JP2000060159A - 超音波モータ装置 - Google Patents
超音波モータ装置Info
- Publication number
- JP2000060159A JP2000060159A JP10228210A JP22821098A JP2000060159A JP 2000060159 A JP2000060159 A JP 2000060159A JP 10228210 A JP10228210 A JP 10228210A JP 22821098 A JP22821098 A JP 22821098A JP 2000060159 A JP2000060159 A JP 2000060159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- output member
- ultrasonic motor
- annular
- elastic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転運動と直線運動とを取り出し得るコンパ
クト化された超音波モータ装置を提供する。 【解決手段】 圧電体7を貼り付けられた弾性体2をケ
ース底壁1のボス部1aに固定し、弾性体2に周方向溝
2b・2cにより半径方向に分割して設けた各円環状部
4・5の各共振部4a・5aに対応する回転子8・9を
設け、内周側回転子8の回転力により可動軸3を回転さ
せると共に、外周側回転子9の回転力を雌ねじ部11a
及び雄ねじ部12aを介することにより可動軸3を軸線
方向の直線運動力に変換する。 【効果】 弾性体を周方向溝で分割して内周側及び外周
側共振部を設けることにより2つの駆動力を取り出し得
るコンパクトな超音波モータ装置を実現し得ると共に、
その出力部材を回転及び直線の異なる運動を行わせるこ
とができる。
クト化された超音波モータ装置を提供する。 【解決手段】 圧電体7を貼り付けられた弾性体2をケ
ース底壁1のボス部1aに固定し、弾性体2に周方向溝
2b・2cにより半径方向に分割して設けた各円環状部
4・5の各共振部4a・5aに対応する回転子8・9を
設け、内周側回転子8の回転力により可動軸3を回転さ
せると共に、外周側回転子9の回転力を雌ねじ部11a
及び雄ねじ部12aを介することにより可動軸3を軸線
方向の直線運動力に変換する。 【効果】 弾性体を周方向溝で分割して内周側及び外周
側共振部を設けることにより2つの駆動力を取り出し得
るコンパクトな超音波モータ装置を実現し得ると共に、
その出力部材を回転及び直線の異なる運動を行わせるこ
とができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、2つの回転子を有
する超音波モータ装置に関するものである。
する超音波モータ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、1つの駆動対象を2軸について駆
動するもの(例えば自動車のドアミラーや視覚センサ)
にあっては、2つのモータを用いることから、それらを
配置する上で装置が大型化するという問題があった。特
に、大トルクを必要とする場合にはモータ単体が大型に
なり、上記問題が顕著である。
動するもの(例えば自動車のドアミラーや視覚センサ)
にあっては、2つのモータを用いることから、それらを
配置する上で装置が大型化するという問題があった。特
に、大トルクを必要とする場合にはモータ単体が大型に
なり、上記問題が顕著である。
【0003】一方、円形弾性体に圧電素子を貼り付けて
固定子とし、その圧電素子に90度位相のずれた2相の
高周波電圧を入力して弾性体に進行波を生じさせ、その
弾性体に所定の押圧力をもって同軸的に2つの回転子を
接触させることにより、各回転子を回転させて2つの駆
動力を取り出すようにした超音波モータがある。
固定子とし、その圧電素子に90度位相のずれた2相の
高周波電圧を入力して弾性体に進行波を生じさせ、その
弾性体に所定の押圧力をもって同軸的に2つの回転子を
接触させることにより、各回転子を回転させて2つの駆
動力を取り出すようにした超音波モータがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】超音波モータにあって
は、大トルクを発生できることから同一トルクを必要と
するモータにおいてコンパクト化が可能であるため、モ
ータ設置スペースに制約があるような装置に好適であ
る。しかしながら、上記したような超音波モータを用い
て2つの駆動軸を同軸的に設けただけでは、同一の軸線
回りに回転する2つの回転運動が得られるだけであり、
その場合には用途が限られてしまう。そのため、例えば
