CN215118863U - 一种柔性装置及xy向运动平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于集成电路设备技术领域，公开了一种柔性装置及XY向运动平台，柔性装置包括柔性元件、弹性件以及限位元件，柔性元件包括X向安装部和Y向安装部，X向安装部与Y向安装部通过多个弹性件连接；弹性件包括间隔排列的至少二个加强部和至少一个形变部，形变部用于连接相邻两个加强部，相互连接的多个加强部的两端分别连接于X向安装部和Y向安装部；限位元件包括设置于X向安装部的限位凸部和设置于Y向安装部的限位槽，或者设置于X向安装部的限位槽和设置于Y向安装部的限位凸部，限位凸部和限位槽对应相互配合，限位凸部延伸至限位槽内，且在预设状态限位凸部的外壁不抵接于限位槽的内壁。

Description

一种柔性装置及XY向运动平台

技术领域

本实用新型涉及集成电路设备技术领域，尤其涉及一种柔性装置及XY向运动平台。

背景技术

在半集成电路设备技术领域，利用XY向运动平台实现加工工件的平面移动，随着对产率要求的不断提高，对XY向运动平台的要求不断提升，这就要求XY台具备更高的运行速度、更高的加速度，XY台的性能也需要随之提高，尤其是平面动态性能。传统的XY向运动平台中，为提升XY向运动平台的加速度采用多组驱动装置并行驱动。但并行驱动若不同步，则必然造成运动卡滞甚至导致导向装置变形从而影响整个运动平台的运动精度。部分传统的XY向运动平台使用柔性件来解决驱动不同步带来的影响，但传统柔性结构还是不能很好的减少abbe误差，而且传统柔性结构还会带来加速度受限的问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种柔性装置，弹性件具有一定的绕Z轴的转动空间，弹性件发生变形起到一定的缓冲和解耦作用。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种柔性装置，包括：

柔性元件，包括X向安装部和Y向安装部，所述X向安装部与所述Y向安装部通过多个弹性件连接；

所述弹性件包括间隔排列的至少二个加强部和至少一个形变部，所述形变部用于连接相邻两个所述加强部，相互连接的多个所述加强部的两端分别连接于所述X向安装部和所述Y向安装部；

限位元件，包括设置于所述X向安装部的限位凸部和设置于所述Y向安装部的限位槽，或者设置于所述X向安装部的所述限位槽和设置于所述Y向安装部的所述限位凸部，所述限位凸部和所述限位槽对应相互配合，所述限位凸部延伸至所述限位槽内，且在预设状态所述限位凸部的外壁不抵接于所述限位槽的内壁。

作为优选，所述X向安装部具有第一连接面，所述Y向安装部具有第二连接面，所述第一连接面和所述第二连接面水平间隔且均垂直于水平面，所述弹性件为片状且垂直于水平面，所述弹性件的两端分别连接所述第一连接面和所述第二连接面。

作为优选，所述X向安装部和所述Y向安装部水平相对间隔设置且通过至少三个所述弹性件连接，至少三个所述弹性件均垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面；或者中间的至少一个所述弹性件垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面，两端的至少二个所述弹性件呈一定斜角对称连接所述第一连接面和所述第二连接面。

