JP2000096265A - 長尺状金属薄板の搬送装置および搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺状金属薄板の搬送時の張力がいずれの搬
送位置においても常に適正に保たれるような搬送装置を
提供する。 【手段】 長尺状金属薄板１０を一定速度で送り出す送
出し駆動ローラ２４の搬送方向下流側に配設されたダン
サーローラ２６の上下方向への変位量を変位センサ３６
で検出し、コントローラ５４により、変位量を０に戻す
ようにダンサーローラの搬送方向下流側に配設された第
１の駆動ローラ２８による金属薄板の搬送速度を制御す
る。第１の駆動ローラの搬送方向下流側に配設された第
２の駆動ローラ３０、３２より搬送方向上流側の位置に
おける金属薄板の搬送時の張力を検出する張力センサ３
４を設け、コントローラ５６、５８により、搬送張力を
基準張力に戻すように第２の駆動ローラによる金属薄板
の搬送速度を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管用
のシャドウマスク、トリニトロン管（ソニー（株）の登
録商標）用等のアパーチャグリル、半導体素子用のリー
ドフレームなどの製造工程において、素材である長尺状
金属薄板に対し所定の各種処理を施す処理装置内あるい
は処理装置間で長尺状金属薄板をその長手方向へ搬送す
るために使用される長尺状金属薄板の搬送装置、およ
び、その搬送装置を用いて行われる長尺状金属薄板の搬
送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばシャドウマスクは、一般に、長尺
状金属薄板をその長手方向へ搬送させつつ、フォトエッ
チング法を利用して長尺状金属薄板に一連の各種処理を
施すことにより製造される。すなわち、金属薄板の主面
に付着した油分などを除去する整面工程、油分などが除
去された金属薄板の主面に感光性を有するレジストを塗
布して金属薄板の主面にレジスト膜を形成する塗布工
程、金属薄板の主面に形成されたレジスト膜に所定のパ
ターンを焼き付ける焼付け工程、所定のパターンが焼き
付けられた金属薄板の主面のレジスト膜をパターンに従
って部分的に溶解除去する現像工程、金属薄板の主面
の、レジスト膜が部分的に溶解除去されて露出した金属
面をエッチングするエッチング工程、および、金属薄板
に被着したレジスト膜を金属薄板の主面から剥離させ水
洗し乾燥させる薄膜工程を経て、その各工程で長尺状金
属薄板に対しそれぞれ所定の処理を施すことにより、金
属薄板に電子ビーム通過孔となる多数の透孔を形成し、
フォトエッチングの一連の工程が終わった後に、シャー
リング工程で長尺状金属薄板を切断して枚葉形態とする
ことにより、シャドウマスク製品が得られる。

【０００３】上記したシャドウマスクの製造工程におい
て、長尺状金属薄板は、多数のローラを備えた搬送装置
により、各種の処理装置内あるいは処理装置間を長手方
向へ連続的に搬送されながら、各種の処理が施される。

