JP2000111816A - 能動整合フォトニクス組立体 - Google Patents
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- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学装置間で光エネルギを能動的に結合する
能動整合フォトニクス組立体を提供する。 【解決手段】 能動整合フォトニクス組立体において、
調整可能なファイバ（５４）又は他の光学キャリヤは光
信号（５２）を運び、光信号は検出器（６０）で受け取
られ、検出器は光信号のパワーレベルを測定する。パワ
ーレベルの測定に基づき、組立体に含まれたファイバ又
は他の光学装置の整合が、マイクロアクチュエータ機構
（７４、７６、７８）の使用により検出器に関するファ
イバ又は他の光学装置の位置を制御する光学フィードバ
ックループ（６６）によって提供される。
能動整合フォトニクス組立体を提供する。 【解決手段】 能動整合フォトニクス組立体において、
調整可能なファイバ（５４）又は他の光学キャリヤは光
信号（５２）を運び、光信号は検出器（６０）で受け取
られ、検出器は光信号のパワーレベルを測定する。パワ
ーレベルの測定に基づき、組立体に含まれたファイバ又
は他の光学装置の整合が、マイクロアクチュエータ機構
（７４、７６、７８）の使用により検出器に関するファ
イバ又は他の光学装置の位置を制御する光学フィードバ
ックループ（６６）によって提供される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフォトニクス（光通
信）組立体に関し、特に光学装置間で光エネルギを能動
的に結合するためのモノリシック集積整合フォトニクス
組立体に関する。
信）組立体に関し、特に光学装置間で光エネルギを能動
的に結合するためのモノリシック集積整合フォトニクス
組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンパクトで簡単なフォトニクス装置は
光通信応用において欠くことのできないものである。フ
ォトニクス装置は低誤差率を得るために高光伝送効率を
必要とする。伝送効率はフォトニクス応用での挿入損失
として測定され、高データ伝送率で作動するフォトニク
ス装置にとって一層重要なものとなっている。高データ
伝送（高帯域幅）率は単一モード及び偏波面維持光ファ
イバの使用を必要とするが、ファイバとファイバ、トラ
ンスミッタとファイバ、トランスミッタと変調器（モジ
ュレータ）、トランスミッタとマルチプレクサ及びファ
イバとレシーバとの光学整合が挿入損失の最小化を困難
にしてしまう。単一モードファイバに対する光学整合の
要求は、低帯域幅多重モードファイバのための超ミクロ
ンレベルとは異なり、ミクロン及びサブミクロンレベル
のものである。
光通信応用において欠くことのできないものである。フ
ォトニクス装置は低誤差率を得るために高光伝送効率を
必要とする。伝送効率はフォトニクス応用での挿入損失
として測定され、高データ伝送率で作動するフォトニク
ス装置にとって一層重要なものとなっている。高データ
伝送（高帯域幅）率は単一モード及び偏波面維持光ファ
イバの使用を必要とするが、ファイバとファイバ、トラ
ンスミッタとファイバ、トランスミッタと変調器（モジ
ュレータ）、トランスミッタとマルチプレクサ及びファ
イバとレシーバとの光学整合が挿入損失の最小化を困難
にしてしまう。単一モードファイバに対する光学整合の
要求は、低帯域幅多重モードファイバのための超ミクロ
ンレベルとは異なり、ミクロン及びサブミクロンレベル
のものである。
【０００３】光学整合方法は従来の整合技術を使用した
改善の限界に近い。例えば、１９９４年２月発行の雑誌
「光波工学」(Journal of Lightwave Technology) 第１
２巻、第２号の及川等の著による「１０−Ｇｂ／ａフォ
トレシーバモジュールのためのパッケージ工学」(Pckag
ing Technology for a 10-Gb/a Photoreceiver Module)
に記載されているように、能動的に整合されるフェルー
ルを使用する単一モードのファイバコネクタは典型的に
は０．２ｄＢ（デシベル）挿入損失に制限される。この
雑誌は、図１に示すように、平坦なパッケージ５２の側
壁５０に溶着されたファイバフェルール４８に固定され
た傾斜端部付きのファイバ４６と、平坦なパッケージ５
２にフリップチップ接着されたフォトダイオード５６上
に一体的に形成されたマイクロレンズ５４とを有する光
学結合装置を開示している。光信号５８は水平に進入
し、ファイバ４６の傾斜縁で垂直に反射される。次い
で、マイクロレンズ５４が光信号５８をフォトダイオー
ド５６の感光領域上に合焦させる。
改善の限界に近い。例えば、１９９４年２月発行の雑誌
「光波工学」(Journal of Lightwave Technology) 第１
２巻、第２号の及川等の著による「１０−Ｇｂ／ａフォ
トレシーバモジュールのためのパッケージ工学」(Pckag
ing Technology for a 10-Gb/a Photoreceiver Module)
に記載されているように、能動的に整合されるフェルー
ルを使用する単一モードのファイバコネクタは典型的に
は０．２ｄＢ（デシベル）挿入損失に制限される。この
雑誌は、図１に示すように、平坦なパッケージ５２の側
壁５０に溶着されたファイバフェルール４８に固定され
た傾斜端部付きのファイバ４６と、平坦なパッケージ５
２にフリップチップ接着されたフォトダイオード５６上
に一体的に形成されたマイクロレンズ５４とを有する光
学結合装置を開示している。光信号５８は水平に進入
し、ファイバ４６の傾斜縁で垂直に反射される。次い
で、マイクロレンズ５４が光信号５８をフォトダイオー
ド５６の感光領域上に合焦させる。
【０００４】上記雑誌に記載されているように、ファイ
バとフォトダイオードのチップとの間の整合を維持させ
ることは、光信号の最適な結合にとって必須である。フ
ァイバフェルールに対する機械的な応力又は全体の装置
の熱変動の結果として不整合が生じることがある。これ
らの要因を克服する試みとして、複雑な組立体及び製造
技術を使用する。ファイバの取り付けは、取り付けの機
械的強度の最適化、それ故、ファイバの変位の効果の最
小化を求めるような複雑なフェルール取り付けとなる。
最後に、高い光学結合効率を得るためには、ファイバ取
り付けによる変位及び温度変動による変形を補償するよ
うに、幅広い不整合公差を製造中にフォトダイオードチ
ップに確立しなければならない。
バとフォトダイオードのチップとの間の整合を維持させ