作为优选，所述Y向安装部在水平方向包围所述X向安装部，所述X向安装部的对角线交汇于中心点，每个所述弹性件所在的平面均经过所述中心点。

作为优选，所述弹性件的数量至少为四个，至少四个所述弹性件绕所述中心点均匀布置。

作为优选，所述柔性元件还包括柔性片，所述柔性片为T型结构，所述Y向安装部上开设有第一容纳槽，所述柔性片连接于所述第一容纳槽的槽壁，和/或，

所述柔性装置还包括连接于所述柔性元件的元件基座，所述元件基座上开设有第二容纳槽，所述柔性元件设置在所述第二容纳槽内。

作为优选，所述加强部的厚度大于所述形变部的厚度。

本实用新型的另一个目的在于提供一种XY向运动平台，提高XY向运动平台的运动精度。

一种XY向运动平台，包括所述的柔性装置，所述XY向运动平台还包括：

底座，其具有与XY平面平行的第一基准面，所述XY平面为水平面；

X向导向机构，所述X向导向机构设置在所述第一基准面上，且沿X方向延伸；

Y向安装基座，所述Y向安装基座设置在所述X向导向机构上，并能通过所述X向导向机构沿X方向移动；

Y向导向机构，所述Y向导向机构设置在所述Y向安装基座上，且沿Y方向延伸；

载荷板，所述载荷板设置在所述Y向导向机构上，并能通过所述Y向导向机构沿Y方向移动；

所述柔性装置夹设在所述X向导向机构和所述Y向安装基座之间，所述X向导向机构通过所述柔性装置连接于所述Y向安装基座。

作为优选，所述X向导向机构包括：

X向驱动组件，所述X向驱动组件的固定部设置在所述第一基准面上，所述X向驱动组件的位移部相对所述固定部设置在所述Y向安装基座的底部；

两个沿Y向对齐设置的第一X向导向组件，两个所述第一X向导向组件分别设置在所述第一基准面沿Y方向的两端，所述X向安装部连接于所述第一X向导向组件，所述Y向安装部连接于所述Y向安装基座。

作为优选，所述X向导向机构还包括：

第二X向导向组件，其设置在所述第一基准面上并设置在两个所述第一X向导向组件之间；

所述X向安装部连接于所述第二X向导向组件，所述Y向安装部连接于所述Y向安装基座。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的柔性装置，设置弹性件用于连接X向安装部和Y向安装部，使X向安装部和Y向安装部在一定程度上能够发生相对移动，当X向安装部和Y向安装部运动不同步时，弹性件具有一定的绕Z轴的转动空间，弹性件发生变形起到一定的缓冲作用。而且实用新型提供的弹性件采用相邻的两个加强部通过形变部连接，能更好的平衡解耦和防折损的关系。设置限位元件，使限位凸部设置在限位槽内，限制柔性装置运动时过度的绕Z轴偏转，避免了弹性件的损坏。

本实用新型提供的XY向运动平台，在Y向导向机构上设置有载荷板，Y向导向机构能够沿X向移动从而带动载荷板沿X向移动，载荷板能够通过Y向导向机构沿Y向移动。通过使柔性装置设置在X向导向机构和Y向安装基座之间，解决了Y向安装基座在X方向上不同部位运动不同步的问题，当运动不同步时柔性装置的柔性元件能够发生变形起到一定的缓冲作用，防止了运动卡滞造成Y向安装基座变形的问题，减小了abbe误差，提高了XY向运动平台的运动精度。

附图说明

图1是本实用新型柔性装置实施例一提供的柔性元件和元件基座的结构示意图；

图2是本实用新型柔性装置实施例一提供的弹性件的结构示意图；

图3是本实用新型柔性装置实施例一提供的柔性片的结构示意图；

图4是本实用新型柔性装置实施例二提供的柔性元件的结构示意图；

图5是本实用新型XY向运动平台实施例三提供的XY向运动平台的俯视图；

图6是本实用新型XY向运动平台实施例三提供的XY向运动平台的X方向的剖视图；

图7是本实用新型XY向运动平台实施例四提供的XY向运动平台的俯视图；

图8是本实用新型XY向运动平台实施例四提供的XY向运动平台的X方向的剖视图。

图中：

1、柔性元件；11、X向安装部；12、Y向安装部；13、柔性片；

2、弹性件；21、加强部；22、形变部；

3、限位元件；31、限位凸部；32、限位槽；

4、元件基座；

5、底座；51、第一基准面；

6、X向导向机构；61、第一X向导向组件；62、第二X向导向组件；

7、Y向安装基座；

8、Y向导向机构；

9、载荷板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本实用新型实施例的描述中，X向、X方向为水平线的方向，Y向、Y方向为垂直于水平线的方向，Z轴方向是同时垂直于X方向和Y方向的竖直方向。

实施例一

本实施例提供了一种柔性装置，涉及集成电路设备技术领域，如图1和图2所示，柔性装置包括柔性元件1、弹性件2以及限位元件3，柔性元件1包括X向安装部11和Y向安装部12，X向安装部11与Y向安装部12通过多个弹性件2连接；弹性件2包括间隔排列的至少二个加强部21和至少一个形变部22，形变部22用于连接相邻两个加强部21，相互连接的多个加强部21的两端分别连接于X向安装部11和Y向安装部12；限位元件3包括设置于X向安装部11的限位凸部31和设置于Y向安装部12的限位槽32，或者设置于X向安装部11的限位槽32和设置于Y向安装部12的限位凸部31，限位凸部31和限位槽32对应相互配合，限位凸部31延伸至限位槽32内，且在预设状态限位凸部31的外壁不抵接于限位槽32的内壁。

