JP2000094299A - ワイヤソーのグルーブローラ駆動方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワイヤソーの切断加工部におけるワイヤの張力
を安定させ、被加工物の切断面のうねりや粗さを少なく
するようにしたワイヤソーのグルーブローラ駆動方法及
びその装置を提供する。 【解決手段】グルーブローラ２１のモータ３１に流れて
いる電流値を検出し、前記電流値と予め設定されている
定数値を加算及び乗算し、この演算結果に従って出力を
第２モータ制御装置１３３にモータ電流指令値として出
力する。これにより、グルーブローラ２１とグルーブロ
ーラ２２の回転力の差が安定するので、常に切断加工に
用いるワイヤ列２４に適切な張力を印加し続けることが
可能となるため、良好な切断加工面が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料等を多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーに係り、特
に複数個のグルーブローラを回転速度及びモータに流れ
る電流値にて制御する、ワイヤソーのグルーブローラ駆
動装置及びその方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップを製造する過程では、丸棒
状の半導体単結晶材料を、その結晶軸に直交する方向に
切断して、多数の半導体ウェーハに切り分ける工程があ
る。この切断加工工程では、ワイヤソーなどを用いてい
る。そのような半導体チップ製造工程で用いられるワイ
ヤソーは、ワイヤ列が形成されて切断加工を行う複数個
のグルーブローラ以外の部分で、ワイヤに張力を加えて
いた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従って、切断加工に使
用するワイヤ列の部分におけるワイヤ張力は管理されて
いないため、往復走行時においてはワイヤがグルーブロ
ーラを加減速させるための張力がワイヤに加わり、ワイ
ヤの走行状態によって切断部のワイヤ列のワイヤ張力が
変動していた。

【０００４】また複数個のグルーブローラの溝の直径
は、溝加工の仕上がり具合や切断加工時の摩耗などによ
り微妙に異なっているため、複数個のグルーブローラを
歯付きベルト、Ｖベルト等の動力伝達手段によって等速
回転させてもワイヤ張力を安定させることは困難であっ
た。切断に使用する部分のワイヤの張力が変動して弱く
なると、切断加工時にワイヤに加わるさまざまな力によ
ってワイヤ列のワイヤ間隔が変動し易くなるため、被加
工物であるインゴットの切断面のうねりや表面粗さが悪
化し、良好な表面状態のウェーハが得られなくなる。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、好ましいワイヤの張力管理を行うことができ
るワイヤソーを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、複数の溝を有する複数個のグルーブローラ
に往復走行するワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、
ワイヤ列に被加工物であるインゴットを押し当てること
により、多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
において、少なくとも１つのグルーブローラのモータの
回転速度を制御する制御部を設け、該モータに流れてい
る電流値を検出し、前記電流値と予め設定されている定
数値とを加算及び乗算し、他のグルーブローラのモータ
の制御部ヘ電流指令値として出力することを特徴として
いる。

【０００７】本発明によれば、少なくとも１つのグルー
ブローラのモータに流れている電流値を検出し、前記電
流値と予め設定されている定数値とを加算及び乗算し、
この演算結果に従って出力を他のグルーブローラのモー
タの制御部にモータ電流指令値として出力することによ
り、グルーブローラの回転力が安定するので常に切断加
工に用いるワイヤに適切な張力を印加し続けることが可
能となる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１はワイヤソーのワイヤ走行路の構成を示した図であ
る。同図に示すように、図上左側のワイヤリール１２に
巻回されたワイヤ１４は、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、及びダンサローラ２０を経由してグルーブロ
ーラ２１、２２に順次巻き掛けられている。そして、グ
ルーブローラ２１と２２の間にワイヤ列２４を形成した
後、同ワイヤ１４は図上右側の複数の固定ガイドローラ
１８、１８、ダンサローラ２０、を経て他方のワイヤリ
ール１２に巻き取られる。

【０００９】前記ワイヤリール１２、１２には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、２８が連結され、前
記グルーブローラ２１、２２にも正逆回転可能な駆動モ
ータ３１、１３１が連結されている。そして、これら駆
動モータ２８、２８、３１、１３１を同期して駆動する
ことにより、前記ワイヤ１４が一方のワイヤリール１２
と他方のワイヤリール１２の間を往復走行する。第１モ
ータ制御部３３と第２モータ制御部１３３は、モータ３
１、１３１を回転速度制御部または電流制御部に切り替
えて駆動する機能を有する制御部である。