【０００４】例えば、剥膜工程では、図３に概略構成の
１例を模式的に示すように、第１剥膜槽１００、第２剥
膜・第１水洗槽１０２、仕上げ槽１０４、第２水洗槽１
０６、純水水洗槽１０８および乾燥チャンバ１１０が順
番に連設された処理装置において、第１剥膜槽１００の
搬送方向上流側に配設された第１駆動ローラ１１２、お
よび、乾燥チャンバ１１０の搬送方向下流側に配設され
た第２駆動ローラ１１４により長尺状金属薄板１０に搬
送駆動力を付与するとともに、各槽１００〜１０８の内
部に配設された槽内ローラ（駆動ローラ）１１６により
金属薄板１０に補助的に搬送駆動力を付与し、金属薄板
１０を複数の搬送ローラ１１６に順次掛け回して、各槽
１００〜１０８および乾燥チャンバ１１０へ順番に金属
薄板１０を搬送しつつ、金属薄板１０に対し剥膜、水洗
および乾燥の各処理を施すようにしている。また、第１
駆動ローラ１１２（駆動用のモータの図示を省略）によ
り最初の第１剥膜槽１００に向けて一定の速度で送り出
す際の金属薄板１０の搬送速度に対する、それ以降の金
属薄板１０の搬送速度の変化に追従して、金属薄板１０
の搬送張力を補償するために、第１駆動ローラ１１２と
第１剥膜槽１００との間に、上下方向へ変位自在に支持
されたダンサーローラ１２０を配設し、そのダンサーロ
ーラ１２０に金属薄板１０を掛け回している。そして、
ダンサーローラ１２０の上下方向への変位量を変位セン
サ１２２によって検出し、その変位量に基づいてコント
ローラ１２４により第２駆動ローラ１１４の駆動用のモ
ータ１２６を制御して、第２駆動ローラ１１４による金
属薄板１０の搬送速度を調節し、ダンサーローラ１２０
を元の基準位置へ戻すようにしている。すなわち、ダン
サーローラ１２０が上方へ変位したときは、第２駆動ロ
ーラ１１４の回転数を下げ、ダンサーローラ１２０が下
方へ変位したときは、第２駆動ローラ１１４の回転数を
上げるようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ダンサ
ーローラ１２０を使用して調整された金属薄板の搬送張
力は、ダンサーローラ１２０の後段側に配置された槽内
ローラ１１６や搬送ローラ１１８の回転抵抗、槽内ロー
ラ１１６の補助搬送駆動力などによって変化する。そし
て、搬送張力が所定の張力以上になったときは、特に、
互いに平行な多数本の細長状のグリッドとグリッド間の
細長状の透孔とを有するアパーチャグリルを製造する場
合には、長尺状金属薄板のすだれ状になった有効面の中
央部がむくれ、この結果、すだれ状部分の根元が塑性変
形を起こして、製品として得られるアパーチャグリルに
おいてグリッドのピッチむらが発生したり、搬送中に金
属薄板１０が切断されたりする、といった問題点があ
る。一方、搬送張力が所定の張力より小さいと、搬送ロ
ーラ１１８と金属薄板１０との間でスリップが発生し
て、金属薄板１０の搬送時に蛇行を生じ、この結果、上
記と同様の問題を生じる。

【０００６】また、それらの問題点を解消するために、
槽内ローラ１１６の駆動トルクを人手によって調整する
ことも行われるが、その調整作業は非常に困難であっ
た。

【０００７】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、長尺状金属薄板の搬送時の張力がい
ずれの搬送位置においても常に適正に保たれるような長
尺状金属薄板の搬送装置および搬送方法を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
長尺状金属薄板を複数のローラに順次掛け回しつつその
長手方向へ連続的に搬送する長尺状金属薄板の搬送装置
において、長尺状金属薄板を一定の速度で送り出す送出
し部と、この送出し部の搬送方向下流側に配設されて前
記長尺状金属薄板が掛け回され、その配設位置より搬送
方向下流側における搬送速度と送出し部からの送出し速
度との差分に応じて上下方向へ変位自在に支持されたダ
ンサーローラと、このダンサーローラの搬送方向下流側
に配設されて前記長尺状金属薄板が掛け回され、その長
尺状金属薄板に搬送駆動力を与える第１の駆動ローラ
と、この第１の駆動ローラの搬送方向下流側に配設され
て前記長尺状金属薄板が掛け回され、その長尺状金属薄
板に搬送駆動力を与える第２の駆動ローラと、前記ダン
サーローラの上下方向への変位量を検出する変位量検出
手段と、前記第２の駆動ローラより搬送方向上流側の位
置における前記長尺状金属薄板の搬送時の張力を検出す
る張力検出手段と、前記変位量検出手段によって検出さ
れた前記ダンサーローラの上下方向への変位量に基づい
て、その変位量を０に戻すように前記第１の駆動ローラ
による前記長尺状金属薄板の搬送速度を制御する第１の
制御手段と、前記張力検出手段によって検出された前記
長尺状金属薄板の搬送時の張力に基づいて、その張力を
基準張力に戻すように前記第２の駆動ローラによる長尺
状金属薄板の搬送速度を制御する第２の制御手段とを備
えて、搬送装置を構成したことを特徴とする。

