CN113658900B - 晶圆蓝膜的张紧和调节装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了晶圆蓝膜的张紧和调节装置，涉及张紧调节装置技术领域；包括基座，所述基座上间隔设置有支架，支架远离基座的一端固定连接有支撑板，输送机构固定连接在支撑板远离基座的一端，驱动机构固定连接在基座远离支架的一端，张紧机构固定连接在基座远离驱动机构的一端，且与支撑板滑动连接，调节机构转动连接在驱动机构的内部；本发明的有益效果是：所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置能够在晶圆蓝膜输送的过程中自动化的进行张紧调节，还能够在更换晶圆蓝膜时只需要调节调节机构就能够对更换后的晶圆蓝膜在输送时进行张紧，提高了装置的张紧效果，也减少了工作人员的工作量，节约了时间，提高了装置的工作量效率以及实用性。

Description

晶圆蓝膜的张紧和调节装置

技术领域

本发明涉及张紧调节装置技术领域，具体是晶圆蓝膜的张紧和调节装置。

背景技术

随着科技的不断发展，半导体行业也在不断的推陈出现，半导体也成为了社会发展中不可或缺的一项，在半导体行业的生产制造中，晶圆蓝膜的使用是非常普遍的，晶圆蓝膜是指在半导体行业中，制作晶圆的过程中使用作为切割研磨晶圆辅助工具的一种蓝膜，能够更容易实现晶圆的精确加工。

现有技术中，大多装置在进行晶圆蓝膜输送时，只能够在输送的过程中根据实现情况人为的进行简单的张紧，且在更换晶圆蓝膜时，需要将张紧机构复位后才能够进行下一次的张紧作用，不仅降低了装置的张紧效果，也增加了时间以及工作量，降低了装置的工作量效率以及装置的实用性。

发明内容

本发明的目的在于提供晶圆蓝膜的张紧和调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

晶圆蓝膜的张紧和调节装置，所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置包括：

基座，所述基座上间隔设置有支架，支架远离基座的一端固定连接有支撑板；基座用于安装驱动机构，支撑板用于安装输送机构以及张紧机构；以及

输送机构，所述输送机构固定连接在支撑板远离基座的一端；用于输送晶圆蓝膜；

驱动机构，所述驱动机构固定连接在基座远离支架的一端，且与输送机构传动连接；用于为张紧机构以及输送机构提供转动动力；所述驱动机构包括：

驱动箱体，所述驱动箱体固定连接在基座远离支架的一端；以及

从动轴，所述从动轴转动连接在驱动箱体的内部，且贯穿基座并与基座转动连接；

主动轴，所述主动轴转动连接在驱动箱体的侧面内，且主动轴设置在驱动箱体内部的一端固定连接有主动件；

移动套筒，所述移动套筒滑动连接在从动轴的外侧面，且移动套筒的两端均固定连接有从动件，从动件与主动件间歇啮合；

驱动轴，所述驱动轴转动连接在基座以及支撑板的内部，且驱动轴靠近主动轴的一端通过第一传动件与主动轴传动连接，驱动轴远离第一传动件的一端通过第二传动件与输送机构传动连接；

张紧机构，所述张紧机构固定连接在基座远离驱动机构的一端，且与驱动机构固定连接，并与支撑板滑动连接；用于在输送机构输送晶圆蓝膜的过程中，对晶圆蓝膜进行张紧；

调节机构，所述调节机构转动连接在驱动机构的内部；用于带动驱动机构位移调节，进而实现驱动机构正反方向转动；所述调节机构包括：

转轴，所述转轴转动连接在驱动箱体远离主动轴的一侧，转轴设置在驱动箱体外部的一端固定连接有驱动件，转轴相对于驱动件的另一端固定连接有转盘；以及

转动环，所述转动环转动连接在移动套筒的外侧面，转动环靠近转盘的一端固定连接有连接件；

固定轴，所述固定轴分别固定连接在连接件靠近转轴的一侧以及转盘靠近移动套筒的一侧，且固定轴之间铰接有连接杆。

作为本发明进一步的方案：所述输送机构包括：

输送支架，所述输送支架间隔设置在支撑板远离基座的一端，且输送支架设置有多个，任一侧两端的输送支架之间远离支撑板的一端转动连接有辊筒，且远离辊筒一侧两端的输送支架之间转动连接有安装轴；以及

