JP2000097641A - 透過膜付き穴またはスリットの測定方法 - Google Patents
透過膜付き穴またはスリットの測定方法Info
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- JP2000097641A JP2000097641A JP10272408A JP27240898A JP2000097641A JP 2000097641 A JP2000097641 A JP 2000097641A JP 10272408 A JP10272408 A JP 10272408A JP 27240898 A JP27240898 A JP 27240898A JP 2000097641 A JP2000097641 A JP 2000097641A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透過膜を付けた穴またはスリットを正確に撮
像して穴径またはスリット幅を測定する方法を提供す
る。 【解決手段】 金属板１に複数の穴またはスリットが設
けられ、一方の面が透過膜２で覆われており、この一方
の面側から照明してその透過光を顕微鏡６で拡大し、テ
レビカメラ７で撮像して得られた画像から穴径またはス
リット幅を測定する方法において、照明９として拡散光
を用いる。
像して穴径またはスリット幅を測定する方法を提供す
る。 【解決手段】 金属板１に複数の穴またはスリットが設
けられ、一方の面が透過膜２で覆われており、この一方
の面側から照明してその透過光を顕微鏡６で拡大し、テ
レビカメラ７で撮像して得られた画像から穴径またはス
リット幅を測定する方法において、照明９として拡散光
を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属板に多数の穴
またはスリットを設け、一方の面に透過膜を付けた状態
で撮像し、穴径またはスリット幅を画像解析により計測
する方法に関する。
またはスリットを設け、一方の面に透過膜を付けた状態
で撮像し、穴径またはスリット幅を画像解析により計測
する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】テレビジョンのブラウン管に用いられる
シャドウマスクは薄い金属板１に多数の小さな穴または
スリットが一定のピッチで設けられている。このような
微細な形状を金属板に加工する方法としてフォトエッチ
ングが用いられる。図２は開口またはスリットをフォト
エッチングにより製作している工程の一部を示す。
（Ａ）は一方の面を腐食させ１段目の開口３またはスリ
ットを作成し、この面に保護用の透過膜を張ってこの面
を保護し、（Ｂ）に示すように反転して他方の面にフォ
トレジストの膜を塗布し穴またはスリットのパターンの
フォトレジストを除去しエッチング液に漬け穴またはス
リットの部分を腐食させて２段目開口４を作り第１段目
開口３と貫通させる。この後この穴径またはスリット幅
を撮像し画像処理により計測するが、工程上の要求から
透過膜２は取り除かないで穴またはスリット幅の計測を
行うことが望ましい。
シャドウマスクは薄い金属板１に多数の小さな穴または
スリットが一定のピッチで設けられている。このような
微細な形状を金属板に加工する方法としてフォトエッチ
ングが用いられる。図２は開口またはスリットをフォト
エッチングにより製作している工程の一部を示す。
（Ａ）は一方の面を腐食させ１段目の開口３またはスリ
ットを作成し、この面に保護用の透過膜を張ってこの面
を保護し、（Ｂ）に示すように反転して他方の面にフォ
トレジストの膜を塗布し穴またはスリットのパターンの
フォトレジストを除去しエッチング液に漬け穴またはス
リットの部分を腐食させて２段目開口４を作り第１段目
開口３と貫通させる。この後この穴径またはスリット幅
を撮像し画像処理により計測するが、工程上の要求から
透過膜２は取り除かないで穴またはスリット幅の計測を
行うことが望ましい。
【０００３】図３は穴径またはスリット幅測定装置を示
す。金属板１には多数の穴またはスリットが一定のピッ
チで開けられ、下面には透明な透過膜２が付着されてい
る。この透過膜２の側から直接光照明光源５により直接
光が照射され、この透過光を顕微鏡６で集光しテレビカ
メラ７の撮像素子に結像する。このようにして得られた
画像は図示しない画像処理装置で穴径またはスリット幅
の計測が行われる。
す。金属板１には多数の穴またはスリットが一定のピッ
チで開けられ、下面には透明な透過膜２が付着されてい
る。この透過膜２の側から直接光照明光源５により直接
光が照射され、この透過光を顕微鏡６で集光しテレビカ
メラ７の撮像素子に結像する。このようにして得られた
画像は図示しない画像処理装置で穴径またはスリット幅
の計測が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図４は金属板１の穴の
撮像画像を示す。（Ａ）は本発明の方法で撮像した画像
を示す。（Ｂ）は図２に示す状態で得た撮像画像であ
