JP2000061829A - 内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置 - Google Patents
内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置Info
- Publication number
- JP2000061829A JP2000061829A JP10237385A JP23738598A JP2000061829A JP 2000061829 A JP2000061829 A JP 2000061829A JP 10237385 A JP10237385 A JP 10237385A JP 23738598 A JP23738598 A JP 23738598A JP 2000061829 A JP2000061829 A JP 2000061829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- internal gear
- drive
- drive shaft
- polishing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単で内歯歯車の水平を出すための調
整を必要としない、内歯歯車昇降機構を備えた平面研磨
装置を得る。 【解決手段】 機体１０に内歯歯車１１と同軸をなす大
径の中心歯車１９と、該中心歯車１９を回転させる駆動
歯車２２及びモーター２１を設け、上記中心歯車１９の
回りに複数の昇降用駆動軸２５を回転自在なるように立
設して、各駆動軸２５に、上記中心歯車１９に噛合する
従動歯車２６を取り付けると共に、該駆動軸１９の正逆
回転により上下動するナット部材２７を螺着し、該ナッ
ト部材２７を上記内歯歯車１１に連結する。
整を必要としない、内歯歯車昇降機構を備えた平面研磨
装置を得る。 【解決手段】 機体１０に内歯歯車１１と同軸をなす大
径の中心歯車１９と、該中心歯車１９を回転させる駆動
歯車２２及びモーター２１を設け、上記中心歯車１９の
回りに複数の昇降用駆動軸２５を回転自在なるように立
設して、各駆動軸２５に、上記中心歯車１９に噛合する
従動歯車２６を取り付けると共に、該駆動軸１９の正逆
回転により上下動するナット部材２７を螺着し、該ナッ
ト部材２７を上記内歯歯車１１に連結する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のようなワークを研磨するための平面研
磨装置に関するものであり、更に詳しくは、内歯歯車を
昇降させるための機構を備えた平面研磨装置に関するも
のである。
気ディスク基板のようなワークを研磨するための平面研
磨装置に関するものであり、更に詳しくは、内歯歯車を
昇降させるための機構を備えた平面研磨装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】機体に同軸状に設けられた内歯歯車と太
陽歯車及び上下の定盤を有し、両歯車に噛合して遊星運
動するキャリヤに保持させたワークを上下の定盤により
研磨する平面研磨装置においては、一般に、上記キャリ
ヤと各歯車との噛合位置を変えたり、ワークの搬入及び
搬出をキャリヤごと行ったりするために、少なくとも内
歯歯車が上下動できるようになっている。
陽歯車及び上下の定盤を有し、両歯車に噛合して遊星運
動するキャリヤに保持させたワークを上下の定盤により
研磨する平面研磨装置においては、一般に、上記キャリ
ヤと各歯車との噛合位置を変えたり、ワークの搬入及び
搬出をキャリヤごと行ったりするために、少なくとも内
歯歯車が上下動できるようになっている。
【０００３】このように内歯歯車を上下動させるための
機構としては、図３に原理的に示したスクリュージャッ
キ式のものが公知である。これは、内歯歯車に連結され
た３本のスクリュージャッキ１を機体に等角度間隔で回
転自在なるように支持させ、これらのスクリュージャッ
キ１を回転させることによって内歯歯車を上下動させる
もので、各スクリュージャッキ１にはスプロケット２が
取り付けられていて、各スプロケット２と駆動用スプロ
ケット３とに無端チェーン４が巻き掛けられ、上記駆動
用のスプロケット３をモーター５で駆動することによ
り、上記無端チェーン４によって各スクリュージャッキ
１を回転させるというものである。
機構としては、図３に原理的に示したスクリュージャッ
キ式のものが公知である。これは、内歯歯車に連結され
た３本のスクリュージャッキ１を機体に等角度間隔で回
転自在なるように支持させ、これらのスクリュージャッ
キ１を回転させることによって内歯歯車を上下動させる
もので、各スクリュージャッキ１にはスプロケット２が
取り付けられていて、各スプロケット２と駆動用スプロ