ることは、光信号の最適な結合にとって必須である。フ
ァイバフェルールに対する機械的な応力又は全体の装置
の熱変動の結果として不整合が生じることがある。これ
らの要因を克服する試みとして、複雑な組立体及び製造
技術を使用する。ファイバの取り付けは、取り付けの機
械的強度の最適化、それ故、ファイバの変位の効果の最
小化を求めるような複雑なフェルール取り付けとなる。
最後に、高い光学結合効率を得るためには、ファイバ取
り付けによる変位及び温度変動による変形を補償するよ
うに、幅広い不整合公差を製造中にフォトダイオードチ
ップに確立しなければならない。
【０００５】米国特許第５，３４６，５８３号明細書は
図２に示すようなファイバ結合にレーザーを使用する能
動整合装置を開示している。この特許は源と透過媒体と
の間の光エネルギを能動的に結合することにより光学結
合損失を最小化しようとしている。レーザー１１は第１
の鏡１３の方向へビーム１０を導き、ビーム１０は第１
の鏡１３から第２の鏡１７へ反射され、第２の鏡でビー
ム１０が再度反射される。２つの鏡は可撓性素子上に装
着され、各可撓性素子はビーム１０を一次元において調
整する能力を有する。２つの鏡１３、１７により決定さ
れたビームの方向において、ビームはレンズ１８により
モジュレータ即ち変調器２０内に収容された導波管のた
めの入力アパーチュア（開口）上で合焦される。変調器
２０はビーム１０を２つの出力ビームに分割する。２つ
の出力ビームはレンズ２２において結合され、一対の光
ファイバ４３、４４上で合焦される。各ファイバ４３、
４４は電気／機械変換器２３、２４にそれぞれ接続さ
れ、変換器はファイバ４３、４４の入力端部を二次元に
おいて調整する能力を有する。鏡（１３、１７）及びフ
ァイバ（４３、４４）の能動的な調整はコントローラ２
７により達成される。コントローラ２７はファイバ４
３、４４を通る光の量を表す入力をレシーバ３８、３９
から受け取り、修正用フィードバックを鏡（１３、１
７）及びファイバ（４３、４４）へ供給する。
図２に示すようなファイバ結合にレーザーを使用する能
動整合装置を開示している。この特許は源と透過媒体と
の間の光エネルギを能動的に結合することにより光学結
合損失を最小化しようとしている。レーザー１１は第１
の鏡１３の方向へビーム１０を導き、ビーム１０は第１
の鏡１３から第２の鏡１７へ反射され、第２の鏡でビー
ム１０が再度反射される。２つの鏡は可撓性素子上に装
着され、各可撓性素子はビーム１０を一次元において調
整する能力を有する。２つの鏡１３、１７により決定さ
れたビームの方向において、ビームはレンズ１８により
モジュレータ即ち変調器２０内に収容された導波管のた
めの入力アパーチュア（開口）上で合焦される。変調器
２０はビーム１０を２つの出力ビームに分割する。２つ
の出力ビームはレンズ２２において結合され、一対の光
ファイバ４３、４４上で合焦される。各ファイバ４３、
４４は電気／機械変換器２３、２４にそれぞれ接続さ
れ、変換器はファイバ４３、４４の入力端部を二次元に
おいて調整する能力を有する。鏡（１３、１７）及びフ
ァイバ（４３、４４）の能動的な調整はコントローラ２
７により達成される。コントローラ２７はファイバ４
３、４４を通る光の量を表す入力をレシーバ３８、３９
から受け取り、修正用フィードバックを鏡（１３、１
７）及びファイバ（４３、４４）へ供給する。
【０００６】上述のように、この光学結合装置はフォト
ニクス応用において有効な結合を得るために種々の結合
体系を使用する。しかし、これらの体系の大半は、典型
的には異なる材料で作られ、異なる熱膨張係数を有する
静的な構成要素を使用する。
ニクス応用において有効な結合を得るために種々の結合
体系を使用する。しかし、これらの体系の大半は、典型
的には異なる材料で作られ、異なる熱膨張係数を有する
静的な構成要素を使用する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】これらの差異が温度変
化中に光学的な不整合を生じさせることがあり、これは
空間応用においては普通のことである。従来技術として
開示され、能動整合制御フィードバック技術を使用する
ことにより不整合の問題を解決しようとするフォトニク
ス装置は典型的には別個のバルク光学構成要素を使用
し、組立てプロセスの複雑さが増大する。複雑さが増大
するほど、組立てコストが増大し、信頼性が減少する。
化中に光学的な不整合を生じさせることがあり、これは
空間応用においては普通のことである。従来技術として
開示され、能動整合制御フィードバック技術を使用する
ことにより不整合の問題を解決しようとするフォトニク
ス装置は典型的には別個のバルク光学構成要素を使用
し、組立てプロセスの複雑さが増大する。複雑さが増大
するほど、組立てコストが増大し、信頼性が減少する。
【０００８】フォトニクス結合体系として従来既知の技
術に基づき、光ファイバコアを光学装置に能動的に整合
させるためのモノリシック整合組立体は極めて望まし
い。
術に基づき、光ファイバコアを光学装置に能動的に整合
させるためのモノリシック整合組立体は極めて望まし
い。
【０００９】
【課題を解決するための手段並びに作用効果】本発明の
一態様によれば、能動整合フォトニクス組立体が提供さ
れる。略述すれば、フォトニクス組立体は光信号を運ぶ
光ファイバ手段と、光ファイバ手段から離間し、光信号
を受け取るための入力手段を備えた第１の光学素子とを
有する。オプションとして、フォトニクス組立体は光学
結合手段を備えた第２の光学素子を有することができ、
第２の光学素子は光ファイバ手段と第１の光学素子との
間で光信号経路内に位置する。フォトニクス組立体の整
合を維持するため、第１の光学素子における光信号のパ
ワーを決定し、これに応答して現状信号を生じさせる手
段を有する感知素子を設ける。現状信号を受け取り、修
正信号を分配する手段と、修正信号を受け取り、修正信
号に応答して光信号の経路を調整する調整手段とを有す
るコントローラを設ける。調整手段は光ファイバ手段、
第２の光学素子又はこれら両方を同時に調整できる少な
くとも１つのサーボ機構で制御されるマイクロアクチュ
エータを有する。
一態様によれば、能動整合フォトニクス組立体が提供さ
れる。略述すれば、フォトニクス組立体は光信号を運ぶ
光ファイバ手段と、光ファイバ手段から離間し、光信号
を受け取るための入力手段を備えた第１の光学素子とを
有する。オプションとして、フォトニクス組立体は光学
結合手段を備えた第２の光学素子を有することができ、
第２の光学素子は光ファイバ手段と第１の光学素子との
間で光信号経路内に位置する。フォトニクス組立体の整
合を維持するため、第１の光学素子における光信号のパ