一方の回転子から回転運動を取り出すと共に他方の回転
子から直線運動を取り出し可能な超音波モータ装置が望
まれる。
は、大トルクを発生できることから同一トルクを必要と
するモータにおいてコンパクト化が可能であるため、モ
ータ設置スペースに制約があるような装置に好適であ
る。しかしながら、上記したような超音波モータを用い
て2つの駆動軸を同軸的に設けただけでは、同一の軸線
回りに回転する2つの回転運動が得られるだけであり、
その場合には用途が限られてしまう。そのため、例えば
一方の回転子から回転運動を取り出すと共に他方の回転
子から直線運動を取り出し可能な超音波モータ装置が望
まれる。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決し
て、回転運動と直線運動とを取り出し得るコンパクト化
された超音波モータ装置を実現するために、本発明に於
いては、円環状圧電体を貼り付けた弾性体に周方向溝に
より半径方向に分割して互いに同心の異なる径の内周側
円環状共振部及び外周側円環状共振部を設けてなる固定
子と、前記各円環状共振部にそれぞれ対応しかつ互いに
独立して回転可能に設けられた第1の回転子及び第2の
回転子とを有し、前記固定子がケースに固定され、前記
回転子の軸線に対して同軸的に回転かつ直線運動し得る
ように前記ケースに支持された出力部材と、前記第1の
回転子の回転運動を前記出力部材の前記直線運動に変換
するべく前記第1の回転子と前記出力部材との間に設け
られた回転−直線運動変換手段と、前記出力部材を前記
直線運動を許容しつつ前記第2の回転子と共に一体的に
回転運動させるべく前記第2の回転子と前記出力部材と
の間に設けられた直線運動許容回転力伝達手段とを有す
るものとした。
て、回転運動と直線運動とを取り出し得るコンパクト化
された超音波モータ装置を実現するために、本発明に於
いては、円環状圧電体を貼り付けた弾性体に周方向溝に
より半径方向に分割して互いに同心の異なる径の内周側
円環状共振部及び外周側円環状共振部を設けてなる固定
子と、前記各円環状共振部にそれぞれ対応しかつ互いに
独立して回転可能に設けられた第1の回転子及び第2の
回転子とを有し、前記固定子がケースに固定され、前記
回転子の軸線に対して同軸的に回転かつ直線運動し得る
ように前記ケースに支持された出力部材と、前記第1の
回転子の回転運動を前記出力部材の前記直線運動に変換
するべく前記第1の回転子と前記出力部材との間に設け
られた回転−直線運動変換手段と、前記出力部材を前記
直線運動を許容しつつ前記第2の回転子と共に一体的に
回転運動させるべく前記第2の回転子と前記出力部材と
の間に設けられた直線運動許容回転力伝達手段とを有す
るものとした。
【0006】これによれば、弾性体に設けた周方向溝に
より半径方向に分割した内周側及び外周側円環状共振部
を同心的に設けて、それぞれ異なる共振周波数を有する
ことから、それぞれに対応する高周波電圧を入力して各
回転子から別個の駆動力を取り出すことができるため、
2つの駆動力を取り出し得る超音波モータ装置をコンパ
クト化し得ると共に、第1の回転子と出力部材との間に
回転−直線運動変換手段を設けて直線運動を取り出すと
共に、第2の回転子と出力部材との間に直線運動許容回
転力伝達手段を設けて、直線運動を許容しつつ回転運動
を取り出すことができるようにした。
より半径方向に分割した内周側及び外周側円環状共振部
を同心的に設けて、それぞれ異なる共振周波数を有する
ことから、それぞれに対応する高周波電圧を入力して各
回転子から別個の駆動力を取り出すことができるため、
2つの駆動力を取り出し得る超音波モータ装置をコンパ
クト化し得ると共に、第1の回転子と出力部材との間に
回転−直線運動変換手段を設けて直線運動を取り出すと
共に、第2の回転子と出力部材との間に直線運動許容回
転力伝達手段を設けて、直線運動を許容しつつ回転運動
を取り出すことができるようにした。
【0007】
【発明の実施の形態】以下に添付の図面に示された具体
例に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明す
る。
例に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明す
る。
【0008】図1は、本発明が適用された超音波モータ
装置の要部側断面図であり、図では中心軸線の右半分の
みを示している。図1に示されるように、ケースの一部
である底壁1の中央部には階段型環状ボス部1aが上方
に向けて突設されており、その最下段部には、中央に開
口を有する円板状をなす弾性体2がその開口外周部をね
じ止めされて同軸的に固設されている。ボス部1aの軸