ケット３とに無端チェーン４が巻き掛けられ、上記駆動
用のスプロケット３をモーター５で駆動することによ
り、上記無端チェーン４によって各スクリュージャッキ
１を回転させるというものである。
【０００４】ところが、上記従来の昇降機構は、無端チ
ェーン４が徐々に延びて緩み易く、それが少しでも緩む
と、各スクリュージャッキ相互間の回転角に差ができて
内歯歯車の水平精度が低下するため、該内歯歯車の水平
を出すための調整が必要であった。また、チェーン４の
張力を調整するためのテンショナー６を必要とし、装置
の構造が複雑化するという欠点もあった。
ェーン４が徐々に延びて緩み易く、それが少しでも緩む
と、各スクリュージャッキ相互間の回転角に差ができて
内歯歯車の水平精度が低下するため、該内歯歯車の水平
を出すための調整が必要であった。また、チェーン４の
張力を調整するためのテンショナー６を必要とし、装置
の構造が複雑化するという欠点もあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、構造が簡単で内歯歯車の水平を出すための調整を必
要としない、内歯歯車昇降機構を備えた平面研磨装置を
提供することにある。
は、構造が簡単で内歯歯車の水平を出すための調整を必
要としない、内歯歯車昇降機構を備えた平面研磨装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、機体に同軸状に設けられた内歯歯車と太陽歯
車及び上下の定盤を有し、両歯車に噛合して遊星運動す
るキャリヤに保持されたワークを回転する上下の定盤に
より研磨する平面研磨装置において、上記機体に上記両
歯車と同軸状に位置する大径の中心歯車を設けると共
に、該中心歯車を回転させる駆動手段を設け、上記中心
歯車を取り囲む位置に複数の昇降用駆動軸を等角度間隔
で回転自在なるように立設し、各駆動軸に、上記中心歯
車に直接又は中間歯車を介して間接的に噛合する従動歯
車を取り付けるとともに、該駆動軸の正逆回転により上
下動するナット部材を螺着し、上記内歯歯車を上下動自
在として、該内歯歯車に上記ナット部材を連結したこと
を特徴とするものである。
本発明は、機体に同軸状に設けられた内歯歯車と太陽歯
車及び上下の定盤を有し、両歯車に噛合して遊星運動す
るキャリヤに保持されたワークを回転する上下の定盤に
より研磨する平面研磨装置において、上記機体に上記両
歯車と同軸状に位置する大径の中心歯車を設けると共
に、該中心歯車を回転させる駆動手段を設け、上記中心
歯車を取り囲む位置に複数の昇降用駆動軸を等角度間隔
で回転自在なるように立設し、各駆動軸に、上記中心歯
車に直接又は中間歯車を介して間接的に噛合する従動歯
車を取り付けるとともに、該駆動軸の正逆回転により上
下動するナット部材を螺着し、上記内歯歯車を上下動自
在として、該内歯歯車に上記ナット部材を連結したこと
を特徴とするものである。
【０００７】上記構成を有する平面研磨装置は、緩み易
いチェーンを用いることなく、歯車により内歯歯車を昇
降させるようにしているため、張力を付与するためのテ
ンショナーを一切必要とせず、構造が非常に簡単であ
る。しかも、チェーンのように緩むことがないため、各
駆動軸間の回転角が相対的に変化することがなく、従っ
て内歯歯車の水平を出すための調整を行う必要がないか
ら、保守管理も非常に容易である。
いチェーンを用いることなく、歯車により内歯歯車を昇
降させるようにしているため、張力を付与するためのテ
ンショナーを一切必要とせず、構造が非常に簡単であ
る。しかも、チェーンのように緩むことがないため、各
駆動軸間の回転角が相対的に変化することがなく、従っ
て内歯歯車の水平を出すための調整を行う必要がないか
ら、保守管理も非常に容易である。
【０００８】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
各駆動軸が、下端を機体に回転自在に支持されると共
に、上端を内歯歯車に回転自在かつ上下方向に相対的に
スライド自在なるように支持されている。
各駆動軸が、下端を機体に回転自在に支持されると共
に、上端を内歯歯車に回転自在かつ上下方向に相対的に
スライド自在なるように支持されている。
【０００９】このように、各駆動軸の上端を内歯歯車に
直接支持させることにより、機体の狭い場所に各駆動軸
の上端を支持させるための複数の軸受機構を特別に設け
る必要がなく、装置の構成が一層簡単になると同時に、
装置の設計及び組み立ても容易になる。特に、最近のこ
の種の研磨装置は、研磨精度を高めるために各種の複雑
な機構が組み込まれることによって機体の内部は非常に
複雑に入り組んでいるため、上述したような軸受機構を
別途に設けるのは設計上非常に困難であるが、その必要