ワーを決定し、これに応答して現状信号を生じさせる手
段を有する感知素子を設ける。現状信号を受け取り、修
正信号を分配する手段と、修正信号を受け取り、修正信
号に応答して光信号の経路を調整する調整手段とを有す
るコントローラを設ける。調整手段は光ファイバ手段、
第２の光学素子又はこれら両方を同時に調整できる少な
くとも１つのサーボ機構で制御されるマイクロアクチュ
エータを有する。
【００１０】本発明の別の態様によれば、能動整合フォ
トニクス組立体が提供される。略述すれば、フォトニク
ス組立体は光信号を運ぶ光ファイバ手段と、光ファイバ
手段から離間し、光信号を受け取るための入力手段を備
えた第１の光学素子とを有する。オプションとして、フ
ォトニクス組立体は光学結合手段を備えた第３の光学素
子を有することができ、第３の光学素子は光ファイバ手
段と第１の光学素子との間で光信号経路内に位置する。
フォトニクス組立体の整合を維持するため、光ファイバ
手段から離間し、光信号の分岐パワーを受け取るための
入力手段を備えた第２の光学素子を設ける。更に、第２
の光学素子における光信号の分岐パワーを決定し、これ
に応答して現状信号を生じさせる手段を有する感知素子
を設ける。現状信号を受け取り、修正信号を分配する手
段と、修正信号を受け取り、修正信号に応答して光信号
の経路を調整する調整手段とを有するコントローラを設
ける。調整手段は光ファイバ手段、第３の光学素子又は
これら両方を同時に調整できる少なくとも１つのサーボ
機構で制御されるマイクロアクチュエータを有する。
トニクス組立体が提供される。略述すれば、フォトニク
ス組立体は光信号を運ぶ光ファイバ手段と、光ファイバ
手段から離間し、光信号を受け取るための入力手段を備
えた第１の光学素子とを有する。オプションとして、フ
ォトニクス組立体は光学結合手段を備えた第３の光学素
子を有することができ、第３の光学素子は光ファイバ手
段と第１の光学素子との間で光信号経路内に位置する。
フォトニクス組立体の整合を維持するため、光ファイバ
手段から離間し、光信号の分岐パワーを受け取るための
入力手段を備えた第２の光学素子を設ける。更に、第２
の光学素子における光信号の分岐パワーを決定し、これ
に応答して現状信号を生じさせる手段を有する感知素子
を設ける。現状信号を受け取り、修正信号を分配する手
段と、修正信号を受け取り、修正信号に応答して光信号
の経路を調整する調整手段とを有するコントローラを設
ける。調整手段は光ファイバ手段、第３の光学素子又は
これら両方を同時に調整できる少なくとも１つのサーボ
機構で制御されるマイクロアクチュエータを有する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明はフォトニクス組立体に関
し、特にフォトダイオード検出器、レーザー、光ファイ
バ、変調器、フィルタ、導波管、発光ダイオード又は同
様の光学受信装置に対する光ファイバコアの能動的な整
合を行うフォトニクス組立体に関する。図３に示すよう
な本発明の好ましい実施の形態は外装された光ファイバ
ケーブル５０と、ファイバコア５４と、複数のマイクロ
アクチュエータ（７４、７６、７８）と、レンズ５８
と、光検出器６０と、感知素子６２と、コントローラ６
６とを有する。外装された光ファイバケーブル５０はフ
ァイバコア５４を通して光信号５２を導く。ファイバコ
ア５４は単一モードのファイバであり、（２Ｇｈｚより
大きな）高マイクロ波周波数で変調されたときに作動す
るような能力を有するものを選択され、偏光維持能力を
有することができる。ファイバコア５４は、ファイバコ
ア５４を整合させるために使用される複数のマイクロア
クチュエータ７４、７６、７８上に装着され、ファイバ
コア５４の最適の調整を提供するために、マイクロアク
チュエータ７４、７６、７８は三次元（ｘ、ｙ、ｚ）で
のファイバコア５４の調整を許容するように方位決めさ
れる。マイクロアクチュエータ７４、７６、７８は「曲
げ」運動によりファイバコア５４を調整し、抵抗加熱に
より熱的に駆動されるバイメタルストリップ又は電流に
より駆動され低電力デューティを必要とする圧電材料と
することができる。好ましいバイメタルストリップ又は
圧電材料に加えて、マイクロアクチュエータ７４、７
６、７８はまた、加熱素子、電動素子、バイカンパウン
ドストリップ、コンポーネントストリップ又は同様の
「曲げ」特性を提供する他の材料とすることができる。
代わりに、マイクロアクチュエータ７４、７６、７８は
ミクロ加工されたモータ、レバー又はステッパモータの
如きミクロ機械装置とすることができる。重要なこと
は、マイクロアクチュエータの選択がマイクロ秒の運動
応答を提供する材料や装置に限定されず、１秒以上の応
答時間を提供する材料や装置とすることもできることで
ある。
し、特にフォトダイオード検出器、レーザー、光ファイ
バ、変調器、フィルタ、導波管、発光ダイオード又は同
様の光学受信装置に対する光ファイバコアの能動的な整
合を行うフォトニクス組立体に関する。図３に示すよう
な本発明の好ましい実施の形態は外装された光ファイバ
ケーブル５０と、ファイバコア５４と、複数のマイクロ
アクチュエータ（７４、７６、７８）と、レンズ５８
と、光検出器６０と、感知素子６２と、コントローラ６
６とを有する。外装された光ファイバケーブル５０はフ
ァイバコア５４を通して光信号５２を導く。ファイバコ
ア５４は単一モードのファイバであり、（２Ｇｈｚより
大きな）高マイクロ波周波数で変調されたときに作動す
るような能力を有するものを選択され、偏光維持能力を
有することができる。ファイバコア５４は、ファイバコ
ア５４を整合させるために使用される複数のマイクロア
クチュエータ７４、７６、７８上に装着され、ファイバ
コア５４の最適の調整を提供するために、マイクロアク
チュエータ７４、７６、７８は三次元（ｘ、ｙ、ｚ）で
のファイバコア５４の調整を許容するように方位決めさ
れる。マイクロアクチュエータ７４、７６、７８は「曲
げ」運動によりファイバコア５４を調整し、抵抗加熱に
より熱的に駆動されるバイメタルストリップ又は電流に
より駆動され低電力デューティを必要とする圧電材料と
することができる。好ましいバイメタルストリップ又は
圧電材料に加えて、マイクロアクチュエータ７４、７
６、７８はまた、加熱素子、電動素子、バイカンパウン
ドストリップ、コンポーネントストリップ又は同様の
「曲げ」特性を提供する他の材料とすることができる。
代わりに、マイクロアクチュエータ７４、７６、７８は
ミクロ加工されたモータ、レバー又はステッパモータの
如きミクロ機械装置とすることができる。重要なこと
は、マイクロアクチュエータの選択がマイクロ秒の運動
