JP2000097841A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2000097841A5 JP2000097841A5 JP1999234586A JP23458699A JP2000097841A5 JP 2000097841 A5 JP2000097841 A5 JP 2000097841A5 JP 1999234586 A JP1999234586 A JP 1999234586A JP 23458699 A JP23458699 A JP 23458699A JP 2000097841 A5 JP2000097841 A5 JP 2000097841A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- particle size
- size distribution
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000087 stabilizing Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】 粒子サイズ分布分析装置であって、
粒子のサンプルを収容するようになされたサンプル測定帯域(16)と、該測定帯域(16)に入射する光源を提供するようになされた発光手段(2,42)と、いろいろな異なる散乱角度の光レベルを測定してコンピューティング手段へ信号を出力するようになされており、該サンプル中に含有されている粒子の粒子サイズを測定することを可能にする検出手段(22,40)とから成り、
前記発光手段(2,42)は、実質的に単色の第1波長の光を出射する第1光源(2)と、実質的に単色の、第1波長とは異なる第2波長の光を出射する第2光源(42)とから成り、前記検出手段(22,40)が、第1光源(2)から出射される光に対しても、第2光源(42)から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように、該第2光源(42)から出射される光及び第1光源(2)の光軸は、前記検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜した平面内に位置していることを特徴とする粒子サイズ分布分析装置。
【請求項2】 前記角度φは、実質的に90°である請求項1に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項3】 少なくとも前記第2光源(42)は、LED(発光ダイオード)である請求項1又は2に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項4】 前記光源(2,42)は、それらから出射される光のビームが前記測定帯域(16)において互いに実質的に重なるように配置されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項5】 前記第2光源(42)は、使用において、パルス発光するように構成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項6】 前記第2光源(2,42)の一方又は両方から出射される光を一定状態に安定させるための少なくとも1つの光出力安定化手段が設けられている請求項1〜5のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項7】 前記検出手段(22,40)は、前記サンプルから大きい角度で反射された光を検出するための大角検出器(34,36)と、該サンプルから前記光源の方に向かって後方に反射された光を検出するための後方散乱光検出器(38,40)と、該サンプルから中程度の角度で反射された光を検出するための前方角検出器(24,32)と、該サンプルから小さい角度で反射された光を検出するための焦点面検出器のうちの1つ又はそれ以上の検出器を含むものである請求項1〜6のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項8】 前記第1光源(2)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜7のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項9】 前記第2光源(42)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜8のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項10】
粒子サイズ分布を測定する方法であって、
粒子のサンプルをそれぞれ第1光源及び第2光源から出射された、互いに異なる波長の、実質的に単色性の第1光ビームと第2光ビームで照射する工程と、該サンプル中の粒子サイズ分布を測定するために該サンプルの周りの散乱光の光レベルを測定する工程とから成り、
検出手段(22,40)が第1光源から出射される光に対しても、第2光源から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように該検出手段を位置づけすることによって、前記第1光ビーム及び第2光ビームを該検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜させることを特徴とする方法。
【請求項11】 前記第2光源としてLEDを用いる請求項10に記載の方法。
【請求項12】 前記LEDとして、青色光を発するLEDを用いる請求項11に記載の方法。
【請求項1】 粒子サイズ分布分析装置であって、
粒子のサンプルを収容するようになされたサンプル測定帯域(16)と、該測定帯域(16)に入射する光源を提供するようになされた発光手段(2,42)と、いろいろな異なる散乱角度の光レベルを測定してコンピューティング手段へ信号を出力するようになされており、該サンプル中に含有されている粒子の粒子サイズを測定することを可能にする検出手段(22,40)とから成り、
前記発光手段(2,42)は、実質的に単色の第1波長の光を出射する第1光源(2)と、実質的に単色の、第1波長とは異なる第2波長の光を出射する第2光源(42)とから成り、前記検出手段(22,40)が、第1光源(2)から出射される光に対しても、第2光源(42)から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように、該第2光源(42)から出射される光及び第1光源(2)の光軸は、前記検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜した平面内に位置していることを特徴とする粒子サイズ分布分析装置。
