JP2000084343A

JP2000084343A - 気体分離装置

Info

Publication number: JP2000084343A
Application number: JP10256750A
Authority: JP
Inventors: Tomoichirou Nakamura; 知一郎中村; Toru Okuda; 亨奥田; Shintarou Tsujimi; 信太郎辻見
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 1998-09-10
Filing date: 1998-09-10
Publication date: 2000-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明はガス分離膜により生成された製品ガ
スの濃度を正確に検出することを課題とする。【解決手段】窒素ガス発生装置１１は、ガス分離膜か
らなる膜モジュール１２，１３を用いて窒素ガスを分離
生成するよう構成されている。制御回路４２は、供給側
流量計２９により計測された供給側流量Ｑｉと吐出側流
量計３１により計測された膜モジュール１２，１３から
の吐出側流量Ｑｏとの比により収率Ｓを求め、この収率
Ｓから膜モジュール１２，１３により生成される製品ガ
スの酸素濃度Ｎを算出する。そのため、窒素ガス発生装
置１１では、酸素濃度計が不要であり、その分構成が簡
略化されて製造コストを安価に抑えることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は気体分離装置に係
り、例えば空気から窒素ガスを分離するガス分離膜に空
気圧縮機より圧縮空気を供給して窒素ガスを取り出すよ
う構成された気体分離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に窒素ガス発生装置における窒素ガ
ス分離方法には、深冷分離式、ＰＳＡ式や膜分離
式等がある。深冷分離式の窒素ガス分離方法では、空気を冷却して
液化し、液化温度の違いにより窒素と酸素及びその他の
ガスを分離する方法である。

【０００３】ＰＳＡ式は、窒素と酸素の吸着剤に対す
る吸脱着速度差を利用して分離する方法である。このＰ
ＳＡ式の場合、小型化も可能であり、窒素ボンベの代替
えとして酸素を嫌う食品の充填剤として利用されている
が、機器構成や制御が複雑になる。膜分離式は、多数の中空糸が充填された膜モジュール
に空気を通気すると、中空糸を透過し易い酸素と透過し
にくい窒素とに分離することができる。この膜分離式
は、上記ＰＳＡ式のものよりもさらに小型化が可能であ
るが、同容量のＰＳＡ式のものに比べて取り出される窒
素ガスの純度は若干低くなる。

【０００４】上記従来の深冷分離式の窒素ガス分離方法
では、大量に処理できる利点はあるが、冷却等に多くの
エネルギを要するため、ガスを取り扱うガスメーカの大
規模プラントなどでしか採用できない。また、上記従来
の空気圧縮機を利用したＰＳＡ式のものは、吸着槽へ圧
縮空気を供給して窒素と酸素に分離させる構成であり、
窒素ガス取り出し後には吸着槽内のガスを排気して吸着
剤を再生させる必要がある。そのため、各吸着槽の給気
側及び排気側に電磁弁を設け、複数の電磁弁を各工程毎
に開閉制御しなればならない。

【０００５】これに対し、膜分離式のものは、空気圧縮
機と膜モジュールのみという簡単な構成となるため、装
置の小型化や低価格化が図れると共に、高純度を必要と
しない使用方法に好適である。そのため、膜分離式の気
体分離装置の開発が促進されている。しかしながら、上
記膜分離式の気体分離装置では、窒素の分離性能を膜モ
ジュールの性状に依存しており、膜モジュールへ供給さ
れる原料空気の性状（例えば、流量、圧力、含水量、温
度など）により製品ガスとしての窒素ガスの濃度が変化
する。そのため、膜モジュールで生成された製品ガスを
吐出する系路には、濃度センサ（この場合、酸素濃度
計）が設けられており、製品ガスの濃度を常に検出して
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の膜分離式の気体
分離装置においては、膜モジュールにより生成された製
品ガスの酸素濃度を酸素濃度計で検出するように構成さ
れているが、酸素濃度計自体が高価であるばかりか精密
構造であるので取り扱いに慎重さを要するといった問題
がある。