【０００９】請求項２に係る発明は、請求項１記載の搬
送装置において、前記第１の制御手段が、前記変位量検
出手段によって検出された前記ダンサーローラの上下方
向への変位量に比例して前記第１の駆動ローラによる前
記長尺状金属薄板の搬送速度を制御するものであり、前
記第２の制御手段が、前記張力検出手段によって検出さ
れた前記長尺状金属薄板の搬送時の張力と基準張力との
差に比例して前記第２の駆動ローラによる長尺状金属薄
板の搬送速度を制御するものであることを特徴とする。

【００１０】請求項３に係る発明は、請求項１または請
求項２記載の搬送装置が、長尺状金属薄板へ処理液を供
給して長尺状金属薄板に対し所要の処理を施す長尺状金
属薄板の処理装置に設置されたことを特徴とする。

【００１１】請求項４に係る発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載の搬送装置において、搬送され
る前記長尺状金属薄板に多数の透孔が形成されているこ
とを特徴とする。

【００１２】請求項５に係る発明は、長尺状金属薄板を
複数のローラに順次掛け回しつつその長手方向へ連続的
に搬送する長尺状金属薄板の搬送方法において、送出し
部から長尺状金属薄板を一定の速度で送り出し、その長
尺状金属薄板をダンサーローラ、第１の駆動ローラおよ
び第２の駆動ローラにそれぞれ掛け回して搬送しなが
ら、前記ダンサーローラの上下方向への変位量を検出し
て、その変位量を０に戻すように前記第１の駆動ローラ
による前記長尺状金属薄板の搬送速度を制御するととも
に、前記第２の駆動ローラより搬送方向上流側の位置に
おける前記長尺状金属薄板の搬送時の張力を検出して、
その張力を基準張力に戻すように第２の駆動ローラによ
る長尺状金属薄板の搬送速度を制御することを特徴とす
る。

【００１３】請求項１に係る発明の長尺状金属薄板の搬
送装置においては、長尺状金属薄板は送出し部から一定
の速度で送り出され、複数のローラに順次掛け回されつ
つその長手方向へ連続的に搬送される。このとき、変位
量検出手段により、送出し部の搬送方向下流側に配設さ
れ金属薄板が掛け回されて上下方向へ変位自在に支持さ
れたダンサーローラの変位量が検出され、第１の制御手
段により、検出されたダンサーローラの上下方向への変
位量に基づいてその変位量を０に戻すように、ダンサー
ローラの搬送方向下流側に配設された第１の駆動ローラ
による金属薄板の搬送速度が制御されて、ダンサーロー
ラと第１の駆動ローラとの間における金属薄板の張力が
適正に調整される。また、張力検出手段により、第１の
駆動ローラの搬送方向下流側に配設された第２の駆動ロ
ーラより搬送方向上流側の位置における金属薄板の搬送
時の張力が検出され、第２の制御手段により、検出され
た金属薄板の張力に基づいてその張力を基準張力に戻す
ように第２の駆動ローラによる金属薄板の搬送速度が制
御される。このようにして、金属薄板の搬送時の張力
が、それぞれの搬送位置において常に適正に調整され
る。

【００１４】請求項２に係る発明の搬送装置では、第１
の制御手段により、変位量検出手段によって検出された
ダンサーローラの上下方向への変位量に比例して第１の
駆動ローラによる長尺状金属薄板の搬送速度が制御さ
れ、また、第２の制御手段により、張力検出手段によっ
て検出された長尺状金属薄板の搬送時の張力と基準張力
との差に比例して第２の駆動ローラによる長尺状金属薄
板の搬送速度が制御される。

【００１５】請求項３に係る発明の搬送装置では、長尺
状金属薄板へ処理液が供給されつつ処理装置内を金属薄
板が搬送されるが、上記したように、金属薄板の搬送時
の張力がそれぞれの搬送位置において常に適正に調整さ
れるので、ローラと金属薄板との間でスリップが発生す
ることがない。