【請求項2】 前記角度φは、実質的に90°である請求項1に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項3】 少なくとも前記第2光源(42)は、LED(発光ダイオード)である請求項1又は2に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項4】 前記光源(2,42)は、それらから出射される光のビームが前記測定帯域(16)において互いに実質的に重なるように配置されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項5】 前記第2光源(42)は、使用において、パルス発光するように構成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項6】 前記第2光源(2,42)の一方又は両方から出射される光を一定状態に安定させるための少なくとも1つの光出力安定化手段が設けられている請求項1〜5のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項7】 前記検出手段(22,40)は、前記サンプルから大きい角度で反射された光を検出するための大角検出器(34,36)と、該サンプルから前記光源の方に向かって後方に反射された光を検出するための後方散乱光検出器(38,40)と、該サンプルから中程度の角度で反射された光を検出するための前方角検出器(24,32)と、該サンプルから小さい角度で反射された光を検出するための焦点面検出器のうちの1つ又はそれ以上の検出器を含むものである請求項1〜6のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項8】 前記第1光源(2)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜7のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項9】 前記第2光源(42)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜8のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。
【請求項10】
粒子サイズ分布を測定する方法であって、
粒子のサンプルをそれぞれ第1光源及び第2光源から出射された、互いに異なる波長の、実質的に単色性の第1光ビームと第2光ビームで照射する工程と、該サンプル中の粒子サイズ分布を測定するために該サンプルの周りの散乱光の光レベルを測定する工程とから成り、
検出手段(22,40)が第1光源から出射される光に対しても、第2光源から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように該検出手段を位置づけすることによって、前記第1光ビーム及び第2光ビームを該検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜させることを特徴とする方法。
【請求項11】 前記第2光源としてLEDを用いる請求項10に記載の方法。
【請求項12】 前記LEDとして、青色光を発するLEDを用いる請求項11に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB9818351.0A GB9818351D0 (en) | 1998-08-22 | 1998-08-22 | Improvements relating to the measurement of particle size distribution |
GB9818351.0 | 1998-08-22 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000097841A JP2000097841A (ja) | 2000-04-07 |
JP2000097841A5 true JP2000097841A5 (ja) | 2006-10-05 |
JP4605838B2 JP4605838B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=10837686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23458699A Expired - Lifetime JP4605838B2 (ja) | 1998-08-22 | 1999-08-20 | 粒子サイズの分布を測定するための装置及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6177994B1 (ja) |
EP (1) | EP0992785B1 (ja) |
JP (1) | JP4605838B2 (ja) |
AT (1) | ATE252229T1 (ja) |
DE (1) | DE69912061T2 (ja) |
GB (1) | GB9818351D0 (ja) |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6795183B2 (en) * | 1999-02-19 | 2004-09-21 | Metron Instruments, Inc. | Measurement systems and methods for determining component particle concentrations in a liquid |
EP1102059B1 (en) * | 1999-11-18 | 2005-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring a scattered light |
DE10036860A1 (de) * | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Basf Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von physikalischen Kollektivparametern von Partikeln in Gasen |
JP3822785B2 (ja) * | 2000-10-11 | 2006-09-20 | 株式会社堀場製作所 | 散乱式粒子径分布測定装置 |
JP4266075B2 (ja) * | 2001-02-19 | 2009-05-20 | 株式会社堀場製作所 | 粒径分布測定装置 |
JP4535697B2 (ja) * | 2003-07-23 | 2010-09-01 | オリンパス株式会社 | 生体組織の光散乱観測内視鏡装置 |
GB0323055D0 (en) * | 2003-10-02 | 2003-11-05 | Unidata Europ Ltd | Particulate detector |
US10620105B2 (en) * | 2004-03-06 | 2020-04-14 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining characteristics of particles from scattered light |
US9297737B2 (en) * | 2004-03-06 | 2016-03-29 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining characteristics of particles |
US8634072B2 (en) * | 2004-03-06 | 2014-01-21 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining characteristics of particles |
US20080144036A1 (en) * | 2006-12-19 | 2008-06-19 | Asml Netherlands B.V. | Method of measurement, an inspection apparatus and a lithographic apparatus |
US7791727B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
JP2006275998A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-10-12 | Kyoto Univ | 光散乱測定装置 |
US20080204716A1 (en) * | 2005-03-07 | 2008-08-28 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining characteristics of particles |