応答を提供する材料や装置に限定されず、１秒以上の応
答時間を提供する材料や装置とすることもできることで
ある。
【００１２】レンズ５８は光信号５２を受け取り、ファ
イバコア５４を去った光信号５２のどの分岐光エネルギ
も合焦させる。代わりに、レンズ５８は、特定のフォト
ニクス応用の結合要求に応じて、フォトニクス組立体か
ら排除することができる。レンズ５８はまた、鏡、回折
素子、干渉素子、導波管又は光学結合特性を有する同様
の光学装置と交換することができる。
イバコア５４を去った光信号５２のどの分岐光エネルギ
も合焦させる。代わりに、レンズ５８は、特定のフォト
ニクス応用の結合要求に応じて、フォトニクス組立体か
ら排除することができる。レンズ５８はまた、鏡、回折
素子、干渉素子、導波管又は光学結合特性を有する同様
の光学装置と交換することができる。
【００１３】光信号５２はレンズ５８を通り、フォトダ
イオード検出器６０上で合焦され、フォトダイオード検
出器は光信号５２を電気信号５３に変換する。前述のよ
うに、フォトダイオード検出器６０はレーザー、ファイ
バ、変調器、フィルタ、（能動又は受動の）導波管又は
発光ダイオードとすることができる。
イオード検出器６０上で合焦され、フォトダイオード検
出器は光信号５２を電気信号５３に変換する。前述のよ
うに、フォトダイオード検出器６０はレーザー、ファイ
バ、変調器、フィルタ、（能動又は受動の）導波管又は
発光ダイオードとすることができる。
【００１４】フォトダイオード検出器６０は感知素子６
２に電気的に接続され、感知素子は電流計又は同様の装
置により光信号５２によって発生したパワーレベル及び
偏光を検出できる。信号５２のパワーレベルはフォトダ
イオード検出器６０に対するファイバコア５４の最適な
光学整合にとって期待されるパワーの所定のレベルと比
較される。比較の結果に基づき、電気現状信号６４がコ
ントローラ素子６６へ送られ、コントローラ素子は別個
の電気信号６８、７０、７２をマイクロアクチュエータ
７４、７６、７８ヘそれぞれ伝達することによりマイク
ロアクチュエータの曲げ運動を起動させる。電気信号６
８、７０、７２は電気信号の強度及び期間に比例してマ
イクロアクチュエータに「曲げ」を生じさせあるいはマ
イクロアクチュエータを運動させ、曲げ作用によりファ
イバコア５４の位置を調整する。好ましい実施の形態に
おいては、図７に示すように、マイクロアクチュエータ
（７４、７６、７８）、レンズ５８、光検出器６０、感
知素子６２、コントローラ６６及びそのそれぞれの別の
実施の形態はモノリシック本体６７を形成するように構
成することができる。
２に電気的に接続され、感知素子は電流計又は同様の装
置により光信号５２によって発生したパワーレベル及び
偏光を検出できる。信号５２のパワーレベルはフォトダ
イオード検出器６０に対するファイバコア５４の最適な
光学整合にとって期待されるパワーの所定のレベルと比
較される。比較の結果に基づき、電気現状信号６４がコ
ントローラ素子６６へ送られ、コントローラ素子は別個
の電気信号６８、７０、７２をマイクロアクチュエータ
７４、７６、７８ヘそれぞれ伝達することによりマイク
ロアクチュエータの曲げ運動を起動させる。電気信号６
８、７０、７２は電気信号の強度及び期間に比例してマ
イクロアクチュエータに「曲げ」を生じさせあるいはマ
イクロアクチュエータを運動させ、曲げ作用によりファ
イバコア５４の位置を調整する。好ましい実施の形態に
おいては、図７に示すように、マイクロアクチュエータ
（７４、７６、７８）、レンズ５８、光検出器６０、感
知素子６２、コントローラ６６及びそのそれぞれの別の
実施の形態はモノリシック本体６７を形成するように構
成することができる。
【００１５】代わりに、図６に示すように、フォトニク
ス組立体の最適の光学整合は光検出器、光ファイバ、ビ
ームスプリッタ又は同様の装置において光信号５２の分
岐エネルギを受け取ることにより維持することができ
る。光検出器６１は光信号５２の分岐エネルギ５９を検
出する。光検出器６１は光信号５２の分岐エネルギ５９
を検出する感知素子６２に電気的に接続される。分岐エ
ネルギ５９はファイバコア５４の最適な信号整合中の信
号５２にとって期待される分岐の所定のレベルと比較さ
れる。比較の結果に基づき、電気現状信号６４がコント
ローラ素子６６へ送られ、コントローラ素子は前述の方
法でマイクロアクチュエータ７４、７６、７８の曲げ運
動を起動させる。
ス組立体の最適の光学整合は光検出器、光ファイバ、ビ
ームスプリッタ又は同様の装置において光信号５２の分
岐エネルギを受け取ることにより維持することができ
る。光検出器６１は光信号５２の分岐エネルギ５９を検
出する。光検出器６１は光信号５２の分岐エネルギ５９
を検出する感知素子６２に電気的に接続される。分岐エ
ネルギ５９はファイバコア５４の最適な信号整合中の信
号５２にとって期待される分岐の所定のレベルと比較さ
れる。比較の結果に基づき、電気現状信号６４がコント
ローラ素子６６へ送られ、コントローラ素子は前述の方
法でマイクロアクチュエータ７４、７６、７８の曲げ運
動を起動させる。
【００１６】当業者なら、図４、５に示すような種々の
型式のフォトニクス組立体に本発明の原理を適用できる
ことを理解できよう。図４に示すように、レンズ８０は
図３のファイバコア５４を調整するために使用された方
法と同様の方法で調整される。図３に示すファイバコア
５４とは異なり、レンズ８０がマイクロアクチュエータ
７４、７６、７８の「曲げ」運動により調整され、光信
号５２は光検出器６０上に最適に合焦される。マイクロ
アクチュエータ７４、７６、７８の「曲げ」運動はレン
ズ８０を再方位決めでき、あるいはレンズの変形により
光学特性を変化させることができる。代わりに、レンズ
８０は鏡、回折素子、干渉素子、導波管、又は同様の光
学結合装置と交換できる。
型式のフォトニクス組立体に本発明の原理を適用できる
ことを理解できよう。図４に示すように、レンズ８０は
図３のファイバコア５４を調整するために使用された方
法と同様の方法で調整される。図３に示すファイバコア
５４とは異なり、レンズ８０がマイクロアクチュエータ
７４、７６、７８の「曲げ」運動により調整され、光信
号５２は光検出器６０上に最適に合焦される。マイクロ
アクチュエータ７４、７６、７８の「曲げ」運動はレン
ズ８０を再方位決めでき、あるいはレンズの変形により
光学特性を変化させることができる。代わりに、レンズ
８０は鏡、回折素子、干渉素子、導波管、又は同様の光
学結合装置と交換できる。
【００１７】更に、図５に示すように、ファイバコア８
２及びレンズ８４はマイクロアクチュエータ８６、８
