JP2000083381A - 高電圧ケ―ブルインタ―ロック回路 - Google Patents

高電圧ケ―ブルインタ―ロック回路

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JP2000083381A
JP2000083381A JP11173545A JP17354599A JP2000083381A JP 2000083381 A JP2000083381 A JP 2000083381A JP 11173545 A JP11173545 A JP 11173545A JP 17354599 A JP17354599 A JP 17354599A JP 2000083381 A JP2000083381 A JP 2000083381A
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Richard M Ness
エム ネス リチャード
William N Partlo
エヌ パートロ ウィリアム
Richard L Sandstrom
エル サンドストローム リチャード
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K3/00—Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
    • H03K3/02—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/53—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of an energy-accumulating element discharged through the load by a switching device controlled by an external signal and not incorporating positive feedback

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  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Emergency Protection Circuit Devices (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高電圧ケーブルインターロック回路を提供す
る。 【解決手段】 低レベル電流が、リモート端からパルス
パワー回路のケーブルのローカル端に高電圧ケーブルを
介してソースから移動する。電流は検出され、信号は、
バイアスセンス回路によって生成される。低レベル電流
が全く検出されないならば、パルスを生じさせず、予期
しない損傷及び高電圧事故を防止する。ある実施形態で
は、電流は、アイソレーションインダクタ、一般的に
は、高電圧パルストランスの２次巻線を介してローカル
端でグランドに接地される。次いで、低レベル電流は、
グランドからソースの入力ターミナルにシャント抵抗を
介して通り、従って、回路を完全にし、ソース入力ター
ミナルとグランドとの間に電圧を生成させ、高電圧ケー
ブルを介して回路の連続性を確認する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この出願は、１９９６年１０
月３１日に出願されたBirx等による米国特許出願第08/7
39,873号、及び、１９９７年１２月１５日に出願された
Parlo等による米国特許出願第08/990,848号に関係し、
各々の開示は全体的にここにリファレンスとして組み入
れられる。
【０００２】本発明は、一般的にパルス電源に関し、特
に、磁気変調器に関し、更にエキシマレーザ及び他のガ
ス放電レーザに関する。
【０００３】
【従来の技術】多くのパルス高電圧アプリケーションで
は、高電圧ケーブルは、エネルギのパルスをローカルソ
ース位置からリモート負荷位置に転送する。ケーブルは
しばしば、保守又は他の目的のために切断することがで
きるように接続される。かかる場合では、個人が、ケー
ブルの切断された端で、（致命的な可能性の）パルス高
電圧と接触することがあり得るので、高電圧ケーブルが
ケーブルの負荷端で切断されたままであるが、ソース端
で接続されたままであるならば、セーフティハザードが
生じ得る。それゆえ、ケーブルが完全に接続されておら
ず、高電圧の適用を防止するために接続されていないな
らば、検出するのに有利である。
【０００４】在来のシステムであるインターロックは、
システムの負荷端で開高電圧接続を検出するのに使用さ
れている。これらのほとんどのインターロックの欠点
は、故障が検出される前に、少なくとも１つのパルス
が、ソースで生成され、ケーブル内に転送されなければ
ならないことである。１パルスでさえ、開ケーブルコネ
クタを接続する人が重大な事故を生じさせるのに十分で
ある。
【０００５】幾つかの場合では、ケーブルコネクタは、
接合コンセントに全ての方法で安全に挿入されておら
ず、高電圧コネクタ接触の間にギャップが残る。通常の
作動では、ギャップは、高電圧パルスが、対抗するコネ
クタ接触に対するコネクタにおける絶縁材料をこえてア
ークし又はフラッシュすることによってギャップを「ジ
ャンプ」することができるのに十分近接している。この
ことは、パルスが負荷にうまく転送されているので、
「通常の」作動として検出される。しかしながら、ギャ
