JP2000100889A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JP2000100889A JP2000100889A JP26333298A JP26333298A JP2000100889A JP 2000100889 A JP2000100889 A JP 2000100889A JP 26333298 A JP26333298 A JP 26333298A JP 26333298 A JP26333298 A JP 26333298A JP 2000100889 A JP2000100889 A JP 2000100889A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- robot arm
- cassette
- stopper
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロボットアームがカセットからウエハを搬送
する場合、ウエハをロボットアームと平行にすることに
より、安定したウエハ搬送を行う装置を提供する。 【解決手段】 本発明は、ウエハ収納カセットをセット
した後に、カセットの後部からウエハ１を一定量前方向
（ロボット方向）に移動させる装置３とウエハを押し出
す機構部４を設けたことで、ウエハ１はロボットアーム
２と平行になり安定したウエハ搬送が可能となる。
する場合、ウエハをロボットアームと平行にすることに
より、安定したウエハ搬送を行う装置を提供する。 【解決手段】 本発明は、ウエハ収納カセットをセット
した後に、カセットの後部からウエハ１を一定量前方向
（ロボット方向）に移動させる装置３とウエハを押し出
す機構部４を設けたことで、ウエハ１はロボットアーム
２と平行になり安定したウエハ搬送が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハ搬送装置、特
にロボットアームによるカセットに収納されたウエハを
搬送する装置に関する。
にロボットアームによるカセットに収納されたウエハを
搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カセットに収納されたウエハ
は、そのカセット溝のピッチと同じ寸法で収納されてい
る。
は、そのカセット溝のピッチと同じ寸法で収納されてい
る。
【０００３】また、ウエハ搬送装置は、ウエハとウエハ
の間にロボットアームを挿入し、ウエハを搬入出させる
ものであった。
の間にロボットアームを挿入し、ウエハを搬入出させる
ものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の装
置では、図４に示す従来例の説明図のように、カセット
に収納されたウエハ１３はカセット溝のテーパ部１１が
あるために、ロボットと反対側があがっている状態、つ
まり、ロボットのアーム１２とウエハ１３が平行でな
く、斜めになってしまう。
置では、図４に示す従来例の説明図のように、カセット
に収納されたウエハ１３はカセット溝のテーパ部１１が
あるために、ロボットと反対側があがっている状態、つ
まり、ロボットのアーム１２とウエハ１３が平行でな
く、斜めになってしまう。
【０００５】このため、上下のウエハ１３にロボットア
ーム１２が接触してしまう場合がある。
ーム１２が接触してしまう場合がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハ収納カ
セットをセットした後に、カセットの後部からウエハを
一定量前方向、即ちロボット方向に移動させる装置を設
ける。
セットをセットした後に、カセットの後部からウエハを
一定量前方向、即ちロボット方向に移動させる装置を設
ける。
【０００７】これによりウエハはカセット溝のテーパ部
から外れ、ロボットアームと平行となる。
から外れ、ロボットアームと平行となる。
【０００８】ロボットをあらかじめ、ウエハを前にずら
した位置に調整することで、安定したウエハ搬送が可能
となる。
した位置に調整することで、安定したウエハ搬送が可能
となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施形態を
示す側面図であって、ウエハを押し出し平行にする状態
を示した図である。
示す側面図であって、ウエハを押し出し平行にする状態
を示した図である。
【００１０】図１に示すように、カセットにウエハ１を
セットした後に、カセットの後部からウエハ１を一定量
前方向、即ちロボットアーム２の方向に移動させる装置
３を設ける。この装置３の作動により、ウエハを押し出
す機構部４によりウエハ１は図４のカセットのテーパ部
１１から外れ、ロボットアーム２と平行になる状態とな
る。
セットした後に、カセットの後部からウエハ１を一定量
前方向、即ちロボットアーム２の方向に移動させる装置
３を設ける。この装置３の作動により、ウエハを押し出
す機構部４によりウエハ１は図４のカセットのテーパ部
１１から外れ、ロボットアーム２と平行になる状態とな
る。
【００１１】その後、通常通りロボットアーム２による
ウエハ搬送が行われる。
ウエハ搬送が行われる。
【００１２】以上のようにウエハを前方向（ロボット方
向）に移動させることにより、カセット溝のテーパ部の
ために斜めに傾いていたウエハが、テーパの部から外
れ、ロボットアームと平行になる。
向）に移動させることにより、カセット溝のテーパ部の
ために斜めに傾いていたウエハが、テーパの部から外
れ、ロボットアームと平行になる。
【００１３】よって、ロボットアームが、その上下のウ
エハに接触してしまう可能性が低下し搬送の信頼性向上
が期待できる。
エハに接触してしまう可能性が低下し搬送の信頼性向上
が期待できる。
【００１４】図２は本発明の第２の実施形態を示す側面
図であって、第１の実施形態の構成に対し、ウエハ１の
