CN112951751A - 一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备 - Google Patents

一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其结构包括底板、档杆、装配架、张紧机构档杆后端两侧通过螺钉固定于装配架前端表面，装配架下端焊接固定于底板上方两端，本发明在对完成覆膜的晶圆进行表面薄膜张紧压平工序时，通过小幅度的调节调节滑块的高度即可将晶圆直接放置于张紧机构之中，并通过碾平辊的碾压而将晶圆表面薄膜与晶圆连接处之中的空气排出并将薄膜均匀的平铺至晶圆的表面，而在晶圆的厚度改变后，限位器之中设有的套环可通过自身的活动并通过复动器对套环的支撑，使碾平辊之间的角度通过自身的自主微调，使自身完全贴合于晶圆的厚度，并对晶圆表面的薄膜进行碾压，避免出现晶圆厚度改变后，无法完全的平铺薄膜的情况出现。

Description

一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备
技术领域
本发明涉及晶圆涂膜领域，更具体的，是涉及一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备。
背景技术
在对芯片进行生产时，预先的是采用硅锭，并对硅锭进行分切，使硅锭呈现片装，并成为晶圆，在晶圆成型后，通过对晶圆的打磨处理并对晶圆表面进行覆膜，使晶圆可在光刻机内部进行电路刻蚀，并且在完成电路刻蚀后进行分切才可完成芯片的生产，但在对晶圆进行电路刻蚀之前需要在晶圆的表面进行多次的覆膜，通过覆膜材质对晶圆的作用，使光刻机内部的激光可通过覆膜的材质而对光线进行折射并实现电路的刻蚀，但在覆膜时，覆膜的平整度对晶圆的电路刻蚀会产生极大的影响，为了保证覆膜的平整，在覆膜后会对覆膜进行后续张紧以及角度的调整，但在对晶圆表面的覆膜进行角度调整时，因晶圆材质的特性导致晶圆脆性极高，无法承受设备过大的力，并且因电路刻蚀为三维刻蚀，对一些特殊芯片加工时晶圆的厚度会进行改变，但因覆膜张紧设备预先已经完成调节固定，而晶圆的厚度改变需要重新对张紧设备进行调节，但晶圆的精度极高，在进行调节后尺寸会有一定程度的改变，导致覆膜的张紧效果无法达到最完美的状态。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，解决了在对晶圆表面的覆膜进行角度调整时，因晶圆材质的特性导致晶圆脆性极高，无法承受设备过大的力，并且因电路刻蚀为三维刻蚀，对一些特殊芯片加工时晶圆的厚度会进行改变，但因覆膜张紧设备预先已经完成调节固定，而晶圆的厚度改变需要重新对张紧设备进行调节，但晶圆的精度极高，在进行调节后尺寸会有一定程度的改变，导致覆膜的张紧效果无法达到最完美的状态的问题。
针对上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其结构包括底板、档杆、装配架、张紧机构、调节滑块，所述档杆后端两侧通过螺钉固定于装配架前端表面，所述装配架下端焊接固定于底板上方两端，所述张紧机构右端外壁嵌套卡合于调节滑块内壁，所述调节滑块外壁活动卡合于装配架内壁；
所述张紧机构由连接轴、装配块、碾平辊、限位器组成，所述连接轴右侧嵌套卡合于调节滑块内壁，所述装配块右侧活动卡合于碾平辊左侧，所述碾平辊内壁嵌套固定于连接轴外壁，所述限位器内壁嵌套卡合于连接轴外壁。
作为本发明优选的，所述限位器由固定座、卡合环、定位环、连板组成，所述固定座一端焊接固定于卡合环之间外壁，所述定位环外壁嵌固固定于连板内壁，所述连板上下两端焊接连接于固定座之间，所述卡合环内壁嵌套固定于连接轴外壁，所述卡合环共设有两个，平行排列于连板上下两端。