本实施例提供的柔性装置，设置弹性件2用于连接X向安装部11和Y向安装部12，使X向安装部11和Y向安装部12在一定程度上能够发生相对移动，当X向安装部11和Y向安装部12运动不同步时，弹性件2具有一定的绕Z轴的转动空间，弹性件2发生变形起到一定的缓冲作用。而且本实施例提供的弹性件2相邻的两个加强部21通过形变部22连接，能更好的平衡解耦和防折损的关系。设置限位元件3，使限位凸部31设置在限位槽32内，限制柔性装置运动时过度的绕Z轴偏转，避免了弹性件2的损坏。

具体地，在本实施例中，如图1所示，限位元件3的限位凸部31为设置在X向安装部11的凸起，在Y向安装部12设置有两个凸起，两个凸起之间形成限位槽32，使限位凸部31设置在限位槽32内且不抵接于限位槽32的内壁。或者，可以在Y向安装部12设凹槽形成限位槽32，本实施例在此不多做限定，只要实现限位凸部31和限位槽32相互配合即可。于其他实施例中，也可以将限位凸部31和限位槽32的位置对调。

具体地，如图2所示，加强部21的厚度大于形变部22的厚度。弹性件2采用弹簧钢材料制成，采用“厚-薄-厚”的结构即“加强部-形变部-加强部”的连接结构，其刚度适中，比厚的簧片刚度低，比薄的簧片刚度高，能更好的平衡解耦和防折损的关系。而且相比宽度一致的簧片，解耦时形变部22的部分能具有更低的刚度产生形变；而加强部21的部分能提供更高的刚度防止过度变形造成的损坏。于其他实施例中，弹性件2还可以采用更多个加强部21组成，多个加强部21通过形变部22相连。需要说明的，弹性件2中加强部21和形变部22也可以使用不同的弹性材质制成，此时两者的厚度关系没有限定，只需满足加强部21的刚度大于形变部22的刚度即可。

上述限位元件3配合弹性件2具有更好的效果，具体地，由于限位凸部31不抵接于限位槽32的内壁，所以限位凸部31和限位槽32的内壁之间可以存在一定间隙，从而X向安装部11可以通过弹性件2相对Y向安装部12产生间隙范围内的形变。但由于限位元件3本身的限位作用，其可以防止非正常使用过程中超出范围的形变。加上弹性件2的作用，使整个柔性装置具有一定的形变解耦能力，同时也具有非正常使用时的防折损能力。

可选地，如图1和图3所示，X向安装部11具有第一连接面，Y向安装部12具有第二连接面，第一连接面和第二连接面水平间隔且均垂直于水平面，于本实施例中，选用X向安装部11和Y向安装部12相互靠近且平行的面分别为第一连接面和第二连接面，弹性件2为片状结构且垂直于水平面，将弹性件2的两端分别连接第一连接面和第二连接面，从而实现X向安装部11和Y向安装部12的连接。

具体地，如图1所示，Y向安装部12在水平方向包围X向安装部11，X向安装部11的对角线交汇于中心点，每个弹性件2所在的平面均经过中心点。于本实施例中，X向安装部11为长方体结构、Y向安装部12为方形环体结构，将Y向安装部12水平套设在X向安装部11的外部，其中X向安装部11中垂直于水平面的外壁为第一连接面，Y向安装部12中垂直于水平面的内壁为第二连接面，第一连接面和第二连接面通过多个弹性件2连接，并使每个弹性件2所在的平面均经过中心点，保证了弹性件2的结构强度，防止了弹性件2由于绕Z轴方向刚度不稳定造成柔性装置性能不稳定的情况发生。

具体地，如图1所示，弹性件2的数量至少为四个，至少四个弹性件2绕中心点均匀布置。于本实施例中，设置四个弹性件2使之沿X向安装部11的周向均匀分布，并分别连接X向安装部11和Y向安装部12，均布的四个弹性件2所在平面均过中心点增加了弹性件2的连接稳定性。