る。（Ｂ）では透過膜２によって光が複雑に屈折し、輪
郭が歪んだ画像となっている。また、図５は金属板１の
スリットの撮像画像を示す。（Ａ）は本発明の方法で撮
像した画像を示す。（Ｂ）は図２に示す状態で得た撮像
画像である。（Ｂ）では透過膜２によって光が複雑に屈
折し、輪郭が歪んだ画像となっている。このような歪ん
だ画像では穴径やスリット幅の計測は出来ないため、従
来は、透過膜２を外して撮像していた。このため工程上
大きなロスが生じていた。
撮像画像を示す。（Ａ）は本発明の方法で撮像した画像
を示す。（Ｂ）は図２に示す状態で得た撮像画像であ
る。（Ｂ）では透過膜２によって光が複雑に屈折し、輪
郭が歪んだ画像となっている。また、図５は金属板１の
スリットの撮像画像を示す。（Ａ）は本発明の方法で撮
像した画像を示す。（Ｂ）は図２に示す状態で得た撮像
画像である。（Ｂ）では透過膜２によって光が複雑に屈
折し、輪郭が歪んだ画像となっている。このような歪ん
だ画像では穴径やスリット幅の計測は出来ないため、従
来は、透過膜２を外して撮像していた。このため工程上
大きなロスが生じていた。
【０００５】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、透過膜を付けた穴またはスリットを正確に撮像
して穴径またはスリット幅を測定する方法を提供するこ
とを目的とする。
もので、透過膜を付けた穴またはスリットを正確に撮像
して穴径またはスリット幅を測定する方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項１の発明では、金属板に複数の穴またはスリット
が設けられ、一方の面が透過膜で覆われており、この一
方の面側から照明してその透過光を顕微鏡で拡大し、テ
レビカメラで撮像して得られた画像から穴径またはスリ
ット幅を測定する方法において、照明として拡散光を用
いる。
請求項１の発明では、金属板に複数の穴またはスリット
が設けられ、一方の面が透過膜で覆われており、この一
方の面側から照明してその透過光を顕微鏡で拡大し、テ
レビカメラで撮像して得られた画像から穴径またはスリ
ット幅を測定する方法において、照明として拡散光を用
いる。
【０００７】拡散光で照明すると、照明光は透過膜をあ
らゆる方向から透過するので、透過膜による歪みが打ち
消され正確な穴形状やスリット形状の画像を得られるこ
とが判明した。
らゆる方向から透過するので、透過膜による歪みが打ち
消され正確な穴形状やスリット形状の画像を得られるこ
とが判明した。
【０００８】請求項２の発明では、前記一方の面から
０．５〜２ｍｍの距離で前記顕微鏡の視野の面積の２０
００倍以上の照明面積から拡散光を照射する。
０．５〜２ｍｍの距離で前記顕微鏡の視野の面積の２０
００倍以上の照明面積から拡散光を照射する。
【０００９】照明の発光面を透過膜のある側の金属板面
より０．５〜２ｍｍの距離に配置して照明する。透過膜
は数十μｍの厚みであり０．５ｍｍ以内に存在する。金
属板は帯状のもので、計測時は停止するが、その間は移
動するので、０．５ｍｍよりも短くすると照明装置と接
触する。また２ｍｍ以上とすると鮮明な画像を得るため
の照明の出力が大きくなる。また照明装置の発光面積は
顕微鏡の視野の面積から決まり、視野面積の２０００倍
以下の照明面積だと鮮明な画像が得られない。
より０．５〜２ｍｍの距離に配置して照明する。透過膜
は数十μｍの厚みであり０．５ｍｍ以内に存在する。金
属板は帯状のもので、計測時は停止するが、その間は移
動するので、０．５ｍｍよりも短くすると照明装置と接
触する。また２ｍｍ以上とすると鮮明な画像を得るため
の照明の出力が大きくなる。また照明装置の発光面積は
顕微鏡の視野の面積から決まり、視野面積の２０００倍
以下の照明面積だと鮮明な画像が得られない。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は本実施形態の構成を示す。１
は金属板で厚みは９０〜２００μｍ程度であり穴径また
はスリット幅１３０μｍ程度のものが一定ピッチで並ん
でいる。この金属板１の下面には厚み数十μｍのフォト
レジストの透明な透過膜２が付着している。この金属板
１の下面からＨ＝０．５〜２ｍｍ離れて平面状の拡散光
照明光源９が設けられている。顕微鏡６により穴径また
はスリットの像を拡大し、テレビカメラ７で撮像する。
この撮像データは画像処理装置８で解析され穴径または
スリット幅等が計測される。
参照して説明する。図１は本実施形態の構成を示す。１
は金属板で厚みは９０〜２００μｍ程度であり穴径また
はスリット幅１３０μｍ程度のものが一定ピッチで並ん
でいる。この金属板１の下面には厚み数十μｍのフォト
レジストの透明な透過膜２が付着している。この金属板
１の下面からＨ＝０．５〜２ｍｍ離れて平面状の拡散光
照明光源９が設けられている。顕微鏡６により穴径また
はスリットの像を拡大し、テレビカメラ７で撮像する。
この撮像データは画像処理装置８で解析され穴径または
スリット幅等が計測される。
【００１１】穴径またはスリット幅を考慮して顕微鏡６