をなくしたことによる本発明の効果は非常に大きい。
直接支持させることにより、機体の狭い場所に各駆動軸
の上端を支持させるための複数の軸受機構を特別に設け
る必要がなく、装置の構成が一層簡単になると同時に、
装置の設計及び組み立ても容易になる。特に、最近のこ
の種の研磨装置は、研磨精度を高めるために各種の複雑
な機構が組み込まれることによって機体の内部は非常に
複雑に入り組んでいるため、上述したような軸受機構を
別途に設けるのは設計上非常に困難であるが、その必要
をなくしたことによる本発明の効果は非常に大きい。
【００１０】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
ナット部材が、駆動軸に螺合する雌螺子部の上部に筒部
を有していて、該筒部内に上記駆動軸の上端部が挿入さ
れ、該駆動軸の上端部と筒部内壁との間に該駆動軸を回
転自在に支持するベアリングが設けられ、該ベアリング
が筒部内壁面に沿って摺動自在となっている。
ナット部材が、駆動軸に螺合する雌螺子部の上部に筒部
を有していて、該筒部内に上記駆動軸の上端部が挿入さ
れ、該駆動軸の上端部と筒部内壁との間に該駆動軸を回
転自在に支持するベアリングが設けられ、該ベアリング
が筒部内壁面に沿って摺動自在となっている。
【００１１】本発明の１つの実施態様によれば、上記内
歯歯車が、キャリヤに噛合する主ギヤ部及び駆動源に連
結された駆動ギヤ部を有する回転自在の第１部分と、上
記ナット部材に連結されて非回転の第２部分とに分かれ
ていて、これらの両部分がベアリング手段を介して相互
に結合されている。
歯歯車が、キャリヤに噛合する主ギヤ部及び駆動源に連
結された駆動ギヤ部を有する回転自在の第１部分と、上
記ナット部材に連結されて非回転の第２部分とに分かれ
ていて、これらの両部分がベアリング手段を介して相互
に結合されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る平面研磨装置
の好ましい一つの実施形態を概略的に示すものである。
この研磨装置は、機体１０に同軸状に設けられた内歯歯
車１１と太陽歯車１２及び上下の定盤１３，１４とを有
し、上記両歯車１１，１２に噛合して太陽歯車１２の回
りを自転しながら公転する複数のキャリヤ１５に保持さ
せたワーク１６を、回転する上下の定盤１３，１４によ
り両側から挟持して研磨するもので、以下に詳述する内
歯歯車１１を上下動させるための機構を除けば、基本構
成及び研磨原理は公知の研磨装置と実質的に同じであ
る。
の好ましい一つの実施形態を概略的に示すものである。
この研磨装置は、機体１０に同軸状に設けられた内歯歯
車１１と太陽歯車１２及び上下の定盤１３，１４とを有
し、上記両歯車１１，１２に噛合して太陽歯車１２の回
りを自転しながら公転する複数のキャリヤ１５に保持さ
せたワーク１６を、回転する上下の定盤１３，１４によ
り両側から挟持して研磨するもので、以下に詳述する内
歯歯車１１を上下動させるための機構を除けば、基本構
成及び研磨原理は公知の研磨装置と実質的に同じであ
る。
【００１３】上記研磨装置における内歯歯車１１を上下
動させるための機構は、次のように構成されている。即
ち、上記機体１０に設けられた取付部１８には、大径の
中心歯車１９が、上記内歯歯車１１及び太陽歯車１２と
同軸状に位置して回転自在なるようにベアリング２０を
介して取り付けられ、モーター２１に連結された駆動歯
車２２と噛合することによって正逆方向に駆動回転され
るようになっている。
動させるための機構は、次のように構成されている。即
ち、上記機体１０に設けられた取付部１８には、大径の
中心歯車１９が、上記内歯歯車１１及び太陽歯車１２と
同軸状に位置して回転自在なるようにベアリング２０を
介して取り付けられ、モーター２１に連結された駆動歯
車２２と噛合することによって正逆方向に駆動回転され
るようになっている。
【００１４】また、機体１０上の上記中心歯車１９を取
り囲む位置には、複数（図示の例では３本）の昇降用駆
動軸２５が等角度間隔で回転自在なるように立設され、
これらの各駆動軸２５には、上記中心歯車１９と噛合す
る従動歯車２６が取り付けられ、該中心歯車１９の回転
によって各駆動軸２５が、互いに同じ方向に回転するよ
うになっている。図示の実施例では、従動歯車２６が直
接中心歯車１９に噛合しているが、別の中間歯車を間に
介在させることによって間接的に中心歯車１９に噛合さ
せても良い。
り囲む位置には、複数（図示の例では３本）の昇降用駆
動軸２５が等角度間隔で回転自在なるように立設され、
これらの各駆動軸２５には、上記中心歯車１９と噛合す
る従動歯車２６が取り付けられ、該中心歯車１９の回転
によって各駆動軸２５が、互いに同じ方向に回転するよ
うになっている。図示の実施例では、従動歯車２６が直