【０００７】また、酸素濃度計で酸素濃度を検出する場
合、ゼロ点を調整するゼロ校正や測定レンジを調整する
スパン校正、酸素濃度計自体の暖気運転等が必要であ
り、それらが面倒であった。そこで、本発明は上記問題
を解決した気体分離装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
記載の発明は、空気を製品ガスと当該製品ガス以外のガ
スとに分離するガス分離膜に空気圧縮機の空気タンクか
らの圧縮空気を供給し、該ガス分離膜から製品ガスを取
り出す気体分離装置において、前記ガス分離膜に供給さ
れる空気量、前記ガス分離膜から取り出される前記製品
ガスの生成量及び前記ガス分離膜より排出されるガスの
排出量のうち少なくとも二つの量から当該ガス分離膜の
収率を演算する収率演算手段と、該収率演算手段により
算出された収率から前記製品ガスの濃度値を求める濃度
演算手段と、を備えてなることを特徴とするものであ
る。

【０００９】従って、上記請求項１記載の発明によれ
ば、ガス分離膜に供給される空気量、ガス分離膜から取
り出される前記製品ガスの生成量及びガス分離膜より排
出されるガスの排出量のうち少なくとも一つの量から当
該ガス分離膜の収率を演算し、この収率から濃度値を求
めるため、濃度センサを不要にしてコストを安価に抑え
ると共にメンテナンスを簡単化することができる。

【００１０】また、上記請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の気体分離装置であって、前記ガス分離膜に
供給される空気の温度を検出する温度検出手段と、該温
度検出手段により検出された温度に基づいて前記濃度演
算手段により算出された濃度値を補正する温度補正演算
手段と、を備えてなることを特徴とするものである。

【００１１】従って、上記請求項２記載の発明によれ
ば、温度検出手段により検出された温度に基づいて濃度
演算手段により算出された濃度値を補正するため、温度
変化に伴う濃度値の変動を補正して温度による影響をな
くすことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の実施の
形態について説明する。図１は本発明になる気体分離装
置の一実施例としての窒素ガス発生装置の概略構成図で
ある。図１に示されるように、気体分離装置としての窒
素ガス発生装置１１は、空気圧縮機１０により生成され
た圧縮空気を窒素と酸素に分離するガス分離膜からなる
中空糸膜が充填された膜モジュール１２，１３を用いて
空気を酸素と窒素に分離させ、分離された窒素ガスを製
品ガスとして抽出するよう構成されている。尚、本実施
の形態では、空気から窒素ガスを分離生成する窒素ガス
発生装置１１について説明するが、酸素ガス発生装置に
も適用できるのは勿論である。

【００１３】また、窒素ガス発生装置１１は、膜モジュ
ール１２，１３に圧縮空気を供給する空気供給管路１４
と、膜モジュール１２，１３で分離された製品ガスとし
ての窒素ガスを取り出す窒素ガス供給管路１６とからな
る系路を有する。空気供給管路１４に配設された空気圧
縮機１０は、空気を圧縮する空気圧縮部１８と、膜モジ
ュール１２，１３を保護するため空気圧縮部１８から吐
出された圧縮空気を冷却するアフタークーラ１９と、ア
フタークーラ１９から吐出された空気が加圧された状態
で溜められる加圧タンク（空気タンク）２０とから構成
されている。さらに、空気供給管路１４には、加圧タン
ク２０の余分が空気を排気させるための三方電磁弁２３
と、三方電磁弁２３からの空気を所定圧に減圧する減圧
弁２４と、減圧弁２４からの空気に含まれる不純物を除
去するエアフィルタ２５と、エアフィルタ２５を通過し
た空気を加熱するヒータ２６と、空気の逆流を防止する
逆止弁２７と、膜モジュール１２，１３に供給される空
気温度を測定する温度センサ２８とが配設されている。
また、膜モジュール１２，１３の入口側には、圧縮空気
の供給量を測定する供給側流量計２９が配設されてい
る。

【００１４】また、窒素ガス供給管路１６には、膜モジ
ュール１２，１３から吐出された製品ガスとしての窒素
ガスの流量を測定する吐出側流量計３０と、流量計３０
を通過した窒素ガスの圧力を減圧する減圧弁３１と、窒
素ガスの流量を所定値に調整する流量調整器３２と、窒
素ガスの取り出し弁として機能する電磁弁３３が配設さ
れている。

【００１５】空気圧縮部１８において圧縮された空気
は、アフタークーラ１９を通過して約２００°Ｃから約
６０°Ｃまで冷却された後、加圧タンク２０へ導かれ
る。加圧タンク２０内の圧力は、圧力計２１により監視
されている。アフタークーラ１９により空気圧縮機１８
から吐出された空気が冷却されるのは、加圧タンク２０
内に圧縮された空気を貯溜させる際の効率を高めるため
である。

