JP2000097841A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000097841A5
JP2000097841A5 JP1999234586A JP23458699A JP2000097841A5 JP 2000097841 A5 JP2000097841 A5 JP 2000097841A5 JP 1999234586 A JP1999234586 A JP 1999234586A JP 23458699 A JP23458699 A JP 23458699A JP 2000097841 A5 JP2000097841 A5 JP 2000097841A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light source
particle size
size distribution
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1999234586A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000097841A (ja
JP4605838B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from GBGB9818351.0A external-priority patent/GB9818351D0/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2000097841A publication Critical patent/JP2000097841A/ja
Publication of JP2000097841A5 publication Critical patent/JP2000097841A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4605838B2 publication Critical patent/JP4605838B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【特許請求の範囲】
【請求項1】 粒子サイズ分布分析装置であって、
粒子のサンプルを収容するようになされたサンプル測定帯域(16)と、該測定帯域(16)に入射する光源を提供するようになされた発光手段(2,42)と、いろいろな異なる散乱角度の光レベルを測定してコンピューティング手段へ信号を出力するようになされており、該サンプル中に含有されている粒子の粒子サイズを測定することを可能にする検出手段(22,40)とから成り、
前記発光手段(2,42)は、実質的に単色の第1波長の光を出射する第1光源(2)と、実質的に単色の、第1波長とは異なる第2波長の光を出射する第2光源(42)とから成り、前記検出手段(22,40)が、第1光源(2)から出射される光に対しても、第2光源(42)から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように、該第2光源(42)から出射される光及び第1光源(2)の光軸は、前記検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜した平面内に位置していることを特徴とする粒子サイズ分布分析装置。

【請求項2】 前記角度φは、実質的に90°である請求項1に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項3】 少なくとも前記第2光源(42)は、LED(発光ダイオード)である請求項1又は2に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項4】 前記光源(2,42)は、それらから出射される光のビームが前記測定帯域(16)において互いに実質的に重なるように配置されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項5】 前記第2光源(42)は、使用において、パルス発光するように構成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項6】 前記第2光源(2,42)の一方又は両方から出射される光を一定状態に安定させるための少なくとも1つの光出力安定化手段が設けられている請求項1〜5のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項7】 前記検出手段(22,40)は、前記サンプルから大きい角度で反射された光を検出するための大角検出器(34,36)と、該サンプルから前記光源の方に向かって後方に反射された光を検出するための後方散乱光検出器(38,40)と、該サンプルから中程度の角度で反射された光を検出するための前方角検出器(24,32)と、該サンプルから小さい角度で反射された光を検出するための焦点面検出器のうちの1つ又はそれ以上の検出器を含むものである請求項1〜6のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項8】 前記第1光源(2)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜7のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項9】 前記第2光源(42)から出射された光の掩蔽度を測定するコンピューティング素子が設けられている請求項1〜8のいずれか1項に記載の粒子サイズ分布分析装置。

【請求項10】
粒子サイズ分布を測定する方法であって、
粒子のサンプルをそれぞれ第1光源及び第2光源から出射された、互いに異なる波長の、実質的に単色性の第1光ビームと第2光ビームで照射する工程と、該サンプル中の粒子サイズ分布を測定するために該サンプルの周りの散乱光の光レベルを測定する工程とから成り、
検出手段(22,40)が第1光源から出射される光に対しても、第2光源から出射される光に対しても実質的に同じ検出角を有するように該検出手段を位置づけすることによって、前記第1光ビーム及び第2光ビームを該検出手段(22,40)が配置されている平面に対して所定の角度φで傾斜させることを特徴とする方法。

【請求項11】 前記第2光源としてLEDを用いる請求項10に記載の方法。

【請求項12】 前記LEDとして、青色光を発するLEDを用いる請求項11に記載の方法。

JP23458699A 1998-08-22 1999-08-20 粒子サイズの分布を測定するための装置及び方法 Expired - Lifetime JP4605838B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB9818351.0A GB9818351D0 (en) 1998-08-22 1998-08-22 Improvements relating to the measurement of particle size distribution
GB9818351.0 1998-08-22

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2000097841A JP2000097841A (ja) 2000-04-07
JP2000097841A5 true JP2000097841A5 (ja) 2006-10-05
JP4605838B2 JP4605838B2 (ja) 2011-01-05

