CN211403121U - 功率放大器芯片生产用接触式光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板，底板的上表面固定有支撑柱，支撑柱的一侧表面上部固定安装有光刻主体，底板的上方沿水平方向活动安装有移动下板，移动下板的上方沿水平方向活动安装有移动上板，移动上板的上表面通过焊接固定有两个支撑块，两个支撑块的顶端通过焊接水平固定有安装板，安装板的底部沿水平方向活动安装有两个连接板，连接板的上表面两端均固定安装有支撑座，支撑座的顶端固定安装有托板，托板上安装有衬底晶片；该接触式光刻机的托板便于调节，可以对不同尺寸的衬底晶片进行装载光刻，适应性强，通过第一电机和第二电机可以对衬底晶片的位置进行调节。

Description

功率放大器芯片生产用接触式光刻机

技术领域

本实用新型涉及一种光刻机，尤其涉及一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，传统的接触式光刻机在使用时只能对固定尺寸的衬底晶片进行安装并光刻，不便于调节，无法满足不同类型衬底晶片的加工需求。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机，解决了传统接触式光刻机无法对不同尺寸的衬底晶片进行装载光刻的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板，所述底板的上表面焊接竖直固定有支撑柱，所述支撑柱的一侧表面上部固定安装有光刻主体，所述底板上固定安装有第一电机，所述底板上通过轴承、轴承座转动安装有第一丝杠，所述第一电机的输出轴端与第一丝杠的一端固定连接，所述底板的上方沿水平方向活动安装有移动下板，所述第一丝杠与移动下板的底部螺纹连接，所述移动下板上固定安装有第二电机，所述移动下板上通过轴承、轴承座转动安装有第二丝杠，所述第二电机的输出轴端与第二丝杠的一端转动连接，所述移动下板的上方沿水平方向活动安装有移动上板，所述移动上板的底部与第二丝杠螺纹连接；

所述移动上板的上表面通过焊接固定有两个支撑块，两个所述支撑块的顶端通过焊接水平固定有安装板，所述安装板的底部沿水平方向活动安装有两个连接板，所述连接板的上表面两端均通过焊接固定安装有支撑座，所述支撑座的顶端固定安装有托板，所述托板上安装有衬底晶片，所述安装板的底部中心位置处转动安装有转板，所述转板的两端均铰接有连接杆，两个所述连接杆远离转板的一端分别与两个连接板铰接，两个所述连接杆关于安装板的底部中心位置呈中心对称分布，所述安装板的底面固定安装有驱动气缸，所述驱动气缸的输出杆端部与其中一个连接板固定连接，同一个连接板上方的两个所述支撑座之间转动安装有第三丝杠，所述支撑座为内侧设有开口的空心结构，所述支撑座的上壁开设有通槽，所述托板的底部通过焊接固定有竖板，所述竖板穿过通槽并与第三丝杠螺纹连接，其中一个所述支撑座上固定安装有第三电机，所述第三电机输出轴端与其中一个第三丝杠的一端固定连接，两个所述第三丝杠的一端均套接固定有皮带轮，两个所述皮带轮之间通过皮带传动连接。

进一步的，所述第一丝杠与第二丝杠相互垂直。

进一步的，所述底板上固定安装有两个滑轨，所述移动下板的底部安装有与该滑轨相配合的滑块，所述底板与移动下板之间通过滑块、滑轨滑动连接，所述移动下板上固定安装有另外两个滑轨，所述移动上板的底部固定安装有与另外两个滑轨相配合的滑块，所述移动下板与移动上板通过滑块、滑轨滑动连接。

进一步的，所述衬底晶片上开设有凹槽，所述衬底晶片的四个拐角分别于相对应衬底晶片上的凹槽相配合。

进一步的，所述连接板的上表面固定安装有两个滑块，所述安装板的底面固定安装有与滑块相配合的滑轨，所述连接板与安装板之间通过滑块、滑轨滑动连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过驱动气缸带动与其固定的连接板移动，并配合连接杆、转板的转动带动两个连接板相向或反向移动，调整两个连接板的间距，通过第三电机带动其中一个第三丝杠转动，并配合皮带轮、皮带带动另一个第三丝杠转动，从而带动同一个连接板上方的两个托板相向或反向移动，对同一个连接板上方的两个托板的间距进行调节，从而对四个托板的两两间距进行调节，该接触式光刻机的托板便于调节，可以对不同尺寸的衬底晶片进行装载光刻，适应性强，通过第一电机和第二电机可以对衬底晶片的位置进行调节，简单方便。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型功率放大器芯片生产用接触式光刻机的立体结构图；