【００１０】ワイヤ１４が往復走行する場合には、グル
ーブローラ２１、２２は図１に示されるＡ方向とＢ方向
の回転を交互に行う。本説明ではグルーブローラ２１、
２２がＡ方向に回転している時にグルーブローラ２１を
主動側と呼び、グルーブローラ２２を従動側と呼ぶこと
にする。また逆にグルーブローラ２１、２２がＢ方向に
回転している時にはグルーブローラ２２が主動側とな
り、グルーブローラ２１が従動側となる。

【００１１】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘２
６が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与している。また、前記ワイヤ列２４の上方には、ワ
ーク送りテーブル２５が設けられ、このワーク送りテー
ブル２５は、図示しないモータで回動するネジ桿により
切断送り方向（図中Ｙ方向）に移動可能に設けられると
ともに、ワーク送りテーブル２５のワイヤ列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット１が支持されてい
る。

【００１２】前記ワイヤ列２４両端には加工液供給ノズ
ル７０、７０が配設されており、砥粒を含む加工液（ス
ラリ）を前記ワイヤ列２４とインゴット１の切断位置２
に供給する。そして、ワーク送りテーブル２５を切断送
り方向（ワイヤ列２４側）に移動させると、半導体イン
ゴット１は高速走行するワイヤ列２４に押し当てられ、
このワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴット１
は、前記加工液によるラッピング作用によって多数の薄
板状のウェーハに切断される。

【００１３】図２は本発明に係る発明の実施の形態を示
したグルーブローラ制御部構成図である。同図はグルー
ブローラ２１、２２に設けたモータ３１または１３１に
流れる電流を検出する電流検出回路３４、１３４と、予
め設定する定数を記憶する記憶手段（ＣＰＵユニット５
１に含まれる）と、前記検出した電流値と前記記憶した
定数値とを加算及び乗算する演算手段（ＣＰＵユニット
５１に含まれる）と、前記演算結果を他のモータ制御回
路に出力する出力手段（Ｄ−Ａ変換器５２）の構成を示
している。

【００１４】第１モータ制御部３３は、電流検出回路３
４と、電流アンプ３５と、優先回路３６と、フィルタ回
路３７と、電流リミッタ３８と、電圧電流変換器３９
と、パルスジェネレータ３２からのパルス信号を回転速
度信号に変換するＦ−Ｖ変換器４０と、前記回転速度信
号を監視しながら電流を指令する速度制限回路４１と、
情報処理部４６とから構成されている。

【００１５】電流検出回路３４は、モータ３１を駆動す
るために電力を供給する電流アンプ３５から、モータ３
１へ流れる電流値に応じた電圧を出力する電流検出手段
である。優先回路３６は、フィルタ回路３７からの電流
指令値ＩCに対しモータ３１の回転速度が予め定められ
た設定値を越えた場合に電流指令値ＩCをカットして制
限電流値ＩFに切り替える優先回路である。電流リミッ
タ３８の前では、この優先回路３６からの電流指令出力
値と、機構部の摩擦等に従ってあらかじめ設定されてい
る電流バイアス値ＩBを加える。その後の電流リミッタ
３８ではモータ３１またはワイヤソー駆動装置の構造上
の制限から予め設定される電流リミット値ＩMAX以下の
信号のみを次の制御部に送る働きをしている。電圧電流
変換回路３９は、電流指令の電圧値を電流値に変換する
働きをする。Ｆ−Ｖ変換器４０は、モータ３１の回転速
度に応じてパルス列を出力するパルスジェネレータ３２
からのパルス列を、回転速度信号に変換する働きをして
いる。速度制限回路４１は、情報処理部分４６から出力
される回転速度信号ＶCと回転速度バイアスＶBを加算し
た指令値と、Ｆ−Ｖ変換器４０からの回転速度信号とを
演算し、制限電流値ＩFに変換して出力する。