の視野は６５０×６５０μｍとし、この視野に合わせて
拡散光源の拡散光出射面の寸法は６０×６０ｍｍのもの
を採用した。拡散光源の拡散光出射面積Ａは顕微鏡の視
野の面積ａに対してＡ＝２０００ａ〜２００００ａの範
囲がよい。２０００ａ未満とすると穴やスリットの鮮明
な画像が得られない。また２００００ａ以上としても画
像の鮮明度はよくならず、経済性が急激に低下する。市
販されている標準サイズの拡散光源の拡散光出射面積と
しては、３０×３０ｍｍ（Ａ＝２１３０ａ），６０×６
０ｍｍ（Ａ＝８５２０ａ），９０×９０ｍｍ（Ａ＝１９
１７１ａ）などがあり、本実施形態の場合、６０×６０
ｍｍのものが最適である。
の視野は６５０×６５０μｍとし、この視野に合わせて
拡散光源の拡散光出射面の寸法は６０×６０ｍｍのもの
を採用した。拡散光源の拡散光出射面積Ａは顕微鏡の視
野の面積ａに対してＡ＝２０００ａ〜２００００ａの範
囲がよい。２０００ａ未満とすると穴やスリットの鮮明
な画像が得られない。また２００００ａ以上としても画
像の鮮明度はよくならず、経済性が急激に低下する。市
販されている標準サイズの拡散光源の拡散光出射面積と
しては、３０×３０ｍｍ（Ａ＝２１３０ａ），６０×６
０ｍｍ（Ａ＝８５２０ａ），９０×９０ｍｍ（Ａ＝１９
１７１ａ）などがあり、本実施形態の場合、６０×６０
ｍｍのものが最適である。
【００１２】また、金属板１の下面と拡散光源の拡散光
出射面との距離Ｈは、０．５ｍｍが最小値となる。これ
は、金属板１は帯状で走行しており、穴径やスリット幅
計測時のみ停止するもので、最小０．５ｍｍの間隔がな
いと拡散光照明光源９上を走行できない。なお透過膜２
の厚みは数十μｍなので無視できる。また２ｍｍ以上離
れると、撮像された画像の鮮明度が低下し、この低下を
押さえるためには、更に出射面積の広い拡散光源ガ必要
で、照明出力が急激に増大する。
出射面との距離Ｈは、０．５ｍｍが最小値となる。これ
は、金属板１は帯状で走行しており、穴径やスリット幅
計測時のみ停止するもので、最小０．５ｍｍの間隔がな
いと拡散光照明光源９上を走行できない。なお透過膜２
の厚みは数十μｍなので無視できる。また２ｍｍ以上離
れると、撮像された画像の鮮明度が低下し、この低下を
押さえるためには、更に出射面積の広い拡散光源ガ必要
で、照明出力が急激に増大する。
【００１３】図４の（Ａ）に示す穴の画像、および図５
の（Ａ）に示すスリットの画像は、顕微鏡６の視野が６
５０×６５０μｍ、金属板１の下面と拡散光源の拡散光
出射面との距離Ｈ＝１ｍｍ、拡散光源の拡散光出射面積
Ａ＝６０×６０ｍｍ＝３６００ｍｍ2 の場合であり、鮮
明な画像が得られ、穴径またはスリット幅の正確な計測
ができる。
の（Ａ）に示すスリットの画像は、顕微鏡６の視野が６
５０×６５０μｍ、金属板１の下面と拡散光源の拡散光
出射面との距離Ｈ＝１ｍｍ、拡散光源の拡散光出射面積
Ａ＝６０×６０ｍｍ＝３６００ｍｍ2 の場合であり、鮮
明な画像が得られ、穴径またはスリット幅の正確な計測
ができる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、照明光として拡散光を用いることにより、透過膜の
付いた穴またはスリットでも鮮明な画像を得ることがで
き、これらの寸法の正確な計測ができる。透過膜の付い
ている面から照明光出射面までの距離は０．５〜２ｍｍ
の範囲がよく、また照明光出射面積は顕微鏡の視野面積
の２０００倍以上がよい。
は、照明光として拡散光を用いることにより、透過膜の
付いた穴またはスリットでも鮮明な画像を得ることがで
き、これらの寸法の正確な計測ができる。透過膜の付い
ている面から照明光出射面までの距離は０．５〜２ｍｍ
の範囲がよく、また照明光出射面積は顕微鏡の視野面積
の２０００倍以上がよい。
【図１】本発明の実施形態の構成を示す図である。
【図２】金属板にフォトエッチングにより穴またはスリ
ットを開ける手順を説明する図である。
ットを開ける手順を説明する図である。
【図３】従来の穴またはスリット計測装置を示す図であ
る。
る。
【図４】穴の正確な画像（Ａ）と、透過膜により歪んだ
画像（Ｂ）を示す。
画像（Ｂ）を示す。
【図５】スリットの正確な画像（Ａ）と、透過膜により
歪んだ画像（Ｂ）を示す。
歪んだ画像（Ｂ）を示す。
１ 金属板 ２ 透過膜 ３ １段目開口 ４ ２段目開口 ５ 直接光照明光源 ６ 顕微鏡 ７ テレビカメラ ８ 画像処理装置 ９ 拡散光照明光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA22 AA27 AA51 BB01 BB02 BB13 BB22 CC32 DD01 DD03 DD09 EE05 EE08 FF61 GG01 GG18 HH02 HH15 JJ19 KK01 LL05 PP02 PP24 QQ31 QQ32 UU01 UU03 UU04
Claims (2)
- 【請求項１】 金属板に複数の穴またはスリットが設け
られ、一方の面が透過膜で覆われており、この一方の面
側から照明してその透過光を顕微鏡で拡大し、テレビカ
メラで撮像して得られた画像から穴径またはスリット幅
