JP2000104741A - 玉軸受装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】全体厚みを薄くすることができるとともに、発
塵量が少なく、回転のスムースな玉軸受装置Ｘを提供す
る。 【解決手段】内輪２と軸Ｓとを円板状にて一体形成し、
外輪１とハウジングＨとを環状にて一体形成した。外輪
軌道１ａと内輪軌道２ａとを単列形成し、両者間に保持
器を用いることなく負荷玉３と無負荷玉４とを交互に介
在した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハーを複数の処理室に供給する多関節搬送装置に使用す
る玉軸受装置及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８及び図９は、同心円に沿って設けら
れた複数の処理室Ｃに半導体ウエハーＷを順次供給する
ための従来の多関節搬送装置の平面図及び側面図であ
る。この多関節搬送装置においては、駆動部９０の中央
部に同軸駆動軸９１が設けられており、この同軸駆動軸
９１を構成する中実軸９１ａ及び中空軸９１ｂの上端
に、一対の駆動アーム９２の一端がそれぞれ固定されて
いる。この一対の駆動アーム９２の他端は一対の従動ア
ーム９３の一端にそれぞれ回動自在に連結され、さらに
この一対の従動アーム９３の他端は、一対の玉軸受装置
Ａやフォーク１０９等を備える手首ユニット１００に回
動自在に連結されている。同軸駆動軸９１は、中実軸９
１ａと中空軸９１ｂとが同軸に、しかも互いに独立して
同心的に回転できるように構成されたものであり、図示
しない駆動モータによりそれぞれの回転方向、回転量が
制御される。

【０００３】図１０は手首ユニット１００に設けられた
一対の玉軸受装置Ａの一方を示す断面図である。この玉
軸受装置Ａは、従動アーム９３の一端に軸１０２が嵌入
され、この軸１０２の上部外周に対して上下動可能に押
さえリング１０３が嵌合されているとともに、押さえリ
ング１０３の外周に上下２段にてアンギュラ玉軸受１０
５の内輪が嵌合され、このアンギュラ玉軸受１０５の外
輪外周にハウジング１０４が嵌合されているものであ
り、前記アンギュラ玉軸受１０５には、軸１０２の下方
からボルトＢの締付を行うことにより、押さえリング１
０３を介して予圧が負荷されている。また、前記ハウジ
ング１０４の外周にはギヤ１０６が嵌合されており、こ
のギヤ１０６はハウジング１０４の外周に設けられた凸
部１０４ａにネジ止めされている。他方の玉軸受装置Ａ
も上記と同様に構成されており、それぞれのハウジング
１０４どうしは、その上面に取り付けられたブラケット
１０８を介して連結されているとともに、各玉軸受装置
Ａのギヤ１０６どうしは、一対の従動アーム９３どうし
が位相を合わせて連動回動できるように互いに噛み合っ
ている。また、前記ブラケット１０８端部には、半導体
ウエハーＷを保持するための前記フォーク１０９がネジ
止めされている。なお、前記処理室Ｃは、駆動部９０の
同軸駆動軸９１を中心とする仮想円上に所定間隔毎に設
けられている。