【００１６】請求項４に係る発明の搬送装置では、搬送
される長尺状金属薄板に多数の透孔が形成されていて
も、特に、金属薄板がアパーチャグリル素材であって
も、上記したように、金属薄板の搬送時の張力がそれぞ
れの搬送位置において常に適正に調整されるので、金属
薄板のすだれ状になった有効面の中央部がむくれたり、
ローラと金属薄板との間でスリップが発生して金属薄板
の搬送時に蛇行を生じたりすることがなく、このため、
すだれ状部分の根元が塑性変形を起こしたり搬送中に金
属薄板が切断されたりすることがない。

【００１７】請求項５に係る発明の長尺状金属薄板の搬
送方法によると、長尺状金属薄板は、送出し部から一定
の速度で送り出され、ダンサーローラ、第１の駆動ロー
ラおよび第２の駆動ローラにそれぞれ掛け回されて長手
方向へ連続的に搬送される。このとき、ダンサーローラ
の上下方向への変位量が検出されて、その変位量を０に
戻すように第１の駆動ローラによる金属薄板の搬送速度
が制御され、ダンサーローラと第１の駆動ローラとの間
における金属薄板の張力が適正に調整されるとともに、
第２の駆動ローラより搬送方向上流側の位置における金
属薄板の搬送時の張力が検出されて、その張力を基準張
力に戻すように第２の駆動ローラによる長尺状金属薄板
の搬送速度が制御される。したがって、金属薄板の搬送
時の張力が、それぞれの搬送位置において常に適正に調
整されることとなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１および図２を参照しながら説明する。

【００１９】図１は、この発明の実施形態の１例を示
し、長尺状金属薄板の搬送装置の概略構成の一部を示す
模式図である。この搬送装置は、それぞれ内部に処理液
１８、２０、２２が収容された複数の処理槽１２、１
４、１６を備えた処理装置に設置されており、長尺状金
属薄板１０をその長手方向へ連続的に搬送して、それぞ
れの処理槽１２、１４、１６内の処理液１８、２０、２
２中に金属薄板１０を順番に浸漬させていく。

【００２０】この搬送装置は、１番目の処理槽１２の搬
送方向上流側に配設された送出し駆動ローラ２４、送出
し駆動ローラ２４と１番目の処理槽１２との間に配設さ
れ、金属薄板１０が掛け回されて上下方向へ変位自在に
支持されたダンサーローラ２６、各処理槽１２、１４、
１６内にそれぞれ配設された補助駆動用の槽内ローラ２
８、３０、３２、および、金属薄板１０が順次掛け回さ
れる複数の搬送ローラ３４を備えて構成されている。ダ
ンサーローラ２６には、その上下方向への変位量を検出
する変位センサ３６が付設されている。また、ダンサー
ローラ２６と１番目の処理槽１２内の槽内ローラ２８と
の間に配置された搬送ローラ３４には、金属薄板１０の
搬送時の基準張力を測定するための張力センサ３８が付
設されており、１番目の処理槽１２内の槽内ローラ２８
と２番目の処理槽１４内の槽内ローラ３０との間に配置
された搬送ローラ３４、２番目の処理槽１４内の槽内ロ
ーラ３０と３番目の処理槽１６内の槽内ローラ３２との
間に配置された搬送ローラ３４、および、３番目の処理
槽１６内の槽内ローラ３２と４番目の処理槽内の槽内ロ
ーラ（図示せず）との間に配置された搬送ローラ３４に
も、金属薄板１０の搬送張力を測定するための張力セン
サ４０がそれぞれ付設されている。

【００２１】変位センサ３６によって検出されたダンサ
ーローラ２６の上下方向への変位量Ｄを示す信号は、１
番目の処理槽１２内の槽内ローラ２８を回転駆動させる
ためのモータ４６を制御するコントローラ５４へ入力さ
れる。このコントローラ５４には、送出し駆動ローラ２
４を回転駆動させるためのモータ４４を制御するコント
ローラ５２から出力され送出し駆動ローラ２４による金
属薄板１０の、予め設定された基準搬送速度Ｖ_０を示す
信号も入力される。また、ダンサーローラ２６と１番目
の処理槽１２内の槽内ローラ２８との間に配置された搬
送ローラ３４に付設された張力センサ３８によって測定
された金属薄板１０の搬送時の基準張力Ｔ_０を示す信号
は、２番目以降の各処理槽１４、１６内の槽内ローラ３
０、３２をそれぞれ回転駆動させるためのモータ４８、
５０を制御するコントローラ５６、５８へそれぞれ入力
される。