前面にストッパ５を設けたものである。
図であって、第１の実施形態の構成に対し、ウエハ１の
前面にストッパ５を設けたものである。
【００１５】これによりウエハ１を前方向（ロボット方
向）に移動させる時の前面位置が正確に決定され、ウエ
ハ１の前面への必要以上のはみ出しを防止する。
向）に移動させる時の前面位置が正確に決定され、ウエ
ハ１の前面への必要以上のはみ出しを防止する。
【００１６】図３はウエハ１を押し出す機構部４とスト
ッパ５の形状を示す上面図である。
ッパ５の形状を示す上面図である。
【００１７】図２のウエハ１を前方向に移動させる機構
部４のウエハ接触部４−１及びストッパ５のウエハ接触
部５−１をウエハ１の外周形状と同じ形状にすることに
より、一部形状が異なる部分１−１の寸法差に影響され
ることなく、正確な位置にウエハ１を移動させることが
できる。
部４のウエハ接触部４−１及びストッパ５のウエハ接触
部５−１をウエハ１の外周形状と同じ形状にすることに
より、一部形状が異なる部分１−１の寸法差に影響され
ることなく、正確な位置にウエハ１を移動させることが
できる。
【００１８】次に、第２の実施形態の動作について説明
する。
する。
【００１９】まず、ウエハ１が収納されたカセットを搬
送装置にセットする。次にカセットとロボットアーム２
の間にウエハストッパ５を挿入させ、次にカセットの後
部からウエハ１を押し出す機構部４により、ウエハ１を
ストッパ５の位置まで移動させる。
送装置にセットする。次にカセットとロボットアーム２
の間にウエハストッパ５を挿入させ、次にカセットの後
部からウエハ１を押し出す機構部４により、ウエハ１を
ストッパ５の位置まで移動させる。
【００２０】ウエハ１の移動が終了したら、カセットと
ロボットアーム２の間に挿入しているストッパ５を取り
除く。
ロボットアーム２の間に挿入しているストッパ５を取り
除く。
【００２１】これらの動作が終了した後、ロボットアー
ム２を使用しウエハ搬送を開始する。
ム２を使用しウエハ搬送を開始する。
【００２２】以上のようにウエハ前面にストッパを設け
たことにより、ウエハを前面に移動させる時の前面位置
が正確に決定されるので、搬送の信頼性が更に期待でき
る。
たことにより、ウエハを前面に移動させる時の前面位置
が正確に決定されるので、搬送の信頼性が更に期待でき
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればウ
エハを前方向に移動させることにより、ロボットアーム
とウエハが平行になり、安定したウエハ搬送が可能とな
る。
エハを前方向に移動させることにより、ロボットアーム
とウエハが平行になり、安定したウエハ搬送が可能とな
る。
【００２４】また、ウエハ前面にストッパを設けたこと
により、ウエハを前に移動させる時の前面位置が正確に
決定されるので、搬送の信頼度が更に向上される。
により、ウエハを前に移動させる時の前面位置が正確に
決定されるので、搬送の信頼度が更に向上される。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す側面図
【図２】本発明の第２の実施形態を示す側面図
【図３】ストッパの形状を示す上面図
【図４】従来例の説明図
【符号の説明】 １ ウエハ １−１ 一部形状が異なる部分 ２ ロボットアーム ３ 移動装置 ４ 機構部 ５ ストッパ ５−１，５−２ ウエハ接触部 ６ カセット
Claims (2)
- 【請求項１】 ロボットアームを使用するウエハ搬送装
置において、 ウエハを後部から押し出す機構を設け、ウエハ収納カセ
ット内での前記ウエハの傾きをなくし前記ロボットアー
ムと前記ウエハを平行にすることを特徴とするウエハ搬
送装置。 - 【請求項２】 ロボットアームを使用するウエハ搬送装
置において、 ウエハを後部から押し出す機構と、その押し出す前面位
置をそろえるストッパを設け、ウエハ収納カセットでの
前記ウエハの傾きをなくし前記ロボットアームと前記ウ
エハを平行にすることを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26333298A JP2000100889A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26333298A JP2000100889A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000100889A true JP2000100889A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17388012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26333298A Pending JP2000100889A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000100889A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012216707A (ja) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Seiko Epson Corp | 印刷装置 |
-
1998
- 1998-09-17 JP JP26333298A patent/JP2000100889A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012216707A (ja) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Seiko Epson Corp | 印刷装置 |
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