ップにわたるアークは、いつかはコネクタ接触及び絶縁
表面に深刻な損傷を生じさせ、後に更に深刻な故障が生
じうる。
【０００６】当該技術で必要とされているのは、簡単且
つ高信頼性のインターロック回路、及び、高電圧ケーブ
ルの不完全性を検出するための方法である。更に、当該
技術で必要とされているのは、簡単且つ高信頼性の回
路、及び、パルスパワーアプリケーションに関する高電
圧ケーブルの完全な障害を検出するための方法である。
更に、当該技術で必要とされているのは、簡単且つ高信
頼性の回路、及び、障害が存在するならばパルスが生成
されない、パルスパワーアプリケーションに関する高電
圧ケーブルの完全な障害を検出するための方法である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、一般的にパル
ス電源に関し、特に、磁気変調器に関し、更にエキシマ
レーザ及び他のガス放電レーザに関する。
【０００８】本発明によれば、パルスパワー回路におい
て、低電圧電源が、ケーブルのリモート負荷端からロー
カルソース端に戻るように高電圧ケーブルを介して、出
力ターミナルから低レベル電流を駆動する。そこで低レ
ベル電流が検出され、信号がバイアスセンス回路によっ
て生成される。低レベル電流が全く検出されないなら
ば、パルス高電圧は抑制され、予期しない損害及び高電
圧ショック事故を防止する。それゆえ、本発明によれ
ば、高電圧ケーブルが安全に接続されていないならば、
パルスを生じさせないという利点がある。
【０００９】幾つかの実施形態では、高電圧ケーブルは
１又はそれ以上の高電圧パルスコネクタを含む。低レベ
ルＤＣ電流ソースの使用は、低レベル電流がギャップを
「ジャンプ」することができないが、その代わりにコネ
クタ接触の間の物理的な接触を介してだけ流れうるの
で、ケーブルが安全に接続されていることを保証する。
【００１０】幾つかの実施形態では、高電圧ケーブル及
び負荷は、磁気パルス圧縮回路、即ち磁気変調器回路を
介して相互接続される。幾つかの実施形態では、低レベ
ルＤＣ電流は、アイソレーションインダクタを介して磁
気パルス圧縮回路に結合される。幾つかの実施形態で
は、低レベルＤＣ電流は、第２のアイソレーションイン
ダクタ、一般には高電圧パルストランスの２次巻線イン
ダクタを介して、高電圧ケーブルのソース端でグランド
に結合される。
【００１１】次いで、低レベルＤＣ電流は、グランドか
ら、両極の出力ターミナルを有する低電圧電源の入力タ
ーミナルにシャント抵抗介して通る。このことにより、
回路を完全にさせ、低電圧ソースターミナルとグランド
との間に電圧を生成させ、高電圧ケーブルを含む回路を
介して連続性を確認する信号を提供する。
【００１２】幾つかの実施形態では、低電圧電源は、高
電圧ケーブルのソース端に配置され、独立した低電圧ケ
ーブルを介して高電圧ケーブルの負荷端に低レベルＤＣ
電流を配送する。幾つかの実施形態では、低レベルＤＣ
電流は、ケーブルの負荷端で２つの枝に分割される。１
つの電流分岐は、ケーブルのソース端に戻るように高電
圧ケーブルを介して移動し、高電圧ケーブルの連続性を
検出するための信号を提供する。第２の電流分岐は、磁
気パルス圧縮回路の磁気スイッチを予め飽和させ、第３
のアイソレーションインダクタ及び低電圧ケーブルを介
して低電圧源の入力ターミナルに戻るように移動する。
【００１３】次いで、本発明によれば、高電圧ケーブル
の不完全性を検出し、特に、パルスパワーアプリケーシ
ョンに関する、簡単且つ高信頼性のインターロック回路
及び方法が提供される。更に、本発明によれば、高電圧
ケーブルを介して低レベル電流を検出するいかなる故障
によっても、パルス高電圧を抑制させることができ、そ
れにより、開回路が存在するならば、パルスが生成され
ない。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下は本発明の例示的な実施形態
の詳細な説明である。本発明のこれらの実施形態が図面
に関して説明されるので、方法の種々の修正若しくは調
整、及び／又は、記載された特定の構造は、当業者には
明らかであろう。全てのかかる修正、調整、若しくは、
従来技術より進歩した本発明の教示に頼る変化は、本発
明の精神及び範囲内のものとみなされる。それ故、これ
らの記述及び図面は、観念を限定するように考慮され
ず、本発明は例示的な実施形態に限定されない方法でも
理解される。
【００１５】本発明は、一般的にパルス電源に関し、特
に、磁気変調器に関し、更にエキシマレーザ及び他のガ
ス放電レーザに関する。
【００１６】本発明の実施形態では、パルス高電圧源は
磁気変調器である（例えば、W. S.Melville著「The use
of Saturable Reactors as Discharge Devices for Pu
lseGenerators」Radio Section, No.1034,185乃至207頁
（1950年９月１５日）を参照）。図１は、この技術で良
く知られている典型的な磁気変調器回路１０の簡単な概
略図である。回路１０は、全体的に、ＤＣ充電電源装置
１２と、最初の作動ステージキャパシタＣ0と、個体物
理トリガースイッチＳと、継続時間を圧縮し、典型的に
はエキシマレーザのようなパルスガス放電器であり、負
荷１８にかけられるパルスのピークパワーを増加させる
ためのパルス圧縮回路１６とを含む。
【００１７】パルス圧縮回路１６は、キャパシタC1,C2,
・・・,Cn-1及びCnのバンクを包含する磁気パルス圧縮ステ
ージのはしご型ネットワークと、可飽和インダクタL1,L