图2是本实用新型功率放大器芯片生产用接触式光刻机的局部结构立体图；

图3是本实用新型功率放大器芯片生产用接触式光刻机的局部结构另一角度的立体图；

图4是本实用新型功率放大器芯片生产用接触式光刻机的局部结构剖面图。

图中：1、底板；2、支撑柱；3、光刻主体；4、第一电机；5、第一丝杠；6、移动下板；7、第二电机；8、第二丝杠；9、移动上板；10、支撑块；11、支撑座；12、托板；13、衬底晶片；14、连接板；15、驱动气缸；16、连接杆；17、转板；18、第三电机；19、第三丝杠；20、皮带轮；21、竖板；22、安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板1，所述底板1的上表面焊接竖直固定有支撑柱2，所述支撑柱2的一侧表面上部固定安装有光刻主体3，所述底板1上固定安装有第一电机4，所述底板1上通过轴承、轴承座转动安装有第一丝杠5，所述第一电机4的输出轴端与第一丝杠5的一端固定连接，所述底板1的上方沿水平方向活动安装有移动下板6，所述第一丝杠5与移动下板6的底部螺纹连接，所述移动下板6上固定安装有第二电机7，所述移动下板6上通过轴承、轴承座转动安装有第二丝杠8，所述第二电机7的输出轴端与第二丝杠8的一端转动连接，所述移动下板6的上方沿水平方向活动安装有移动上板9，所述移动上板9的底部与第二丝杠8螺纹连接；

所述移动上板9的上表面通过焊接固定有两个支撑块10，两个所述支撑块10的顶端通过焊接水平固定有安装板22，所述安装板22的底部沿水平方向活动安装有两个连接板14，所述连接板14的上表面两端均通过焊接固定安装有支撑座11，所述支撑座11的顶端固定安装有托板12，所述托板12上安装有衬底晶片13，所述安装板22的底部中心位置处转动安装有转板17，所述转板17的两端均铰接有连接杆16，两个所述连接杆16远离转板17的一端分别与两个连接板14铰接，两个所述连接杆16关于安装板22的底部中心位置呈中心对称分布，所述安装板22的底面固定安装有驱动气缸15，所述驱动气缸15的输出杆端部与其中一个连接板14固定连接，同一个连接板14上方的两个所述支撑座11之间转动安装有第三丝杠19，所述支撑座11为内侧设有开口的空心结构，所述支撑座11的上壁开设有通槽，所述托板12的底部通过焊接固定有竖板21，所述竖板21穿过通槽并与第三丝杠19螺纹连接，其中一个所述支撑座11上固定安装有第三电机18，所述第三电机18输出轴端与其中一个第三丝杠19的一端固定连接，两个所述第三丝杠19的一端均套接固定有皮带轮20，两个所述皮带轮20之间通过皮带传动连接。

所述第一丝杠5与第二丝杠8相互垂直。

所述底板1上固定安装有两个滑轨，所述移动下板6的底部安装有与该滑轨相配合的滑块，所述底板1与移动下板6之间通过滑块、滑轨滑动连接，所述移动下板6上固定安装有另外两个滑轨，所述移动上板9的底部固定安装有与另外两个滑轨相配合的滑块，所述移动下板6与移动上板9通过滑块、滑轨滑动连接。

所述衬底晶片13上开设有凹槽，所述衬底晶片13的四个拐角分别于相对应衬底晶片13上的凹槽相配合。

所述连接板14的上表面固定安装有两个滑块，所述安装板22的底面固定安装有与滑块相配合的滑轨，所述连接板14与安装板22之间通过滑块、滑轨滑动连接。

本实用新型的工作原理及方式：

该光刻机在使用时，启动驱动气缸15，驱动气缸15带动与其一端固定的连接板14移动，并配合连接杆16、转板17的转动带动两个连接板14相向或反向移动，调整两个连接板14的间距，同时启动第三电机18，第三电机18带动其中一个第三丝杠19转动，并配合皮带轮20、皮带带动另一个第三丝杠19转动，从而带动同一个连接板14上方的两个托板12相向或反向移动，对同一个连接板14上方的两个托板12的间距进行调节，从而对四个托板12的两两间距进行调节，将衬底晶片13放到四个托板12上，并使衬底晶片13的四个拐角与托板12的凹槽抵接固定，启动第一电机4，第一电机4带动第一丝杠5转动，并带动移动下板6沿第一丝杠5方向移动移动，从而带动衬底晶片13沿第一丝杠5方向移动，启动第二电机7，第二电机7带动第二丝杠8转动，并带动移动上板9沿第二丝杠8移动，从而带动衬底晶片13沿第二丝杠8方向移动，对衬底晶片13的位置进行调节。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (5)