【０００４】以上のように構成された多関節搬送装置
は、中実軸９１ａと中空軸９１ｂとを互いに異なる方向
に回転させることにより、一対の駆動アーム９２どうし
及び従動アーム９３どうしを開脚又は閉脚させて、手首
ユニット１００を、駆動部９０と処理室Ｃとを結ぶ直線
に沿って進退させることができ、これにより、フォーク
１０９にて保持した半導体ウエハーＷを処理室Ｃに導入
したり、処理の完了した半導体ウエハーＷを処理室Ｃか
ら取り出したりすることができる。一方、中実軸９１ａ
と中空軸９１ｂとを同一方向に回動させると、一対の駆
動アーム９２を同一方向に回動させて、手首ユニット１
００を同軸駆動軸９１を中心として旋回させることがで
き、これにより、処理室Ｃから取り出した半導体ウエハ
ーＷを、当該処理室Ｃに隣設する処理室Ｃ側に移送する
ことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の多関節
搬送装置は、手首ユニット１００の玉軸受装置Ａが、負
荷容量を確保するためにアンギュラ玉軸受１０５を上下
２段に配置しているとともに、このアンギュラ玉軸受１
０５に予圧を負荷するために、押さえリング１０３を配
置しているので、玉軸受装置Ａが嵩高くなる。このた
め、処理室Ｃの上下方向の厚みを大きくする必要があ
り、その分、処理室Ｃの容積が大きくなって、処理室Ｃ
内を真空にするのに時間がかかり、結果として処理速度
が遅くなるという問題があった。また、半導体ウエハー
Ｗの汚れ防止のために洗浄処理の前後においてフォーク
１０９を使い分けたり、半導体ウエハーＷの移送効率を
向上させたりするために、駆動アーム９２、従動アーム
９３及び手首ユニット１００を上下２段に配置する場合
があるが、この場合には、処理室Ｃの上下方向の厚み
を、上下２段の手首ユニット１００が出し入れ可能な厚
みにする必要があるので、処理室Ｃの容積がさらに大き
くなって、処理室内を真空にするのにさらに時間を要
し、処理速度がさらに遅くなるという問題があった。し
かも、玉軸受装置Ａは、スペース的な制約からアンギュ
ラ玉軸受１０５として負荷容量の大きいものを採用し難
いことから、その剛性が低いとともに、部品点数が多い
ことから、その組み立て誤差が累積して真円度が悪くな
り、従動アーム９３とブラケット１０８とをスムーズに
相対回転させることができないという問題もあった。

【０００６】さらに、手首ユニット１００の玉軸受装置
Ａに使用するアンギュラ玉軸受１０５は、直径寸法に対
して断面サイズの比率の小さい超薄肉タイプの軸受であ
るため、玉を保持している保持器の案内は内輪案内又は
外輪案内にせざるを得ない。このため長時間使用してい
る間に保持器の案内面が摩耗し、発塵量が多くなったり
トルクが増大したりするという問題があった。

【０００７】本発明係る事情に鑑みてなされたものであ
り、全体厚みを薄くすることができるとともに、発塵量
が少なく、回転のスムースな玉軸受装置を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の玉軸受装置は、外周に転動体転走用の軌道が
設けられた内輪と、内周に転動体転走用の軌道が設けら
れ、前記内輪と同心に配置された外輪と、前記内輪の軌
道と前記外輪の軌道との間に介在した転動体としての玉
と、前記内輪と一体化された軸と、前記外輪を保持する
ハウジングとを備える玉軸受装置において、前記内輪と
軸とを円板状又は環状にて一体形成しているとともに、
前記外輪とハウジングとを環状にて一体形成し、前記内
輪の軌道と前記外輪の軌道とをそれぞれ単列形成し、各
軌道の間に、保持器を用いることなく前記玉を略隙間な
く介在させたことを特徴とするものである（請求項
１）。

【０００９】以上の構成の玉軸受装置は、内輪と軸とが
円板状又は環状にて一体形成され、外輪とハウジングと
が環状にて一体形成されているとともに、玉の軌道が単
列であるので、軸受装置の全体厚みを薄くすることがで
きる。また、前記内輪と外輪のそれぞれの軌道の間に、
保持器を用いることなく玉を略隙間なく介在させている
ので、つまり総玉軸受構造を採用しているので、軸受の
負荷容量を高めることができるとともに、内輪と軸、外
輪とハウジングとをそれぞれ一体形成して部品点数を削
減しているので、玉軸受装置の剛性を確保することがで
きるとともに、その組み立て誤差を少なくして、良好な
真円度を確保することができる。さらに、保持器を使用
していないので、その摩耗に起因して発塵やトルクの増
大が生じるのを防止することができる。