2,・・・,Ln-1によって表される１又はそれ以上の磁気スイ
ッチ要素とを有する。従って、第１の可飽和インダクタ
L1はキャパシタC1とC2との間に接続され、第２の可飽和
インダクタL2はキャパシタC2とC3,・・・との間に直列で接
続され、可飽和インダクタLn-1はCn-1とCnとの間に直列
で接続される。
【００１８】回路１０は、回路１０が逆電流に対して非
伝導性であることを保証するように、トリガースイッチ
Ｓと直列で接続されるダイオードDsを更に包含するのが
好ましい。実例として、回路１０は、さもなければトリ
ガスイッチＳに損害を与えうるトリガスイッチＳを介し
て電流のビルドアップを示すためのＬＣ時間コンスタン
トを提供するために、初期作動ステージキャパシタC0と
関係して選択されたインダクタL0を更に包含する。トリ
ガスイッチＳは典型的には、この技術で良く知られた低
レベルトリガ回路２４と相互接続される。
【００１９】磁気変調器回路１０は更に、トリガスイッ
チＳと、パルス圧縮回路１６と相互接続した２次巻線３
４と、パルストランス芯３６とを介して、最初の作動ス
テージキャパシタC0と相互接続する１次巻線３２を典型
的に有する任意のパルストランス３０を包含する。パル
ストランス３０は、２次巻線３４にわたって発生した電
圧が１次巻線３２にわたって印加された電圧よりも大き
くなるように構成される。
【００２０】パルストランス３０は典型的には、高電圧
ケーブル４０、好ましくは同軸ケーブルを介してパルス
圧縮回路１６と相互接続される。高電圧ケーブル４０
は、図１のローカルと名付けられた磁気変調器回路１０
の左側に示された回路要素を、図１のリモートと名付け
られた磁気変調器回路１０の右側に示された回路要素と
接続するのが好都合である。便利のために、高電圧ケー
ブル４０は典型的には、この技術で知られている設計の
高電圧パルス電流コネクタ（図示せず）を組み入れる。
【００２１】作動において、最初の作動ステージキャパ
シタC0は、チャージ電源１２によって最初の電圧VC0に
チャージされる。低レベルトリガ回路２４は、トリガス
イッチＳを閉じることができる低レベルトリガ信号を開
始し、パルストランス１次巻線３２を介して以前にチャ
ージされた最初の作動ステージキャパシタC0からのパワ
ーパルスを放電する。パルストランス３０は、２次巻線
３４にわたるパルスパワーの電圧を高める。次いで、パ
ワーパルスは高電圧ケーブル４０を介して伝搬し、圧縮
回路１６に入り、それがパルス圧縮回路１６の可飽和イ
ンダクタL1,L2,・・・,Ln-1のはしご型ネットワークを介し
て負荷１８内に逐次伝搬するので、そこでパワーパルス
のパルス幅は狭くなり、そのパルス振幅は増幅される。
【００２２】磁気変調器回路１０の幾つかのバージョン
では、順方向又は逆方向バイアス電流は、可飽和インダ
クタの磁心を予め飽和させるために、可飽和インダクタ
L1,L 2,・・・,Ln-1を介して印加される（例えば、１９９６
年１０月３１日に出願されたBirx等による米国特許出願
第08/739,873号参照）。ある構成でバイアス電流、例示
的にはIbiasは、バイアス電流供給装置（図示せず）に
よって供給され、例示的には、ポイント４２，４４で磁
気変調器回路１０に接続され、それぞれ第１及び第２の
バイアスインダクタ４６、４８を介して高電圧パワーパ
ルスから典型的には絶縁される。
【００２３】個人がケーブルの未接続端で（もしかする
と致命的な）パルス高電圧と接触することになるので、
高電圧ケーブル４０がケーブル４０のリモート端の左で
未接続であるが、ローカル端で接続が維持されているな
らば、セーフティハザードは存在する。更に、外面的に
接続されているが隠れているギャップの可能性を有する
ケーブルは、ギャップにわたって高電圧アークを許容す
るが、結局、コネクタ接触及び絶縁表面に深刻な損傷が
生じ、その後やがて更に深刻な故障を導く。それ故、ケ
ーブルが十分に接続されておらず、どんなパルス高電圧
をも抑制しないならば、検出するのに都合がよい。
【００２４】図２は、本発明による高電圧ケーブルイン
ターロック回路を組み入れた磁気変調器回路１１０の簡
単な概略図である。図面では、同様な要素は同じ参照番
号によって指定されており、詳細について再び記述はし
ない。磁気変調器回路１１０は、（ローカルと名付けら
れた）ローカル回路要素を（リモートと名付けられた）
リモート回路要素に接続する高電圧ケーブル４０と、リ
モート配置での磁気スイッチに関する直流バイアス電流
とを有する。
【００２５】ローカル配置における低電圧電源装置１１
２は、磁気変調器回路１１０のリモート配置におけるポ
イント４２で第１の絶縁インダクタ４６を備える低電圧
ケーブル６０を介して相互接続された出力ターミナル１
１４を有する。ポイント４２とグランドとの間の接続
は、第１のフィルタキャパシタ５２である。低電圧電力
装置１１２の対極出力ターミナル１１６は、リモート配
置のポイント４４で第２の絶縁インダクタ４８を備える
低電圧ケーブル６２を介して相互接続される。ポイント
４４とグランドとの間の接続は第２のフィルタキャパシ
タ５４である。
【００２６】例示的に、第１の絶縁インダクタ４６は、
０．１乃至１０ｍＨの範囲のインダクタンスを有し、第
２の絶縁インダクタ４８は、０．０２５乃至２．５ｍＨ
の範囲のインダクタンスを有する。第１及び第２のフィ
ルタキャパシタ５２及び５４はそれぞれ、０．１乃至１
０μＦの範囲の容量を有する。値は、例えば、配達され
たパワーパルスの周波数に依存して変化しうる。