心部には軸線方向孔1bが設けられており、その軸線方
向孔1b内には、出力部材としての可動軸3の図におけ
る下端部が同軸的に受容されている。
装置の要部側断面図であり、図では中心軸線の右半分の
みを示している。図1に示されるように、ケースの一部
である底壁1の中央部には階段型環状ボス部1aが上方
に向けて突設されており、その最下段部には、中央に開
口を有する円板状をなす弾性体2がその開口外周部をね
じ止めされて同軸的に固設されている。ボス部1aの軸
心部には軸線方向孔1bが設けられており、その軸線方
向孔1b内には、出力部材としての可動軸3の図におけ
る下端部が同軸的に受容されている。
【0009】弾性体2は、ボス部1aにねじ止めされた
中央環状部と、その中央環状部から半径方向外向きに延
出するケース連結部2aと、周方向溝2bにより半径方
向について分割された円環状共振部としての内周側円環
状部4と外周側円環状部5とからなる。それら各円環状
部4・5は、ボス部1a(可動軸3)に対して同心的に
配設されていると共に、上記周方向溝2bの底壁となる
連結部6を介して互いに連結されている。
中央環状部と、その中央環状部から半径方向外向きに延
出するケース連結部2aと、周方向溝2bにより半径方
向について分割された円環状共振部としての内周側円環
状部4と外周側円環状部5とからなる。それら各円環状
部4・5は、ボス部1a(可動軸3)に対して同心的に
配設されていると共に、上記周方向溝2bの底壁となる
連結部6を介して互いに連結されている。
【0010】なお、円環状部4・5の軸線方向について
中立面となる位置(曲げ応力の発生しない位置)に上記
連結部6の中心が位置するように連結部6が設けられて
いる。この連結部6は、上記周方向溝2bを加工すると
共に、連結部6の周方向溝2bとは相反する側にも周方
向溝2cを加工することにより形成される。
中立面となる位置(曲げ応力の発生しない位置)に上記
連結部6の中心が位置するように連結部6が設けられて
いる。この連結部6は、上記周方向溝2bを加工すると
共に、連結部6の周方向溝2bとは相反する側にも周方
向溝2cを加工することにより形成される。
【0011】また、両円環状部4・5の底面(図におけ
る下面)には両者に共通の1枚の円環状薄板からなる圧
電体7が貼り付けられている。図2に併せて示されるよ
うに、各円環状部4・5の圧電体7を貼り付けられた側
とは相反する側(図における上部)である一方の軸線方
向端面には、周方向に等ピッチ間隔で複数の半径方向ス
リットを設けることにより環状のくし歯状をなす内周側
くし歯部4a・外周側くし歯部5aがそれぞれ形成され
ている。このようにして固定子が構成されている。
る下面)には両者に共通の1枚の円環状薄板からなる圧
電体7が貼り付けられている。図2に併せて示されるよ
うに、各円環状部4・5の圧電体7を貼り付けられた側
とは相反する側(図における上部)である一方の軸線方
向端面には、周方向に等ピッチ間隔で複数の半径方向ス
リットを設けることにより環状のくし歯状をなす内周側
くし歯部4a・外周側くし歯部5aがそれぞれ形成され
ている。このようにして固定子が構成されている。
【0012】上記した各円環状部4・5が互いに同心的
かつ同一平面上に配設されるため、モータ装置としての
軸線方向長さを極力抑制することができる。また、超音
波モータの特性として比較的大トルクが得られるため、
径方向に大型化することもないため、コンパクトな薄型
構造にすることができる。
かつ同一平面上に配設されるため、モータ装置としての
軸線方向長さを極力抑制することができる。また、超音
波モータの特性として比較的大トルクが得られるため、
径方向に大型化することもないため、コンパクトな薄型
構造にすることができる。
【0013】内周側回転子8は、上記ボス部1aにラジ
アル軸受けを介して同軸的に回転自在に支持された回転
部材10に固着されて半径方向外向きに一体的に延出す
る皿ばねとしての薄肉ディスク部8aと、その外周部に
設けられた肉厚の周壁部8bとを有し、また、外周側回
転子9は、上記回転部材10にラジアル軸受けを介して
同軸的に回転自在に設けられたナット部材11に固着さ
れかつ内周側回転子8と同様に半径方向外向きに一体的
に延出する皿ばねとしての薄肉ディスク部9aと、その
外周部に設けられた肉厚の周壁部9bとを有している。
アル軸受けを介して同軸的に回転自在に支持された回転
部材10に固着されて半径方向外向きに一体的に延出す
る皿ばねとしての薄肉ディスク部8aと、その外周部に
設けられた肉厚の周壁部8bとを有し、また、外周側回
転子9は、上記回転部材10にラジアル軸受けを介して
同軸的に回転自在に設けられたナット部材11に固着さ