US7616311B2 (en) * | 2005-05-02 | 2009-11-10 | Jmar Llc | Systems and methods for a multiple angle light scattering (MALS) instrument having two-dimensional detector array |
EP1904807A4 (en) * | 2005-06-13 | 2011-04-20 | Jmar Res Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR MULTIPLE-ANGLE LIGHT DISTRIBUTED INSTRUMENT (MALS) HAVING TWO-DIMENSIONAL DETECTOR NETWORK |
WO2007014213A2 (en) * | 2005-07-25 | 2007-02-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Tri modal spectroscopic imaging |
US8557588B2 (en) * | 2007-03-27 | 2013-10-15 | Schlumberger Technology Corporation | Methods and apparatus for sampling and diluting concentrated emulsions |
EP2522982B1 (en) * | 2007-08-15 | 2015-09-16 | Malvern Instruments Limited | Broad-Range Spectrometer |
US8028918B2 (en) * | 2007-10-31 | 2011-10-04 | Symbol Technologies, Inc. | Enhanced monitoring of laser output power in electro-optical readers |
US8094299B2 (en) * | 2008-07-24 | 2012-01-10 | Beckman Coulter, Inc. | Transducer module |
US8313477B2 (en) | 2010-03-05 | 2012-11-20 | See Jackie R | Device and methods for monitoring the administration of a stem cell transplant |
KR20110111948A (ko) * | 2010-04-06 | 2011-10-12 | 삼성전기주식회사 | 입자 측정장치 |
DE102012102363A1 (de) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | Technische Universität Darmstadt | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Größe eines transparenten Teilchens |
CN102323193A (zh) * | 2011-08-17 | 2012-01-18 | 佛山科学技术学院 | 一种激光散射法空气颗粒分布测量方法及装置 |
GB2494733A (en) | 2011-09-14 | 2013-03-20 | Malvern Instr Ltd | Measuring particle size distribution by light scattering |
CN105092429A (zh) * | 2014-05-13 | 2015-11-25 | 河北联合大学 | 双色激光磨矿粒度在线分析仪 |
FR3023957B1 (fr) * | 2014-07-18 | 2016-08-12 | Sagem Defense Securite | Dispositif de detection de mouvement |
EP3088863A1 (en) * | 2015-05-01 | 2016-11-02 | Malvern Instruments Limited | Improvements relating to particle characterisation |
CN108291863B (zh) | 2015-10-02 | 2020-07-03 | 国家光学研究所 | 用于使用光散射技术进行个体颗粒尺寸测量的系统和方法 |
SG11201808342QA (en) * | 2016-03-30 | 2018-10-30 | Agency Science Tech & Res | A system and method for fluid analysis |
EP3279635B1 (en) | 2016-08-04 | 2022-06-01 | Malvern Panalytical Limited | Method, processor and machine-readable, non-transient storage medium for characterising particles suspended in a fluid dispersant |
US10918252B2 (en) | 2017-07-27 | 2021-02-16 | Neato Robotics, Inc. | Dirt detection layer and laser backscatter dirt detection |
DE102017220461A1 (de) * | 2017-11-16 | 2019-05-16 | Robert Bosch Gmbh | Partikelsensor |
KR20210012259A (ko) | 2019-07-24 | 2021-02-03 | 삼성전자주식회사 | 미세먼지 측정 장치 및 방법 |
JP2021063779A (ja) * | 2019-10-17 | 2021-04-22 | 富士電機株式会社 | 粒子分析装置 |
WO2022093286A1 (en) * | 2020-11-02 | 2022-05-05 | Tintometer Gmbh | Nephelometric measuring device(s) |
DE102021108441A1 (de) | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Schott Ag | Befestigungsvorrichtung für ein temperaturstabiles, transparentes Element, sowie Partikelsensor, umfassend die Befestigungsvorrichtung |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3553462A (en) | 1969-12-31 | 1971-01-05 | Exotech | Apparatus for determining the radiation scattering properties of a fluid(and by ex.) |
US4361403A (en) * | 1978-06-26 | 1982-11-30 | Loos Hendricus G | Multiple wavelength instrument for measurement of particle size distributions |
JPS58153107A (ja) * | 1982-03-06 | 1983-09-12 | Hajime Kano | 粒子径・速度同時測定装置 |