蓝膜卷筒，所述蓝膜卷筒可拆卸连接在安装轴的外侧面。

作为本发明再进一步的方案：从动轴的外侧面固定连接有多个肋板，所述肋板用于带动从动轴转动。

作为本发明再进一步的方案：移动套筒的内部设置有从动轴槽，所述从动轴槽用于安装从动轴，从动轴槽的内部设置有多个肋板槽，所述肋板槽用于安装肋板。

作为本发明再进一步的方案：所述张紧机构包括：

螺杆，所述螺杆固定连接在从动轴设置在基座外部的一端；以及

限位杆，所述限位杆固定连接在基座靠近螺杆的一侧；

移动块，所述移动块与螺杆螺纹连接，并与限位杆滑动连接，移动块远离基座的一端固定连接有张紧支架，张紧支架与支撑板滑动连接，且张紧支架之间间隔设置有张紧辊筒，张紧辊筒设置在支撑板远离基座的一端。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置通过驱动轴带动晶圆蓝膜输送的同时带动主动轴以及主动件转动，从动件以及移动套筒随之转动，且靠近基座一端的从动件与主动件相互啮合时，移动套筒带动从动轴正转，螺杆随之转动带动移动块以及张紧支架向上移动，上端的张紧辊筒在蓝膜卷筒不断输送的过程中向上移动，始终保证晶圆蓝膜的张紧效果，更换新的蓝膜卷筒后，通过驱动件带动转轴以及转盘转动，在固定轴以及连接杆的转动作用下，连接件以及转动环随之向上移动，带动移动套筒向上滑动，此时远离基座一端的从动件与主动件相啮合，接着再次通过驱动轴带动在晶圆蓝膜输送的同时带动从动轴反转，下端的张紧辊筒在蓝膜卷筒不断输送的过程中向下移动，始终保证晶圆蓝膜的张紧效果；装置不仅能够在晶圆蓝膜输送的过程中自动化的进行张紧调节，始终保持晶圆蓝膜处于张紧状态，还能够在更换晶圆蓝膜时只需要调节调节机构就能够对更换后的晶圆蓝膜在输送时进行张紧，不在局限于只能够将张紧结构复位后更换晶圆蓝膜，提高了装置的张紧效果，也减少了工作人员的工作量，节约了时间，有效的提高了装置的工作量效率以及装置的实用性。

附图说明

图1为晶圆蓝膜的张紧和调节装置中张紧机构上升时的结构示意图。

图2为晶圆蓝膜的张紧和调节装置中张紧机构下降时的结构示意图。

图3为晶圆蓝膜的张紧和调节装置中驱动机构以及调节机构的结构示意图。

图4为晶圆蓝膜的张紧和调节装置中从动轴以及移动套筒的横截面结构示意图。

图5为晶圆蓝膜的张紧和调节装置中从动轴以及移动套筒的结构示意图。

图中：基座-1、支架-11、支撑板-12、输送机构-2、辊筒-21、输送支架-22、蓝膜卷筒-23、安装轴-24、张紧机构-3、张紧支架-31、张紧辊筒-32、限位杆-33、移动块-34、螺杆-35、调节机构-4、驱动件-41、转轴-42、转盘-43、连接杆-44、连接件-45、转动环-46、固定轴-47、驱动机构-5、从动轴-51、肋板-511、移动套筒-52、从动轴槽-521、肋板槽-522、从动件-53、驱动箱体-54、主动件-55、主动轴-56、第一传动件-57、驱动轴-58、第二传动件-59。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～5，本发明实施例提供的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置包括：

基座1，所述基座1上间隔设置有支架11，支架11远离基座1的一端固定连接有支撑板12；基座1用于安装驱动机构5，支撑板12用于安装输送机构2以及张紧机构3；

输送机构2，所述输送机构2固定连接在支撑板12远离基座1的一端；用于输送晶圆蓝膜；输送机构2的结构简单，能够自动化的输送晶圆蓝膜；

驱动机构5，所述驱动机构5固定连接在基座1远离支架11的一端，且与输送机构2传动连接；用于为张紧机构3以及输送机构2提供转动动力；驱动机构5的结构比较的简单，传动平稳，能够在输送机构2工作的同时为张紧机构3提供转动动力，节约了时间，提高了装置的工作效率；