れかつ内周側回転子8と同様に半径方向外向きに一体的
に延出する皿ばねとしての薄肉ディスク部9aと、その
外周部に設けられた肉厚の周壁部9bとを有している。
【0014】そして、内周側円環状部4には内周側回転
子8の周壁部8bの軸線方向下端面が、外周側円環状部
5には外周側回転子9の周壁部9bの軸線方向下端面
が、それぞれ各薄肉ディスク部8a・9aの皿ばね作用
によりを弾発的に接触している。
子8の周壁部8bの軸線方向下端面が、外周側円環状部
5には外周側回転子9の周壁部9bの軸線方向下端面
が、それぞれ各薄肉ディスク部8a・9aの皿ばね作用
によりを弾発的に接触している。
【0015】上記圧電体7にはA相・B相の2相を構成
する電極が設けられており、それらA相・B相に、各円
環状部4・5の各共振周波数に対応する各高周波電圧を
90度位相をずらして選択的に入力するようになってい
る。内周側円環状部4に対応する高周波電圧を入力した
場合には内周側回転子8が回転し、外周側円環状部5に
対応する高周波電圧を入力した場合には外周側回転子9
が回転することになる。そして、各回転子8・9の正転
/逆転は2相(A相・B相)の位相差によって切り替え
られ、例えばA相に対してB相を1/4周期進ませるこ
とで正転となり、A相に対してB相を1/4周期遅らせ
ることで逆転となる。このようにして、各回転子8・9
を選択的にかつ正逆回転させることができるが、それぞ
れ単独に回転させるばかりでなく、各円環状部4・5に
対応する各高周波電圧を同時に入力し得る回路構成にし
て、それぞれを同時に回転させることも可能である。
する電極が設けられており、それらA相・B相に、各円
環状部4・5の各共振周波数に対応する各高周波電圧を
90度位相をずらして選択的に入力するようになってい
る。内周側円環状部4に対応する高周波電圧を入力した
場合には内周側回転子8が回転し、外周側円環状部5に
対応する高周波電圧を入力した場合には外周側回転子9
が回転することになる。そして、各回転子8・9の正転
/逆転は2相(A相・B相)の位相差によって切り替え
られ、例えばA相に対してB相を1/4周期進ませるこ
とで正転となり、A相に対してB相を1/4周期遅らせ
ることで逆転となる。このようにして、各回転子8・9
を選択的にかつ正逆回転させることができるが、それぞ
れ単独に回転させるばかりでなく、各円環状部4・5に
対応する各高周波電圧を同時に入力し得る回路構成にし
て、それぞれを同時に回転させることも可能である。
【0016】本発明によれば、上記各回転力から回転及
び直線の各運動を取り出すようにしている。すなわち、
内周側回転子8と一体的に回転する回転部材10には内
向突部10aが設けられ、その内向突部10aが、可動
軸3の中間部に形成されたスプライン部3aに係合して
おり、内周側回転子8の回転力が、直線運動許容回転力
伝達手段としての内向突部10a及びスプライン部3a
を介して可動軸3に伝達されるため、可動軸3は、図1
の矢印Aに示されるように軸線回りに回転し得る。
び直線の各運動を取り出すようにしている。すなわち、
内周側回転子8と一体的に回転する回転部材10には内
向突部10aが設けられ、その内向突部10aが、可動
軸3の中間部に形成されたスプライン部3aに係合して
おり、内周側回転子8の回転力が、直線運動許容回転力
伝達手段としての内向突部10a及びスプライン部3a
を介して可動軸3に伝達されるため、可動軸3は、図1
の矢印Aに示されるように軸線回りに回転し得る。
【0017】また、可動軸3の中間部には、ラジアル軸
受けを介して同軸的に回転時材に円筒状ボルト部材12
が支持されており、そのボルト部材12の外周面に形成
された雄ねじ部12aに、外周側回転子9と一体的に回
転するナット部材11の雌ねじ部11aが螺合してい
る。さらに、ボルト部材12には半径方向外向きの外向
突部12bが設けられて、その外向突部12bが、ケー
スの内壁面の一部(図1における上部)に設けられた縦
溝1cに係合している。
受けを介して同軸的に回転時材に円筒状ボルト部材12
が支持されており、そのボルト部材12の外周面に形成
された雄ねじ部12aに、外周側回転子9と一体的に回
転するナット部材11の雌ねじ部11aが螺合してい
る。さらに、ボルト部材12には半径方向外向きの外向
突部12bが設けられて、その外向突部12bが、ケー
スの内壁面の一部(図1における上部)に設けられた縦
溝1cに係合している。
【0018】したがって、外周側回転子9の回転力が、
回転−直線運動変換手段としての雌ねじ部11a及び雄
ねじ部12aを介することにより、ボルト部材12の軸
線方向力に変換される。そして、ボルト部材12の軸線
方向力が、可動軸3との間のラジアル軸受けを介して可