【００１６】第１モータ制御部３３の情報処理部分４６
は、記憶、演算処理、通信等の処理を行うＣＰＵユニッ
ト４２と、ＣＰＵユニット４２からの指令でアナログ電
圧及びアナログ電流を出力するＤ−Ａ変換器４３と、入
力したアナログ電圧をデジタル量としてＣＰＵユニット
４２へ読み込む働きをするＡ−Ｄ変換器４４と、ＣＰＵ
ユニット４２からの指令で接点信号を出力または、入力
した接点信号をＣＰＵユニット４２へ読み込む働きをす
る入出力回路４５とから構成されている。

【００１７】ワイヤソー制御装置５０は、記憶、演算処
理、通信等の処理を行うＣＰＵユニット５１と、ＣＰＵ
ユニット５１からの指令でアナログ電圧及びアナログ電
流を出力するＤ−Ａ変換器５２と、入力したアナログ電
圧をデジタル量としてＣＰＵユニット５１へ読み込む働
きをするＡ−Ｄ変換器５３と、ＣＰＵユニット５１から
の指令で接点信号を出力または、入力した接点信号をＣ
ＰＵユニット５１へ読み込む働きをする入出力回路５４
とから構成されている。

【００１８】第２モータ制御部１３３は、第１モータ制
御部３３と同じ構成となっている。以下の本発明の実施
の形態に示す例では主動側の第１モータ制御部３３は回
転速度制御部として動作し、従動側の第２モータ制御部
１３３は電流制御部として動作している。この２種類の
制御方法の切り替えは、ワイヤソー制御装置５０のＣＰ
Ｕユニット５１から第１モータ制御部のＣＰＵユニット
４２と第２モータ制御部のＣＰＵユニット１４２への通
信指令と、ワイヤソー制御装置５０の入出力回路５４か
ら第１モータ制御部３３の入出力回路４５と第２モータ
制御部１３３の入出得力回路１４５への接点信号によ
り、切り替えることが可能となっている。

【００１９】上記のとおり構成された装置において、第
１モータ制御部３３を回転速度制御部として設定した場
合の動作を説明する。まず、ワイヤソー制御装置５０か
ら第１モータ制御部３３に回転速度制御部へ切り替える
指令を出力する。その指令を受けた第１モータ制御部３
３の情報処理部分４６では制御部を回転速度制御部に切
り替える。具体的には、ＣＰＵユニット内のプログラム
を回転速度制御のルーチンに切り替えたり、各制御ハー
ドウェアの回路をアナログスイッチ等により回転速度部
の回路に切り替える動作を行う。ワイヤソー制御装置５
０のＤ−Ａ変換器５２から出力された回転速度信号は、
第１モータ制御部３３のＡ−Ｄ変換器４４に入力され
て、ＣＰＵユニット４２が読み込む。読み込んだ回転速
度信号に定数を加算及び乗算する等の演算処理を行い、
速度バイアスＶBを加算して速度制限回路４１へ出力す
る。速度制限回路４１においては、Ｆ−Ｖ変換後のモー
タの回転速度と情報処理部分４６のＤ−Ａ変換器４３か
らの出力とを演算して、予め設定してある制限速度以下
となるような制限電流値ＩFに変換した後に、電圧電流
変換器３９に出力する。電圧電流変換器３９は入力され
た電圧信号を電流信号に変換する。その後優先回路３６
を通り、必要に応じて電流バイアス値ＩBを加え、予め
設定された電流限界値を越えないように操作する電流リ
ミッタ３８を通過し、モータに電力を供給する電流アン
プ３５に達する。回転速度制御部においては、電流指令
値ＩCや、電流バイアス値ＩBは使用しなくとも目的は達
成される。