张紧机构3，所述张紧机构3固定连接在基座1远离驱动机构5的一端，且与驱动机构5固定连接，并与支撑板12滑动连接；用于在输送机构2输送晶圆蓝膜的过程中，对晶圆蓝膜进行张紧，能够在输送的过程中，带动晶圆蓝膜位移调节，进而能够始终保持晶圆蓝膜处于张紧状态，有效的提高了装置的输送效果，进一步的提高了装置的工作效率；

调节机构4，所述调节机构4转动连接在驱动机构5的内部；用于带动驱动机构5位移调节，进而实现驱动机构5正反方向转动；能够自动化的实现驱动机构5的位移调节，节约了时间，且传动比较稳定，提高了装置的工作效率。

请参阅图1～2，在本发明的一个实施例中，所述输送机构2包括：

输送支架22，所述输送支架22间隔设置在支撑板12远离基座1的一端，且输送支架22设置有多个，并分布在支撑板12的各个顶点处，且任一侧两端的输送支架22之间远离支撑板12的一端转动连接有辊筒21，且远离辊筒21一侧两端的输送支架22之间转动连接有安装轴24；安装轴24用于安装蓝膜卷筒23；以及

蓝膜卷筒23，所述蓝膜卷筒23可拆卸连接在安装轴24的外侧面；在外部驱动的作用下，晶圆蓝膜输送带动辊筒21在辊筒21的内部转动，且蓝膜卷筒23带动安装轴24在辊筒21的内部转动。

除了上述技术方案以外，本发明的输送机构2的实施例中，辊筒21的类型可以采用无动力辊筒以及内牙轴式辊筒。

请参阅图1～3，在本发明的一个实施例中，所述驱动机构5包括：

驱动箱体54，所述驱动箱体54固定连接在基座1远离支架11的一端；用于安装从动轴51、主动轴56以及调节机构4；以及

从动轴51，所述从动轴51转动连接在驱动箱体54的内部，且贯穿基座1并与基座1转动连接；从动轴51能够在驱动箱体54以及基座1的内部转动，为张紧机构3提供转动动力；

主动轴56，所述主动轴56转动连接在驱动箱体54的侧面内，且主动轴56设置在驱动箱体54内部的一端固定连接有主动件55；主动轴56以及主动件55能够在驱动箱体54的内部转动；

移动套筒52，所述移动套筒52滑动连接在从动轴51的外侧面，且移动套筒52的两端均固定连接有从动件53，从动件53与主动件55间歇啮合，当一端的从动件53与主动件55相互啮合时，另一端的从动件53与主动件55相互分离；主动件55转动，进而在啮合作用下，能够带动从动件53转动，移动套筒52随之转动并带动从动轴51转动，且当靠近基座1一端的从动件53与主动件55相互啮合时，从动轴51随之正转，当移动套筒52带动从动件53沿着从动轴51滑动，远离基座1一端的从动件53与主动件55相互啮合时，从动轴51随之反转；

驱动轴58，所述驱动轴58转动连接在基座1以及支撑板12的内部，且驱动轴58靠近主动轴56的一端通过第一传动件57与主动轴56传动连接，驱动轴58远离第一传动件57的一端通过第二传动件与输送机构2传动连接；驱动轴58转动能够通过第一传动件57带动主动轴56转动的同时通过第二传动件59带动辊筒21转动。

除了上述技术方案以外，本发明的驱动机构5的实施例中，除了采用滑动的方式实现不同的啮合进而调节转向，还可以通过旋转调节的方式，通过转动进而实现与驱动件的不同配合，从而实现正反转的功能；第一传动件57以及第二传动件59的类型可以采用齿轮传动、带传动以及链传动等传动方式。

请参阅图4～5，在本发明的一个实施例中，从动轴51的外侧面固定连接有多个肋板511，所述肋板511呈环形阵列分布在从动轴51的外侧面；能够在移动套筒52滑动时起到一定的导向作用，并能够带动从动轴51随着移动套筒52的转动而转动。

请参阅图4～5，在本发明的一个实施例中，移动套筒52的内部设置有从动轴槽521，所述从动轴槽521用于安装从动轴51，且与从动轴51滑动连接，从动轴槽521的内部设置有多个肋板槽522，所述肋板槽522用于安装肋板511，且与肋板511滑动连接。