【００２２】また、１番目の処理槽１２内の槽内ローラ
２８と２番目の処理槽１４内の槽内ローラ３０との間に
配置された搬送ローラ３４に付設された張力センサ４０
によって測定された金属薄板１０の搬送張力Ｔ_１を示す
信号、２番目の処理槽１４内の槽内ローラ３０と３番目
の処理槽１６内の槽内ローラ３２との間に配置された搬
送ローラ３４に付設された張力センサ４０によって測定
された金属薄板１０の搬送張力Ｔ_２を示す信号、およ
び、３番目の処理槽１６内の槽内ローラ３２と４番目の
処理槽内の槽内ローラ（図示せず）との間に配置された
搬送ローラ３４に付設された張力センサ４０によって測
定された金属薄板１０の搬送張力Ｔ_３を示す信号は、２
番目の処理槽１４内の槽内ローラ３０を回転駆動させる
ためのモータ４８を制御するコントローラ５６、３番目
の処理槽１６内の槽内ローラ３２を回転駆動させるため
のモータ５０を制御するコントローラ５８、および、４
番目の処理槽内の槽内ローラを回転駆動させるためのモ
ータを制御するコントローラ（図示せず）へそれぞれ入
力される。さらに、２番目のコントローラ５６には、１
番目のコントローラ５４から出力され槽内ローラ２８に
よる金属薄板１０の搬送速度Ｖ_１を示す信号も入力さ
れ、３番目のコントローラ５８には、２番目のコントロ
ーラ５６から出力され槽内ローラ３０による金属薄板１
０の搬送速度Ｖ_２を示す信号も入力され、また、４番目
のコントローラ（図示せず）には、３番目のコントロー
ラ５８から出力され槽内ローラ３２による金属薄板１０
の搬送速度Ｖ_３を示す信号も入力されるようになってい
る。

【００２３】１番目のコントローラ５４では、変位セン
サ３６によって検出されたダンサーローラ２６の上下方
向への変位量Ｄと、送出し駆動ローラ２４を回転駆動さ
せるためのモータ４４を制御するコントローラ５２から
出力された金属薄板１０の基準搬送速度Ｖ_０とから、制
御式Ｖ_１＝Ｖ_０−Ｋ_１×Ｄ（Ｋ_１：定数、ダンサーロー
ラ２６の変位量Ｄは、上向きの変位が＋符号である）に
よる演算を行って、１番目の処理槽１２内の槽内ローラ
２８による金属薄板１０の搬送速度Ｖ_１を求め、コント
ローラ５４により、槽内ローラ２８による金属薄板１０
の搬送速度がＶ _１となるように槽内ローラ２８の駆動用
のモータ４６を制御する。これにより、ダンサーローラ
２６が元の基準位置へ戻る。

【００２４】また、２番目のコントローラ５６では、ダ
ンサーローラ２６と１番目の処理槽１２内の槽内ローラ
２８との間に配置された搬送ローラ３４に付設された張
力センサ３８によって測定された金属薄板１０の搬送時
の基準張力Ｔ_０と、１番目の処理槽１２内の槽内ローラ
２８と２番目の処理槽１４内の槽内ローラ３０との間に
配置された搬送ローラ３４に付設された張力センサ４０
によって測定された金属薄板１０の搬送張力Ｔ_１と、槽
内ローラ２８による金属薄板１０の搬送速度Ｖ _１とか
ら、制御式Ｖ_２＝Ｖ_１−Ｋ_２×（Ｔ_１−Ｔ_０）（Ｋ_２：
定数）による演算を行って、２番目の処理槽１４内の槽
内ローラ３０による金属薄板１０の搬送速度Ｖ_２を求
め、コントローラ５６により、槽内ローラ２８による金
属薄板１０の搬送速度がＶ_２となるように槽内ローラ３
０の駆動用のモータ４８を制御する。また、３番目のコ
ントローラ５８では、基準張力Ｔ_０と、２番目の処理槽
１４内の槽内ローラ３０と３番目の処理槽１６内の槽内
ローラ３２との間に配置された搬送ローラ３４に付設さ
れた張力センサ４０によって測定された金属薄板１０の
搬送張力Ｔ_２と、槽内ローラ３０による金属薄板１０の
搬送速度Ｖ_２とから、制御式Ｖ_３＝Ｖ_２−Ｋ_３×（Ｔ_２
−Ｔ_０）（Ｋ_３：定数）による演算を行って、３番目の
処理槽１６内の槽内ローラ３２による金属薄板１０の搬
送速度Ｖ_３を求め、コントローラ５８により、槽内ロー
ラ３０による金属薄板１０の搬送速度がＶ _３となるよう
に槽内ローラ３２の駆動用のモータ５０を制御する。