接中心歯車１９に噛合しているが、別の中間歯車を間に
介在させることによって間接的に中心歯車１９に噛合さ
せても良い。
【００１５】上記各駆動軸２５には雄螺子が切られてい
て、雌螺子が切られたナット部材２７がこの雄螺子の部
分に螺着され、各駆動軸２５の回転によってこのナット
部材２７が、該駆動軸２５に沿って上下動するようにな
っている。このナット部材２７は、駆動軸２５に螺合す
る雌螺子部の上部に筒部２８を有していて、この筒部２
８を介して内歯歯車１１に連結され、該ナット部材２７
の上下動によって内歯歯車１１が、該ナット部材２７と
一緒に上下動するようになっている。
て、雌螺子が切られたナット部材２７がこの雄螺子の部
分に螺着され、各駆動軸２５の回転によってこのナット
部材２７が、該駆動軸２５に沿って上下動するようにな
っている。このナット部材２７は、駆動軸２５に螺合す
る雌螺子部の上部に筒部２８を有していて、この筒部２
８を介して内歯歯車１１に連結され、該ナット部材２７
の上下動によって内歯歯車１１が、該ナット部材２７と
一緒に上下動するようになっている。
【００１６】上記ナット部材２７の筒部２８内には、上
記駆動軸２５の上端部が挿入され、該駆動軸２５の上端
部と筒部２８内壁との間には、該駆動軸２５を回転自在
に支持するベアリング２９が設けられ、該ベアリング２
９が筒部２８の内壁面に沿って摺動自在となっており、
これにより、各駆動軸２５が回転してナット部材２７が
上下動しても、該駆動軸２５の上端部が上記筒部２８に
よって確実に支持されるようになっている。即ち上記各
駆動軸２５は、下端部を機体１０の軸受部３０にベアリ
ング３１で回転自在に支持されると共に、上端部を上記
ナット部材２７（従って内歯歯車１１）に回転自在かつ
上下方向に相対的にスライド自在なるように支持されて
いる。
記駆動軸２５の上端部が挿入され、該駆動軸２５の上端
部と筒部２８内壁との間には、該駆動軸２５を回転自在
に支持するベアリング２９が設けられ、該ベアリング２
９が筒部２８の内壁面に沿って摺動自在となっており、
これにより、各駆動軸２５が回転してナット部材２７が
上下動しても、該駆動軸２５の上端部が上記筒部２８に
よって確実に支持されるようになっている。即ち上記各
駆動軸２５は、下端部を機体１０の軸受部３０にベアリ
ング３１で回転自在に支持されると共に、上端部を上記
ナット部材２７（従って内歯歯車１１）に回転自在かつ
上下方向に相対的にスライド自在なるように支持されて
いる。
【００１７】このように、上記駆動軸２５の上端を内歯
歯車１１に直接支持させることにより、上端専用の軸受
機構が不要となるため、機体１０の狭い場所に該軸受機
構を特別に設ける必要がなくなり、装置の構成が一層簡
単になると同時に、装置の設計及び組み立ても容易にな
る。特に、最近のこの種の研磨装置は、研磨精度を高め
るための精密で複雑な機構が多く組み込まれることによ
って装置の内部が非常に複雑に入り組んでいるため、上
述したような軸受機構を別途に設けるのは設計上非常に
困難である。従って、このような軸受機構を不要にした
ことによる効果は非常に大きい。
歯車１１に直接支持させることにより、上端専用の軸受
機構が不要となるため、機体１０の狭い場所に該軸受機
構を特別に設ける必要がなくなり、装置の構成が一層簡
単になると同時に、装置の設計及び組み立ても容易にな
る。特に、最近のこの種の研磨装置は、研磨精度を高め
るための精密で複雑な機構が多く組み込まれることによ
って装置の内部が非常に複雑に入り組んでいるため、上
述したような軸受機構を別途に設けるのは設計上非常に
困難である。従って、このような軸受機構を不要にした
ことによる効果は非常に大きい。
【００１８】また、上記駆動軸２５の両端部を機体１０
と内歯歯車１１とに支持させ、中間に上記従動歯車２６
を取り付けたことにより、該駆動軸２５の振れが完全に
防止されて従動歯車２６と中心歯車１９との噛み合いが
安定し、位置ずれ等を生じることがない。
と内歯歯車１１とに支持させ、中間に上記従動歯車２６
を取り付けたことにより、該駆動軸２５の振れが完全に
防止されて従動歯車２６と中心歯車１９との噛み合いが
安定し、位置ずれ等を生じることがない。
【００１９】なお、図示した実施例では、各駆動軸２５
が上下端の２箇所で回転自在に支持されていて、下端の
軸受部３０寄りの位置に上記従動歯車２６が取り付けら
れているが、この従動歯車２６よりやや上部の位置にも
う一つ軸受部を設けることにより、３箇所で支持させる
こともできる。これにより、駆動軸２５の支持及び従動
歯車２６と中心歯車１９との噛み合いが一層安定する。
が上下端の２箇所で回転自在に支持されていて、下端の
軸受部３０寄りの位置に上記従動歯車２６が取り付けら
れているが、この従動歯車２６よりやや上部の位置にも