请参阅图1～2，在本发明的一个实施例中，所述张紧机构3包括：

螺杆35，所述螺杆35固定连接在从动轴51设置在基座1外部的一端；螺杆35能够随着从动轴51的转动而转动；以及

限位杆33，所述限位杆33固定连接在基座1靠近螺杆35的一侧，起到一定的限位作用；

移动块34，所述移动块34套设在螺杆35以及限位杆33的外侧面，且与螺杆35螺纹连接，与限位杆33滑动连接，移动块34远离基座1的一端固定连接有张紧支架31，张紧支架31贯穿支撑板12并与支撑板12滑动连接，且张紧支架31之间间隔设置转动连接有张紧辊筒32，张紧辊筒32设置在支撑板12远离基座1的一端；螺杆35转动进而能够带动移动块34沿着螺杆35以及限位杆33上下移动，张紧支架31随之沿着支撑板12上下滑动，张紧辊筒32随之上下移动，对晶圆蓝膜进行张紧。

除了上述技术方案以外，本发明的张紧机构3的实施例还可以采用齿轮齿条机构、连杆机构以及曲柄滑块机构实现张紧支架31的位移调节。

请参阅图1～3，在本发明的一个实施例中，所述调节机构4包括：

转轴42，所述转轴42转动连接在驱动箱体54远离主动轴56的一侧，转轴42设置在驱动箱体54外部的一端固定连接有驱动件41，转轴42相对于驱动件41的另一端固定连接有转盘43；驱动件41用于驱动转轴42在驱动箱体54的侧面内部转动，转轴42转动能够带动转盘43转动；以及

转动环46，所述转动环46转动连接在移动套筒52的外侧面，转动环46靠近转盘43的一端固定连接有连接件45；连接件45用于安装固定轴47；移动套筒52能够在转动环46的内部转动，且连接件45移动进而带动转动环46移动，从而带动移动套筒52沿着从动轴51上下滑动；

固定轴47，所述固定轴47分别固定连接在连接件45靠近转轴42的一侧以及转盘43靠近移动套筒52的一侧，且固定轴47之间铰接有连接杆44；转盘43转动进而带动转盘43上的固定轴47转动，在连接杆44的作用下，带动连接件45上的固定轴47上下移动。

除了上述技术方案以外，本发明的调节机构4的实施例还可以采用凸轮机构、连杆机构、电动伸缩杆或液压气缸等驱动方式实现转动环46的位移调节；驱动件41的类型也可以采用手动摇杆、电机以及马达等驱动方式。

本发明的工作原理是：

开始工作前，首先将待使用的蓝膜卷筒23安装固定在安装轴24的外侧面，然后将晶圆蓝膜依次穿过上端的张紧辊筒32以及辊筒21，且此时靠近基座1一端的从动件53与主动件55相互啮合，然后启动驱动轴58转动，通过第二传动件59带动辊筒21转动进行晶圆蓝膜输送的同时通过第一传动件57带动主动轴56在驱动箱体54的内部转动，主动件55随之转动，在啮合作用下，带动从动件53转动，移动套筒52随之转动并通过肋板511带动从动轴51正转，螺杆35随之转动进而能够带动移动块34沿着螺杆35以及限位杆33向上移动，张紧支架31随之沿着支撑板12上下滑动，且上端的张紧辊筒32能够在蓝膜卷筒23不断输送的过程中向上移动，进而在蓝膜卷筒23的直径不断减小的情况下始终保证晶圆蓝膜的张紧效果，当蓝膜卷筒23输送完毕需要更换时，此时将新的蓝膜卷筒23固定在安装轴24的外侧面，然后将晶圆蓝膜穿过下端的张紧辊筒32以及辊筒21，然后启动驱动件41，在驱动件41的作用下，带动转轴42以及转盘43转动，转盘43上的固定轴47随之转动，带动连接杆44转动的同时带动连接件45上的固定轴47向上移动，连接件45以及转动环46随之向上移动，进而带动移动套筒52内部的从动轴槽521以及肋板槽522沿着从动轴51以及肋板511向上滑动，使远离基座1一端的从动件53与主动件55相互啮合，接着再次启动驱动轴58，在晶圆蓝膜输送的同时带动从动轴51反转，下端的张紧辊筒32能够在蓝膜卷筒23不断输送的过程中向下移动，进而在蓝膜卷筒23的直径不断减小的情况下始终保证晶圆蓝膜的张紧效果。