【００２５】以上のようにして、各コントローラ５４、
５６、５８によって各モータ４６、４８、５０をそれぞ
れ制御することにより、それぞれの槽内ローラ２８、３
０、３２による金属薄板１０の搬送速度Ｖ_１、Ｖ_２、Ｖ
_３を調節する。すなわち、ダンサーローラ２６の変位量
が上向き（＋方向）に大きくなればなるほど、それに比
例して、１番目の処理槽１２内の槽内ローラ２８による
金属薄板１０の搬送速度Ｖ_１を小さくし、逆にダンサー
ローラ２６の変位量が下向き（−方向）に大きくなれば
なるほど、それに比例して、１番目の処理槽１２内の槽
内ローラ２８による金属薄板１０の搬送速度Ｖ_１を大き
くする。また、搬送ローラ３４に付設された張力センサ
４０によって測定された金属薄板１０の搬送張力Ｔ
_１ 、Ｔ_２、Ｔ_３が、張力センサ３８によって測定され
た金属薄板１０の搬送時の基準張力Ｔ _０に比べて大きく
なればなるほど、２番目以降の処理槽１４、１６内の槽
内ローラ３０、３２による金属薄板１０の搬送速度
Ｖ_２、Ｖ_３を小さくし、逆に搬送張力Ｔ_１ 、Ｔ_２、Ｔ
_３が基準張力Ｔ_０に比べて小さくなればなるほど、２番
目以降の処理槽１４、１６内の槽内ローラ３０、３２に
よる金属薄板１０の搬送速度Ｖ_２、Ｖ_３を大きくする。
これにより、長尺状金属薄板１０の搬送時の張力が、そ
れぞれの搬送位置において常に適正に調整されて、金属
薄板１０がアパーチャグリル素材であるような場合で
も、すだれ状になった有効面中央部がむくれたり金属薄
板１０の搬送時に蛇行を生じたりすることが無くなり、
製品として得られるアパーチャグリルにおいてグリッド
のピッチむらが発生したり搬送中に金属薄板１０が切断
されたりする、といったことが防止される。

【００２６】図２は、この発明に係る長尺状金属薄板の
搬送装置を、図３に示した例と同様に剥膜工程を実施す
る処理装置に設置したときの概略構成を示す模式図であ
る。

【００２７】この処理装置は、第１剥膜槽６０、第２剥
膜・第１水洗槽６２、仕上げ槽６４、第２水洗槽６６、
純水水洗槽６８および乾燥チャンバ７０を順番に連設し
て構成されており、第１剥膜槽６０の搬送方向上流側に
送出し駆動ローラ７２が配設され、乾燥チャンバ７０の
搬送方向下流側に受入れ駆動ローラ７４が配設されてい
る。また、各槽６０〜６８内には、槽内ローラ（駆動ロ
ーラ）７６がそれぞれ配設されており、槽外には、長尺
状金属薄板１０が順次掛け回される複数の搬送ローラ７
８が配設されている。送出し駆動ローラ７２と第１剥膜
槽６０との間には、ダンサーローラ８０が配設され、そ
のダンサーローラ８０に変位センサ８２が付設されてい
る。また、ダンサーローラ８０と第１剥膜槽６０内の前
段側の槽内ローラ７６との間に配置された搬送ローラ７
８には、金属薄板１０の搬送時の基準張力を測定するた
めの張力センサ８４が付設されており、各槽内ローラ７
６間に配置されたそれぞれの搬送ローラ７８、および、
乾燥チャンバ７０と受入れ駆動ローラ７４との間に配置
された搬送ローラ７８には、金属薄板１０の搬送張力を
測定するための張力センサ８６がそれぞれ付設されてい
る。図中の符号８８および９０ａ〜９０ｇはモータ、９
２および９４ａ〜９４ｇはコントローラである。この処
理装置においても、図１に示した搬送装置と同様の制御
が行われる。