う一つ軸受部を設けることにより、３箇所で支持させる
こともできる。これにより、駆動軸２５の支持及び従動
歯車２６と中心歯車１９との噛み合いが一層安定する。
【００２０】上記内歯歯車１１は、キャリヤ１５に噛合
する主ギヤ部３３及び図示しない駆動源に連結された駆
動ギヤ部３４を有する回転自在の第１部分１１ａと、上
記ナット部材２７に連結されて非回転の第２部分１１ｂ
とに分かれていて、これらの両部分１１ａ，１１ｂがベ
アリング手段３６を介して相互に結合されている。しか
し、内歯歯車が回転しないタイプの研磨装置において
は、該内歯歯車を第１部分と第２部分とに分ける必要は
ない。
する主ギヤ部３３及び図示しない駆動源に連結された駆
動ギヤ部３４を有する回転自在の第１部分１１ａと、上
記ナット部材２７に連結されて非回転の第２部分１１ｂ
とに分かれていて、これらの両部分１１ａ，１１ｂがベ
アリング手段３６を介して相互に結合されている。しか
し、内歯歯車が回転しないタイプの研磨装置において
は、該内歯歯車を第１部分と第２部分とに分ける必要は
ない。
【００２１】上記構成を有する平面研磨装置において、
ワーク１６を研磨するときは、図１の右半部に示すよう
に、モーター２１及び駆動歯車２２で中心歯車１９を一
方向に回転させて各駆動軸２５を回転させることによ
り、ナット部材２７及び内歯歯車１１を所定の高さまで
上昇させる。
ワーク１６を研磨するときは、図１の右半部に示すよう
に、モーター２１及び駆動歯車２２で中心歯車１９を一
方向に回転させて各駆動軸２５を回転させることによ
り、ナット部材２７及び内歯歯車１１を所定の高さまで
上昇させる。
【００２２】研磨が終了したワーク１６をキャリヤ１５
と一緒にスライドさせて取り出す場合などには、図１の
左半部に示すように、モーター２１及び駆動歯車２２で
中心歯車１９を逆方向に回転させて各駆動軸２５を回転
させることにより、ナット部材２７を下降させて内歯歯
車１１を所定の高さまで下降させる。キャリヤ１５との
噛合位置を変える場合も同様にして内歯歯車１１の高さ
を調整する。
と一緒にスライドさせて取り出す場合などには、図１の
左半部に示すように、モーター２１及び駆動歯車２２で
中心歯車１９を逆方向に回転させて各駆動軸２５を回転
させることにより、ナット部材２７を下降させて内歯歯
車１１を所定の高さまで下降させる。キャリヤ１５との
噛合位置を変える場合も同様にして内歯歯車１１の高さ
を調整する。
【００２３】かくして、緩み易いチェーンを使用するこ
となく、中心歯車１９と従動歯車２６とからなる歯車機
構によって内歯歯車１１を上下動させる方法は、チェー
ンを使用する場合のような張力付与のためのテンショナ
ー等を一切必要とせず、構造が非常に簡単である。しか
も、緩み易いチェーンを使用する場合に多い各駆動軸２
５間の回転角が相対的に変化するといった問題が全くな
いため、内歯歯車１１の水平を出すための調整を行う必
要がなく、保守管理も非常に容易である。
となく、中心歯車１９と従動歯車２６とからなる歯車機
構によって内歯歯車１１を上下動させる方法は、チェー
ンを使用する場合のような張力付与のためのテンショナ
ー等を一切必要とせず、構造が非常に簡単である。しか
も、緩み易いチェーンを使用する場合に多い各駆動軸２
５間の回転角が相対的に変化するといった問題が全くな
いため、内歯歯車１１の水平を出すための調整を行う必
要がなく、保守管理も非常に容易である。
【００２４】なお、太陽歯車１２を内歯歯車１１と一緒
に上下動させたい場合は、該太陽歯車１２を上記第２部
材に適宜の連結機構を介して連結すれば良い。
に上下動させたい場合は、該太陽歯車１２を上記第２部
材に適宜の連結機構を介して連結すれば良い。
【００２５】また、図示した実施例では、内歯歯車１１
及び太陽歯車１２として、歯車基体の内外周に歯を切っ
たものが示されているが、歯車基体に所定のピッチで複
数のピンを植設したピン歯車であっても良いことは勿論
である。更に、本発明は上記実施例の構成に限定される
ものではなく、課題を解決し得る構成の範囲内で種々の
改変を加え得ることは、ここで改めて述べるほどのこと
でもなく、至極当たり前のことである。
及び太陽歯車１２として、歯車基体の内外周に歯を切っ
たものが示されているが、歯車基体に所定のピッチで複
数のピンを植設したピン歯車であっても良いことは勿論
である。更に、本発明は上記実施例の構成に限定される
ものではなく、課題を解決し得る構成の範囲内で種々の
改変を加え得ることは、ここで改めて述べるほどのこと
でもなく、至極当たり前のことである。
【００２６】
【発明の効果】このように本発明によれば、構造が簡単
で水平調節のための手数を殆ど必要としない、内歯歯車
用の昇降機構を備えた平面研磨装置を得ることができ
る。