【００２０】次に第２モータ制御部１３３を電流制御部
として設定した場合の動作を説明する。まず、ワイヤソ
ー制御装置５０から第２モータ制御部１３３へ電流制御
部に切り替える指令を出力する。その指令を受けた第２
モータ制御部１３３の情報処理部分１４６では制御部を
電流制御部に切り替える。具体的には、ＣＰＵユニット
内のプログラムを電流制御のルーチンに切り替えたり、
各制御ハードウェアの回路をアナログスイッチ等により
電流制御部の回路に切り替える動作を行う。ワイヤソー
制御装置５０のＤ−Ａ変換器５２から出力された電流信
号は、第２モータ制御部１３３のＡ−Ｄ変換器１４４に
入力されて、ＣＰＵユニット１４２が読み込む。読み込
んだ電流信号に定数をかける等の演算処理を行い、電流
指令値ＩCとしてフィルタ回路１３７へ出力する。フィ
ルタ回路は１般に１次のフィルタを形成して制御部が発
振することを防止する。なお、速度制限回路１４１では
Ｆ−Ｖ変換されたモータ１３１の回転速度信号を監視し
ている。そしてモータ１３１の回転速度が予め設定され
た制限速度以下となるように制限電流値ＩFを電圧電流
変換器１３９に出力する。電圧電流変換器１３９は入力
された電圧信号を電流信号に変換する。その後優先回路
１３６を通り、必要に応じて電流バイアス値ＩBを加
え、予め設定された電流限界値を越えないように操作す
る電流リミッタ１３８を通過し、モータに電力を供給す
る電流アンプ１３５に達する。電流制御部においては、
電流指令値ＩCがモータ１３１を駆動する主な指令値と
なる。電流指令値ＩCは直接ワイヤソー制御装置５０の
Ｄ−Ａ変換器５２から指令を受け取ってもよい。しかし
本実施例では、回転速度制御部と電流制御部の切り替え
を簡単な回路構成で実現するために回転速度指令と、電
流指令が通る経路を共用している。

【００２１】上記のようにして回転速度制御部と電流制
御部が構成されている。なお、上記の例においては回転
速度制御部と電流制御部の回路構成が同じであるため、
切断加工中にワイヤソー制御装置５０からの指令により
回転速度制御部と電流制御部を入れ換えることが可能で
ある。すなわち往復走行するワイヤソーにおいて、被加
工物であるインゴットに対してワイヤを引っ張る側のグ
ルーブローラを常に回転速度制御系に切り替え、被加工
物であるインゴットに対してワイヤを供給する側のグル
ーブローラを電流制御系とすることによりワイヤの張力
が適切に管理されるとともに、ウェーハの切断加工面は
良好な仕上がりとなる。

【００２２】図３は本発明に係る実施の形態を説明する
ためのモータへの出力電流値の計算結果例を示す図であ
る。同図はワイヤソー制御装置５０が、回転速度制御を
行っている主動側モータ制御部３３から得たモータ３１
の検出電流値ＩMに従って、電流制御を行っている従動
側第２モータ制御部１３３に指令する電流指令値ＩCの
計算結果の例を示している。図３の横軸はグルーブロー
ラを駆動する主動側の制御部のモータに流れている電流
値（検出電流値ＩM）を示している。図３の縦軸は本発
明に係る演算手段で演算した結果である、従動側のモー
タ制御部に指令する電流指令値ＩCを示している。もし
回転速度制御を行っている主動側のグルーブローラのモ
ータ３１よりも、従動側のグルーブローラのモータ１３
１に多く電流を流す指令を出すと、従動側のグルーブロ
ーラのモータの出力が増してインゴット切断に用いてい
るワイヤが弛んでしまう可能性が生じる。もし加工中に
ワイヤが弛んでしまうとインゴット切断面のうねりや表
面粗さの精度が悪化し、切断したウェーハの品質が悪く
なってしまう。従って常にワイヤに安定した張力を印加
し続けるためには、回転速度制御を行っている主動側の
グルーブローラ２１のモータ３１よりも、従動側のグル
ーブローラ２２のモータ１３１に常に少ない電流を流す
と良い。すなわち図３の直線よりも下のまたは、
またはとの組み合わせによる指令電流を計算し、従
動側のグルーブローラ２２の第２モータ制御部１３３へ
出力すれば常にワイヤに適切な張力を印加し続けること
が可能となる。