【００２７】また、低電圧電源装置の対極出力ターミナ
ル１１６に対する接続は、出力ターミナル１２０を有す
るバイアス電流センス回路１１８を備え、並列でグラン
ドに対して抵抗器５６を分路する。直列で第２の絶縁イ
ンダクタ４８と接続される直列抵抗５０を、図２の破線
内に示す。典型的には、直列抵抗５０は、別々の回路要
素ではないが、絶縁インダクタ４８の内部抵抗である。
例示的に、直列抵抗５０の値は、０．０２５乃至２．５
オームの範囲である。値は、例えば、インダクタ構造の
詳細、及び、インダクタンスの値に依存して変化しう
る。
【００２８】作動において、低レベルＤＣバイアス電流
Ｉは、低電圧電源供給装置１１２の出力ターミナル１１
４で生成され、低電圧ケーブル６０を介してリモート位
置に転送される。次いで、バイアス電流Ｉは、低電圧第
１フィルタキャパシタを備える第１の絶縁インダクタ４
６を介して高電圧電磁変調器回路１１０に結合される。
次いで、バイアス電流Ｉは、電磁スイッチ１６を介し、
且つ、第２の絶縁インダクタ４８及び低電圧ケーブル６
２を介してローカル位置に戻るように移動する第１の電
流Ｉ1と、高電圧ケーブル４０を介してローカル位置に
戻るように移動する第２の電流Ｉ2とに分割される。
【００２９】低電圧ケーブル６２を介する移動に際し
て、第１の電流Ｉ1は、低電圧電源装置１１２の対極出
力ターミナル１１６に直接戻る。高電圧ケーブル４０を
介して移動するに際して、第２の電流Ｉ2は、第３の絶
縁インダクタを介してグランドに接続され、パルストラ
ンス３０の２次巻線として実施形態では示す。他の実施
形態では、第３の絶縁インダクタは別の回路要素であ
る。次いで、第２の電流Ｉ 2は、シャント抵抗５６を介
してグランドから対極出力ターミナル１１６に戻る。
【００３０】第２の電流Ｉ2のリターン回路におけるシ
ャント抵抗５６は、低電圧ケーブル６２を介する第１の
電流Ｉ1と、高電圧ケーブル４０を介する第２の電流Ｉ2
との間の比Ｉ1／Ｉ2を決定する。重要である、シャント
抵抗５６はまた、バイアス電流センス回路１１８を作動
させるために第２の電流Ｉ2に応じて電圧Ｖsを発生させ
る。バイアス電流センス回路１１８でゼロでない電圧Ｖ
sの存在は、第２の電流Ｉ2が、高電圧ケーブル４０を介
して戻るように移動することを実証し、両端で高電圧ケ
ーブル４０の保全性を確認する。バイアス電流センス回
路１１８は、第２の電流Ｉ2の存在又は不在を検出す
る。電圧Ｖsが検出されない（第２の電流Ｉ2がない）な
らば、次いで、高電圧ケーブルの障害が存在するように
判断される。
【００３１】次いで、バイアス電流センス回路１１８
は、トリガスイッチＳを介して最初の作動ステージキャ
パシタＣ0の放電を防止し、チャージ電源装置１２をタ
ーンオフし、ブリーダー抵抗器（図示せず）を介してグ
ランドに最初の作動ステージキャパシタＣ0を放電し、
オペレータに障害の存在を喚起させるために、典型的に
はトリガ回路２４を不能にする信号を出力ターミナル１
２０で生成させる。低電圧が使用されるので、第２の電
流Ｉ2は、高電圧ケーブルのどんな途切れ（gap）にわた
ってもアークをなすことができず、それ故、障害として
のかかるどんな途切れをも認識しうる。
【００３２】例示的に、低電圧電源装置１１２は、磁気
変調器回路１１０内で、０乃至５０ボルトの範囲の電圧
でバイアス電流Ｉを配送する。バイアス電流Ｉは、（高
電圧ケーブルが完全であるならば）直列抵抗５０を介し
て第１の電流Ｉ1と、シャント抵抗５６を介して第２の
電流Ｉ2とに分岐する。一般的に、全ての他の回路抵抗
は無視できる程度である。抵抗５０及び５６の値がそれ
ぞれおおよそ０．５オーム及び１．０オームならば、第
１及び第２の電流Ｉ1及びＩ2は、それぞれおおよそ１
０．０アンペア及び５．０アンペアであり、低電圧ケー
ブル６２を介する第１の電流Ｉ1と高電圧ケーブル４０
を介する第２の電流Ｉ2との間の比Ｉ1／Ｉ2は、２：１
である。値は、例えば、それぞれパルストランスのため
に要求され、パルス圧縮回路１６の磁気スイッチのため
に要求される相対的なバイアス電流に依存して変化しう
る。
【００３３】記載された条件下では、実質的に、低電圧
電源供給装置１１２の全体の電圧は、シャント抵抗５６
にわたって現れ、それは磁気変調器回路１１０の第２の
電流Ｉ2分岐だけの抵抗であり、バイアス電流センス回
路１１８によって検出される。バイアス電流センス回路
１１８は、そこで、高電圧ケーブル４０が完全であるこ
とを示す出力ターミナル１２０で信号を生成する。
【００３４】しかしながら、高電圧ケーブル４０が完全
であるならば、第２の電流Ｉ2は中断される。シャント
抵抗５６を介して実質的なゼロ電流とともに、電圧Ｖs
はシャント抵抗５６を介してグランドに実質的に短絡さ
れ、バイアスセンス回路１１８は実質的にゼロ電圧Ｖs
を検出し、その結果として出力ターミナル１２０で信号
を生成し、高電圧ケーブル４０が完全ではないことを示
す。第１の電流Ｉ1は、低電圧ケーブル６２を介して中
断なしに流れ続ける。幾つかの実施形態で所望ならば、
第１の電流Ｉ1の検出は、高電圧ケーブルインターロッ
ク回路が適切に機能していることを検証するために追加
の論理信号を提供する。
【００３５】記載した実施形態では、高電圧ケーブルで
戻るバイアス電流は、ローカル配置の出力に使用される
パルストランスに関するバイアス電流を提供することに
よってインターロックに追加する第２のファンクション
を実行する。磁気材料パルストランスと従来技術が同じ
なので、このＤＣ電流はトランスコアをリバース状態に
バイアスをかけ、それゆえコア・デルタＢスイングを最
