JP2000114786A - Icチップ実装機 - Google Patents

Icチップ実装機

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Koji Hiroya
耕司 廣谷
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ICサイズ、バンプ数等の情報に応じて、エア
のブロー圧力またはブロー流量を制御するIC実装機を
提供する。 【解決手段】IC2の保持ツール3と、この保持ツール
に吸着・載置動作を行わせる駆動装置4と、この駆動装
置を制御するIC実装制御装置5とを具備し、IC実装
制御装置5に、ICおよび保持ツールの情報を記憶する
記憶部と、実装するICおよび使用する保持ツールの認
識情報を入力する入力部と、この入力される認識情報に
応じて記憶部に記憶されている情報を取り出し入力する
とともにICに応じたブロー圧力を選定する選定部とを
具備させ、駆動装置4に、エア供給源13に接続される
とともに3本のエアライン22,24,26を有して異
なる圧力を供給し得るエア供給ライン部14を設け、選
定部からの指示に基づきエアラインを選択して、所定の
ブロー圧力を出力させる圧力制御部15を設けたもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明に属する技術分野】本発明は、実装時のICチッ
プの姿勢を安定させて品質不良の発生を防止し得るIC
チップ実装機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、ICチップ実装機における実装
工程は、ICチップ(以下、単にICという)を保持す
るための保持ツールがICを吸着してプリント基板上を
移動した後、ICの吸着を解除し、そしてその後、所定
の圧力および流量でエアをブローした後、またはブロー
しながら保持ツールを上昇させるものであった。
【0003】ここで、従来のICチップ実装機を、図7
に基づき説明する。このICチップ実装機101には、
エアの吸引によりIC102を吸着して保持するととも
に、エアブローによりプリント基板上の所定位置に載置
するためのICの保持ツール103が設けられ、またこ
の保持ツール103に吸着・載置動作を行わせるための
駆動装置104およびこの駆動装置104を制御するI
C実装制御装置105が具備されている。
【0004】そして、上記駆動装置104は、一端部が
真空ポンプなどの真空源111に接続された真空ライン
112と、一端部が空気圧縮機などのエア供給源113
に接続されるとともに途中に減圧調整器114が介装さ
れたエア供給ライン115と、上記真空ライン112と
このエア供給ライン115とのいずれかを上記保持ツー
ル103側に接続するための切替部116とを有し、こ
の切替部116に上記IC実装制御装置105が接続さ
れている。
【0005】上記構成において、ICをプリント基板に
実装する場合、まず実装されるIC102が保持ツール
103により吸着・保持されてプリント基板上の実装位
置に移動されると、次にIC実装制御装置105から切
替部116に信号が出力されて、エア供給ライン115
が保持ツール103側に接続され、エアブローが行われ
て、IC102がプリント基板上に載置される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の実
装機によると、下記のような問題が発生している。 .導電性ペースト転写方式などのIC仮接合タイプで
は、接合力が弱いために、ブローが強い場合には、IC
を吹き飛ばしたり、ブローが弱い場合には、保持ツール
の上昇とともにICを持ち帰ったりする現象が発生して
いる。
【0007】.超音波接合方式などの接合力が強いタ
イプでも、ブローが強い場合には、冷却効果が大きかっ
たり、弱い場合には、保持ツールの吸着孔にゴミが蓄積
されたりして品質に影響を与えている。
【0008】.MCM(マルチチップモジュール)対
応の設備においては、ICサイズに応じて、保持ツール
を自動交換しながら稼動するため、同一のブロー圧力を
使用すると上述した項のような問題が発生し易くな
る。
【0009】.同サイズのICにおいてもバンプ数の
違いによっては接合力の差が生じるため、同様に、項
のような問題が発生し易くなる。そこで、本発明は、I
Cサイズ、バンプ数等の情報に応じて、エアのブロー圧
力またはブロー流量を制御するIC実装機を提供するこ
とを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のIC実装機は、
エアの吸引によりICチップを吸着して保持するととも
に、エアブローによりプリント基板上の所定位置に載置