８、９０、９２、９４、９６によりそれぞれ調整するこ
とができる。感知素子９８はフォトダイオード検出器１
０４における光信号１０２のパワーに基づく現状信号１
００を発生させ、現状信号１００をコントローラ素子１
０８へ送る。コントローラ素子１０８はファイバコア８
２及びレンズ８４において要求される調整を決定し、電
気修正信号１１０、１１２、１１４が発生して、マイク
ロアクチュエータ８６、８８、９０をそれぞれ曲げ運動
させ、電気信号１１６、１１８、１２０が発生して、マ
イクロアクチュエータ９２、９４、９６をそれぞれ曲げ
運動させる。図５に示す組立体は別個の光学素子の同時
の調整を可能にし、それ故、フォトダイオード検出器１
０４に関するファイバ８２の整合の付加的な制御を提供
する。
２及びレンズ８４はマイクロアクチュエータ８６、８
８、９０、９２、９４、９６によりそれぞれ調整するこ
とができる。感知素子９８はフォトダイオード検出器１
０４における光信号１０２のパワーに基づく現状信号１
００を発生させ、現状信号１００をコントローラ素子１
０８へ送る。コントローラ素子１０８はファイバコア８
２及びレンズ８４において要求される調整を決定し、電
気修正信号１１０、１１２、１１４が発生して、マイク
ロアクチュエータ８６、８８、９０をそれぞれ曲げ運動
させ、電気信号１１６、１１８、１２０が発生して、マ
イクロアクチュエータ９２、９４、９６をそれぞれ曲げ
運動させる。図５に示す組立体は別個の光学素子の同時
の調整を可能にし、それ故、フォトダイオード検出器１
０４に関するファイバ８２の整合の付加的な制御を提供
する。
【００１８】上述の説明に鑑み、本発明の種々の修正及
び変更が可能であること明らかである。
び変更が可能であること明らかである。
【図１】装着されたファイバ組立体とフォトダイオード
内に一体的に組み込まれたマイクロレンズとを有する既
知の光学結合装置を示す図である。
内に一体的に組み込まれたマイクロレンズとを有する既
知の光学結合装置を示す図である。
【図２】ファイバ結合にレーザーを使用する能動整合装
置を有する別の既知の光学結合装置を示す図である。
置を有する別の既知の光学結合装置を示す図である。
【図３】本発明に係る能動整合フォトニクス組立体を示
す図である。
す図である。
【図４】図３に示す能動整合フォトニクス組立体の別の
実施の形態を示す図である。
実施の形態を示す図である。
【図５】本発明に係る能動整合フォトニクス組立体の更
に別の実施の形態を示す図である。
に別の実施の形態を示す図である。
【図６】本発明に係る能動整合フォトニクス組立体の他
の実施の形態を示す図である。
の実施の形態を示す図である。
【図７】本発明に従ってモノリシック本体から形成され
た能動整合フォトニクス組立体を示す図である。
た能動整合フォトニクス組立体を示す図である。
５２、１０２ 光信号 ５４、８２ ファイバコア ５８、８０、８４ レンズ ６０、６１、１０４ 光検出器 ６２、９８ 感知素子 ６６、１０８ コントローラ ６７ モノリシック本体 ７４、７６、７８、８６、８８、９０、９２、９４、９
６ マイクロアクチュエータ
６ マイクロアクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アラン・エム・ハーシュバーグ アメリカ合衆国カリフォルニア州91362, サウザンド・オウクス，ポカノ・コート 3055
Claims (11)
- 【請求項１】 能動整合フォトニクス組立体において、 光信号を運ぶための光ファイバ手段と；上記光ファイバ
手段から離間し、上記光信号を受け取るための入力手段
を備えた第１の光学素子と；上記第１の光学素子におけ
る上記光信号のパワーを決定し、これに応答して現状信
号を生じさせる手段を有する感知素子と；上記現状信号
を受け取り、修正信号を生じる手段を有するコントロー
ラと；上記修正信号を受け取り、当該修正信号に応答し
て上記光信号の経路を調整する調整手段と；を有するこ
とを特徴とする能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項２】 上記組立体が上記第１の光学素子、上記
感知素子、上記コントローラ及び上記整合手段からなる
モノリシック本体であることを特徴とする請求項１に記
載の能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項３】 上記整合手段がサーボ機構で制御される
マイクロアクチュエータを有することを特徴とする請求
項１に記載の能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項４】 上記マイクロアクチュエータが上記光フ
ァイバ手段に接続され、当該光ファイバ手段を調整する
ことを特徴とする請求項３に記載の能動整合フォトニク
ス組立体。 - 【請求項５】 上記マイクロアクチュエータが三次元に
おいて上記光ファイバ手段を調整するように配置され、
もって、上記光信号が上記第１の光学素子の入力手段に
関して最適化されることを特徴とする請求項４に記載の
能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項６】 上記光信号のエネルギを再度導くための
光学結合手段を備えた第２の光学素子を更に有し、上記
第２の光学素子が上記光ファイバ手段と上記第１の光学
素子との間で光信号経路内に位置することを特徴とする
請求項３に記載の能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項７】 上記マイクロアクチュエータが上記第２
の光学素子に接続され、当該第２の光学素子を調整する
ことを特徴とする請求項６に記載の能動整合フォトニク
ス組立体。 - 【請求項８】 上記マイクロアクチュエータが三次元に
おいて上記第２の光学素子を調整するように配置され、
もって、上記光信号が上記第１の光学素子の入力手段に
関して最適化されることを特徴とする請求項７に記載の
能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項９】 上記マイクロアクチュエータが上記光フ
ァイバ手段及び上記第２の光学素子に接続され、当該光
ファイバ手段及び第２の光学素子を調整することを特徴
とする請求項６に記載の能動整合フォトニクス組立体。 - 【請求項１０】 上記調整手段が更に上記光ファイバ手
段及び上記第２の光学素子の同時の調整を行う手段を有
することを特徴とする請求項９に記載の能動整合フォト
ニクス組立体。 - 【請求項１１】 能動整合フォトニクス組立体におい
て、 光信号を運ぶための光ファイバ手段と；上記光ファイバ
手段から離間し、上記光信号を受け取るための入力手段