【００１６】加圧タンク２０内にて凝縮された水分は、
ドレン弁２２より系外に排出される。また、加圧タンク
２０にて４０°Ｃまで冷却された空気は、三方電磁弁２
３、減圧弁２４、エアフィルタ２５を介してヒータ２６
により約５０°Ｃまで再度加熱され、逆止弁２７を介し
て膜モジュール１２，１３へ導かれる。また、膜モジュ
ール１２，１３へ供給されない余分な空気は、加圧タン
ク２０に供給される。そして、加圧タンク２０に供給さ
れた圧縮空気は、三方電磁弁２３の切り替え動作により
流量調整バルブ３７を介して系外に放出される。これ
は、空気圧縮部１８の容量が膜モジュール１２，１３の
容量よりも大きく設定されており、膜モジュール１２，
１３の分離可能な流量よりも空気圧縮部１８の空気吐出
流量の方が充分な余裕が持たせてあるからである。ま
た、何らかの原因で吐出が停止した場合、減圧弁２４に
設けられた消音器３８より系外へ排出される。

【００１７】窒素ガス発生装置１１の制御回路４２で
は、供給側流量計２９により計測された供給側流量Ｑｉ
と吐出側流量計３１により計測された膜モジュール１
２，１３からの吐出側流量Ｑｏとの比により収率Ｓを求
め、この収率Ｓから膜モジュール１２，１３により生成
される製品ガスの酸素濃度Ｎを算出する。そのため、窒
素ガス発生装置１１では、膜モジュール１２，１３によ
り生成される製品ガスの酸素濃度を検出するための酸素
濃度計が不要であり、その分構成が簡略化されて製造コ
ストを安価に抑えることができる。また、取り扱いが面
倒な酸素濃度計がいらなくなるので、ゼロ点を調整する
ゼロ校正や測定レンジを調整するスパン校正、空気温度
を上昇させる暖気運転等が不要となる。

【００１８】図２は膜モジュール１２，１３の構成を示
す縦断面図である。図２に示されるように、膜モジュー
ル１２，１３は、筒状のハウジング３５の内部３５ａに
窒素富化膜として機能する中空糸膜３６が多数収納され
ている。多数の中空糸膜３６は、一本に結束されてお
り、上流側端部が空気供給管路１４に連通され、下流側
端部が窒素ガス供給管路１６に連通されている。

【００１９】各中空糸膜３６は、微細な通路３６ａを有
する管であり、加圧された空気が流入されると、窒素分
子より小さい酸素分子が中空糸膜３６の内壁を通過して
ハウジング３５の内部３５ａに抽出されると共に、窒素
分子が中空糸膜３６の通路３６ａを通過して窒素ガス供
給管路１６に吐出される。また、ハウジング３５の内部
３５ａに抽出された酸素ガスは、排気口３５ｂから外部
に排気される。

【００２０】このように、膜モジュール１２，１３にお
いて、圧縮された空気が窒素富化ガスと酸素富化ガスに
分離される。そして、窒素冨化ガスは、窒素ガス供給管
路１６に吐出され、流量計３０、減圧弁３１を介して流
量調整弁３２に供給される。そして、流量調整弁３２で
は、流量計３０で計測された吐出量を所望の流量となる
ように調整しており、膜モジュール１２，１３により生
成された窒素冨化ガスは、吐出弁３３を介して系外へ吐
出される。

【００２１】ここで、ある圧力ｐ、ある温度ｔにおいて
吐出流量Ｑｏに対する酸素濃度Ｎは図３のグラフＩで示
すような特性になり、以下の式（１）が成り立つ。Ｎ＝ｆ（Ｑｏ） …（１）また、温度ｔ、圧力ｐをパラメータとして考慮した場
合、式（２）が成り立つ。

【００２２】Ｎ＝ｆ（Ｑｏ，ｔ，ｐ） …（２）しかし、膜モジュール１２，１３の劣化、あるいは膜モ
ジュール１２，１３の目詰まり等により図３のグラフII
で示すように膜モジュール１２，１３の初期状態( グラ
フＩ参照) に対し吐出流量に対する酸素濃度が変わるた
め、膜を長期間使用していると、上記式（１）、（２）
は成り立たなくなる。