Family

ID=10837686

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23458699A Expired - Lifetime JP4605838B2 (ja) 1998-08-22 1999-08-20 粒子サイズの分布を測定するための装置及び方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6177994B1 (ja)
EP (1) EP0992785B1 (ja)
JP (1) JP4605838B2 (ja)
AT (1) ATE252229T1 (ja)
DE (1) DE69912061T2 (ja)
GB (1) GB9818351D0 (ja)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6795183B2 (en) * 1999-02-19 2004-09-21 Metron Instruments, Inc. Measurement systems and methods for determining component particle concentrations in a liquid
EP1102059B1 (en) * 1999-11-18 2005-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for measuring a scattered light
DE10036860A1 (de) * 2000-07-28 2002-02-07 Basf Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von physikalischen Kollektivparametern von Partikeln in Gasen
JP3822785B2 (ja) * 2000-10-11 2006-09-20 株式会社堀場製作所 散乱式粒子径分布測定装置
JP4266075B2 (ja) * 2001-02-19 2009-05-20 株式会社堀場製作所 粒径分布測定装置
JP4535697B2 (ja) * 2003-07-23 2010-09-01 オリンパス株式会社 生体組織の光散乱観測内視鏡装置
GB0323055D0 (en) * 2003-10-02 2003-11-05 Unidata Europ Ltd Particulate detector
US10620105B2 (en) * 2004-03-06 2020-04-14 Michael Trainer Methods and apparatus for determining characteristics of particles from scattered light
US9297737B2 (en) * 2004-03-06 2016-03-29 Michael Trainer Methods and apparatus for determining characteristics of particles
US8634072B2 (en) * 2004-03-06 2014-01-21 Michael Trainer Methods and apparatus for determining characteristics of particles
US20080144036A1 (en) * 2006-12-19 2008-06-19 Asml Netherlands B.V. Method of measurement, an inspection apparatus and a lithographic apparatus
US7791727B2 (en) 2004-08-16 2010-09-07 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization
JP2006275998A (ja) * 2005-03-02 2006-10-12 Kyoto Univ 光散乱測定装置
US20080204716A1 (en) * 2005-03-07 2008-08-28 Michael Trainer Methods and apparatus for determining characteristics of particles
US7616311B2 (en) * 2005-05-02 2009-11-10 Jmar Llc Systems and methods for a multiple angle light scattering (MALS) instrument having two-dimensional detector array
EP1904807A4 (en) * 2005-06-13 2011-04-20 Jmar Res Inc SYSTEMS AND METHODS FOR MULTIPLE-ANGLE LIGHT DISTRIBUTED INSTRUMENT (MALS) HAVING TWO-DIMENSIONAL DETECTOR NETWORK
WO2007014213A2 (en) * 2005-07-25 2007-02-01 Massachusetts Institute Of Technology Tri modal spectroscopic imaging
US8557588B2 (en) * 2007-03-27 2013-10-15 Schlumberger Technology Corporation Methods and apparatus for sampling and diluting concentrated emulsions
EP2522982B1 (en) * 2007-08-15 2015-09-16 Malvern Instruments Limited Broad-Range Spectrometer
US8028918B2 (en) * 2007-10-31 2011-10-04 Symbol Technologies, Inc. Enhanced monitoring of laser output power in electro-optical readers
US8094299B2 (en) * 2008-07-24 2012-01-10 Beckman Coulter, Inc. Transducer module
US8313477B2 (en) 2010-03-05 2012-11-20 See Jackie R Device and methods for monitoring the administration of a stem cell transplant
KR20110111948A (ko) * 2010-04-06 2011-10-12 삼성전기주식회사 입자 측정장치
DE102012102363A1 (de) * 2011-08-17 2013-02-21 Technische Universität Darmstadt Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Größe eines transparenten Teilchens
CN102323193A (zh) * 2011-08-17 2012-01-18 佛山科学技术学院 一种激光散射法空气颗粒分布测量方法及装置
GB2494733A (en) 2011-09-14 2013-03-20 Malvern Instr Ltd Measuring particle size distribution by light scattering
CN105092429A (zh) * 2014-05-13 2015-11-25 河北联合大学 双色激光磨矿粒度在线分析仪
FR3023957B1 (fr) * 2014-07-18 2016-08-12 Sagem Defense Securite Dispositif de detection de mouvement
EP3088863A1 (en) * 2015-05-01 2016-11-02 Malvern Instruments Limited Improvements relating to particle characterisation
CN108291863B (zh) 2015-10-02 2020-07-03 国家光学研究所 用于使用光散射技术进行个体颗粒尺寸测量的系统和方法
SG11201808342QA (en) * 2016-03-30 2018-10-30 Agency Science Tech & Res A system and method for fluid analysis
EP3279635B1 (en) 2016-08-04 2022-06-01 Malvern Panalytical Limited Method, processor and machine-readable, non-transient storage medium for characterising particles suspended in a fluid dispersant
US10918252B2 (en) 2017-07-27 2021-02-16 Neato Robotics, Inc. Dirt detection layer and laser backscatter dirt detection
DE102017220461A1 (de) * 2017-11-16 2019-05-16 Robert Bosch Gmbh Partikelsensor
KR20210012259A (ko) 2019-07-24 2021-02-03 삼성전자주식회사 미세먼지 측정 장치 및 방법
JP2021063779A (ja) * 2019-10-17 2021-04-22 富士電機株式会社 粒子分析装置
WO2022093286A1 (en) * 2020-11-02 2022-05-05 Tintometer Gmbh Nephelometric measuring device(s)
DE102021108441A1 (de) 2021-04-01 2022-10-06 Schott Ag Befestigungsvorrichtung für ein temperaturstabiles, transparentes Element, sowie Partikelsensor, umfassend die Befestigungsvorrichtung