所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置通过驱动轴58带动晶圆蓝膜输送的同时带动主动轴56以及主动件55转动，从动件53以及移动套筒52随之转动，且靠近基座1一端的从动件53与主动件55相互啮合时，移动套筒52带动从动轴51正转，螺杆35随之转动带动移动块34以及张紧支架31向上移动，上端的张紧辊筒32在蓝膜卷筒23不断输送的过程中向上移动，始终保证晶圆蓝膜的张紧效果，更换新的蓝膜卷筒23后，通过驱动件41带动转轴42以及转盘43转动，在固定轴47以及连接杆44的转动作用下，连接件45以及转动环46随之向上移动，带动移动套筒52向上滑动，此时远离基座1一端的从动件53与主动件55相啮合，接着再次通过驱动轴58带动在晶圆蓝膜输送的同时带动从动轴51反转，下端的张紧辊筒32在蓝膜卷筒23不断输送的过程中向下移动，始终保证晶圆蓝膜的张紧效果；装置不仅能够在晶圆蓝膜输送的过程中自动化的进行张紧调节，始终保持晶圆蓝膜处于张紧状态，还能够在更换晶圆蓝膜时只需要调节调节机构4就能够对更换后的晶圆蓝膜在输送时进行张紧，不在局限于只能够将张紧结构复位后更换晶圆蓝膜，提高了装置的张紧效果，也减少了工作人员的工作量，节约了时间，有效的提高了装置的工作量效率以及装置的实用性。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置包括：

基座，所述基座上间隔设置有支架，支架远离基座的一端固定连接有支撑板；基座用于安装驱动机构，支撑板用于安装输送机构以及张紧机构；以及

输送机构，所述输送机构固定连接在支撑板远离基座的一端；用于输送晶圆蓝膜；

驱动机构，所述驱动机构固定连接在基座远离支架的一端，且与输送机构传动连接；用于为张紧机构以及输送机构提供转动动力；所述驱动机构包括：

驱动箱体，所述驱动箱体固定连接在基座远离支架的一端；以及

从动轴，所述从动轴转动连接在驱动箱体的内部，且贯穿基座并与基座转动连接；

主动轴，所述主动轴转动连接在驱动箱体的侧面内，且主动轴设置在驱动箱体内部的一端固定连接有主动件；

移动套筒，所述移动套筒滑动连接在从动轴的外侧面，且移动套筒的两端均固定连接有从动件，从动件与主动件间歇啮合；

驱动轴，所述驱动轴转动连接在基座以及支撑板的内部，且驱动轴靠近主动轴的一端通过第一传动件与主动轴传动连接，驱动轴远离第一传动件的一端通过第二传动件与输送机构传动连接；

张紧机构，所述张紧机构固定连接在基座远离驱动机构的一端，且与驱动机构固定连接，并与支撑板滑动连接；用于在输送机构输送晶圆蓝膜的过程中，对晶圆蓝膜进行张紧；

调节机构，所述调节机构转动连接在驱动机构的内部；用于带动驱动机构位移调节，进而实现驱动机构正反方向转动；所述调节机构包括：

转轴，所述转轴转动连接在驱动箱体远离主动轴的一侧，转轴设置在驱动箱体外部的一端固定连接有驱动件，转轴相对于驱动件的另一端固定连接有转盘；以及

转动环，所述转动环转动连接在移动套筒的外侧面，转动环靠近转盘的一端固定连接有连接件；

固定轴，所述固定轴分别固定连接在连接件靠近转轴的一侧以及转盘靠近移动套筒的一侧，且固定轴之间铰接有连接杆。

2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述输送机构包括：

输送支架，所述输送支架间隔设置在支撑板远离基座的一端，且输送支架设置有多个，任一侧两端的输送支架之间远离支撑板的一端转动连接有辊筒，且远离辊筒一侧两端的输送支架之间转动连接有安装轴；以及

蓝膜卷筒，所述蓝膜卷筒可拆卸连接在安装轴的外侧面。

3.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，从动轴的外侧面固定连接有肋板，所述肋板用于带动从动轴转动。

4.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，移动套筒的内部设置有从动轴槽，所述从动轴槽用于安装从动轴，从动轴槽的内部设置有肋板槽，肋板槽用于安装肋板。

5.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述张紧机构包括：

螺杆，所述螺杆固定连接在从动轴设置在基座外部的一端；以及

限位杆，所述限位杆固定连接在基座靠近螺杆的一侧；

移动块，所述移动块与螺杆螺纹连接，并与限位杆滑动连接，移动块远离基座的一端固定连接有张紧支架，张紧支架与支撑板滑动连接，且张紧支架之间间隔设置有张紧辊筒，张紧辊筒设置在支撑板远离基座的一端。