【００２３】また、酸素濃度Ｎは、温度ｔや流量Ｑ等の
条件によって変動する。図４は温度Ｔを１０°Ｃ，２５
°Ｃ，４０°Ｃに変化させた場合の酸素濃度Ｎと吐出流
量Ｑとの関係を示すグラフである。図４のグラフIIIa,I
IIb,IIIcに示されるように、温度ｔが高温になるほど酸
素濃度Ｎが下がって高純度の窒素ガスの流量が増大する
ことがわかる。

【００２４】図５は流量を変化させた場合の酸素濃度Ｎ
と温度Ｔとの関係を示すグラフである。図５のグラフVI
a,VIb,VIc に示されるように、酸素濃度Ｎは流量が少な
いほど酸素濃度Ｎが下がって高純度の窒素ガスが得ら
れ、且つ温度の上昇と共に高純度の窒素ガスが得られこ
とが分かる。

【００２５】図６は酸素濃度と吐出流量との関係を示す
グラフである。ここで、ある圧力ｐ、ある温度ｔにおい
て吐出流量Ｑｏに対する酸素濃度Ｎは図６のグラフＶａ
で示すような特性になり、前述した式（１）（２）が成
り立つ。しかし、膜モジュール１２，１３の劣化、ある
いは膜モジュール１２，１３の目詰まり等により膜モジ
ュール１２，１３の初期状態に対し吐出流量に対する酸
素濃度が変わるため、膜を長期間使用していると、上記
式（１）、（２）は成り立たなくなる。

【００２６】また、吐出流量Ｑｏに対する酸素濃度Ｎの
関係において、収率特性は図６のグラフＶｂで示すよう
な特性になる。このグラフＶｂより吐出流量が増大する
と共に収率Ｓも増大することがわかる。尚、収率Ｓは、
吐出流量Ｑｏと供給流量Ｑｉとの比であり、Ｓ＝（Ｑｏ
／Ｑｉ）×１００％で表せる。図７は、酸素濃度Ｎと収
率Ｓとの関係を示すグラフである。

【００２７】酸素濃度Ｎに対する収率Ｓの特性は、図７
のグラフVIのように変化する。ここで、収率Ｓは、吐出
流量Ｑｏと供給流量Ｑｉとの比であるので、前述した温
度や圧力や流量等の諸条件によって変動するものではな
い。従って、収率Ｓと酸素濃度Ｎとの関係は、吐出流量
Ｑｏに対する酸素濃度特性のように大きさの異なった膜
モジュール１２，１３、膜モジュール１２，１３の劣
化、膜モジュール１２，１３の目詰まり等の影響により
変動することはない。

【００２８】収率Ｓに対する酸素濃度Ｎは、次式（３）
のように表せる。Ｎ＝ｆ（Ｓ） … （３）尚、式（３）において、温度、圧力条件は一定とする。
ここで、温度ｔ、圧力ｐをパラメータとして考慮した場
合、次式（４）が成り立つ。

【００２９】Ｎ＝ｆ（Ｓ，ｔ，ｐ） … （４）そこで、現在の供給流量Ｑｉと吐出流量Ｑｏとにより収
率Ｓを算出し、上記式（４）により酸素濃度Ｎａを求め
ることができる。上記のように構成された窒素ガス発生
装置１１の各機器は、制御回路４２により制御される。

【００３０】ここで、制御回路４２が実行する制御処理
について説明する。図８は制御回路４２が実行する制御
処理のフローチャートである。図８に示されるように、
制御回路４２は、先ずステップＳ１１（以下「ステッ
プ」を省略する）で窒素ガス発生装置１１を起動した
後、Ｓ１２にて空気供給管路１４に設けられた三方電磁
弁２３を加圧タンク２０と減圧弁２４とが連通されるよ
うに切り替え動作させる。

【００３１】これにより、加圧タンク２０の圧縮空気が
三方電磁弁２３、減圧弁２４、エアフィルタ２５、ヒー
タ２６、逆止弁２７、流量計２９を介して膜モジュール
１２，１３に供給される。このように空気供給管路１４
を介して膜モジュール１２，１３に圧縮空気を供給する
ことにより、中空糸膜３６により分離生成された窒素ガ
スが膜モジュール１２，１３から得られる。そのため、
膜モジュール１２，１３で生成された窒素ガスは、窒素
ガス供給管路１６に配設された流量計３０、減圧弁３１
を介して系外へ吐出される。