するためのICチップの保持ツールと、この保持ツール
に吸着・載置動作を行わせるための駆動装置と、この駆
動装置を制御するIC実装制御装置とを具備し、上記I
C実装制御装置に、ICチップおよび保持ツールの情報
を記憶する記憶手段と、実装するICチップおよび使用
する保持ツールの認識情報を入力する入力手段と、この
入力手段から入力される認識情報に応じて上記記憶手段
に記憶されている情報を取り出し入力するとともにIC
チップに応じたブロー圧力またはブロー流量を選定する
選定手段とを具備したものである。
【0011】この本発明によれば、ICサイズ、バンプ
数等の情報に応じて、エアのブロー圧力またはブロー流
量を制御して、確実に、ICチップをプリント基板上に
載置し得るIC実装機を提供することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、エアの吸引によりICチップを吸着して保持すると
ともに、エアブローによりプリント基板上の所定位置に
載置するためのICチップの保持ツールと、この保持ツ
ールに吸着・載置動作を行わせるための駆動装置と、こ
の駆動装置を制御するIC実装制御装置とを具備し、上
記IC実装制御装置に、ICチップおよび保持ツールの
情報を記憶しておく記憶手段と、少なくとも実装するI
Cチップおよび使用する保持ツールを入力する入力手段
と、この入力手段からの入力に応じて上記記憶手段に記
憶されている情報を取り出し入力するとともにICチッ
プに応じたブロー圧力またはブロー流量を選定する選定
手段とを具備させたものであり、この構成により、実装
されるICチップに応じて、最適な、ブロー圧力または
ブロー流量が得られるため、ICチップの装着のずれ、
またはICチップの持ち帰りなどの不具合を解消するこ
とができる。
【0013】請求項2に記載の発明は、請求項1記載の
駆動装置として、エア供給源に接続されるとともに途中
に分岐ラインを有して異なる圧力を供給し得るようにさ
れたエア供給ライン部を有し、このエア供給ライン部の
各分岐ラインに接続されるとともに、選定手段からの指
示に応じて所定のブロー圧力を出力させる圧力制御部を
設けたものであり、この構成により、実装されるICチ
ップに応じて、圧力制御部により、最適な、ブロー圧力
またはブロー流量が得られるため、ICチップの装着の
ずれ、またはICチップの持ち帰りなどの不具合を解消
することができる。
【0014】請求項3記載の発明は、請求項1記載の駆
動装置として、エア供給源に接続されるとともに途中に
制御弁が介装されたエア供給ライン部を有し、このエア
供給ライン部の制御弁に、選定手段からの指示に応じ
て、オン・オフ動作を行わせる圧力制御部を設けたもの
であり、この構成により、実装されるICチップに応じ
て、制御弁のオン・オフを行うことにより、最適な、ブ
ロー圧力またはブロー流量が得られるため、ICチップ
の装着のずれ、またはICチップの持ち帰りなどの不具
合を解消することができる。
【0015】以下、本発明の第1の実施の形態における
ICチップ実装機を、図1〜図3に基づき説明する。図
1に示すように、このICチップ実装機1には、エアの
吸引によりICチップ(以下、単にICという)2を吸
着して保持するとともに、エアブローによりプリント基
板上の所定位置に載置するためのICの保持ツール3が
設けられ、またこの保持ツール3に吸着・載置動作を行
わせるための駆動装置4およびこの駆動装置4を制御す
るIC実装制御装置5が具備されている。
【0016】上記駆動装置4は、一端部が真空ポンプな
どの真空源11に接続された真空ライン12と、一端部
が圧縮機などのエア供給源13に接続されるとともに途
中に複数の分岐ラインを有して異なる圧力を供給し得る
ようにされたエア供給ライン部14と、このエア供給ラ
イン部14の他端部に接続されて所定圧力のエアを出力
するための圧力制御部15と、上記真空ライン12とこ
の圧力制御部15とのいずれかのラインを上記保持ツー
ル3側に接続するための切替部16とを有している。
【0017】上記エア供給ライン部14は、例えば3種
類のエア圧力を供給し得るようにされており、エア供給
源13に直接接続されるとともに第1減圧調整器21が
介装された第1エアライン22と、この第1エアライン
22の第1減圧調整器21よりも下流側から分岐される
とともに第2減圧調整器23が介装された第2エアライ
ン24と、この第2エアライン24の第2減圧調整器2
3よりも下流側から分岐されるとともに第3減圧調整器
25が介装された第3エアライン26とから構成されて
いる。なお、上記減圧調整器21,23,25として
は、例えばオリフィスの径が異なるものが使用される。
【0018】そして、上記各エアライン22,24,2