大にさせ、要求されたコア材料の量を最小にする。更
に、低電圧ケーブルを介して戻るバイアス電流は、図１
について上述したような磁気スイッチを予め飽和する機
能を実行する。
【００３６】記載した実施形態では、電流Ｉ、Ｉ1、Ｉ2
及びＩbiasの極性は図１及び２に示したとおりであるけ
れども、他の極性を備える他のバイアス電流構成を有す
る実施形態がまた、例えば、パルストランス３０の所望
のバイアス極性及び可飽和インダクタL1,L2,・・・,Ln-1に
よって選択された極性を備える発明の範囲内であること
は当業者に明らかであろう。
【００３７】ここでは実施形態を磁気変調器回路に関し
て記載したが、他のパルスパワー回路構成に関する実施
形態がまた本発明の範囲内に含まれることは、当業者に
明らかであろう。
【００３８】従って、本発明によれば、簡単で信頼でき
るインターロック回路及び方法は、特にパルスパワーア
プリケーションに関し、高電圧ケーブルの不完全性を検
出することによって提供される。更に、本発明によれ
ば、高電圧ケーブルを介して低レベル電流を検出するこ
との失敗により、パルス高電圧を抑制させることが出
来、失敗が存在するならば、高電圧ケーブル内に配送さ
れるパルスはない。
【００３９】本発明の実施形態を示して記載してきた
が、これらの例示的な実施形態に対する変更及び修正
が、その広い態様において本発明から逸脱することなく
なされることは当業者にとって明らかであろう。従っ
て、上では明確に記載されていないが、本発明の範囲及
び精神内に本発明の他の実施形態があることは明白であ
る。特許請求の範囲が必然的に、記載した本発明の真の
範囲及び精神内に入るようなかかる全ての変更及び修正
を包含し、更に、この範囲及び精神がその範囲及び精神
を説明するために示された例示的な実施形態を単に限定
するものではないことを理解すべきである。
【００４０】本発明は、添付の図面を参照することによ
って、本発明をより良く理解することができ、その参照
番号、特徴及び利点は当業者に明らかであろう。簡単及
び理解の容易のために、例示の要素に共通の参照番号を
採用し、要素は異なる図面でも同じものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】当該技術で良く知られている典型的な磁気変調
器回路の簡単な概略図である。
【図２】本発明による高電圧ケーブルインターロック回
路を組み入れた磁気変調器回路の簡単な概略図である。
【符号の説明】
１０ 磁気変調器回路 １２ 電源装置 １６ パルス圧縮回路 １８ 負荷 ２４ 低レベルトリガ回路 ３０ パルストランス ３２ １次巻線 ３４ ２次巻線 ４０ 高電圧ケーブル ４６ インダクタ ４８ インダクタ ５６ シャント抵抗 ６０ 低電圧ケーブル ６２ 低電圧ケーブル １１０ 磁気変調器回路 １１２ 電源装置 １１４ 出力ターミナル １１６ 出力ターミナル １１８ バイアス電流センス回路 １２０ 出力ターミナル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム エヌ パートロ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92064 ポーウェイ ペドリーザ ドライ ヴ 12634 (72)発明者 リチャード エル サンドストローム アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92024 エンシニタス トレイルヴィュー ロード 305

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】パルス電源を負荷と相互接続する開高電圧
    ケーブルを検知する方法であって、 前記高電圧ケーブルは、ソース端及び負荷端を有し、パ
    ルス高電圧を前記高電圧ケーブル内に配送しないように
    させ、 低レベル直流電流を生成し、 前記高電圧ケーブルを介して前記電流を前記負荷端から
    前記ソース端の方に向かう方向に押し流し、 前記ソース端の近位の前記電流を検出し、 前記電流の存在又は不在を示す前記電流に応答する信号
    を生成する、検知方法。
  2. 【請求項２】パルス電源を負荷と相互接続する開高電圧
    ケーブルを検出する方法であって、 前記高電圧ケーブルは、ソース端と負荷端とを有し、 前記高電圧ケーブルは、少なくとも１つの高電圧パルス
    コネクタを含み、 前記高電圧ケーブル及び前記負荷は、磁気パルス圧縮回
    路を介して相互接続され、パルス高電圧を前記高電圧ケ
    ーブル内に送らないようにさせ、 前記ソース端の近位に配置された低電圧電源で低レベル
    直流電流を生成させ、 前記高電圧ケーブルからわかれた低電圧ケーブルを介し
    て前記低電圧電源から前記負荷端に前記電流を送り、 第１のアイソレーションインダクタを介して前記磁気パ
    ルス圧縮回路内に前記電流を結合させ、 前記負荷端から前記ソース端の方に向かう方向で前記高
    電圧ケーブルを介して前記電流を駆動させ、 第２のアイソレーションインダクタを介して前記ソース
    端からグランドに前記電流を結合させ、 前記ソース端の近位のシャント抵抗を介して前記電流を
    通し、 前記シャント抵抗を介して前記電流の通過をさせるため
    に前記シャント抵抗にわたって現れた電圧を感知し、 前記シャント抵抗にわたる前記電圧に応答して信号を生
    成させ、前記電流の存在又は不在を示し、 前記高電圧ケーブル内にパルス高電圧の到達をさせない