動軸3に伝達されるため、可動軸3の軸線方向(図1の
矢印Bに示される上下方向)に可動軸3が直線運動し得
る。
回転−直線運動変換手段としての雌ねじ部11a及び雄
ねじ部12aを介することにより、ボルト部材12の軸
線方向力に変換される。そして、ボルト部材12の軸線
方向力が、可動軸3との間のラジアル軸受けを介して可
動軸3に伝達されるため、可動軸3の軸線方向(図1の
矢印Bに示される上下方向)に可動軸3が直線運動し得
る。
【0019】なお、可動軸3の軸端(図1においては上
端)に取付板13を固着しておくことにより、その取付
板13を上記回転(パン)及び直線(リニア)駆動する
ことができる。例えば、取付板13上に視覚センサやレ
ーザポインタなどを取り付けることにより、それらの全
周及び上下方向の駆動を行わせるコンパクトなアクチュ
エータを実現し得る。
端)に取付板13を固着しておくことにより、その取付
板13を上記回転(パン)及び直線(リニア)駆動する
ことができる。例えば、取付板13上に視覚センサやレ
ーザポインタなどを取り付けることにより、それらの全
周及び上下方向の駆動を行わせるコンパクトなアクチュ
エータを実現し得る。
【0020】
【発明の効果】このように本発明によれば、弾性体を周
方向溝で分割して内周側及び外周側共振部を設けること
により2つの駆動力を取り出し得るコンパクトな超音波
モータ装置を実現し得ると共に、その出力部材を回転及
び直線の異なる運動を行わせることができることから、
出力部材に視覚センサやレーザポインタなどを取り付け
るなど、本装置を用いたアクチュエータを種々の用途に
適用し得る。
方向溝で分割して内周側及び外周側共振部を設けること
により2つの駆動力を取り出し得るコンパクトな超音波
モータ装置を実現し得ると共に、その出力部材を回転及
び直線の異なる運動を行わせることができることから、
出力部材に視覚センサやレーザポインタなどを取り付け
るなど、本装置を用いたアクチュエータを種々の用途に
適用し得る。
【図1】本発明が適用された超音波モータ装置の要部側
断面図。
断面図。
【図2】図1の超音波モータの要部分解組立斜視図。
1 底壁 2 弾性体、2b周方向溝、2c 周方向溝 3 可動軸、3a スプライン部 4 内周側円環状部、4a 内周側くし歯部 5 外周側円環状部、5a 外周側くし歯部 6 連結部 7 圧電体 8 内周側回転子 9 外周側回転子 10 回転部材、10a 内向突部 11 ナット部材、11a 雌ねじ部 12 ボルト部材、12a 雄ねじ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 幸治 群馬県桐生市広沢町1丁目2681番地 株式 会社ミツバ内 Fターム(参考) 5H680 AA01 AA08 AA19 BB13 BB17 BB19 BB20 BC00 DD01 DD23 DD53 DD75 DD87 DD92 DD97 DD98 EE03 EE12 FF04 FF08 FF26 FF27 FF33 GG20
Claims (1)
- 【請求項1】 円環状圧電体を貼り付けた弾性体に周方
向溝により半径方向に分割して互いに同心の異なる径の
内周側円環状共振部及び外周側円環状共振部を設けてな
る固定子と、前記各円環状共振部にそれぞれ対応しかつ
互いに独立して回転可能に設けられた第1の回転子及び
第2の回転子とを有し、 前記固定子がケースに固定され、 前記回転子の軸線に対して同軸的に回転かつ直線運動し
得るように前記ケースに支持された出力部材と、 前記第1の回転子の回転運動を前記出力部材の前記直線
運動に変換するべく前記第1の回転子と前記出力部材と
の間に設けられた回転−直線運動変換手段と、 前記出力部材を前記直線運動を許容しつつ前記第2の回
転子と共に一体的に回転運動させるべく前記第2の回転
子と前記出力部材との間に設けられた直線運動許容回転
力伝達手段とを有することを特徴とする超音波モータ装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10228210A JP2000060159A (ja) | 1998-08-12 | 1998-08-12 | 超音波モータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10228210A JP2000060159A (ja) | 1998-08-12 | 1998-08-12 | 超音波モータ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000060159A true