を備えた第１の光学素子と；上記光ファイバ手段から離
間し、上記光信号の分岐パワーを受け取るための入力手
段を備えた第２の光学素子と；上記第２の光学素子にお
ける上記光信号の分岐パワーを決定し、これに応答して
現状信号を生じさせる手段を有する感知素子と；上記現
状信号を受け取り、修正信号を生じる手段を有するコン
トローラと；上記修正信号を受け取り、当該修正信号に
応答して上記光信号の経路を調整する調整手段と；を有
することを特徴とする能動整合フォトニクス組立体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/167,198 US6205266B1 (en) | 1998-10-06 | 1998-10-06 | Active alignment photonics assembly |
| US09/167198 | 1998-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000111816A true JP2000111816A (ja) | 2000-04-21 |
Family
ID=22606360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11268904A Pending JP2000111816A (ja) | 1998-10-06 | 1999-09-22 | 能動整合フォトニクス組立体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6205266B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000111816A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002010843A3 (en) * | 2000-07-31 | 2002-10-10 | Naomi Matsuura | Configurable phontonic device |
| JP2011508541A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-10 | エリクソン テレコムニカソンイス ソシエダット アノニマ | 光空間伝送通信装置 |
| KR20150103218A (ko) * | 2013-01-02 | 2015-09-09 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 광 집적 회로에 광섬유의 간략화된 정렬을 제공하는 장치 |
| JP2020021018A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 日本電気株式会社 | 光モジュール |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6545261B1 (en) * | 1999-08-31 | 2003-04-08 | James N. Blake | Fiber optic alignment system and method |
| US6305851B1 (en) * | 2000-01-12 | 2001-10-23 | Ciena Corporation | Systems and methods for detecting imperfect connections in optical systems |
| JP2002258172A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 走査方法及びその装置，光強度検査方法及びその装置、並びに、調芯方法及びその装置 |
| WO2003012510A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Gigabit Optics Corporation | System and method for optical multiplexing and/or demultiplexing |
| US20030030869A1 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-13 | International Business Machines Corporation | Active real-time alignment system for optoelectronic (OE) devices |
| US6733188B2 (en) * | 2001-11-05 | 2004-05-11 | International Business Machines Corporation | Optical alignment in a fiber optic transceiver |
| US20040028348A1 (en) * | 2002-03-15 | 2004-02-12 | Marie-Claude Cote | Method and apparatus for assembling optical devices |
| US20030174329A1 (en) * | 2002-03-15 | 2003-09-18 | Kuper Jerry W. | System and method for aligning a first optical device with an input port of a second optical device |
| US20030174313A1 (en) * | 2002-03-15 | 2003-09-18 | Gang He | Method and apparatus for testing optical devices |
| US6748141B2 (en) * | 2002-03-28 | 2004-06-08 | Agilent Technologies, Inc. | Method, apparatus and system for aligning an optical fiber end with an optical waveguide |
| JP2003329896A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-19 | Precise Gauges Co Ltd | 光学部品の調芯方法及びその装置 |