    ようにするために前記電流の不在の前記信号を適用す
    る、方法。
  3. 【請求項３】高電圧ケーブルインターロック回路であっ
    て、 第１の出力ターミナルで低レベル直流電流を生成するた
    めの低電圧電源供給装置と、 高電圧ケーブルを介してパルス電源と相互接続され、負
    荷と接続されるパルスパワー回路と、を有し、前記高電
    圧ケーブルが、前記パルス電源の近位のソース端と、前
    記ソース端の反対側の負荷端とを有し、前記パルスパワ
    ー回路が、第１のアイソレーションインダクタと、前記
    高電圧ケーブルから分離された低電圧ケーブルとを介し
    て、前記第１の出力ターミナルと相互接続され、 前記ソース端の近位に配置された第２のアイソレーショ
    ンインダクタと、を有し、前記第２のアイソレーション
    インダクタが、前記高電圧ケーブルの前記ソース端をグ
    ランドに接続し、 前記低電圧電源の第２の出力ターミナルとグランドとの
    間に接続されたシャント抵抗と、を有し、前記第２の出
    力ターミナルは、前記第１の出力ターミナルの極性の反
    対の極性を有し、 前記シャント抵抗にわたる電圧を測定するように、且
    つ、前記シャント抵抗にわたる前記電圧に応答する信号
    を生成するように配置されたバイアス電流センス回路
    と、を有する、 高電圧ケーブルインターロック回路。
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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6020723A (en) 1997-02-14 2000-02-01 Lambada Physik Gmbh Magnetic switch controlled power supply isolator and thyristor commutating circuit
WO1999053627A1 (en) 1998-04-10 1999-10-21 Chrimar Systems, Inc. Doing Business As Cms Technologies System for communicating with electronic equipment on a network
US7006541B2 (en) * 1998-06-01 2006-02-28 Lambda Physik Ag Absolute wavelength calibration of lithography laser using multiple element or tandem see through hollow cathode lamp
US6580517B2 (en) 2000-03-01 2003-06-17 Lambda Physik Ag Absolute wavelength calibration of lithography laser using multiple element or tandem see through hollow cathode lamp
US6490307B1 (en) 1999-03-17 2002-12-03 Lambda Physik Ag Method and procedure to automatically stabilize excimer laser output parameters
US6381256B1 (en) 1999-02-10 2002-04-30 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6424666B1 (en) 1999-06-23 2002-07-23 Lambda Physik Ag Line-narrowing module for high power laser
US6965624B2 (en) 1999-03-17 2005-11-15 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6389052B2 (en) 1999-03-17 2002-05-14 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6546037B2 (en) 1999-02-10 2003-04-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6463086B1 (en) 1999-02-10 2002-10-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6727731B1 (en) 1999-03-12 2004-04-27 Lambda Physik Ag Energy control for an excimer or molecular fluorine laser
US6700915B2 (en) 1999-03-12 2004-03-02 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a resonator containing an optical element for making wavefront corrections
DE29907349U1 (de) 1999-04-26 2000-07-06 Lambda Physik Gmbh Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