作为本发明优选的，所述卡合环由嵌套槽、外环、卡位环、复动器、套环组成，所述嵌套槽外壁嵌固固定于外环下端内部，所述卡位环一端活动卡合于卡位环外壁，所述卡位环内壁焊接固定于套环外壁，所述套环装配于外环内部，所述外环下端外壁活动配合于固定座一端，所述复动器其结构为V字形结构。
作为本发明优选的，所述复动器由复位器、连杆、嵌卡块、定卡板组成，所述复位器一端固定卡合于外环内部，所述连杆上端外壁嵌套卡合于复位器下端内壁，所述嵌卡块外壁焊接固定于复位器上端，所述定卡板上端焊接连接于连杆下端。
作为本发明优选的，所述复位器内部设有活动槽、导力座、磁杆、引导板、升降器，所述活动槽内壁活动配合于连杆上端外壁，所述导力座两侧内壁卡合连接于升降器两端，所述磁杆嵌固固定于引导板上端内壁，所述引导板下端内壁嵌套卡合于升降器外壁，所述升降器上端与磁杆下端有斥力配合，所述升降器其结构位倒T字型结构。
作为本发明优选的，所述升降器由环体、连横杆、辅位板、夹位板、弹簧组成，所述环体外壁装配于引导板下端内壁，所述连横杆中段嵌套卡合于环体内壁，所述辅位板上端焊接固定于环体上端内部，所述夹位板下端活动配合于连横杆中心上端，所述弹簧左侧通过卡扣固定于夹位板两端外壁，所述连横杆中心上端与夹位板连接位置其结构为三角形结构。
有益效果
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
本发明在对完成覆膜的晶圆进行表面薄膜张紧压平工序时，通过小幅度的调节调节滑块的高度即可将晶圆直接放置于张紧机构之中，并通过碾平辊的碾压而将晶圆表面薄膜与晶圆连接处之中的空气排出并将薄膜均匀的平铺至晶圆的表面，而在晶圆的厚度改变后，限位器之中设有的套环可通过自身的活动并通过复动器对套环的支撑，使碾平辊之间的角度通过自身的自主微调，使自身完全贴合于晶圆的厚度，并对晶圆表面的薄膜进行碾压，避免出现晶圆厚度改变后，无法完全的平铺薄膜的情况出现。
附图说明
图1为发明一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备的结构示意图。
图2为发明张紧机构的主视结构示意图。
图3为发明限位器的右视结构示意图。
图4为发明卡合环的剖视结构示意图。
图5为发明复动器的结构示意图。
图6为发明复位器的剖视结构示意图。
图7为发明升降器的剖视结构示意图。
图中：底板-1、档杆-2、装配架-3、张紧机构-4、调节滑块-5、连接轴-41、装配块-42、碾平辊-43、限位器-44、固定座-a1、卡合环-a2、定位环-a3、连板-a4、嵌套槽-b1、外环-b2、卡位环-b3、复动器-b4、套环-b5、复位器-c1、连杆-c2、嵌卡块-c3、定卡板-c4、活动槽-d1、导力座-d2、磁杆-d3、引导板-d4、升降器-d5、环体-e1、连横杆-e2、辅位板-e3、夹位板-e4、弹簧-e5。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
实施例1
如附图1至附图4所示，本发明提供一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其结构包括底板1、档杆2、装配架3、张紧机构4、调节滑块5，所述档杆2后端两侧通过螺钉固定于装配架3前端表面，所述装配架3下端焊接固定于底板1上方两端，所述张紧机构4右端外壁嵌套卡合于调节滑块5内壁，所述调节滑块5外壁活动卡合于装配架3内壁；
所述张紧机构4由连接轴41、装配块42、碾平辊43、限位器44组成，所述连接轴41右侧嵌套卡合于调节滑块5内壁，所述装配块42右侧活动卡合于碾平辊43左侧，所述碾平辊43内壁嵌套固定于连接轴41外壁，所述限位器44内壁嵌套卡合于连接轴41外壁。