【００１０】前記玉軸受装置は、前記内輪又は前記外輪
の何れか一方の径方向に沿って、前記内輪と前記外輪の
それぞれの軌道間に前記玉を入れるための玉入れ孔が貫
通形成され、この玉入れ孔が止め栓で閉塞されていると
ともに、この止め栓の前記玉に臨む側の端部に玉が転走
する軌道が形成されているものであってもよい（請求項
２）。この玉軸受装置においては、前記玉入れ孔が、内
輪又は外輪の何れか一方の径方向に沿って貫通形成さ
れ、この玉入れ孔が止め栓で閉塞されているので、軸受
装置にモーメントが作用した場合でも、内外輪の軌道間
に入れた玉が内外輪間の隙間を通して飛び出すのを防止
することができる。すなわち、従来の総玉軸受において
は、内外輪の軌道間に玉を入れるために、内輪外周と外
輪内周の何れかに切り欠き（入れ溝）を形成しているの
で、軸受にモーメントが作用した場合に、前記切り欠き
に対応する部分の内外輪間の隙間から玉が飛び出すおそ
れがあったが、本発明の玉軸受装置は、前記玉入れ孔が
内輪又は外輪の何れか一方の径方向に沿って貫通形成さ
れ、止め栓で閉塞されているので、玉が内外輪間の隙間
を通して飛び出すのを防止することができる。また、前
記玉入れ孔を閉塞する止め栓の端部にも軌道が形成され
ているので、玉の走行が安定する。

【００１１】前記請求項２記載の玉軸受装置は、前記玉
入れ孔に交差させ、且つ前記玉入れ孔の軸心から偏倚さ
せた状態でピン孔を設け、このピン孔にピンを嵌入して
前記止め栓を固定しているものであってもよい（請求項
３）。この玉軸受装置においては、前記ピンによって止
め栓が回転し、抜け出すことを容易に規制することがで
きる。

【００１２】前記玉軸受装置は、前記内輪と前記外輪と
の間に、負荷を受け止める負荷玉と、この負荷玉と異な
る材料からなり、当該負荷玉よりも小径の無負荷玉とが
交互に配置されているものであってもよい（請求項
４）。この玉軸受装置においては、負荷玉の相互の間隔
を無負荷玉によって規定することができる。また、前記
無負荷玉が負荷玉と異なる材料からなるので、各玉同士
が凝着したり、玉が摩耗したりするのを抑制することが
できる。

【００１３】請求項４記載の玉軸受装置において、前記
負荷玉がセラミックスからなり、無負荷玉がステンレス
鋼からなるのが望ましい（請求項５）。この場合には、
負荷玉と無負荷玉とで色が異なるので、両者を容易に見
分けることができる。このため、玉の組み込み間違いが
生じ難い。

【００１４】前記玉軸受装置は、前記内輪及び外輪の軌
道部のみ又は軌道部とその近傍のみが、高周波焼入れに
より硬化されているのが望ましく（請求項６）、この場
合には、軌道部又はその近傍以外の部分が焼入れ硬化さ
れていないので、軌道部の焼き入れ後においても、当該
軌道部以外の部分に、穴やネジ等を容易且つ高精度に形
成することができる。