を測定する方法において、照明として拡散光を用いるこ
とを特徴とする透過膜付き穴またはスリットの測定方
法。 - 【請求項２】 前記一方の面から０．５〜２ｍｍの距離
で前記顕微鏡の視野の面積の２０００倍以上の照明面積
から拡散光を照射することを特徴とする請求項１記載の
透過膜付き穴またはスリットの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10272408A JP2000097641A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 透過膜付き穴またはスリットの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10272408A JP2000097641A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 透過膜付き穴またはスリットの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000097641A true JP2000097641A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17513495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10272408A Pending JP2000097641A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 透過膜付き穴またはスリットの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000097641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003050474A1 (de) | 2001-12-07 | 2003-06-19 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur optischen vermessung von bohrungen |
| WO2004051186A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | OBE OHNMACHT & BAUMGäRTNER GMBH & CO. KG | Verfahren und vorrichtung zur optischen formvermessung und/oder beurteilung |
| CN100340840C (zh) * | 2002-11-29 | 2007-10-03 | Obe奥马赫特&鲍姆格特纳有限公司 | 光学形状测量或评定的方法及装置 |
-
1998
- 1998-09-28 JP JP10272408A patent/JP2000097641A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003050474A1 (de) | 2001-12-07 | 2003-06-19 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur optischen vermessung von bohrungen |
| US7184140B2 (en) | 2001-12-07 | 2007-02-27 | Robert Bosch Gmbh | Device for optically measuring boreholes |
| WO2004051186A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | OBE OHNMACHT & BAUMGäRTNER GMBH & CO. KG | Verfahren und vorrichtung zur optischen formvermessung und/oder beurteilung |
| CN100340840C (zh) * | 2002-11-29 | 2007-10-03 | Obe奥马赫特&鲍姆格特纳有限公司 | 光学形状测量或评定的方法及装置 |
| US7453777B2 (en) | 2002-11-29 | 2008-11-18 | Obe Ohnmacht & Baumgartner Gmbh & Co. Kg | Method and device for optical form measurement and/or estimation |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050401 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051102 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060301 |