【００３２】次のＳ３３では、供給側流量計２９により
計測された供給流量Ｑｉと、吐出側流量計３０により計
測された吐出流量Ｑｏと、温度センサ２８により計測さ
れた温度Ｔを読み込む。続いて、Ｓ１４では、吐出流量
Ｑｏに対しての収率Ｓｎを次式（５）から算出する（収
率演算手段）。

【００３３】Ｓｎ＝（Ｑｏ／Ｑｉ）×１００％ … （５）次のＳ１５では、収率Ｓｎ、温度Ｔ、圧力ｐから吐出流
量Ｑｏに対しての膜モジュール１２，１３が現在の酸素
濃度Ｎｎを上記（４）式Ｎｎ＝ｆ（Ｓｎ，ｔ，ｐ）によ
り演算する（濃度演算手段）。尚、圧力ｐは減圧弁２４
により一定に保たれている。

【００３４】また、温度センサ（温度検出手段）２８に
より計測された温度Ｔをパラメータとして酸素濃度Ｎｎ
を演算するため（温度補正演算手段）、検出された温度
Ｔに基づいて濃度値が補正され、温度変化に伴う濃度値
の変動を補正して温度Ｔによる影響をなくすことができ
る。次のＳ１６では、演算された酸素濃度Ｎｎを液晶デ
ィスプレイ４３に表示させる。これで、収率Ｓｎから求
められた酸素濃度Ｎｎを報知することができる。

【００３５】続いて、Ｓ１７では、収率Ｓａから算出さ
れた酸素濃度Ｎｎと予め設定された目標濃度Ｎａとを比
較し、酸素濃度Ｎｎ＝Ｎａかどうかをチェックする。上
記Ｓ１７において、酸素濃度Ｎｎ＝Ｎａであるときは、
膜モジュール１２，１３から目標濃度Ｎａの製品ガスが
吐出されているものと判断してＳ１８に進み、吐出弁３
３を開弁させて膜モジュール１２，１３により生成され
た窒素ガスを吐出弁３３より下流へ供給する。次のＳ１
９では、装置停止が指示されたかどうかをチェックして
おり、装置停止が指示されるまで上記Ｓ１３以降の処理
が繰り返されて窒素ガスの供給が継続される。

【００３６】また、上記Ｓ１７において、収率Ｓａから
算出された酸素濃度Ｎｎと予め設定された目標濃度Ｎａ
とが等しくないときは、Ｓ２０に進み、収率Ｓａから算
出された酸素濃度Ｎｎが目標濃度Ｎａより大きい値であ
るかどうかをチェックする。このＳ２０でＮｎ＞Ｎａで
あるときは、Ｓ２１に進み、流量調整弁３２の弁開度を
所定量だけ絞って膜モジュール１２，１３から吐出され
る流量を減少させる。その後は、上記Ｓ１３に戻り、再
びＳ１３以降の処理を実行する。

【００３７】また、Ｓ２０において、Ｎｎ＞Ｎａでない
ときは、Ｓ２２に進み、収率Ｓａから算出された酸素濃
度Ｎｎが目標濃度Ｎａより小さい値であるかどうかをチ
ェックする。このＳ２２でＮｎ＜Ｎａであるときは、Ｓ
２３に進み、流量調整弁３２の弁開度を所定量だけ開い
て膜モジュール１２，１３から吐出される流量を増大さ
せる。その後は、上記Ｓ１３に戻り、再びＳ１３以降の
処理を実行する。

【００３８】また、Ｓ２２において、Ｎｎ＞Ｎａでない
ときは、流量調整弁３２の弁開度を調整せずに上記Ｓ１
３に戻り、再びＳ１３以降の処理を実行する。このよう
に、本実施の形態では、供給側流量Ｑｉと吐出側流量Ｑ
ｏとの比により収率Ｓを求め、この収率Ｓから膜モジュ
ール１２，１３により生成される製品ガスの酸素濃度Ｎ
ｎを算出するため、酸素濃度計を削減することができ
る。

【００３９】また、収率Ｓから算出された酸素濃度Ｎｎ
は、膜モジュール１２，１３の容量や膜モジュール１
２，１３の劣化や膜モジュール１２，１３の目詰まり等
の影響を受けないため、流量変化に関係なく求めること
ができるので、正確な値が得られる。そのため、窒素ガ
ス発生装置１１では、酸素濃度Ｎｎが目標濃度Ｎａなる
ように流量調整することができ、目標濃度Ｎａの窒素ガ
スを安定供給することができる。