【００１５】この発明の玉軸受装置の製造方法は、請求
項３記載の玉軸受装置の製造方法であって、前記止め栓
を前記玉入れ孔に嵌入し、且つ前記ピンを前記ピン孔に
嵌入して前記止め栓を固定した状態で、この止め栓の軌
道と前記玉入れ孔が設けられている内輪及び外輪の何れ
か一方の軌道とを同時に研削又は旋削仕上げすることを
特徴とする（請求項７）。この玉軸受装置の製造方法に
おいては、止め栓と軌道とが同時に研削又は旋削仕上げ
されるので、当該軌道の寸法精度が向上する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照しながら詳述する。図４は、本発明
の一実施形態に係る玉軸受装置Ｘを適用した多関節搬送
装置を示す側面図である。この多関節搬送装置において
は、駆動部１０の中央部に同軸駆動軸１１が設けられて
おり、この同軸駆動軸１１を構成する中実軸１１ａ及び
中空軸１１ｂの上端に、一対の駆動アーム１２の一端が
それぞれ固定されている。この一対の駆動アーム１２の
他端は一対の従動アーム１３の一端にそれぞれ回動自在
に連結され、さらにこの一対の従動アーム１３の他端に
は、本発明の玉軸受装置Ｘがそれぞれ設けられており、
この玉軸受装置Ｘを介して、半導体ウエハーＷを保持す
るためのフォーク５が従動アーム１３に回動自在に連結
されている。この従動アーム１３は、駆動アーム１２に
連結された主アーム１３ａに、玉軸受装置Ｘを連結する
ための副アーム１３ｂを連結したものであり、この副ア
ーム１３ｂの一端部には、玉軸受装置Ｘの外輪１（図１
参照）を包囲してこれを保持する環状のハウジングＨが
形成されている（図２参照）。

【００１７】図１を参照して、玉軸受装置Ｘは、外輪１
と、これと同心に配置され内輪２と、外輪軌道１ａと内
輪軌道２ａとの間に交互に介在した転動体としての負荷
玉３及び無負荷玉４と、外輪１を保持する前記ハウジン
グＨと、フォーク５と内輪２とを連結するための軸Ｓと
によって構成されている。前記外輪１とハウジングＨと
は、互いに一体形成されており、両者で、径方向の厚み
が軸方向の厚みよりも大きい環状体を構成している。こ
の外輪１及びハウジングＨの軸方向の厚みは、例えば４
ｍｍ程度に設定されている。前記外輪１は、内周の軸方
向中央部に前記外輪軌道１ａを単列形成しているもので
あり、図７の斜線で示すように、この外輪軌道１ａ及び
その近傍の内周部１ｄのみが高周波焼入れによって硬化
されている。ハウジングＨの外周所定部には、位相合わ
せ用のギヤを沿わせる段部１ｃが設けられており、この
段部１ｃには、当該ギヤを固定するためのネジ孔１ｈが
形成されている。これら段部１ｃ及びネジ孔１ｈは、焼
入れ硬化されていない部分に形成されているので、外輪
軌道１ａ及びその近傍を焼入れ硬化させた後に高精度に
形成することができる。このため、ギヤを精度よく取り
付けることができる。また、ハウジングＨの外周の一部
分に直接ギヤを加工することもできる。

【００１８】前記外輪１には、その外周面から外輪軌道
１ａに貫通する負荷玉３の直径よりも少し大きめの玉入
れ孔１ｅが設けられており、この玉入れ孔１ｅは、その
内部に嵌入された止め栓１ｊによって閉塞されている
（図２及び図３参照）。この玉入れ孔１ｅは、外輪１に
作用する負荷が最小となる位置に設けられている。ま
た、前記外輪１には、玉入れ孔１ｅに対して直交させ、
且つ玉入れ孔１ｅの軸心から所定量偏倚させた状態でピ
ン孔１ｇが設けられている（図３及び図５参照）。この
ピン孔１ｇにはスプリングピン等のピン１ｆが嵌入され
ており、これによって止め栓１ｊが回転するのを容易に
規制している。すなわち、止め栓１ｊの外径を十分に確
保できる場合には、止め栓１ｊにテーパーピンを垂直に
貫通させることにより、当該止め栓１ｊを容易に固定す
ることができるが、この実施形態に係る玉軸受装置Ｘは
薄型であり、止め栓１ｊの外径を大きくできないので、
テーパーピンが使用できない。そこで、前記のように玉
入れ孔１ｅに対して直交させ、且つ玉入れ孔１ｅの軸心
から所定量偏倚させた状態でピン１ｆを嵌入することに
より、止め栓１ｊが回転するのを容易に規制している。
なお、上記止め栓１ｊの外周には、前記ピン１ｆの嵌入
を許容するための切り欠き１ｐが設けられている。この
ように、外輪１の径方向に沿って玉入れ孔１ｅを貫通形
成しているので、玉軸受装置Ｘにモーメントが作用した
場合でも、内輪軌道２ａと外輪軌道１ａとの間に入れた
負荷玉３及び無負荷玉４が内輪２と外輪１との隙間から
飛び出す危険性がない。