【００２３】以下に本発明に係るワイヤソーのグルーブ
ローラ駆動方法について説明する。例えばグルーブロー
ラ２１を主動側であるとすると、グルーブローラ２１は
回転速度を制御している。往復走行しながら切断加工を
行うワイヤソーにおいては、グルーブローラ２１の回転
速度は刻々変化する。この回転速度はワイヤソー制御装
置５０のＣＰＵユニット５１で刻々算出されて回転速度
指令値としてＤ−Ａ変換器５２に転送されたのち、第１
モータ制御部３３のＡ−Ｄ変換器４４に送られる。Ａ−
Ｄ変換器４４で受け取った回転速度指令値は、ＣＰＵユ
ニット４２に転送され、ＣＰＵユニット４２に於いて予
め設定、記憶された定数と演算してゲインを調整したの
ちＤ−Ａ変換器４３に転送され、回転速度信号ＶCの指
令値として出力される。速度制限回路４１に於いては、
Ｆ−Ｖ変換器４０から得られるモータ３１の回転速度信
号を監視しながらモータ３１が指令された回転速度にな
るよう電流指令を電圧電流変換器３９へ出力して制御し
ている。速度制限回路４１から出力された電流指令ＩF
は電圧電流変換器３９と、優先回路３６を通って電流リ
ミッタ３８を通り電流アンプ３５に入り、インバータ信
号に変換されたのち電流検出回路３４を通ってモータ３
１に供給される。電流アンプ３５では電流検出回路３４
が出力する信号を監視しながら指令された電流値がモー
タにかかるよう制御している。

【００２４】なお、電流検出回路３４で検出した電流値
ＩMは第１モータ制御部３３から出力され、ワイヤソー
制御装置５０のＡ−Ｄ変換器５３で読み取られる。Ａ−
Ｄ変換器５３で読み取った電流値ＩMはＣＰＵユニット
５１に転送され、ＣＰＵユニット５１に於いて予め設
定、記憶された定数と加算及び乗算して図３に示す電流
指令ＩCを算出する。図３に示すの直線は検出電流ＩM
に定数−１を加算して電流指令ＩCを算出した例を示し
ている。図３に示すの直線は検出電流ＩMに定数４／
６を乗算して電流指令ＩCを算出した例を示している。
前記の様にして求めた電流指令ＩCは、ＣＰＵユニット
５１からＤ−Ａ変換器５２に転送され、第２モータ制御
部１３３のＡ−Ｄ変換器１４４に出力される。Ａ−Ｄ変
換器１４４で読み取った電流値ＩCはＣＰＵユニット１
４２に転送され、ＣＰＵユニット１４２に於いて予め設
定、記憶された定数と演算してゲインを調整したのちＤ
−Ａ変換器１４３に転送され、フィルタ回路１３７に出
力される。フィルタ回路１３７にて発振成分を取り除か
れた電流信号は優先回路１３６を通って電流バイアス値
ＩBを加算したのち電流リミッタ１３８を通り電流アン
プ１３５に入り、インバータ信号に変換されたのち電流
検出回路１３４を通ってモータ１３１に供給される。電
流アンプ１３５では電流検出回路１３４が出力する信号
を監視しながら指令された電流値がモータにかかるよう
制御している。

【００２５】このようにしてモータ３１に加わる電流値
とモータ１３１に加わる電流値の関係を定められた値に
保つことによって、グルーブローラ２１とグルーブロー
ラ２２の回転力の差を制御することができる。これによ
り切断加工に用いるワイヤ列の張力が定められた値に制
御される。したがって切断に用いるワイヤ列が弛むこと
が無いので被加工物であるインゴットの切断面が良好に
仕上がり、品質の良いウェーハを得ることができる。ま
た、従来のように切断用のワイヤ１４のみでグルーブロ
ーラ２２を従動しないため、慣性力の大きなグルーブロ
ーラ２２を加減速するための力がグルーブローラ２１、
２２の溝に加わらない。これによりグルーブローラ２
１、２２の溝の摩耗量を減少させ、グルーブローラ２
１、２２の寿命を延ばすことも可能となる。

【００２６】図４に電流制御を行っている情報処理部分
１４６に於けるモータの回転数による、モータ電流設定
の関係を示す。図４の横軸はモータの回転数Ｎで、縦軸
にはモータに印加するモータ電流ＩOを示してある。モ
ータに流れるモータ電流ＩOは、正常に切断加工が行わ
れている限り回転数が０〜ＮCまでの値、すなわちＩO＝
ＩC＋ＩBとなる。ＩCは図３で示した電流指令値で、ＩB
は図２で示した電流バイアス値である。電流バイアス値
はワイヤソーの駆動部によって定められる定数で、正の
値、負の値、または０となる場合もあり得る。ＮCはモ
ータの回転数指令値で、定数であってもよいし、グルー
ブローラの回転数に従って変動する変数であってもよ
い。ＮBはモータ回転数バイアス値で、グルーブローラ
の溝直径の誤差などによって決定される定数である。こ
のモータ回転数バイアス値ＮBは正の値、負の値、また
は０となる場合もあり得る。