其中，所述限位器44由固定座a1、卡合环a2、定位环a3、连板a4组成，所述固定座a1一端焊接固定于卡合环a2之间外壁，所述定位环a3外壁嵌固固定于连板a4内壁，所述连板a4上下两端焊接连接于固定座a1之间，所述卡合环a2内壁嵌套固定于连接轴41外壁，所述卡合环a2共设有两个，平行排列于连板a4上下两端，上下两端平行设有的卡合环a2使连接轴41装配的位置因限制而平行，避免碾平辊43的偏移。
其中，所述卡合环a2由嵌套槽b1、外环b2、卡位环b3、复动器b4、套环b5组成，所述嵌套槽b1外壁嵌固固定于外环b2下端内部，所述卡位环b3一端活动卡合于卡位环b3外壁，所述卡位环b3内壁焊接固定于套环b5外壁，所述套环b5装配于外环b2内部，所述外环b2下端外壁活动配合于固定座a1一端，所述复动器b4其结构为V字形结构，通过将复动器b4倒置，使复动器b4下方与卡位环b3连接后呈现三角形的状态，提高稳定性。
下面对实施例做如下说明：在晶圆完成了预先的覆膜后，根据晶圆的厚度而对调节滑块5之间的间距进行调节，并通过调节滑块5之间的间距改变而带动张紧机构4进行运动，并使碾平辊43之间的间距得到调节，在完成了间距的预先调节后，可直接将晶圆通过档杆2而推入张紧机构4之中，通过不断的推动，晶圆的移动会带动碾平辊43进行旋转，并通过碾平辊43的旋转而碾压晶圆的表面，使晶圆表面薄膜于晶圆的贴合处之间的空气因挤压而排出，并且可通过碾压而将薄膜均匀的铺平至晶圆的表面，实现对薄膜的张紧，但晶圆的厚度或薄膜的角度略微调整后放置于碾平辊43连接处时，晶圆会通过自身结构的强度与厚度，使碾平辊43连接处的缝隙变大，并通过碾平辊43的移动而带动连接轴41向两端进行移动，而连接轴41的移动会触发限位器44，使卡合环a2受到作用并导致套环b5向上进行移动，而套环b5的移动会带动卡位环b3，而卡位环b3会推动复动器b4，令复动器b4对卡位环b3进行支撑，避免套环b5过多的移动。
实施例2
如附图5至附图7所示：所述复动器b4由复位器c1、连杆c2、嵌卡块c3、定卡板c4组成，所述复位器c1一端固定卡合于外环b2内部，所述连杆c2上端外壁嵌套卡合于复位器c1下端内壁，所述嵌卡块c3外壁焊接固定于复位器c1上端，所述定卡板c4上端焊接连接于连杆c2下端。
其中，所述复位器c1内部设有活动槽d1、导力座d2、磁杆d3、引导板d4、升降器d5，所述活动槽d1内壁活动配合于连杆c2上端外壁，所述导力座d2两侧内壁卡合连接于升降器d5两端，所述磁杆d3嵌固固定于引导板d4上端内壁，所述引导板d4下端内壁嵌套卡合于升降器d5外壁，所述升降器d5上端与磁杆d3下端有斥力配合，所述升降器d5其结构位倒T字型结构，升降器d5的特殊结构在两端连接导力座d2后，使导力座d2的升降的位置活动得到限制而平行。
其中，所述升降器d5由环体e1、连横杆e2、辅位板e3、夹位板e4、弹簧e5组成，所述环体e1外壁装配于引导板d4下端内壁，所述连横杆e2中段嵌套卡合于环体e1内壁，所述辅位板e3上端焊接固定于环体e1上端内部，所述夹位板e4下端活动配合于连横杆e2中心上端，所述弹簧e5左侧通过卡扣固定于夹位板e4两端外壁，所述连横杆e2中心上端与夹位板e4连接位置其结构为三角形结构，三角形上端的倾斜平面可推动夹位板e4，使夹位板e4开合。
下面对实施例做如下说明：在设备对晶圆表面的薄膜进行张紧铺平工序时，设备因晶圆的厚度而进行的一系列的结构移动改变所产生的力会传导至定卡板c4，并通过定卡板c4的上升而传导至连杆c2，在连杆c2受力后连杆c2会向上升起，并通过连杆c2而推动导力座d2，使导力座d2推动升降器d5并令升降器d5沿着引导板d4所预定的轨道进行移动，在移动至一定行程后，引导板d4会因磁杆d3的斥力作用而无法在向上移动，使设备对晶圆进行夹紧，但若晶圆高度相差太多，导力座d2对升降器d5所施加的力会导致连横杆e2向上进行移动，并通过连横杆e2的移动以及连横杆e2上端所设有的三角形曲面而挤压推动夹位板e4的下端，使夹位板e4的下端受到倾斜角度的引导而进行开启，并通过夹位板e4的开启而挤压两端的弹簧e5，若晶圆的厚度不足时，弹簧e5对夹位板e4所施加的支撑力就会避免夹位板e4继续开启，并通过夹位板e4的卡合而对设备进行支撑，使设备对晶圆进行作用的平面可紧密的贴合至晶圆的表面，使薄膜可完全的张紧至晶圆表面。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其结构包括底板(1)、档杆(2)、装配架(3)、张紧机构(4)、调节滑块(5)，所述档杆(2)后端两侧通过螺钉固定于装配架(3)前端表面，所述装配架(3)下端焊接固定于底板(1)上方两端，所述张紧机构(4)右端外壁嵌套卡合于调节滑块(5)内壁，所述调节滑块(5)外壁活动卡合于装配架(3)内壁，其特征在于；
所述张紧机构(4)由连接轴(41)、装配块(42)、碾平辊(43)、限位器(44)组成，所述连接轴(41)右侧嵌套卡合于调节滑块(5)内壁，所述装配块(42)右侧活动卡合于碾平辊(43)左侧，所述碾平辊(43)内壁嵌套固定于连接轴(41)外壁，所述限位器(44)内壁嵌套卡合于连接轴(41)外壁。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其特征在于：所述限位器(44)由固定座(a1)、卡合环(a2)、定位环(a3)、连板(a4)组成，所述固定座(a1)一端焊接固定于卡合环(a2)之间外壁，所述定位环(a3)外壁嵌固固定于连板(a4)内壁，所述连板(a4)上下两端焊接连接于固定座(a1)之间，所述卡合环(a2)内壁嵌套固定于连接轴(41)外壁。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其特征在于：所述卡合环(a2)由嵌套槽(b1)、外环(b2)、卡位环(b3)、复动器(b4)、套环(b5)组成，所述嵌套槽(b1)外壁嵌固固定于外环(b2)下端内部，所述卡位环(b3)一端活动卡合于卡位环(b3)外壁，所述卡位环(b3)内壁焊接固定于套环(b5)外壁，所述套环(b5)装配于外环(b2)内部，所述外环(b2)下端外壁活动配合于固定座(a1)一端。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其特征在于：所述复动器(b4)由复位器(c1)、连杆(c2)、嵌卡块(c3)、定卡板(c4)组成，所述复位器(c1)一端固定卡合于外环(b2)内部，所述连杆(c2)上端外壁嵌套卡合于复位器(c1)下端内壁，所述嵌卡块(c3)外壁焊接固定于复位器(c1)上端，所述定卡板(c4)上端焊接连接于连杆(c2)下端。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其特征在于：所述复位器(c1)内部设有活动槽(d1)、导力座(d2)、磁杆(d3)、引导板(d4)、升降器(d5)，所述活动槽(d1)内壁活动配合于连杆(c2)上端外壁，所述导力座(d2)两侧内壁卡合连接于升降器(d5)两端，所述磁杆(d3)嵌固固定于引导板(d4)上端内壁，所述引导板(d4)下端内壁嵌套卡合于升降器(d5)外壁，所述升降器(d5)上端与磁杆(d3)下端有斥力配合。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其特征在于：所述升降器(d5)由环体(e1)、连横杆(e2)、辅位板(e3)、夹位板(e4)、弹簧(e5)组成，所述环体(e1)外壁装配于引导板(d4)下端内壁，所述连横杆(e2)中段嵌套卡合于环体(e1)内壁，所述辅位板(e3)上端焊接固定于环体(e1)上端内部，所述夹位板(e4)下端活动配合于连横杆(e2)中心上端，所述弹簧(e5)左侧通过卡扣固定于夹位板(e4)两端外壁。
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