JP2000060159A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=16872923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10228210A Pending JP2000060159A (ja) | 1998-08-12 | 1998-08-12 | 超音波モータ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000060159A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015194262A (ja) * | 2012-02-08 | 2015-11-05 | 日本精工株式会社 | アクチュエータ |
WO2017169118A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | ソニー株式会社 | 治具保持装置及び医療用観察装置 |
-
1998
- 1998-08-12 JP JP10228210A patent/JP2000060159A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015194262A (ja) * | 2012-02-08 | 2015-11-05 | 日本精工株式会社 | アクチュエータ |
US9954416B2 (en) | 2012-02-08 | 2018-04-24 | Nsk Ltd. | Actuator, stator, motor, rotational-to-linear motion conversion mechanism, and linear actuator |
WO2017169118A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | ソニー株式会社 | 治具保持装置及び医療用観察装置 |
US11382715B2 (en) | 2016-03-31 | 2022-07-12 | Sony Corporation | Jig-holding device and medical observation device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0696072A1 (en) | Vibration driven motor | |
JP2000152671A (ja) | 超音波モータ | |
US5296776A (en) | Piezo-electric motor intended for a timepiece | |
JP2000060159A (ja) | 超音波モータ装置 | |
KR20020062591A (ko) | 진동소자 및 진동파구동장치 | |
JP2000060154A (ja) | 超音波モータ | |
US6198201B1 (en) | Vibration wave apparatus | |
EP0553827B1 (en) | A vibration driven actuator | |
JP2000060155A (ja) | 超音波モータ | |
JP2532425B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
JP3828418B2 (ja) | 超音波モータ、及び超音波モータのステータ | |
RU2213894C2 (ru) | Волновой орбитальный привод | |
JP2000060158A (ja) | 超音波モータ装置 | |
JPH0681523B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
JP2000060156A (ja) | 超音波モータ | |
JP2003047263A (ja) | 振動波駆動装置 | |
JP2000060166A (ja) | 超音波モータ | |
JP2556045B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH11346484A (ja) | 超音波モータおよびその製造方法 | |
JP2549309B2 (ja) | 超音波モータ | |
JP2000060157A (ja) | 超音波モータ | |
JPS6016180A (ja) | 回転駆動装置 | |
JP2001119965A (ja) | 2軸駆動型超音波モータ装置 | |
JPH11191968A (ja) | 超音波モータのステータ | |
JP2001016875A (ja) | 振動波駆動装置 |