US6785316B1 (en) 1999-08-17 2004-08-31 Lambda Physik Ag Excimer or molecular laser with optimized spectral purity
US6553050B1 (en) 1999-11-18 2003-04-22 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6603788B1 (en) 1999-11-23 2003-08-05 Lambda Physik Ag Resonator for single line selection
DE10190427T1 (de) 2000-01-25 2002-06-06 Lambda Physik Ag Energieüberwachungsvorrichtung für einen Fluormolekül-Laser
US7075963B2 (en) 2000-01-27 2006-07-11 Lambda Physik Ag Tunable laser with stabilized grating
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
US6570901B2 (en) 2000-02-24 2003-05-27 Lambda Physik Ag Excimer or molecular fluorine laser having lengthened electrodes
US6597462B2 (en) 2000-03-01 2003-07-22 Lambda Physik Ag Laser wavelength and bandwidth monitor
WO2001084678A2 (en) 2000-04-18 2001-11-08 Lambda Physik Ag Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers
US6862307B2 (en) * 2000-05-15 2005-03-01 Lambda Physik Ag Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser
US6577663B2 (en) 2000-06-19 2003-06-10 Lambda Physik Ag Narrow bandwidth oscillator-amplifier system
US6603789B1 (en) 2000-07-05 2003-08-05 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser with improved beam parameters
US6807205B1 (en) 2000-07-14 2004-10-19 Lambda Physik Ag Precise monitor etalon calibration technique
US6721345B2 (en) 2000-07-14 2004-04-13 Lambda Physik Ag Electrostatic precipitator corona discharge ignition voltage probe for gas status detection and control system for gas discharge lasers
US6671302B2 (en) 2000-08-11 2003-12-30 Lambda Physik Ag Device for self-initiated UV pre-ionization of a repetitively pulsed gas laser
US6801561B2 (en) 2000-09-25 2004-10-05 Lambda Physik Ag Laser system and method for spectral narrowing through wavefront correction
US6747741B1 (en) 2000-10-12 2004-06-08 Lambda Physik Ag Multiple-pass interferometric device
US6998620B2 (en) 2001-08-13 2006-02-14 Lambda Physik Ag Stable energy detector for extreme ultraviolet radiation detection
US7540779B2 (en) * 2007-03-23 2009-06-02 Coherent, Inc. RF shielded, series inductor, high RF power impedance matching interconnector for CO2 slab laser
DE112010005389T5 (de) 2010-03-15 2012-12-27 International Truck Intellectual Property Co., Llc Hochspannungs-Verriegelungsschaltung, welche einen seriellen Kommunikationsbereich verwendet