6の端部が圧力制御部15に設けられた選択切替器(図
示せず)に接続されている。また、上記IC実装制御装
置5には、図2に示すように、各種ICのサイズ、バン
プ数、保持ツールなどの情報を記憶する記憶部(記憶手
段)31と、少なくとも実装されるICおよび使用する
保持ツールの番号等の認識情報を入力する入力部(入力
手段)32と、この入力部32で入力された認識情報に
基づき、記憶部31から必要な情報を取り出し入力して
ICを確実に載置し得るエアのブロー圧力(またはブロ
ー流量)を選定する選定部(選定手段)33とが設けら
れている。なお、選定部33においては、具体的に、入
力された認識情報に基づき、記憶部31から所定の情報
を取り出すとともに、この情報を所定の演算式に代入し
することにより、ICを確実にプリント基板上に載置し
得る最適なブロー圧力またはブロー流量が求められる。
また、上記入力部32から、記憶部31への各情報を入
力して記憶させることもできる。
【0019】上記構成において、IC2をプリント基板
に実装する場合、まず切替部16により、保持ツール3
側に真空ライン12が接続されてIC2を吸着保持し、
そしてIC2をプリント基板上の所定位置まで移動させ
る。
【0020】IC2がプリント基板上の所定位置に移動
されると、切替部16により、真空ライン12から圧力
制御部15側に切り替えられてエア供給ライン部14側
に接続される。したがって、保持ツール3からはエアが
吹き出されて、すなわちエアブローが行われて、IC2
はプリント基板上の所定位置に確実に載置される。
【0021】ところで、このブロー動作におけるブロー
圧力(またはブロー流量)は、実装されるIC2の情
報、例えばサイズ、バンプ数に応じて選定部で最適なも
のが選ばれるため、従来のように、IC2の吹き飛ば
し、IC2の持ち帰りなどが発生するのを防止すること
ができる。
【0022】図3に、保持ツール3の動きと、これに対
応する吸着信号およびブロー信号のオン・オフのタイミ
ングと実際のブロー圧力との関係を示す。なお、波線に
て示すように、選択するエアラインによりブロー圧力の
高低が変化する。例えば、実装時にICの吹き飛ばしが
発生しているときはより低圧方向へ、また保持ツール3
の上昇時にICの持ち帰りが発生しているときは、高圧
方向に変更される。
【0023】なお、上記実施の形態においては、3本の
エアラインを設けて、3種類の圧力でブローできるよう
に説明したが、勿論、2本または4本以上のエアライン
を設けて、多種類の圧力を選定し得るようにしてもよ
い。
【0024】次に、本発明の第2の実施の形態における
ICチップ実装機を、図4〜図6に基づき説明する。図
4に示すように、このICチップ実装機51は、エアの
吸引によりICチップ(以下、単にICという)52を
吸着して保持するとともに、エアブローによりプリント
基板上の所定位置に載置するためのICの保持ツール5
3が設けられ、またこの保持ツール53に吸着・載置動
作を行わせるための駆動装置54およびこの駆動装置5
4を制御するIC実装制御装置55が具備されている。
【0025】上記駆動装置54は、一端部が真空ポンプ
などの真空源61に接続された真空ライン62と、一端
部が圧縮機などのエア供給源63に接続されるとともに
途中に減圧調整器64が介装されて一定のエア圧力を供
給し得るエア供給ライン部65と、このエア供給ライン
部65の他端部に接続されて所定圧力のエアを出力する
ための圧力制御部66と、上記真空ライン62とこの圧
力制御部66とのいずれかを上記保持ツール53側に接
続するための切替部67とを有している。
【0026】上記圧力制御部66は、IC実装制御装置
55に設けられた選定部(後述する)で選定された最適
なエアのブロー圧力(またはブロー流量)を入力すると
ともにこの入力値に応じて、所定のパルス信号を出力す
る信号発生部71と、エア供給ライン部65の途中に介
装されるとともに上記信号発生部71からのパルス信号
に応じて開閉される制御弁72とから構成されており、
この制御弁72の出口部が上記切替部67に接続されて
いる。
【0027】また、上記IC実装制御装置55には、図
5に示すように、各種ICのサイズ、バンプ数、保持ツ
ールなどの情報を記憶する記憶部(記憶手段)81と、
少なくとも実装されるICおよび使用する保持ツールの
番号等の認識情報を入力する入力部(入力手段)82
と、この入力部82で入力された認識情報に基づき、I
Cを確実に載置し得るエアのブロー圧力またはブロー流
量を選定する(具体的には、演算等により求める)選定
部(選定手段)83とが設けられている。
【0028】そして、この選定部83で選定されたブロ
ー圧力が上記信号発生部71に出力され、ここでそのブ
ロー圧力に応じたパルス信号が発生されるとともに、こ