【００４０】また、本実施例においては、温度検出手段
により検出された温度に基づき濃度値の補正を行ってい
るが、ガス分離膜に供給される原料ガスの温度を一定に
保つようにヒータ２６を制御すれば温度補正しなくても
良い。尚、上記実施の形態では、一対の膜モジュール１
２，１３が並列に設けられた構成を一例として挙げた
が、これに限らず、１個の膜モジュールあるいは３個以
上の膜モジュールを設ける構成としても良いのは勿論で
ある。

【００４１】また、上記実施の形態では、供給側流量Ｑ
ｉと吐出側流量Ｑｏとの比により収率Ｓを求めたが、こ
れに限らず、膜モジュール１２，１３のハウジング３５
の排気口３５ｂから外部に排気される酸素ガスの流量を
測定し、酸素ガスの排出流量と供給側流量Ｑｉとの比に
より収率Ｓを求めるようにしても良い。また、上記実施
の形態では、膜モジュール１２，１３から窒素ガスを製
品ガスとして取り出す場合を一例として挙げたが、これ
に限らず、窒素ガス以外のガスを製品ガスとして取り出
す場合にも本発明を適用できるのは勿論である。

【００４２】

【発明の効果】上述の如く、請求項１の発明によれば、
ガス分離膜に供給される空気量、ガス分離膜から取り出
される製品ガスの生成量及びガス分離膜より排出される
ガスの排出量のうち少なくとも一つの量から当該ガス分
離膜の収率を演算し、この収率から濃度値を求めるた
め、濃度センサを不要にしてコストを安価に抑えると共
にメンテナンスを簡単化することができる。

【００４３】また、取り扱いが面倒な製品ガスの濃度を
直接計測するための濃度センサがいらなくなるので、ゼ
ロ点を調整するゼロ校正や測定レンジを調整するスパン
校正、濃度センサ自体の暖気運転等が不要となる。ま
た、上記請求項２記載の発明によれば、温度検出手段に
より検出された温度に基づいて濃度演算手段により算出
された濃度値を補正するため、温度変化に伴う濃度値の
変動を補正して温度による影響をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる気体分離装置の一実施例としての
窒素ガス発生装置の概略構成図である。

【図２】膜モジュール１２，１３の構成を示す縦断面図
である。

【図３】窒素ガス吐出流量に対する酸素濃度の特性を示
すグラフである。

【図４】温度Ｔを１０°Ｃ，２５°Ｃ，４０°Ｃに変化
させた場合の酸素濃度Ｎと吐出流量Ｑとの関係を示すグ
ラフである。

【図５】流量を変化させた場合の酸素濃度Ｎと温度Ｔと
の関係を示すグラフである。

【図６】酸素濃度と吐出流量との関係を示すグラフであ
る。

【図７】酸素濃度Ｎと収率Ｓとの関係を示すグラフであ
る。

【図８】制御回路４２が実行する制御処理のフローチャ
ートである。

【符号の説明】

１１窒素ガス発生装置１０空気圧縮機１２，１３膜モジュール１４空気供給管路１６窒素ガス供給管路１８空気圧縮部１９アフタークーラ２０加圧タンク２８温度センサ２９，３０流量計３２流量調整器３５ハウジング３６中空糸膜４２制御回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者辻見信太郎神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３号トキコ株式会社内Ｆターム(参考） 4D006 GA41 HA02 HA18 KA67 KB14 KE02P KE02Q KE04P KE04Q KE14P KE14Q KE16P KE16Q MA01 PA04 PB17 PB62 PB63

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気を製品ガスと当該製品ガス以外のガ
スとに分離するガス分離膜に空気圧縮機の空気タンクか
らの圧縮空気を供給し、該ガス分離膜から製品ガスを取
り出す気体分離装置において、前記ガス分離膜に供給される空気量、前記ガス分離膜か
ら取り出される前記製品ガスの生成量及び前記ガス分離
膜より排出されるガスの排出量のうち少なくとも二つの
量から当該ガス分離膜の収率を演算する収率演算手段
と、該収率演算手段により算出された収率から前記製品ガス
の濃度値を求める濃度演算手段と、を備えてなることを特徴とする気体分離装置。
【請求項２】上記請求項１記載の気体分離装置であっ
て、前記ガス分離膜に供給される空気の温度を検出する温度
検出手段と、該温度検出手段により検出された温度に基づいて前記濃
度演算手段により算出された濃度値を補正する温度補正
演算手段と、を備えてなることを特徴とする気体分離装置。