で水平調節のための手数を殆ど必要としない、内歯歯車
用の昇降機構を備えた平面研磨装置を得ることができ
る。
【図１】本発明に係る研磨装置の好ましい一実施形態を
概略的に示す断面図で、右半部は内歯歯車を上昇させた
状態を示し、左半部は内歯歯車を下降させた状態を示す
ものである。
概略的に示す断面図で、右半部は内歯歯車を上昇させた
状態を示し、左半部は内歯歯車を下降させた状態を示す
ものである。
【図２】図１のＡ−Ａにおける断面図である。
【図３】従来例を原理的に示す断面図である。
１０ 機体 １１ 内歯歯車
１１ａ 第１部分 １１ｂ 第２部分
１３ 上定盤 １４ 下定盤
１５ キャリヤ １６ ワーク
１９ 中心歯車 ２２ 駆動歯車
２５ 駆動軸 ２６ 従動歯車
２７ ナット部材 ２８ 筒部
２９ ベアリング ３３ 主ギヤ部
３４ 駆動ギヤ部 ３６ ベアリング手段
Claims (4)
- 【請求項１】機体に同軸状に設けられた内歯歯車と太陽
歯車及び上下の定盤を有し、両歯車に噛合して遊星運動
するキャリヤに保持されたワークを回転する上下の定盤
により研磨する平面研磨装置において、 上記機体に上記両歯車と同軸状に位置する大径の中心歯
車を設けると共に、該中心歯車を回転させる駆動手段を
設け、 上記中心歯車を取り囲む位置に複数の昇降用駆動軸を等
角度間隔で回転自在なるように立設し、各駆動軸に、上
記中心歯車に直接又は中間歯車を介して間接的に噛合す
る従動歯車を取り付けるとともに、該駆動軸の正逆回転
により上下動するナット部材を螺着し、上記内歯歯車を
上下動自在として、該内歯歯車に上記ナット部材を連結
した、ことを特徴とする内歯歯車昇降機構付き平面研磨
装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の平面研磨装置において、
上記各駆動軸が、下端を機体に回転自在に支持されると
共に、上端を内歯歯車に回転自在かつ上下方向に相対的
にスライド自在なるように支持されていることを特徴と
するもの。 - 【請求項３】請求項２に記載の平面研磨装置において、
上記ナット部材が、駆動軸に螺合する雌螺子部の上部に
筒部を有していて、該筒部内に上記駆動軸の上端部が挿
入され、該駆動軸の上端部と筒部内壁との間に該駆動軸
を回転自在に支持するベアリングが設けられ、該ベアリ
ングが筒部内壁面に沿って摺動自在であることを特徴と
するもの。 - 【請求項４】請求項１から３までの何れか１つに記載の
平面研磨装置において、上記内歯歯車が、キャリヤに噛
合する主ギヤ部及び駆動源に連結された駆動ギヤ部を有
する回転自在の第１部分と、上記ナット部材に連結され
て非回転の第２部分とに分かれていて、これらの両部分
がベアリング手段を介して相互に結合されていることを
特徴とするもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23738598A JP4070890B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23738598A JP4070890B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061829A true JP2000061829A (ja) | 2000-02-29 |
| JP4070890B2 JP4070890B2 (ja) | 2008-04-02 |
Family
ID=17014615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23738598A Expired - Fee Related JP4070890B2 (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | 内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4070890B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014103984A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
| CN110774162A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-11 | 天津布莱德尔机床有限公司 | 一种研磨机下盘和研磨机 |
| CN115366005A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-11-22 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种用于平面加工研磨抛光设备的螺纹升降机构 |