【００１９】前記止め栓１ｊの各玉３，４に臨む側の端
部には、各玉３，４が転走する軌道１ｋが形成されてお
り（図６参照）、これにより、負荷玉３及び無負荷玉４
を安定させて転走させ得るようになっている。この軌道
１ｋは、玉入れ孔１ｅに止め栓１ｊを嵌入し、ピン孔１
ｇにピン１ｆを嵌入して止め栓１ｊを固定した状態で、
外輪軌道１ａと同時に研削又は精密旋削仕上げしたもの
であり、このように、外輪軌道１ａと止め栓１ｊの軌道
１ｋとを同時に研削又は精密旋削仕上げすることによ
り、両者の寸法精度を良好に確保している。

【００２０】前記内輪２は、フォーク５と当該内輪２と
を連結するための前記軸Ｓと一体形成されており、両者
で外輪１及びハウジングＨと厚みの等しい円板を構成し
ている。前記内輪２は、外周の軸方向中央部に前記内輪
軌道２ａを単列形成しているものであり、図７の斜線で
示すように、この内輪軌道２ａとその近傍の内周部２ｄ
みが高周波焼入れによって硬化されている。軸Ｓには、
フォーク５を取り付けるためのネジ孔２ｅが仮想円に沿
って等間隔に形成されている。このネジ孔２ｅは、焼入
れ硬化されていない部位に形成されているので、内輪軌
道２ａ及びその近傍を焼入れ硬化させた後に高精度に形
成することができる。このため、軸Ｓに対してフォーク
５を精度よく取り付けることができる。なお、前記外輪
１及び内輪２は、ＳＵＳ４４０Ｃ等のマルテンサイト系
ステンレス鋼製である。

【００２１】負荷玉３及び無負荷玉４は、保持器を用い
ることなく交互に略隙間なく配列されており、負荷玉３
は無負荷玉４によって相互の間隔が規定されている。前
記負荷玉３は外輪軌道１ａ及び内輪軌道２ａと略同じ硬
度（ＨＲＣ６０〜６２）のものである。また、無負荷玉
４は、負荷玉３よりも外径が５μｍ以上小さいもの（外
径が１０〜２０μｍ小さいことが好ましい）を使用して
いる。さらに、負荷玉３は窒化珪素、アルミナ、炭化珪
素等のセラミックス製であり、無負荷玉４は耐食性の良
好なマルテンサイト系ステンレス鋼製である。このよう
に、負荷玉３と無負荷玉４とを異種材で構成することに
より、両者の凝着が起こるのを防止することができる。
また、負荷玉３と無負荷玉４とで色が異なることになる
ので、外輪軌道１ａと内輪軌道２ａとの間にこれらを交
互に入れるときに、玉を間違えることがない。さらに、
保持器を用いることなく総玉構造を採用しているので、
油潤滑ができない真空、高温雰囲気下においても、保持
器の摩耗に起因する発塵及びトルクの増大が生じない。

【００２２】以上のように構成された玉軸受装置Ｘは、
外輪１とハウジングＨとが環状にて一体形成されている
とともに、内輪２と軸Ｓとが円板状にて一体形成されて
おり、しかも、外輪軌道１ａ及び内輪軌道２ａが単列に
形成されているので、装置全体の厚みを非常に薄くする
ことができる。このため、前記玉軸受装置Ｘを装備した
多関節搬送装置の厚みを薄くすることができ、その分、
処理室の容積が小さくなって処理室内を真空にする時間
が短縮され、処理時間が短縮される。また、駆動アーム
１２、従動アーム１３及びフォーク５等を上下２段に配
置する場合でも、従来の多関節搬送装置と比較して、各
処理室の上下方向の厚みを小さくすることができるの
で、処理室の容積が小さくなって処理室内を真空にする
時間が短縮される。