のパルス信号に応じて制御弁72の開閉が行われる。こ
の開閉動作により、エア供給ライン部65からは、所定
圧力のエアが保持ツール53側に供給されることにな
る。
【0029】図6に、保持ツール53の動きと、これに
対応する吸着信号およびブロー信号のオン・オフのタイ
ミングと実際のブロー圧力との関係を示す。このオン・
オフ信号の間隔を調整することにより、ブロー圧力およ
びブロー流量を制御することができ(インバータ方式で
ある)、上述した第1の実施の形態と同様の効果が得ら
れる。
【0030】
【発明の効果】上記本発明の構成によれば、ICチップ
のサイズ、バンプ数等の情報に基づき、ブロー圧力また
はブロー流量を制御することができるので、実装時のブ
ロー動作に起因するICチップの装着ずれまたは浮き、
ICチップの持ち帰りといった不具合を解消でき、した
がって品質不良の発生の低減化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態におけるICチップ
実装機の概略構成を示すブロック図である。
【図2】同第1の実施の形態の実装機における動作を説
明するためのブロック図である。
【図3】同第1の実施の形態の実装機における動作タイ
ミングを示す線図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態におけるICチップ
実装機の概略構成を示すブロック図である。
【図5】同第2の実施の形態の実装機における動作を説
明するためのブロック図である。
【図6】同第2の実施の形態の実装機における動作タイ
ミングを示す線図である。
【図7】従来例のICチップ実装機の構成を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
1 ICチップ実装機 2 ICチップ 3 保持ツール 4 駆動装置 5 IC実装制御装置 12 真空ライン 14 エア圧供給ライン部 15 圧力制御部 16 切替部 21 第1減圧調整器 22 第1エアライン 23 第2減圧調整器 24 第2エアライン 25 第3減圧調整器 26 第3エアライン 31 記憶部 32 入力部 33 選定部 51 ICチップ実装機 52 ICチップ 53 保持ツール 54 駆動装置 55 IC実装制御装置 62 真空ライン 64 減圧調整器 65 エア圧供給ライン部 66 圧力制御部 67 切替部 71 信号発生部 72 制御弁 81 記憶部 82 入力部 83 選定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 信三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 3C030 BC02 BC11 BC31 DA00 DA04 5E313 AA03 AA11 CC02 CC03 EE01 EE02 EE05 EE24 FF05 5F044 PP16

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】エアの吸引によりICチップを吸着して保
    持するとともに、エアブローによりプリント基板上の所
    定位置に載置するためのICチップの保持ツールと、こ
    の保持ツールに吸着・載置動作を行わせるための駆動装
    置と、この駆動装置を制御するIC実装制御装置とを具
    備し、上記IC実装制御装置に、ICチップおよび保持
    ツールの情報を記憶する記憶手段と、実装するICチッ
    プおよび使用する保持ツールの認識情報を入力する入力
    手段と、この入力手段から入力される認識情報に応じて
    上記記憶手段に記憶されている情報を取り出し入力する
    とともにICチップに応じたブロー圧力またはブロー流
    量を選定する選定手段とを具備させたICチップ実装
    機。
  2. 【請求項2】上記駆動装置は、エア供給源に接続される
    とともに途中に分岐ラインを有して異なる圧力を供給し
    得るようにされたエア供給ライン部を有し、このエア供
    給ライン部の各分岐ラインに接続されるとともに、選定
    手段からの指示に応じて所定のブロー圧力を出力させる
    圧力制御部を設けた請求項1記載のICチップ実装機。
  3. 【請求項3】上記駆動装置は、エア供給源に接続される
    とともに途中に制御弁が介装されたエア供給ライン部を
    有し、このエア供給ライン部の制御弁に、選定手段から
    の指示に応じて、オン・オフ動作を行わせる圧力制御部
    を設けた請求項1記載のICチップ実装機。
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