【００２７】電流制御部のモータ回転数が、モータ回転
数指令値ＮCよりも著しく早くなった場合には、モータ
回転数Ｎに従ってモータ電流値を少なくしてワイヤの張
力を確保する。また逆に電流制御部のモータ回転数が、
モータ回転数指令値ＮCよりも著しく遅くなった場合、
または回転方向が逆になった場合には、モータ回転数Ｎ
に従ってモータ電流値を多くする。モータに流れる電流
の最大値は電流リミッタ１３８において定数ＩMAXで規
定している。

【００２８】上記にて説明した例では、グルーブローラ
２１、２２とモータ３１、１３１は直接接続してある
が、グルーブローラ２１、２２とモータ３１、１３１の
間に減速機構を設ける方法も考えられる。また、上記に
て説明した例ではグルーブローラを２本設けた例で説明
しているが、３本以上の構成も考えられる。なお、グル
ーブローラを３本以上設けた場合には回転速度制御部を
１つ以上複数設けることも考えられるし、電流制御部を
１つ以上複数設けることも考えられる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーのグルーブローラ駆動装置及びその方法によれ
ば、少なくとも１つのグルーブローラのモータの回転速
度を制御する制御部を設け、該モータに流れている電流
値を検出し、前記電流値と予め設定されている定数値と
を加算及び乗算し、この演算結果に従って出力を他のグ
ルーブローラのモータ制御部に電流指令値として出力す
るようにしたので、常に切断加工に用いるワイヤに適切
な張力を印加し続けることが可能となる。これにより切
断に用いるワイヤが弛むことが無いため被加工物である
インゴットの切断面が良好に仕上がり、品質の良いウェ
ーハを得ることができる。また、従来のように切断用の
ワイヤのみでグルーブローラを従動しないため、慣性力
の大きなグルーブローラを加減速するための力がグルー
ブローラの溝に加わらない。これによりグルーブローラ
の溝の摩耗量を減少させ、グルーブローラの寿命を延ば
すことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるワイヤソーのワイヤ走行経路を示
す構成図

【図２】本発明に係るグルーブローラ回転制御部構成図

【図３】本発明に係る実施の形態を説明するためのモー
タへの出力電流値の計算結果例を示す図

【図４】電流制御部におけるモータの回転数と、モータ
電流設定の関係を示す図

【符号の説明】

１…インゴット １０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２１…グルーブローラ ２２…グルーブローラ ２４…ワイヤ列 ３１…モータ ３３…第１モータ制御部 ５０…ワイヤソー制御装置 １３１…モータ １３３…第２モータ制御部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の溝を有する複数個のグルーブロー
   ラに往復走行するワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成
   し、ワイヤ列に被加工物であるインゴットを押し当てる
   ことにより、多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
   ソーにおいて、 少なくとも１つのグルーブローラのモータの回転速度を
   制御する制御部を設け、該モータに流れている電流値を
   検出し、前記電流値と予め設定されている定数値とを加
   算及び乗算し、他のグルーブローラのモータの制御部に
   モータ電流指令値として出力することを特徴とするワイ
   ヤソーのグルーブローラ駆動方法。
2. 【請求項２】 往復走行するワイヤを溝を有する複数個
   のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイ
   ヤ列に被加工物であるインゴットを押し当てることによ
   り、多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーにお
   いて、 少なくとも１つのグルーブローラのモータの回転速度を
   制御する制御部と、該モータに流れている電流値を検出
   する電流検出手段と、予め設定する定数を記憶する記憶
   手段と、前記検出した電流値と前記記憶した定数値とを
   加算及び乗算する演算手段と、前記演算結果を他のグル
   ーブローラのモータの制御部に出力する出力手段とを設
   けたことを特徴とするワイヤソーのグルーブローラ駆動
   装置。