1.功率放大器芯片生产用接触式光刻机，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)的上表面焊接竖直固定有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的一侧表面上部固定安装有光刻主体(3)，所述底板(1)上固定安装有第一电机(4)，所述底板(1)上通过轴承、轴承座转动安装有第一丝杠(5)，所述第一电机(4)的输出轴端与第一丝杠(5)的一端固定连接，所述底板(1)的上方沿水平方向活动安装有移动下板(6)，所述第一丝杠(5)与移动下板(6)的底部螺纹连接，所述移动下板(6)上固定安装有第二电机(7)，所述移动下板(6)上通过轴承、轴承座转动安装有第二丝杠(8)，所述第二电机(7)的输出轴端与第二丝杠(8)的一端转动连接，所述移动下板(6)的上方沿水平方向活动安装有移动上板(9)，所述移动上板(9)的底部与第二丝杠(8)螺纹连接；

所述移动上板(9)的上表面通过焊接固定有两个支撑块(10)，两个所述支撑块(10)的顶端通过焊接水平固定有安装板(22)，所述安装板(22)的底部沿水平方向活动安装有两个连接板(14)，所述连接板(14)的上表面两端均通过焊接固定安装有支撑座(11)，所述支撑座(11)的顶端固定安装有托板(12)，所述托板(12)上安装有衬底晶片(13)，所述安装板(22)的底部中心位置处转动安装有转板(17)，所述转板(17)的两端均铰接有连接杆(16)，两个所述连接杆(16)远离转板(17)的一端分别与两个连接板(14)铰接，两个所述连接杆(16)关于安装板(22)的底部中心位置呈中心对称分布，所述安装板(22)的底面固定安装有驱动气缸(15)，所述驱动气缸(15)的输出杆端部与其中一个连接板(14)固定连接，同一个连接板(14)上方的两个所述支撑座(11)之间转动安装有第三丝杠(19)，所述支撑座(11)为内侧设有开口的空心结构，所述支撑座(11)的上壁开设有通槽，所述托板(12)的底部通过焊接固定有竖板(21)，所述竖板(21)穿过通槽并与第三丝杠(19)螺纹连接，其中一个所述支撑座(11)上固定安装有第三电机(18)，所述第三电机(18)输出轴端与其中一个第三丝杠(19)的一端固定连接，两个所述第三丝杠(19)的一端均套接固定有皮带轮(20)，两个所述皮带轮(20)之间通过皮带传动连接。

2.根据权利要求1所述的功率放大器芯片生产用接触式光刻机，其特征在于，所述第一丝杠(5)与第二丝杠(8)相互垂直。

3.根据权利要求1所述的功率放大器芯片生产用接触式光刻机，其特征在于，所述底板(1)上固定安装有两个滑轨，所述移动下板(6)的底部安装有与该滑轨相配合的滑块，所述底板(1)与移动下板(6)之间通过滑块、滑轨滑动连接，所述移动下板(6)上固定安装有另外两个滑轨，所述移动上板(9)的底部固定安装有与另外两个滑轨相配合的滑块，所述移动下板(6)与移动上板(9)通过滑块、滑轨滑动连接。

4.根据权利要求1所述的功率放大器芯片生产用接触式光刻机，其特征在于，所述衬底晶片(13)上开设有凹槽，所述衬底晶片(13)的四个拐角分别于相对应衬底晶片(13)上的凹槽相配合。

5.根据权利要求1所述的功率放大器芯片生产用接触式光刻机，其特征在于，所述连接板(14)的上表面固定安装有两个滑块，所述安装板(22)的底面固定安装有与滑块相配合的滑轨，所述连接板(14)与安装板(22)之间通过滑块、滑轨滑动连接。

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