可选地，在本实施例中，如图1所示，柔性装置还包括连接于柔性元件1的元件基座4，元件基座4上开设有第二容纳槽，柔性元件1设置在第二容纳槽内。将X向安装部11连接于元件基座4，从而将柔性元件1设置在元件基座4上。Y向安装部12连接于待连接装置。在元件基座4上设置有安装孔，用于连接另一个待连接装置。

可选地，在其他实施例中，如图3所示，柔性元件1还可以包括柔性片13，柔性片13为T型结构，Y向安装部12上开设有第一容纳槽，柔性片13连接于第一容纳槽的槽壁。具体地，柔性片13包括横臂和垂直连接于横臂的竖臂，其中横臂水平设置，竖臂连接于第一容纳槽的槽臂，将柔性片13设置在柔性元件1中并连接于Y向安装部12的端部，且柔性片13的横臂与X向安装部11连接相同的待连接装置，增加了整个柔性元件1的强度，防止弹性件2受力不均而造成的损坏。柔性片13的数量在此不多做限定，根据实际生产安装需要设置特定数量的柔性片13，柔性片13的连接方式也不限于上述形式，只要确保柔性片13能够增加了整个柔性元件1的强度作用即可。需要说明的是，在上述实施例或其他实施例中，根据实际运用场景的不同，X向安装部11和Y向安装部12的位置关系可以互换，其并不影响整个柔性装置的解耦效果。

实施例二

本实施例提供了一种柔性装置，本实施例的弹性件2、限位元件3与实施例一相同，本实施例和实施例一的区别在于本实施例的柔性元件1的X向安装部11和Y向安装部12水平相对间隔设置且通过至少三个弹性件2连接，至少三个弹性件2均垂直连接第一连接面和第二连接面；或者中间的至少一个弹性件2垂直连接第一连接面和第二连接面，两端的至少二个弹性件2呈一定斜角对称连接第一连接面和第二连接面。

具体地，如图4所示，将X向安装部11和Y向安装部12沿水平方向左右间隔设置，X向安装部11靠近Y向安装部12的左侧面为第一连接面，Y向安装部12靠近X向安装部11的右侧面为第二连接面。再利用多个垂直于水平面的弹性件2连接第一连接面和第二连接面。

本实施例提供的柔性装置，X向安装部11和Y向安装部12采用三个弹性件2连接，且其中的一个弹性件2垂直连接于X向安装部11和Y向安装部12，端部的两个弹性件2呈一定斜角对称连接第一连接面和第二连接面。此类连接结构，相比于多个弹性件2均垂直连接于X向安装部11和Y向安装部12，增强了弹性装置在绕Z轴方向解耦的稳定性。另外，本实施例中弹性件2的数量不限于三个，可以超过三个；多个弹性件2的连接方式也不限于上述形式，还可以是“W”型或“M”型等，只要确保弹性件2始终垂直于水平面即可。

实施例三

本实施例提供了一种XY向运动平台，包括实施例一或实施例二所提供的柔性装置，如图5和图6所示，XY向运动平台还包括底座5、X向导向机构6、Y向安装基座7、Y向导向机构8以及载荷板9，底座5具有与XY平面平行的第一基准面51，XY平面为水平面；X向导向机构6设置在第一基准面51上，且沿X方向延伸；Y向安装基座7设置在X向导向机构6上，并能通过X向导向机构6沿X方向移动；Y向导向机构8设置在Y向安装基座7上，且沿Y方向延伸；载荷板9设置在Y向导向机构8上，并能通过Y向导向机构8沿Y方向移动；柔性装置夹设在X向导向机构6和Y向安装基座7之间，X向导向机构6通过柔性装置连接于Y向安装基座7。

在Y向导向机构8上设置有载荷板9，Y向导向机构8能够沿X向移动从而带动载荷板9沿X向移动，载荷板9能够通过Y向导向机构8沿Y向移动。通过使柔性装置设置在X向导向机构6和Y向安装基座7之间，解决了Y向安装基座7在X方向上不同部位运动不同步的问题，当运动不同步时柔性装置的柔性元件1能够发生变形起到一定的缓冲作用，防止了运动卡滞造成Y向安装基座7变形的问题，减小了abbe误差，提高了XY向运动平台的运动精度。