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3553462A (en) 1969-12-31 1971-01-05 Exotech Apparatus for determining the radiation scattering properties of a fluid(and by ex.)
US4361403A (en) * 1978-06-26 1982-11-30 Loos Hendricus G Multiple wavelength instrument for measurement of particle size distributions
JPS58153107A (ja) * 1982-03-06 1983-09-12 Hajime Kano 粒子径・速度同時測定装置
JPS59160741A (ja) * 1983-03-03 1984-09-11 Toshiba Corp 粒径測定装置
JPS62293143A (ja) * 1986-06-12 1987-12-19 Rion Co Ltd 微粒子測定装置
JP2674128B2 (ja) * 1988-08-31 1997-11-12 株式会社島津製作所 粒度分布測定装置
JP2681829B2 (ja) * 1989-06-02 1997-11-26 住友重機械工業株式会社 雨滴粒径分布測定装置
JP3049254B2 (ja) * 1990-02-08 2000-06-05 シスメックス株式会社 2種類の光源を備えた光学式粒子分析装置
JPH0498145A (ja) * 1990-08-16 1992-03-30 Sigma Tec:Kk 流体中の微粒子計数装置
DE69129260T2 (de) 1990-11-03 1998-11-19 Horiba Ltd Gerät zur Messung der Teilchengrössenverteilung
JP2876253B2 (ja) * 1990-11-03 1999-03-31 株式会社堀場製作所 粒度分布測定装置
FR2688308B1 (fr) 1992-03-04 1994-05-27 Cilas Granulometre a laser.
JPH06221989A (ja) * 1993-01-27 1994-08-12 Rion Co Ltd 光散乱式微粒子検出装置
US5576697A (en) * 1993-04-30 1996-11-19 Hochiki Kabushiki Kaisha Fire alarm system
US5416580A (en) 1993-07-07 1995-05-16 General Signal Corporation Methods and apparatus for determining small particle size distribution utilizing multiple light beams
FR2773880B1 (fr) * 1998-01-19 2000-03-17 Cilas Dispositif pour determiner la repartition granulometrique d'un melange de particules

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000097841A5 (ja)
JP6639319B2 (ja) 粒子センサ装置
DK2706515T3 (en) Apparatus and method for detecting light scattering signals
ATE432518T1 (de) Branderkennungsverfahren und brandmelder zu dessen durchführung
JP4546587B2 (ja) 光成形板を備えた測光式読取りヘッド
JP2008058325A (ja) 表面特性を特定する装置および方法
US4379233A (en) Optical arrangement for quantitative analysis instrument utilizing pulsed radiation emitting diodes
EP0848243A3 (en) Method and apparatus for monitoring particulates using beam-steered solid-state light source
US5694931A (en) Method and apparatus for measuring concentration of absorptive constituent in scattering medium
KR101954300B1 (ko) 투과 및/또는 반사 특성을 판단하기 위한 측정방법 및 측정기기
JP2020508568A5 (ja)
JP2018507411A5 (ja)
KR20150008453A (ko) 표면 피처들 맵핑
AU2009300424A1 (en) An arrangement adapted for spectral analysis of high concentrations of gas
DE50012576D1 (de) Analysegerät
WO1999051967A1 (fr) Procede et dispositif de mesure de la concentration d'un composant absorbant d'un corps diffusant / absorbant
JPH038686B2 (ja)
JPH1189799A (ja) 特定成分の濃度測定装置および濃度測定方法
US6084662A (en) Light transmittance measuring device and process for separating transmittance and reflectance
JP2001281097A (ja) 散乱光測定方法及び装置
JP2019013410A (ja) 検出装置および生体情報測定装置
EP0347298B1 (fr) Procédé et dispositif de mesure de la visibilité à travers un milieu d'opacité variable
CA2017031A1 (en) Apparatus for the measurement of aerosols and dust or the like distributed in air
JP2010091428A (ja) 走査光学系
JP2019045476A (ja) 光観測装置