【００２３】なお、前記内輪２及び軸Ｓについては、円
板状だけでなく環状に一体化してもよく、この場合に
は、玉入れ孔１ｅを内輪２及び軸Ｓ側に設けて実施する
こともできる。また、外輪１及び内輪２は、それぞれの
外輪軌道１ａ及び内輪軌道２ａのみを焼入れ硬化させた
ものであってもよい。前記実施形態においては、玉軸受
装置を多関節搬送装置に適用する場合につき説明してい
るが、これに限定されるものではなく、他の装置にも適
用できることは言うまでもない。

【００２４】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は、以下
の効果を奏する。請求項１記載の玉軸受装置によれば、
内輪と軸とが円板状又は環状にて一体形成され、外輪と
ハウジングとが環状にて一体形成されているとともに、
玉の軌道が単列であるので、軸受装置の全体厚みを薄く
することができる。また、前記内輪と外輪のそれぞれの
軌道の間に、保持器を用いることなく玉を略隙間なく介
在させているので、つまり総玉軸受構造を採用している
ので、軸受の負荷容量を高めることができ、さらに、内
輪と軸、外輪とハウジングとをそれぞれ一体形成して部
品点数を削減しているので、玉軸受装置の剛性を確保す
ることができるとともに、その組み立て誤差が少なくな
って良好な真円度を確保することができる。その結果、
軸受の回転がスムースになる。しかも、保持器を使用し
ていないので、その摩耗に起因して発塵やトルクの増大
が生じるのを防止することができる。

【００２５】請求項２記載の玉軸受装置によれば、玉入
れ孔を内輪又は外輪の何れか一方の径方向に沿って貫通
形成し、止め栓で閉塞しているので、軸受装置にモーメ
ントが作用した場合でも、内外輪の軌道間に入れた玉が
内外輪間の隙間を通して飛び出すのを防止することがで
きる。また、玉入れ孔を閉塞する止め栓の端部にも軌道
が形成されているので、玉の走行が安定する。

【００２６】請求項３記載の玉軸受装置によれば、玉入
れ孔に交差させ、且つ前記玉入れ孔の軸心から偏倚させ
た状態でピン孔を設け、このピン孔にピンを嵌入して前
記止め栓を固定しているので、止め栓が回転し、抜け出
すのを容易に規制することができる。

【００２７】請求項４記載の玉軸受装置によれば、負荷
玉と無負荷玉とを交互に配置しているので、保持器を用
いることなく負荷玉相互の間隔を無負荷玉によって確実
に規定することができるとともに、無負荷玉が負荷玉と
異なる材料からなるので、各玉同士が凝着したり、玉が
摩耗したりするのを抑制したりすることができる。

【００２８】請求項５記載の玉軸受装置によれば、負荷
玉がセラミックスからなり、無負荷玉がステンレス鋼か
らなり、両者の色が異なるので、両者を容易に見分ける
ことができ、玉を組み込むときに間違え難くなる。

【００２９】請求項６記載の玉軸受装置によれば、内輪
の外周、外輪の内周及び止め栓の玉に臨む側の端部のみ
に範囲を限定して高周波焼入れを施しているので、それ
以外の部分については、熱処理の影響を受けずに穴やネ
ジ等を高精度に形成することができる。その結果、装置
の組み立て精度を向上することができる。

【００３０】請求項７記載の玉軸受装置の製造方法によ
れば、玉入れ孔に止め栓を嵌入した状態で、止め栓と軌
道とを同時に研削又は旋削仕上げするので、寸法精度が
向上して、玉の走行がスムースになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る玉軸受装置の断面図
である。