可选地，X向导向机构6包括X向驱动组件和两个第一X向导向组件61，X向驱动组件的固定部设置在第一基准面51上，X向驱动组件的位移部相对固定部设置在Y向安装基座7的底部；两个第一X向导向组件61分别设置在第一基准面51沿Y方向的两端，X向安装部11连接于第一X向导向组件61，Y向安装部12连接于Y向安装基座7。优选地，X向驱动组件选用两个Y方向上间隔设置的磁悬浮电机，磁悬浮电机的定子设置在第一基准面51上，磁悬浮电机的动子设置在Y向安装基座7的底部，磁悬浮电机能够驱动Y向安装基座7沿X向移动，第一X向导向组件61为Y向安装基座7的X向移动提供导向，防止其偏移。将柔性元件1的X向安装部11连接于第一X向导向组件61，Y向安装部12连接于Y向安装基座7，柔性元件1增强了第一X向导向组件61与Y向安装基座7之间的柔性连接强度。当Y向安装基座7在X方向上发生运动不同步的问题时，柔性元件1的X向安装部11和Y向安装部12发生变形起到一定的缓冲和解耦作用，防止了运动卡滞造成Y向安装基座7变形的问题，减小了abbe误差，提高了XY向运动平台的运动精度。

具体地，第一X向导向组件61包括轨道和滑块，将第一X向导向组件61的轨道沿X向分别设置在第一基准面51的两端，两个第一X向导向组件61的两个滑块通过柔性元件1分别连接于Y向安装基座7，其中X向安装部11连接滑块，Y向安装部12连接Y向安装基座7的底部，第一X向导向组件61为Y向安装基座7提供X向移动的导向。

实施例四

本实施例提供了一种XY向运动平台，本实施例的底座5、Y向安装基座7、Y向导向机构8以及载荷板9与实施例三相同，本实施例和实施例三的区别在于，本实施例的X向导向机构6还包括第二X向导向组件62，如图7和图8所示，其设置在第一基准面51上并设置在两个第一X向导向组件61之间；本实施例的第二X向导向组件62通过实施例一提供的柔性装置连接于Y向安装基座7。

Y向安装部12在水平方向包围X向安装部11，X向安装部11的对角线交汇于中心点，每个弹性件2所在的平面均经过中心点。柔性元件1的X向安装部11连接于第二X向导向组件62，Y向安装部12连接于Y向安装基座7。或者将柔性元件1的X向安装部11连接于元件基座4，元件基座4连接于第二X向导向组件62，Y向安装部12连接于Y向安装基座7。

本实施例提供的XY向运动平台，第一基准面51上的两端的两个第一X向导向组件61通过实施例二提供的柔性装置连接于Y向安装基座7，中间的第二X向导向组件62通过实施例一提供的柔性装置连接于Y向安装基座7，该结构设置的XY向运动平台，第一X向导向组件61和第二X向导向组件62共同为Y向安装基座7提供导向服务，进一步解决了Y向导向机构8在X方向上不同部位运动不同步的问题。

需要说明的，本实施例中的第二X向导向组件62和Y向安装基座7也可以通过实施例二中的柔性装置连接，将实施例二中的两个柔性装置水平镜像布置在X向导向组件62和Y向安装基座7之间既可以实现实施例一中柔性装置的效果。同样，两侧的第一X向导向组件61和Y向安装基座7之间也可以通过实施例一中的柔性装置连接。

另外，本实施例在实际运用时，由于设置于第二X向导向组件62和Y向安装基座7之间的柔性装置具有较强的绕Z轴解耦能力。因此，出于其他因素的考虑(例如生产成本)，设置于第一X向导向组件61和Y向安装基座7之间的柔性装置也可以使用其他结构的柔性装置作为代替。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种柔性装置，其特征在于，包括：

柔性元件(1)，包括X向安装部(11)和Y向安装部(12)，所述X向安装部(11)与所述Y向安装部(12)通过多个弹性件(2)连接；

所述弹性件(2)包括间隔排列的至少二个加强部(21)和至少一个形变部(22)，所述形变部(22)用于连接相邻两个所述加强部(21)，相互连接的多个所述加强部(21)的两端分别连接于所述X向安装部(11)和所述Y向安装部(12)；