| US6941040B2 (en) * | 2002-06-05 | 2005-09-06 | Raytheon Company | Selectable filter module for optical fiber transmission system, and method of filtering light |
| EP1595172A2 (en) * | 2002-11-08 | 2005-11-16 | Nanolign, Inc. | Dynamic micro-positioning and aligning apparatus and method |
| US20040091213A1 (en) * | 2002-11-08 | 2004-05-13 | Tsung-Kai Chuang | Optical calibrating method |
| TW595137B (en) * | 2003-03-11 | 2004-06-21 | Delta Electronics Inc | Active assembly apparatus of planer lightguide circuit |
| US20050036741A1 (en) * | 2003-03-17 | 2005-02-17 | Mark Rodighiero | Method and apparatus for correcting attachment induced positional shift in a photonic package |
| US7304738B2 (en) * | 2003-08-27 | 2007-12-04 | Finisar Corporation | Method for actively aligning an optoelectronic device |
| US20060114454A1 (en) * | 2004-12-01 | 2006-06-01 | Tsung-Kai Chuang | Optical claibration method |
| US9026036B2 (en) * | 2005-02-28 | 2015-05-05 | Corning Optical Communications Wireless Ltd. | Method and system for integrating an RF module into a digital network access point |
| JP2009036924A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Nitto Denko Corp | 光導波路フィルム、光基板およびこれらの製造方法 |
| US8111959B2 (en) * | 2008-07-30 | 2012-02-07 | Corning Mobileaccess Ltd | Method and system for coupling multimode optical fiber to an optical detector |
| US11466316B2 (en) | 2015-05-20 | 2022-10-11 | Quantum-Si Incorporated | Pulsed laser and bioanalytic system |
| US10605730B2 (en) | 2015-05-20 | 2020-03-31 | Quantum-Si Incorporated | Optical sources for fluorescent lifetime analysis |
| US10840396B2 (en) | 2016-04-15 | 2020-11-17 | Ams Sensors Singapore Pte. Ltd. | Optoelectronic modules with alignment spacers and methods for assembling the same |
| BR112019012054A2 (pt) | 2016-12-16 | 2020-08-18 | Quantum-Si Incorporated | módulo de laser em modo travado compacto |
| KR20220084181A (ko) * | 2016-12-16 | 2022-06-21 | 퀀텀-에스아이 인코포레이티드 | 콤팩트한 빔 셰이핑 및 스티어링 어셈블리 |
| MX2020013680A (es) | 2018-06-15 | 2021-03-02 | Quantum Si Inc | Control y adquisicion de datos para instrumentos analiticos avanzados que tienen fuentes opticas pulsadas. |
| JP2021192070A (ja) * | 2018-09-04 | 2021-12-16 | ソニーグループ株式会社 | 光通信用コネクタ、制御方法および光通信装置 |
| US11747561B2 (en) | 2019-06-14 | 2023-09-05 | Quantum-Si Incorporated | Sliced grating coupler with increased beam alignment sensitivity |
| US11428880B2 (en) * | 2020-07-31 | 2022-08-30 | Openlight Photonics, Inc. | Optical based placement of an optical compontent using a pick and place machine |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3959729A (en) | 1974-03-25 | 1976-05-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electro-optic tuning indicator |
| EP0030108B1 (en) * | 1979-12-03 | 1984-06-13 | The Post Office | Improvements in or relating to the coupling of dielectric optical waveguides |
| US4474423A (en) * | 1980-06-13 | 1984-10-02 | At&T Bell Laboratories | Automatic alignment apparatus for optical fiber splicing |