【図２】本発明の玉軸受装置を備えた多関節搬送装置の
要部平面図である。

【図３】玉軸受装置の要部拡大平面図である。

【図４】多関節搬送装置を示す側面図である。

【図５】図３におけるＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】止め栓の側面図である。

【図７】内輪及び外輪の要部拡大断面図である。

【図８】従来の多関節搬送装置を示す平面図である。

【図９】従来の多関節搬送装置を示す側面図である。

【図１０】図８におけるＸ−Ｘ線断面図である。

【符号の説明】

１ 外輪 １ａ 外輪軌道 １ｅ 玉入れ孔 １ｆ ピン １ｇ ピン孔 １ｊ 止め栓 １ｋ 軌道 ２ 内輪 ２ａ 内輪軌道 ３ 負荷玉 ４ 無負荷玉 Ｘ 玉軸受装置 Ｈ ハウジング Ｓ 軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関本 浩 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋 精工株式会社内 (72)発明者 小野 浩 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋 精工株式会社内 Ｆターム(参考） 3J017 HA03 3J101 AA02 AA34 AA42 AA54 AA62 BA10 BA12 BA20 BA53 BA54 BA55 BA56 BA70 DA03 DA11 EA06 EA41 EA42 EA44 FA44 FA53 FA60 GA55

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】外周に転動体転走用の軌道が設けられた内
   輪と、 内周に転動体転走用の軌道が設けられ、前記内輪と同心
   に配置された外輪と、 前記内輪の軌道と前記外輪の軌道との間に介在した転動
   体としての玉と、 前記内輪と一体化された軸と、 前記外輪を保持するハウジングとを備える玉軸受装置に
   おいて、 前記内輪と軸とを円板状又は環状にて一体形成している
   とともに、 前記外輪とハウジングとを環状にて一体形成し、 前記内輪の軌道と前記外輪の軌道とをそれぞれ単列形成
   し、各軌道の間に、保持器を用いることなく前記玉を略
   隙間なく介在させたことを特徴とする玉軸受装置。
2. 【請求項２】前記内輪又は前記外輪の何れか一方の径方
   向に沿って、前記内輪と前記外輪のそれぞれの軌道間に
   前記玉を入れるための玉入れ孔が貫通形成され、この玉
   入れ孔が止め栓で閉塞されているとともに、この止め栓
   の前記玉に臨む側の端部に玉が転走する軌道が形成され
   ている請求項１記載の玉軸受装置。
3. 【請求項３】前記玉入れ孔に交差させ、且つ前記玉入れ
   孔の軸心から偏倚させた状態でピン孔を設け、このピン
   孔にピンを嵌入して前記止め栓を固定している請求項２
   記載の玉軸受装置。
4. 【請求項４】前記内輪と前記外輪との間に、負荷を受け
   止める負荷玉と、この負荷玉と異なる材料からなり、当
   該負荷玉よりも小径の無負荷玉とが交互に配置されてい
   る請求項１記載の玉軸受装置。
5. 【請求項５】前記負荷玉がセラミックスからなり、無負
   荷玉がステンレス鋼からなる請求項４記載の玉軸受装
   置。
6. 【請求項６】前記内輪及び外輪の軌道部のみ又は軌道部
   とその近傍のみが、高周波焼入れにより硬化されている
   請求項１記載の玉軸受装置。
7. 【請求項７】請求項３記載の玉軸受装置を製造する方法
   であって、 前記止め栓を前記玉入れ孔に嵌入し、且つ前記ピンを前
   記ピン孔に嵌入して前記止め栓を固定した状態で、この
   止め栓の軌道と前記玉入れ孔が設けられている内輪及び
   外輪の何れか一方の軌道とを同時に研削又は旋削仕上げ
   することを特徴とする玉軸受装置の製造方法。