限位元件(3)，包括设置于所述X向安装部(11)的限位凸部(31)和设置于所述Y向安装部(12)的限位槽(32)，或者设置于所述X向安装部(11)的所述限位槽(32)和设置于所述Y向安装部(12)的所述限位凸部(31)，所述限位凸部(31)和所述限位槽(32)对应相互配合，所述限位凸部(31)延伸至所述限位槽(32)内，且在预设状态所述限位凸部(31)的外壁不抵接于所述限位槽(32)的内壁。

2.根据权利要求1所述的柔性装置，其特征在于，所述X向安装部(11)具有第一连接面，所述Y向安装部(12)具有第二连接面，所述第一连接面和所述第二连接面水平间隔且均垂直于水平面，所述弹性件(2)为片状且垂直于水平面，所述弹性件(2)的两端分别连接所述第一连接面和所述第二连接面。

3.根据权利要求2所述的柔性装置，其特征在于，所述X向安装部(11)和所述Y向安装部(12)水平相对间隔设置且通过至少三个所述弹性件(2)连接，至少三个所述弹性件(2)均垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面；或者中间的至少一个所述弹性件(2)垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面，两端的至少二个所述弹性件(2)呈一定斜角对称连接所述第一连接面和所述第二连接面。

4.根据权利要求2所述的柔性装置，其特征在于，所述Y向安装部(12)在水平方向包围所述X向安装部(11)，所述X向安装部(11)的对角线交汇于中心点，每个所述弹性件(2)所在的平面均经过所述中心点。

5.根据权利要求4所述的柔性装置，其特征在于，所述弹性件(2)的数量至少为四个，至少四个所述弹性件(2)绕所述中心点均匀布置。

6.根据权利要求4所述的柔性装置，其特征在于，所述柔性元件(1)还包括柔性片(13)，所述柔性片(13)为T型结构，所述Y向安装部(12)上开设有第一容纳槽，所述柔性片(13)连接于所述第一容纳槽的槽壁，和/或，

所述柔性装置还包括连接于所述柔性元件(1)的元件基座(4)，所述元件基座(4)上开设有第二容纳槽，所述柔性元件(1)设置在所述第二容纳槽内。

7.根据权利要求1所述的柔性装置，其特征在于，所述加强部(21)的厚度大于所述形变部(22)的厚度。

8.一种XY向运动平台，包括权利要求1-7中任一项所述的柔性装置，其特征在于，所述XY向运动平台还包括：

底座(5)，其具有与XY平面平行的第一基准面(51)，所述XY平面为水平面；

X向导向机构(6)，所述X向导向机构(6)设置在所述第一基准面(51)上，且沿X方向延伸；

Y向安装基座(7)，所述Y向安装基座(7)设置在所述X向导向机构(6)上，并能通过所述X向导向机构(6)沿X方向移动；

Y向导向机构(8)，所述Y向导向机构(8)设置在所述Y向安装基座(7)上，且沿Y方向延伸；

载荷板(9)，所述载荷板(9)设置在所述Y向导向机构(8)上，并能通过所述Y向导向机构(8)沿Y方向移动；

所述柔性装置夹设在所述X向导向机构(6)和所述Y向安装基座(7)之间，所述X向导向机构(6)通过所述柔性装置连接于所述Y向安装基座(7)。

9.根据权利要求8所述的XY向运动平台，其特征在于，所述X向导向机构(6)包括：

X向驱动组件，所述X向驱动组件的固定部设置在所述第一基准面(51)上，所述X向驱动组件的位移部相对所述固定部设置在所述Y向安装基座(7)的底部；

两个沿Y向对齐设置的第一X向导向组件(61)，两个所述第一X向导向组件(61)分别设置在所述第一基准面(51)沿Y方向的两端，所述X向安装部(11)连接于所述第一X向导向组件(61)，所述Y向安装部(12)连接于所述Y向安装基座(7)。

10.根据权利要求9所述的XY向运动平台，其特征在于，所述X向导向机构(6)还包括：

第二X向导向组件(62)，其设置在所述第一基准面(51)上并设置在两个所述第一X向导向组件(61)之间；

所述X向安装部(11)连接于所述第二X向导向组件(62)，所述Y向安装部(12)连接于所述Y向安装基座(7)。

Images