| DE3413667A1 (de) * | 1984-04-11 | 1985-10-17 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum einjustieren einer an einem ende eines optischen wellenleiters vorgesehenen koppeloptik auf einen halbleiterlaser und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| US4696062A (en) * | 1985-07-12 | 1987-09-22 | Labudde Edward V | Fiber optic switching system and method |
| US5039191A (en) * | 1990-06-25 | 1991-08-13 | Motorola Inc. | Optical coupling arrangement |
| US5216729A (en) | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Harmonic Lightwaves, Inc. | Active alignment system for laser to fiber coupling |
| US5343548A (en) | 1992-12-15 | 1994-08-30 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for batch, active alignment of laser arrays to fiber arrays |
| US5346583A (en) | 1993-09-02 | 1994-09-13 | At&T Bell Laboratories | Optical fiber alignment techniques |
| US5623337A (en) * | 1994-09-28 | 1997-04-22 | Nec Corporation | Method capable of quickly adjusting an optical axis of an optical fiber |
| JPH0961752A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光軸調芯方法、光軸調芯装置、光学素子の検査方法、光学素子の検査装置、光学モジュ−ルの製造方法及び光学モジュ−ルの製造装置 |
-
1998
- 1998-10-06 US US09/167,198 patent/US6205266B1/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-09-22 JP JP11268904A patent/JP2000111816A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002010843A3 (en) * | 2000-07-31 | 2002-10-10 | Naomi Matsuura | Configurable phontonic device |
| US6961501B2 (en) | 2000-07-31 | 2005-11-01 | Naomi Matsuura | Configurable photonic device |
| JP2011508541A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-10 | エリクソン テレコムニカソンイス ソシエダット アノニマ | 光空間伝送通信装置 |
| US8577223B2 (en) | 2007-12-27 | 2013-11-05 | Ericsson Telecomunicações S.A. | Optical communications apparatus |
| US9507104B2 (en) | 2013-01-02 | 2016-11-29 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
| JP2016502154A (ja) * | 2013-01-02 | 2016-01-21 | マイクロン テクノロジー， インク． | 光集積回路内の光ファイバの単純化されたアライメントを提供する装置 |
| KR20150103218A (ko) * | 2013-01-02 | 2015-09-09 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 광 집적 회로에 광섬유의 간략화된 정렬을 제공하는 장치 |
| US9715070B2 (en) | 2013-01-02 | 2017-07-25 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
| US9958624B2 (en) | 2013-01-02 | 2018-05-01 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
| KR101883540B1 (ko) * | 2013-01-02 | 2018-07-30 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 광 집적 회로에 광섬유의 간략화된 정렬을 제공하는 장치 |
| US10656354B2 (en) | 2013-01-02 | 2020-05-19 | Micron Technology, Inc. | Apparatus providing simplified alignment of optical fiber in photonic integrated circuits |
| JP2020021018A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 日本電気株式会社 | 光モジュール |
| JP7128053B2 (ja) | 2018-08-03 | 2022-08-30 | 日本電気株式会社 | 光モジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6205266B1 (en) | 2001-03-20 |
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