US9739819B2 (en) 2013-12-20 2017-08-22 Ford Global Technologies, Llc Cable joint integrity detection systems and methods
US9550422B2 (en) 2014-01-16 2017-01-24 Ford Global Technologies, Llc Vehicle high voltage interlock startup

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1256516A (fr) * 1958-03-28 1961-03-24 Perfectionnement aux générateurs d'impulsions électriques
GB948020A (en) * 1961-10-24 1964-01-29 Ass Elect Ind Improvements relating to protective apparatus for pulse electrical discharge devices
GB1025381A (en) * 1962-01-18 1966-04-06 Ass Elect Ind Improvements relating to electrical pulse generators
US4549091A (en) * 1983-08-08 1985-10-22 Standard Oil Company (Indiana) Electrical excitation circuit for gas lasers
US5315611A (en) * 1986-09-25 1994-05-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High average power magnetic modulator for metal vapor lasers
US5177754A (en) * 1986-09-25 1993-01-05 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Magnetic compression laser driving circuit
JPH03504429A (ja) * 1988-04-20 1991-09-26 シーメンス　アクチェンゲゼルシヤフト 特にｔｅガスレーザー用の高出力の高電圧パルス発生装置および方法
FR2635931A1 (fr) * 1988-08-26 1990-03-02 Cgr Mev Dispositif de protection d'un modulateur a ligne a retard
FR2654876B1 (fr) * 1989-11-23 1993-11-12 Commissariat A Energie Atomique Dispositif de charge de moyens d'accumulation d'energie electrique, muni de moyens permettant de maitriser cette charge.
US5142166A (en) * 1991-10-16 1992-08-25 Science Research Laboratory, Inc. High voltage pulsed power source
JP3318981B2 (ja) * 1992-10-09 2002-08-26 株式会社明電舎 パルス電源
US5319665A (en) * 1992-11-06 1994-06-07 Science Research Laboratory High power electromagnetic pulse driver using an electromagnetic shock line
US5309462A (en) * 1993-02-17 1994-05-03 National Research Council Of Canada Magnetic spiker gas laser excitation circuit
US5313481A (en) * 1993-09-29 1994-05-17 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Copper laser modulator driving assembly including a magnetic compression laser
US5448580A (en) * 1994-07-05 1995-09-05 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Air and water cooled modulator
US5914974A (en) * 1997-02-21 1999-06-22 Cymer, Inc. Method and apparatus for eliminating reflected energy due to stage mismatch in nonlinear magnetic compression modules

Also Published As

Publication number Publication date
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EP1088377B1 (en) 2006-11-02
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