【００２８】なお、この発明に係る搬送装置は、剥膜工
程を実施する処理装置に限らず、長尺状金属薄板をその
長手方向へ搬送しつつその金属薄板に対し処理を施す各
種の処理装置に設置して使用し得るものである。

【００２９】

【発明の効果】請求項１に係る発明の長尺状金属薄板の
搬送装置を使用すると、長尺状金属薄板の搬送時の張力
がいずれの搬送位置においても常に適正に保たれるの
で、互いに平行な多数本の細長状のグリッドとグリッド
間の細長状の透孔とを有するアパーチャグリルを製造す
るような場合でも、長尺状金属薄板のすだれ状になった
有効面の中央部がむくれたりローラと金属薄板との間で
スリップが発生して金属薄板の搬送時に蛇行を生じたり
することが無くなり、このため、製品として得られるア
パーチャグリルにおいてグリッドのピッチむらが発生し
たり搬送中に金属薄板の切断を生じたりすることが防止
される。また、槽内ローラの駆動トルクを人手で調整す
る場合のように、困難を伴う作業を行う必要も無い。

【００３０】請求項２に係る発明の搬送装置では、ダン
サーローラの上下方向への変位量に比例して第１の駆動
ローラによる長尺状金属薄板の搬送速度が制御され、ま
た、長尺状金属薄板の搬送時の張力と基準張力との差に
比例して第２の駆動ローラによる長尺状金属薄板の搬送
速度が制御されることにより、長尺状金属薄板の搬送時
の張力がいずれの搬送位置においても常に適正に保たれ
る。

【００３１】請求項３に係る発明の搬送装置では、長尺
状金属薄板へ処理液が供給されつつ処理装置内を金属薄
板が搬送されても、金属薄板の搬送時の張力がそれぞれ
の搬送位置において常に適正に調整されるので、ローラ
と金属薄板との間でスリップが発生して金属薄板の搬送
時に蛇行を生じる、といったことが起こらない。

【００３２】請求項４に係る発明の搬送装置では、搬送
される長尺状金属薄板に多数の透孔が形成されていて
も、特に、金属薄板がアパーチャグリル素材であって
も、金属薄板の搬送時の張力がそれぞれの搬送位置にお
いて常に適正に調整されるので、金属薄板のすだれ状に
なった有効面の中央部がむくれたり、ローラと金属薄板
との間でスリップが発生して金属薄板の搬送時に蛇行を
生じたりすることがなく、このため、すだれ状部分の根
元が塑性変形を起こしたり搬送中に金属薄板が切断され
たりすることがない。

【００３３】請求項５に係る発明の長尺状金属薄板の搬
送方法によると、金属薄板の搬送時の張力がそれぞれの
搬送位置において常に適正に調整され、請求項１に係る
発明の上記効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態の１例を示し、長尺状金属
薄板の搬送装置の概略構成の一部を示す模式図である。

【図２】この発明に係る長尺状金属薄板の搬送装置を、
剥膜工程を実施する処理装置に設置したときの概略構成
を示す模式図である。

【図３】従来の長尺状金属薄板の搬送装置を、剥膜工程
を実施する処理装置に設置したときの概略構成を示す模
式図である。

【符号の説明】

１０ 長尺状金属薄板 １２、１４、１６ 処理槽 １８、２０、２２ 処理液 ２４、７２ 送出し駆動ローラ ２６、８０ ダンサーローラ ２８、３０、３２、７６ 槽内ローラ（駆動ローラ） ３４、７８ 搬送ローラ ３６、８２ 変位センサ ３８、４０、８４、８６ 張力センサ ４４〜５０、８８、９０ａ〜９０ｇ モータ ５２〜５８、９２、９４ａ〜９４ｇ コントローラ ６０ 第１剥膜槽 ６２ 第２剥膜・第１水洗槽 ６４ 仕上げ槽 ６６ 第２水洗槽 ６８ 純水水洗槽 ７０ 乾燥チャンバ ７４ 受入れ駆動ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F105 AA08 AB11 BA07 BA18 CA02 DA04 DA09 4K057 WA02 WA19 WG10 WM02 WM18 WM20 WN01 WN03 5C027 HH07 HH10 HH11 HH30

