合に、特に有効な構造であるが、Z軸ガイド
1a,1bが水平方向に設定されていても、上述の作用
・効果をもつ。
【0043】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の直動
アクチュエータを採用すると、故障等によって2つのZ
軸キャリアの同期が崩れても、第2のビーム材でX軸ガ
イドのZ軸方向の傾きを小さく規制できるので、X軸ガ
イドとZ軸キャリアとの間の取付け部の破損・損傷が防
止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る直動アクチュエータ
を示す正面図である。
【図2】従来の直動アクチュエータを示す正面図であ
る。
【符号の説明】
A ビーム材の分断部分 1a,1b Z軸ガイド 2a,2b Z軸キャリア 3 X軸ガイド(第1のビーム材) 4 第1のブラケット 4a 第1の板部材 4b 第2の板部材 4c 取付け部 4d 補強板 5 第2のブラケット 5a 垂直部 5b 水平部 6 X軸キャリア 7 第2のビーム材 7a 凹部 7b 凸部 8 軸受

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平行な一対のZ軸ガイドにそれぞれ案内
    されて同期をとって直線移動する一対のZ軸キャリア
    と、上記一対のZ軸キャリアに支持されてZ軸と直交す
    るX軸方向に延在する第1のビーム材とを備えた直動ア
    クチュエータにおいて、 上記第1のビーム材は、上記Z軸キャリアにそれぞれブ
    ラケットを介して取り付けられ、さらに、上記一対のZ
    軸キャリア間に第2のビーム材が横架され、その第2の
    ビーム材は、延在方向途中位置で分断されていて、その
    対向する一対の分断面は、所定間隙を持って非接触状態
    となっていると共にZ軸方向からみて対向する面を備え
    ることを特徴とする直動アクチュエータ。
JP28801598A 1998-10-09 1998-10-09 直動アクチュエータ Expired - Fee Related JP3674338B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28801598A JP3674338B2 (ja) 1998-10-09 1998-10-09 直動アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28801598A JP3674338B2 (ja) 1998-10-09 1998-10-09 直動アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000117666A true JP2000117666A (ja) 2000-04-25
JP3674338B2 JP3674338B2 (ja) 2005-07-20

Family

ID=17724713

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28801598A Expired - Fee Related JP3674338B2 (ja) 1998-10-09 1998-10-09 直動アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3674338B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014188694A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Seiko Epson Corp 印刷装置
JP2016036880A (ja) * 2014-08-08 2016-03-22 村田機械株式会社 ワーク搬送装置及び工作機械
WO2019186753A1 (ja) * 2018-03-28 2019-10-03 株式会社Fuji 作業機
CN112207824A (zh) * 2020-09-22 2021-01-12 慧灵科技(深圳)有限公司 多个单轴模组的控制方法、系统、装置及存储介质

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014188694A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Seiko Epson Corp 印刷装置
JP2016036880A (ja) * 2014-08-08 2016-03-22 村田機械株式会社 ワーク搬送装置及び工作機械
WO2019186753A1 (ja) * 2018-03-28 2019-10-03 株式会社Fuji 作業機
CN112207824A (zh) * 2020-09-22 2021-01-12 慧灵科技(深圳)有限公司 多个单轴模组的控制方法、系统、装置及存储介质
CN112207824B (zh) * 2020-09-22 2022-07-01 慧灵科技(深圳)有限公司 多个单轴模组的控制方法、系统、装置及存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
JP3674338B2 (ja) 2005-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100622612B1 (ko) 하나 이상의 광학소자를 갖는 광학 결상 장치
US6020710A (en) Exposure method, and method of making exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame
US7519157B2 (en) Systems, methods and apparatus for attachment of an X-ray tube to an X-ray tube collimator frame
JP2007242034A (ja) 位置決め装置及び位置決め方法
EP3127663B1 (en) Industrial robot and frame unit thereof
JP2008060614A (ja) ステージ装置
EP0443831B1 (en) Motion guiding device
JP2000117666A (ja) 直動アクチュエータ
JP2008076415A (ja) ステージ装置
WO2014021471A1 (en) Active anti-vibration apparatus, anti-vibration method, processing device, inspection device, exposure device, and workpiece manufacturing method
JP5170077B2 (ja) 精密位置決め装置
US20130044306A1 (en) Exposure apparatus and method of manufacturing device
JP5440924B2 (ja) 搬送装置の支持構造
JP2002189091A (ja) X−yステージ装置
JP3540239B2 (ja) ステージ装置
JP4585018B2 (ja) ステージ装置
JP2000100856A (ja) Xy移動テーブル装置
JPH0885026A (ja) 門型駆動装置
CN215118863U (zh) 一种柔性装置及xy向运动平台
JP2617342B2 (ja) ワイヤ放電加工機のガイドアーム支持機構
WO2021229783A1 (ja) コンベアテーブル移載装置、搬送システムおよびコンベアテーブル移載方法
JP2001261263A (ja) エレベータの制振装置
KR102060323B1 (ko) 4축 얼라인 스테이지 시스템
JP2006142398A (ja) 直動ステージ装置
JP4784905B2 (ja) Xy位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041224

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050405

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050418

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees