JPH1041371A

JPH1041371A - ピッチ可変ウェハ移載ハンド

Info

Publication number: JPH1041371A
Application number: JP20771596A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Taniyama; 育志谷山
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1996-07-17
Filing date: 1996-07-17
Publication date: 1998-02-13

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェハ移載ハンドにおいて、複数枚のウェハの
上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。【解決手段】昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の後部に設けら
れた各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄を、各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ
₄の連結軸１５と連結し、これらのクランク軸Ｋ₁〜Ｋ
₄を構成する各クランクピンＳ₁〜Ｓ₄の偏心量ｅ₁〜
ｅ₄を、標準ピッチＰ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄと各昇
降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の段数とを掛け合わせた値の半
分に設定し、各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄の駆動軸５を原点
から１８０°回動させることにより、基準フィンガーＦ
₀に載置されたウェハＷに対するそれ以外の各ウェハＷ
の上下方向のピッチＰ₁を変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主として半導体製
造装置におけるピッチ可変ウェハ移載ハンドに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置において、ウェハＷを装
置内に搬入するにはキャリアステージ装置が使用されて
いる。このキャリアステージ装置は、図１４に示される
ように、キャリア支柱５１にキャリア台５２を介して複
数台のキャリアスタンド５３が円周方向に等間隔をおい
て装着され、多数枚のウェハＷを水平状態で収納したウ
ェハキャリア５４を前記キャリアスタンド５３に載置
し、駆動手段によって前記キャリア支柱５１を設定角度
ずつ回動させ、多関節ロボットＲの先端のアーム５５の
先端部に装着されたウェハ移載ハンド５６によってウェ
ハキャリア５４内のウェハＷを取出し、前記多関節ロボ
ットＲの作動によりウェハボート５７に移載する構成で
ある。その際スループットの向上のため、一度に複数枚
（通常は５枚）のウェハＷを、標準ピッチＰ₁（６．３
５ｍｍ）のウェハキャリア５４側から、狭ピッチＰ
₂（４．７６ｍｍ或いは５．２ｍｍ）のウェハボート５
７側へ移載するという方法が行われている。そのために
は、ウェハ移載ハンド５６に、複数枚のウェハＷの上下
方向のピッチを変更させる機構を設けることが必要であ
る。

【０００３】従来、この種のウェハ移載ハンドとして、
特開平７−３７９６６号公報に記載されるものがある。
この公報にて開示された技術は、「ピッチ変換板（５）
の可変溝（９）の一面（９Ａ）又は他面（９Ｂ）に、ウ
エハ保持プレート取付けブロック（４）を駆動源（８）
により押付け、２種類のウエハピッチに対応できること
を特徴とするウエハ可変ピッチウエハ保持器。」であ
る。しかし、この公報に記載される技術では、ウェハの
ピッチを変更するための駆動源として空圧シリンダを使
用しているため、作動時の衝撃が大きく安定性に欠ける
という不具合がある。更に、半導体は通常クリーンルー
ムにて製造される。即ち、この種のウェハ移載ハンドは
クリーンルームで使用されるものであるため、衝撃をよ
り小さくすることが必要である。

【０００４】また、他の技術として、特開平７−１０６
４０３号公報に記載された技術が開示されている。この
技術は、互いに反対方向にねじが切られたボールねじの
それぞれの可動体にアームを取付け、該ボールねじを所
定量回転させることによって前記可動体を互いに反対方
向に、同じ量だけ無段階に移動させるという構成であ
る。しかし、この方法ではボールねじを使用しているた
め装置が複雑化、大型化する。しかも高価である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した問題
に鑑み、一度に複数枚のウェハを移載するハンドにおい
て、各フィンガーに載置されている各ウェハの上下方向
のピッチを簡単な構成で変更することができるようにす
ることを課題としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明が採用した手段は、多段に配設された複数枚の
フィンガーにウェハが載置され、これらのフィンガーの
うち基準フィンガー以外の昇降フィンガーが、フレーム
に対して片持の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フ
ィンガーの各昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成す
るクランクピンに連結されていて、標準ピッチのウェハ
キャリア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移
載する際に、前記した複数枚のフィンガーに載置された
ウェハの上下方向のピッチを変更して、一度に複数枚の
ウェハを移載するピッチ可変ウェハ移載ハンドであっ
て、前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピ
ッチの差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値
の半分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降
フィンガーを昇降させることによって、基準フィンガー
のウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッ
チを変更可能にしたことである。

【０００７】ピッチ可変ウェハ移載ハンドの基準フィン
ガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッチは、
予め標準ピッチに設定されている。そのため、各フィン
ガーに載置されている複数枚のウェハのピッチは、標準
ピッチに設定されている。このピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを標準ピッチのウェハキャリア側に移動させ、ウェ
ハキャリア側の各ウェハを、前記ピッチ可変ウェハ移載
ハンドの基準フィンガー及び各昇降フィンガーに載置し
て取出す。この状態で駆動軸を１８０°回動させると、
各クランク軸の作動によって各昇降フィンガーが上昇
し、基準フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方
向のピッチが狭ピッチに変更される。即ち、各フィンガ
ーに載置されている各ウェハのピッチが、狭ピッチに変
更される。ピッチ可変ウェハ移載ハンドを狭ピッチのウ
ェハボート側へ移動させ、各ウェハを収納する。その
後、クランク軸の駆動軸を、同方向に更に１８０°回動
させて各昇降フィンガーを下降させ標準ピッチに設定す
る。前記した狭ピッチとは異なる別の狭ピッチに変更し
たい場合には、各クランクピンの偏心量を変更すること
によって対応できる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を詳
細に説明する。本実施例では、５枚のウェハの上下方向
のピッチを標準ピッチＰ₁（６．３５ｍｍ）から狭ピッ
チＰ₂の一つ（４．７６ｍｍ）に変更するためのウェハ
移載ハンドとして説明する。図１ないし図４に示される
ように、本発明に係るウェハ移載ハンドのフレーム１
は、ベース２と該ベース２の上面に立設された一組の枠
体３a,３b と基準ブラケットＢ₀とから成っている。一
組の枠体３a,３b は、ベース２の長手方向の両端近傍に
相対向して立設されている。基準ブラケットＢ₀は該枠
体３a,３b の上面に跨がって固設されている。基準ブラ
ケットＢ₀には、長方形でプレート状の基準フィンガー
Ｆ₀が、フレーム１から前方に突出する形態で取付けら
れている。この基準フィンガーＦ₀の下方には、前記基
準フィンガーＦ₀とほぼ同一形状を成す第１〜第４の昇
降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄がこの順序で、しかも基準フィ
ンガーＦ₀にほぼ重なる形態で配設されている。後述す
るように、基準フィンガーＦ₀及び各昇降フィンガーＦ
₁〜Ｆ₄は、それらの基端部が基準ブラケットＢ₀及び
第１〜第４の昇降ブラケットＢ₁〜Ｂ₄に固設されて、
片持状態で支持されている。そして各フィンガーＦ₀〜
Ｆ₄の片持部分はウェハ載置部４となっていて、これら
の部分には円形のウェハＷに対応した円形溝部４ａが設
けられている。基準フィンガーＦ₀及び各昇降フィンガ
ーＦ₁〜Ｆ₄に載置されている各ウェハＷの上下方向の
ピッチは、予め標準ピッチＰ₁（６．３５ｍｍ）に設定
されている。

【０００９】図１及び図５に示されるように、フレーム
１のほぼ中央部の後方には、前記した基準フィンガーＦ
₀の長手方向に直角な方向に沿って、昇降操作軸Ａが配
設されている。この昇降操作軸Ａには、各昇降フィンガ
ーＦ₁〜Ｆ₄に対するクランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄が設けられ
ている。この昇降操作軸Ａの両端部の駆動軸５は、それ
ぞれフレーム１を構成する一組の枠体３a,３b に装着さ
れた軸受６によって支承されている。この昇降操作軸Ａ
において、一方側の駆動軸５には被動歯車７が装着され
ていて、他方の駆動軸５にはドッグ８が装着されてい
る。ベース２の上面で一組の枠体３a,３b の内側には、
前記昇降操作軸Ａの軸方向に沿ってステッピングモータ
Ｍが配設されている。このステッピングモータＭには駆
動歯車９が装着されていて、前記した被動歯車７と噛合
されている。ステッピングモータＭを作動させると、該
昇降操作軸Ａは所定の方向に回動する。ドッグ８に相対
向して近接スイッチ１１が取付けられている。該近接ス
イッチ１１がドッグ８を検出することによって、昇降操
作軸Ａの原点（この実施例の場合、各ウェハＷの上下方
向のピッチが標準ピッチＰ₁に設定されている状態）が
検出される。

【００１０】第１〜第４の昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の
構成について説明する。図６に示されるように、各昇降
ブラケットＢ₁〜Ｂ₄は正面視においてほぼ横になった
「Ｌ」字形状を成していて、それらの水平な段差部１２
に各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の基端部が取付けられて
いる。これらの段差部１２と直角な方向に設けられてい
る各支持部１３は、個別にガイドレールＧ₁〜Ｇ₄に取
付けられている。これら４基のガイドレールＧ₁〜Ｇ₄
は、図５に示されるように、フレーム１を構成する一組
の枠体３a,３b の前部の内側部に、上下方向に沿って２
基ずつ並列に取付けられている。図２、図４及び図６に
示されるように、各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄は、互い
が干渉しないように多段になって配設されている。上記
したように、第１〜第４の昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ
₄は、各昇降ブラケットＢ₁〜Ｂ₄を介して各ガイドレ
ールＧ₁〜Ｇ₄に片持の状態で取付けられている。図５
及び図６に示されるように、各昇降ブラケットＢ₁〜Ｂ
₄の後部にはそれぞれ昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄が設けられ
ている。各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄は、昇降操作軸Ａにお
けるクランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄の取付け位置に応じて交互に
配設されている。そのため各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄どう
しは干渉することがなく、第１〜第４の昇降フィンガー
Ｆ₁〜Ｆ₄は個別に昇降可能である。

【００１１】各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄の構成について説
明する。各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄の構成は、それらが各
昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄に取付けられている位置が異
なるだけで、それ以外はほとんど同一であるため第４の
昇降操作部Ｃ₄の構成についてのみ説明する。図８に示
されるように、第４の昇降操作部Ｃ₄には、溝部１４が
設けられている。この溝部１４には、連結軸１５が嵌装
されている。該溝部１４の幅は、連結軸１５の直径より
も僅かに大きい。そのため、該連結軸１５は前記溝部１
４の長手方向（第４の昇降フィンガーＦ₄の上下方向）
に沿って移動可能である。図７に示されるように、この
連結軸１５の両端部には、一対の連結ロッド１６が配設
されている。そして該連結軸１５は、前記した一対の連
結ロッド１６における長手方向の上部に装着された各軸
受１７によって支承されている。連結軸１５の軸方向の
ほぼ中央部には、軸直角方向に雌ねじ１８が設けられて
いて、この雌ねじ１８に調整ねじ１９が螺合して取付け
られている。この調整ねじ１９の上部は、昇降操作部Ｃ
₄の上部に設けられた通し穴２１を介して昇降操作部Ｃ
₄の上方に突出しており、その突出部分に設けられた雄
ねじ部２２に締付ナット２３が螺合している。調整ねじ
１９の上端面には、すり割り２４が設けられている。締
付ナット２３を緩め、すり割り２４に工具を装着して調
整ねじ１９を回転させると、昇降操作部Ｃ₄の上下方向
の位置が変化する。昇降操作部Ｃ₄において、溝部１４
が形成された部分の下部には通し穴２５が設けられてい
て、この通し穴２５に相対向する部分に雌ねじ２６が設
けられている。そして、この通し穴２５を介して固定ね
じ２７が装着されていて、前記雌ねじ２６に螺合して取
付けられている。該固定ねじ２７を締付けることによっ
て、溝部１４に嵌装された連結軸１５を固定することが
できる。

【００１２】次に、昇降操作軸Ａの構成について説明す
る。図３に示されるように、昇降操作軸Ａには、その軸
方向に沿って第１〜第４の各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄がこ
の順序で取付けられている。各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄の
構成について説明する。各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄の構成
は、それらのクランクピンＳ₁〜Ｓ₄の偏心量ｅ₁〜ｅ
₄が異なるだけで、それ以外は同一であるため第４のク
ランク軸Ｋ₄の構成についてのみ説明する。図７に示さ
れるように、第４のクランク軸Ｋ₄は、第４のクランク
ピンＳ₄とその両外側に配設されたブロック２８，２９
とから構成されている。これらのブロック２８，２９
は、第４のクランク軸Ｋ₄においてクランクアームの機
能を成すものである。クランクピンＳ₄は、その軸方向
で二分割されている。一方側のブロック２８は、駆動軸
５の端部を構成する部材であり、図９に示されるよう
に、その下部は脚部３１になっている。また、他方側の
ブロック２９の下部は、該ブロック２９のほぼ中央部か
ら昇降操作軸Ａの軸直角方向に分割されていて、一方の
下部２９ａが第３のクランク軸Ｋ₃ を構成する部材とな
っており、他方の下部２９ｂが第４のクランク軸Ｋ₄を
構成する部材となっている。ブロック２８と同様に、ブ
ロック２９の下部２９a,２９b も二股形状を成してい
る。以下の説明はブロック２８について行うが、ブロッ
ク２９についても同様である。

【００１３】図９に示されるように、ブロック２８にお
ける脚部３１どうしによって形成された空間部には、ク
ランクピンＳ₄が嵌装されている。空間部の幅は、クラ
ンクピンＳ₄の直径よりも僅かに大きい。そのため、ク
ランクピンＳ₄は前記空間部の長手方向（昇降フィンガ
ーＦ₁〜Ｆ₄の上下方向）に沿って移動可能である。図
７に示されるように、一組のクランクピンＳ₄の両内側
は、前述した一対の連結ロッド１６における長手方向の
下部に装着された各軸受３２によって支承されている。
クランクピンＳ₄の軸方向の端部には、軸直角方向に雌
ねじ３３が設けられていて、該雌ねじ３３に調整ねじ３
４が螺合して取付けられている。調整ねじ３４の上部
は、ブロック２８の上部に設けられた通し穴３５を介し
て該ブロック２８の上方に突出しており、その突出部分
に設けられた雄ねじ部３６に締付ナット３７が螺合して
いる。調整ねじ３４の上端面には、すり割り３８が設け
られている。締付ナット３７を緩め、すり割り３８に工
具を装着して前記調整ねじ３４を回転させると、クラン
クピンＳ₄の上下方向の位置が変化する。図９に示され
るように、一方の脚部３１の下部には通し穴３９が設け
られていて、この通し穴３９に相対向する部分に雌ねじ
４１が設けられている。そして、この通し穴３９を介し
て固定ねじ４２が装着されていて、前記雌ねじ４１に螺
合して取付けられている。該固定ねじ４２を締付けるこ
とによって、脚部３１どうしによって形成された空間部
に嵌装されたクランクピンＳ₄を固定することができ
る。

【００１４】図１０を参照しながら、基準フィンガーＦ
₀及び各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄に載置されているウ
ェハＷの上下方向のピッチを、標準ピッチＰ₁（６．３
５ｍｍ）から狭ピッチＰ₂（４．７６ｍｍ）に変更する
原理について説明する。最上段の基準フィンガーＦ₀は
固定されているため、各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄、或
いは各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄が取付けられている各
昇降ブラケットＢ₁〜Ｂ₄の上下方向のピッチを変更さ
せる。基準フィンガーＦ₀に対する第１の昇降フィンガ
ーＦ₁のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーＦ₁を標準ピッチＰ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄ（ｄ＝
Ｐ₁−Ｐ₂＝１．５９ｍｍ）だけ上昇させればよい。そ
して、基準フィンガーＦ₀に対する第２の昇降フィンガ
ーＦ₂のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーＦ₁を標準ピッチＰ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄの２倍
だけ上昇させればよい。同様にして、基準フィンガーＦ
₀に対する第３の昇降フィンガーＦ₃ のピッチを変更さ
せるためには、該昇降フィンガーＦ₃ を標準ピッチＰ₁
と狭ピッチＰ₂との差ｄの３倍だけ、また、基準フィン
ガーＦ₀に対する第４の昇降フィンガーＦ₄のピッチを
変更させるためには、該昇降フィンガーＦ₄を標準ピッ
チＰ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄの４倍だけ上昇させれば
よい。上記した標準ピッチＰ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄ
に掛け合わせられる数は、第１〜第４の昇降フィンガー
Ｆ₁〜Ｆ₄の各段数である。

【００１５】各クランク軸Ｋ₁〜Ｋ₄を構成するそれぞ
れのクランクピンＳ₁〜Ｓ₄の駆動軸５に対する偏心量
ｅ₁〜ｅ₄を、次のように設定する。第１のクランクピ
ンＳ₁の駆動軸５に対する偏心量ｅ₁を、標準ピッチＰ
₁と狭ピッチＰ₂との差ｄの０．５倍（ｅ₁＝０．５
ｄ）とする。ここで、駆動軸５がステッピングモータＭ
によって原点（標準ピッチＰ₁の状態）から１８０°回
動されると、第１のクランクピンＳ₁は前記した偏心量
の２倍、即ちｄだけ上昇する。即ち、第１の昇降フィン
ガーＦ₁の昇降量はｄである。同様に、第２のクランク
ピンＳ₂の駆動軸５に対する偏心量ｅ₂を、標準ピッチ
Ｐ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄに設定（ｅ₂＝ｄ）する。
第２の昇降フィンガーＦ₂の昇降量は偏心量ｅ₂の２
倍、即ち２ｄである。同様に、第３のクランクピンＳ₃
の駆動軸５に対する偏心量ｅ₃ を、標準ピッチＰ₁と狭
ピッチＰ₂との差ｄの１．５倍に設定する（ｅ₃ ＝１．
５ｄ）と、第３の昇降フィンガーＦ₃ の昇降量は偏心量
ｅ₃ の２倍、即ち３ｄである。同様に、第４のクランク
ピンＳ₄の駆動軸５に対する偏心量ｅ₄を、標準ピッチ
Ｐ₁と狭ピッチＰ₂との差ｄの２倍に設定（ｅ₄＝２
ｄ）すると、第４の昇降フィンガーＦ₄の昇降量は偏心
量ｅ₄の２倍、即ち４ｄである。上記したように、駆動
軸５を原点から１８０°回動させた際の各昇降フィンガ
ーＦ₁〜Ｆ₄の昇降量は、変更されるピッチの差ｄと各
昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の段数とを掛け合わせた値、
即ちｄ，２ｄ，３ｄ，４ｄである。

【００１６】上記したように、駆動軸５を原点から１８
０°回動させると、基準フィンガーＦ₀の直下に配設さ
れている第１の昇降フィンガーＦ₁は高さｄだけ上昇す
る。同様にして、第２〜第４の昇降フィンガーＦ₂〜Ｆ
₄はそれぞれ２ｄ，３ｄ，４ｄだけ上昇する。その結
果、第１〜第４の各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄は、基準
フィンガーＦ₀に対して狭ピッチＰ₂に設定される。即
ち、各フィンガーＦ₀〜Ｆ₄に載置されているウェハＷ
のピッチが、狭ピッチＰ₂に設定される。各昇降フィン
ガーＦ₁〜Ｆ₄を再度標準ピッチＰ₁に設定する場合に
は、駆動軸５を更に１８０°回動させて、原点に戻せば
よい。

【００１７】次に、標準ピッチＰ₁（６．３５ｍｍ）か
ら４．７６ｍｍ以外の狭ピッチＰ₂'（例えば５．２ｍ
ｍ）に変更させる方法について説明する。図７に示され
るように、各クランクピンＳ₁〜Ｓ₄には、それぞれ調
整ねじ３４が螺合されている。締付ナット３７を緩めて
これらの調整ねじ３４を同じ方向に同じ量だけ回転させ
て、各クランクピンＳ₁〜Ｓ₄をそれぞれのブロック２
８，２９に対して所定の量（この場合、５．２ｍｍ−
４．７６ｍｍ＝０．４４ｍｍ）だけ上昇させる。する
と、各クランクピンＳ₁〜Ｓ₄の駆動軸５に対する偏心
量ｅ₁〜ｅ₄がｄ（この場合、６．３５ｍｍ−４．７６
ｍｍ＝１．５９ｍｍ）の０．５倍、等倍、１．５倍、２
倍から、ｄ’（この場合、６．３５ｍｍ−５．２ｍｍ＝
１．１５ｍｍ）の０．５倍、等倍、１．５倍、２倍に変
更される。この状態で、駆動軸５を原点から１８０°回
動させると、各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄は狭ピッチＰ
₂'（５．２ｍｍ）に設定される。

【００１８】図１１ないし図１３を参照しながら、本発
明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドを使用して、基準
フィンガーＦ₀に対する各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄の
ピッチを標準ピッチＰ₁から狭ピッチＰ₂に変更する場
合の作用について説明する。各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄の
作用は同一なので、第４の昇降操作部Ｃ₄の作用につい
てのみ説明する。図１１に示されるように、駆動軸５の
軸心を回動中心Ｏとすると、標準ピッチＰ₁におけるブ
ロック２８は、昇降操作部Ｃ₄に対して１８０°の位相
で配置されている。駆動軸５に対するクランクピンＳ₄
の偏心量ｅ₄は、変更されるピッチの差ｄの２倍（ｅ₄
＝２ｄ）である。連結ロッド１６の心間距離を符号Ｌで
示す。また、連結軸１５の軸心と回動中心Ｏとの距離を
Ｈ₁とすると、Ｈ₁＝Ｌ−２ｄである。図１２に示され
るように、ステッピングモータＭを作動させて駆動軸５
を回動させると、ブロック２８は偏心量ｅ₄を保持しな
がら回動する。昇降操作部Ｃ₄はガイドレールＧ₄によ
って上下方向にのみ昇降可能であるため、ブロック２８
が回動するとクランク軸Ｋ₄の作用によって上昇する。
駆動軸５が原点から１８０°回動すると、ステッピング
モータＭが停止する。図１３に示されるように、この状
態における連結軸１５と回動中心Ｏとの距離をＨ₂とす
ると、Ｈ₂＝Ｌ＋２ｄである。昇降操作部Ｃ₄の昇降量
は、ブロック２８が１８０°回動する前の距離Ｈ₁と回
動した後の距離Ｈ₂との差４ｄ（Ｈ₂−Ｈ₁＝（Ｌ＋２
ｄ）−（Ｌ−２ｄ）＝４ｄ）である。同様にして、第１
〜第３の各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₃ の昇降量はそれぞれ、
ｄ，２ｄ，３ｄである。各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄が前記
した昇降量だけ上昇すると、基準フィンガーＦ₀に対す
る各昇降フィンガーＦ₁〜Ｆ₄のピッチは、狭ピッチＰ
₂に設定される。

【００１９】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンド
を使用中、何らかの原因でピッチ誤差が生じた場合に
は、各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄に装着されたそれぞれの調
整ねじ１９を使用して、各昇降操作部Ｃ₁〜Ｃ₄の上下
方向の位置を微調整することができる。

【００２０】

【発明の効果】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハン
ドは、基準フィンガーの下方に複数枚の昇降フィンガー
が多段に配設されていて、各昇降フィンガーの後部に設
けられた各昇降操作部がそれぞれクランク軸に連結され
ている。各クランク軸を構成するクランクピンの偏心量
は、変更されるピッチの差と昇降フィンガーの各段数と
を掛け合わせた値の半分であるため、各クランク軸の駆
動軸を回動させると各昇降フィンガーは、変更されるピ
ッチの差と各昇降フィンガーの段数とを掛け合わせた値
だけ昇降する。駆動軸を回動させることによって、基準
フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッ
チを変更することができる。即ち、基準フィンガーのウ
ェハに対する昇降フィンガーの各ウェハのピッチを変更
することができる。各昇降フィンガーを昇降させるため
の機構は、駆動軸を回動させるだけであり、安価に実現
できる。更に、各クランクピンの偏心量は調整可能であ
り、多種類の狭ピッチを設定することができる。また、
各昇降操作部の上下方向の位置は個別に微調整可能であ
るため、使用中のピッチ誤差も速やかに修正することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドの平
面図である。

【図２】同じく、側面図である。

【図３】同じく、背面図である。

【図４】図２のＸ₁−Ｘ₁断面図である。

【図５】図２のＸ₂−Ｘ₂断面図である。

【図６】各昇降ブラケットＢ₁〜Ｂ₄及び各ガイドレー
ルＧ₁〜Ｇ₄の取付け状態を示す分解図である。

【図７】昇降操作軸Ａにおける第４のクランク軸Ｋ₄の
構成を示す断面図である。

【図８】図７のＸ₃ −Ｘ₃ 断面図である。

【図９】図７のＸ₄−Ｘ₄断面図である。

【図１０】ウェハＷが載置されている各昇降フィンガー
Ｆ₁〜Ｆ₄のピッチを、標準ピッチＰ₁（６．３５ｍ
ｍ）から狭ピッチＰ₂（４．７６ｍｍ）に変更するため
の説明図である。

【図１１】第４の昇降フィンガーＦ₄を上昇させる作用
説明図である。

【図１２】同じく、第４の昇降フィンガーＦ₄を上昇さ
せる際の途中の行程の作用説明図である。

【図１３】同じく、第４の昇降フィンガーＦ₄を上昇さ
せた状態の作用説明図である。

【図１４】ウェハＷを標準ピッチＰ₁のウェハキャリア
５４側から、狭ピッチＰ₂のウェハボート５７側へ移載
する状態を示す図である。

【符号の説明】

Ｃ₁〜Ｃ₄：昇降操作部ｄ',ｄ：ピッチの差ｅ₁〜ｅ₄：偏心量Ｆ₀：基準フィンガーＦ₁〜Ｆ₄：昇降フィンガーＫ₁〜Ｋ₄：クランク軸Ｐ₁：標準ピッチＰ₂,Ｐ₂'：狭ピッチＳ₁〜Ｓ₄：クランクピンＷ：ウェハ１：フレーム５：駆動軸５４：ウェハキャリア５７：ウェハボート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多段に配設された複数枚のフィンガーに
ウェハが載置され、これらのフィンガーのうち基準フィ
ンガー以外の昇降フィンガーが、フレームに対して片持
の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フィンガーの各
昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成するクランクピ
ンに連結されていて、標準ピッチのウェハキャリア側か
ら狭ピッチのウェハボート側へウェハを移載する際に、
前記した複数枚のフィンガーに載置されたウェハの上下
方向のピッチを変更して、一度に複数枚のウェハを移載
するピッチ可変ウェハ移載ハンドであって、前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピッチ
の差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値の半
分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降フィ
ンガーを昇降させることによって、基準フィンガーのウ
ェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッチを
変更可能にしたことを特徴とするピッチ可変ウェハ移載
ハンド。
【請求項２】前記した各クランクピンの偏心量が変更
可能であることを特徴とする請求項１に記載のピッチ可
変ウェハ移載ハンド。
【請求項３】前記した昇降操作部の上下方向の位置が
調整可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載
のピッチ可変ウェハ移載ハンド。