JP2000036276A5 - - Google Patents

Description

【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一つの観点によれば、荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの任意の検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に表示するように前記信号選択器を制御するとともに、前記選択された検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスとをそれぞれ連動して調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする。

【００１１】
本発明は、別の観点によれば、荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの少なくとも二つの検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に別々の表示領域に表示するように前記信号選択器を制御するとともに、前記複数の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスを連動して調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする。
本発明は、他の観点によれば、荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの任意の検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に表示するように前記信号選択器を制御する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含み、前記像表示器は前記選択された検出系で生成された信号の像に加えて前記選択された検出系生成された信号についての自動調整ボタンと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についての自動調整ボタンとを表示し、前記制御器は、前記ポインティングデバイスを操作して前記自動調整ボタンのうちの一つ以上の自動調整ボタンを選択したとき、その選択に応答して、その選択された一つ以上の自動調整ボタンに対応する信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスを自動調整することを特徴とする。

【００１２】
本発明の更に別の観点によれば、荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記複数の検出系で生成された信号の合成信号を生成する合成器と、前記複数の検出系で生成された信号及び前記合成信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器の別々の表示領域に表示する、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記表示された複数の信号については、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、個別にコントラスト及び/ 又はブライトネスを調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする。

Claims (10)

1. 荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの任意の検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に表示するように前記信号選択器を制御するとともに、前記選択された検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスとをそれぞれ連動して調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする荷電粒子線装置。
2. 請求項１において、前記像表示器は前記選択された検出系で生成された信号にもとづく像に加えてスライドバ−を表示し、前記制御器は、前記ポインティングデバイスを操作して前記スライドバ−を移動させることに応答して前記コントラスト及び/ 又はブライトネスを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
3. 請求項１において、前記制御器は、前記ポインティングデバイスを操作してそのカ−ソルを前記像上で移動させることに応答して前記コントラスト及び/ 又はブライトネスを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
4. 荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの少なくとも二つの検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に別々の表示領域に表示するように前記信号選択器を制御するとともに、前記複数の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスを連動して調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする荷電粒子線装置。
5. 請求項４において、前記制御器は、前記どちらかの表示領域に表示される像を観察しながら前記ポインティングデバイスを操作することに応答して前記コントラスト及び/ 又はブライトネスを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
6. 荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの任意の検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に表示するように前記信号選択器を制御する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含み、前記像表示器は前記選択された検出系で生成された信号の像に加えて前記選択された検出系で生成された信号についての自動調整ボタンと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についての自動調整ボタンとを表示し、前記制御器は、前記ポインティングデバイスを操作して前記自動調整ボタンのうちの一つ以上の自動調整ボタンを選択したとき、その選択に応答して、その選択された一つ以上の自動調整ボタンに対応する信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスを自動調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
7. 請求項６において、前記制御手段は、前記選択された任意の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスとを目標値と一致させるように自動的に調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
8. 請求項７において、前記ポインティグデバイスによって選択されなかった自動調整ボタンは前記像表示器に表示された像を与える信号に対応する自動調整ボタンであり、前記制御器は、前記ポインティングデバイスによって選択された調整ボタンに対応する信号についてのコントラスト及び/ 又はブライトネスを、前記像表示器に表示された像を与える信号について手動で調整して得られたコントラスト及び/ 又はブライトネスと一致するように自動的に調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
9. 荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する操作器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ−タと、信号選択器と、前記複数の検出系で生成された信号の合成信号を生成する合成器と、前記複数の検出系で生成された信号及び前記合成信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器の別々の表示領域に表示する、前記コンピュ−タによって制御される像表示器と前記表示された複数の信号については、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、個別にコントラスト及び/ 又はブライトネスを調整する、前記コンピュ−タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする荷電粒子線装置。
10. 請求項９において、前記制御器は、前記ポインティングデバイスの操作に応答して、前記合成信号についてはその合成比を変えることを特徴とする荷電粒子線装置。