JPS59160741A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-11 | Toshiba Corp | 粒径測定装置 |
JPS62293143A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-19 | Rion Co Ltd | 微粒子測定装置 |
JP2674128B2 (ja) * | 1988-08-31 | 1997-11-12 | 株式会社島津製作所 | 粒度分布測定装置 |
JP2681829B2 (ja) * | 1989-06-02 | 1997-11-26 | 住友重機械工業株式会社 | 雨滴粒径分布測定装置 |
JP3049254B2 (ja) * | 1990-02-08 | 2000-06-05 | シスメックス株式会社 | 2種類の光源を備えた光学式粒子分析装置 |
JPH0498145A (ja) * | 1990-08-16 | 1992-03-30 | Sigma Tec:Kk | 流体中の微粒子計数装置 |
DE69129260T2 (de) | 1990-11-03 | 1998-11-19 | Horiba Ltd | Gerät zur Messung der Teilchengrössenverteilung |
JP2876253B2 (ja) * | 1990-11-03 | 1999-03-31 | 株式会社堀場製作所 | 粒度分布測定装置 |
FR2688308B1 (fr) | 1992-03-04 | 1994-05-27 | Cilas | Granulometre a laser. |
JPH06221989A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Rion Co Ltd | 光散乱式微粒子検出装置 |
US5576697A (en) * | 1993-04-30 | 1996-11-19 | Hochiki Kabushiki Kaisha | Fire alarm system |
US5416580A (en) | 1993-07-07 | 1995-05-16 | General Signal Corporation | Methods and apparatus for determining small particle size distribution utilizing multiple light beams |
FR2773880B1 (fr) * | 1998-01-19 | 2000-03-17 | Cilas | Dispositif pour determiner la repartition granulometrique d'un melange de particules |
-
1998
- 1998-08-22 GB GBGB9818351.0A patent/GB9818351D0/en not_active Ceased
-
1999
- 1999-08-20 US US09/378,338 patent/US6177994B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-08-20 JP JP23458699A patent/JP4605838B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-08-23 DE DE69912061T patent/DE69912061T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-08-23 AT AT99306656T patent/ATE252229T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-08-23 EP EP99306656A patent/EP0992785B1/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000097841A5 (ja) | ||
JP6639319B2 (ja) | 粒子センサ装置 | |
DK2706515T3 (en) | Apparatus and method for detecting light scattering signals | |
ATE432518T1 (de) | Branderkennungsverfahren und brandmelder zu dessen durchführung | |
JP4546587B2 (ja) | 光成形板を備えた測光式読取りヘッド | |
JP2008058325A (ja) | 表面特性を特定する装置および方法 | |
US4379233A (en) | Optical arrangement for quantitative analysis instrument utilizing pulsed radiation emitting diodes | |
EP0848243A3 (en) | Method and apparatus for monitoring particulates using beam-steered solid-state light source | |
US5694931A (en) | Method and apparatus for measuring concentration of absorptive constituent in scattering medium | |
KR101954300B1 (ko) | 투과 및/또는 반사 특성을 판단하기 위한 측정방법 및 측정기기 | |
JP2020508568A5 (ja) | ||
JP2018507411A5 (ja) | ||
KR20150008453A (ko) | 표면 피처들 맵핑 | |
AU2009300424A1 (en) | An arrangement adapted for spectral analysis of high concentrations of gas | |
DE50012576D1 (de) | Analysegerät | |
WO1999051967A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure de la concentration d'un composant absorbant d'un corps diffusant / absorbant | |
JPH038686B2 (ja) | ||
JPH1189799A (ja) | 特定成分の濃度測定装置および濃度測定方法 | |
US6084662A (en) | Light transmittance measuring device and process for separating transmittance and reflectance | |
JP2001281097A (ja) | 散乱光測定方法及び装置 | |
JP2019013410A (ja) | 検出装置および生体情報測定装置 | |
EP0347298B1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure de la visibilité à travers un milieu d'opacité variable | |
CA2017031A1 (en) | Apparatus for the measurement of aerosols and dust or the like distributed in air | |
JP2010091428A (ja) | 走査光学系 | |
JP2019045476A (ja) | 光観測装置 |