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長尺状金属薄板を複数のローラに順次掛
   け回しつつその長手方向へ連続的に搬送する長尺状金属
   薄板の搬送装置において、 長尺状金属薄板を一定の速度で送り出す送出し部と、 この送出し部の搬送方向下流側に配設されて前記長尺状
   金属薄板が掛け回され、その配設位置より搬送方向下流
   側における搬送速度と送出し部からの送出し速度との差
   分に応じて上下方向へ変位自在に支持されたダンサーロ
   ーラと、 このダンサーローラの搬送方向下流側に配設されて前記
   長尺状金属薄板が掛け回され、その長尺状金属薄板に搬
   送駆動力を与える第１の駆動ローラと、 この第１の駆動ローラの搬送方向下流側に配設されて前
   記長尺状金属薄板が掛け回され、その長尺状金属薄板に
   搬送駆動力を与える第２の駆動ローラと、 前記ダンサーローラの上下方向への変位量を検出する変
   位量検出手段と、 前記第２の駆動ローラより搬送方向上流側の位置におけ
   る前記長尺状金属薄板の搬送時の張力を検出する張力検
   出手段と、 前記変位量検出手段によって検出された前記ダンサーロ
   ーラの上下方向への変位量に基づいて、その変位量を０
   に戻すように前記第１の駆動ローラによる前記長尺状金
   属薄板の搬送速度を制御する第１の制御手段と、 前記張力検出手段によって検出された前記長尺状金属薄
   板の搬送時の張力に基づいて、その張力を基準張力に戻
   すように前記第２の駆動ローラによる長尺状金属薄板の
   搬送速度を制御する第２の制御手段と、を備えたことを
   特徴とする長尺状金属薄板の搬送装置。
2. 【請求項２】 前記第１の制御手段が、前記変位量検出
   手段によって検出された前記ダンサーローラの上下方向
   への変位量に比例して前記第１の駆動ローラによる前記
   長尺状金属薄板の搬送速度を制御するものであり、 前記第２の制御手段が、前記張力検出手段によって検出
   された前記長尺状金属薄板の搬送時の張力と基準張力と
   の差に比例して前記第２の駆動ローラによる長尺状金属
   薄板の搬送速度を制御するものである請求項１記載の長
   尺状金属薄板の搬送装置。
3. 【請求項３】 長尺状金属薄板へ処理液を供給して長尺
   状金属薄板に対し所要の処理を施す長尺状金属薄板の処
   理装置に設置された請求項１または請求項２記載の長尺
   状金属薄板の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記長尺状金属薄板に多数の透孔が形成
   された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の長尺
   状金属薄板の搬送装置。
5. 【請求項５】 長尺状金属薄板を複数のローラに順次掛
   け回しつつその長手方向へ連続的に搬送する長尺状金属
   薄板の搬送方法において、 送出し部から長尺状金属薄板を一定の速度で送り出し、
   その長尺状金属薄板をダンサーローラ、第１の駆動ロー
   ラおよび第２の駆動ローラにそれぞれ掛け回して搬送し
   ながら、前記ダンサーローラの上下方向への変位量を検
   出して、その変位量を０に戻すように前記第１の駆動ロ
   ーラによる前記長尺状金属薄板の搬送速度を制御すると
   ともに、前記第２の駆動ローラより搬送方向上流側の位
   置における前記長尺状金属薄板の搬送時の張力を検出し
   て、その張力を基準張力に戻すように第２の駆動ローラ
   による長尺状金属薄板の搬送速度を制御することを特徴
   とする長尺状金属薄板の搬送方法。