-
1998
- 1998-08-24 JP JP23738598A patent/JP4070890B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014103984A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
| JP6042453B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2016-12-14 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
| CN110774162A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-11 | 天津布莱德尔机床有限公司 | 一种研磨机下盘和研磨机 |
| CN115366005A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-11-22 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种用于平面加工研磨抛光设备的螺纹升降机构 |
| CN115366005B (zh) * | 2022-07-18 | 2024-05-28 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种用于平面加工研磨抛光设备的螺纹升降机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4070890B2 (ja) | 2008-04-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2796750B1 (en) | Epicyclic gear train | |
| CN106064339A (zh) | 双面抛光设备和抛光方法 | |
| JP2000061829A (ja) | 内歯歯車昇降機構付き平面研磨装置 | |
| KR20010084503A (ko) | 작업대상물 이송장치 | |
| CN2763310Y (zh) | 电脑六色调线提花机的传动机构 | |
| JP3234881B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| CN113927393A (zh) | 一种减速器行星齿轮加工设备 | |
| JPH07194662A (ja) | 昇降支持装置 | |
| JP2006150507A (ja) | 平行平面研磨盤 | |
| JP2008018514A (ja) | 平面研磨装置 | |
| CN210422073U (zh) | 立体车库车辆的升降与旋转定位机构 | |
| CN216420072U (zh) | 一种滚轴筛传动机构 | |
| CN218306995U (zh) | 一种施工场地降尘装置 | |
| JPH08129Y2 (ja) | 板状物研磨装置 | |
| CN113658900B (zh) | 晶圆蓝膜的张紧和调节装置 | |
| JP2005163329A (ja) | 作品展示壁 | |
| JP2001252864A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
| CN215638726U (zh) | 一种用于回转窑的翻转装置 | |
| CN219841149U (zh) | 一种管道支撑装置 | |
| CN116511365B (zh) | 一种港口机械设备轮圈防偏移的拱圈装置 | |
| CN215659529U (zh) | 一种全自动数控铝材外表面打磨装置 | |
| CN108916330B (zh) | 一种传动装置 | |
| JPH1041371A (ja) | ピッチ可変ウェハ移載ハンド | |
| JP3230090B2 (ja) | ロボットアーム | |
| JP2000072243A (ja) | 容器間隔調整装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050725 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070625 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071218 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080116 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |