JP2000030824A - Icソケット - Google Patents
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Abstract
験を行うに当って、コンタクト部材のコンパクト化を図
ると共に、このコンタクト部材における電気信号の伝送
経路を短縮でき、試験時における通電特性を向上させ
る。 【解決手段】 ソケット15には第1のコンタクト部材
32と第2のコンタクト部材33とが設けられ、第1の
コンタクト部材32はリードLと接離するものであり、
ICデバイスDのリードLと当接する第1の当接部片3
8と、第2のコンタクト部材33と当接する第2の当接
部片39と、隔壁36のガイド面36aに沿って摺動す
るガイド部40とを有し、リードLが第1の当接部片3
8に当接すると、先端の押動部37が隔壁36に当接し
ているばね部32bが、この隔壁36に規制されて弾性
変形して、リードLと第1のコンタクト部材32との間
が接続される。第2のコンタクト部材33は第1のコン
タクト部材32及び基板16に設けた電極と当接する。
Description
気的特性の試験を行うために、ICソケットが着脱可能
に載置されて、ICテスタと電気的に接続するためのI
Cソケットに関するものである。
ためのICテスタには、多数の電極を設けたソケットを
装着したテストヘッドを有し、ICデバイスは、このソ
ケットに接続されて、このICデバイスのリードと電極
とを電気的に接続し、ICテスタとの間で通電させるよ
うにする。ICデバイスの試験を効率的に行うために、
多数のICデバイスを同時にICテスタに接続する構成
とする。このために、ICテスタには多数のソケットを
設けると共に、このICテスタのソケットの数と同数の
ICデバイスを収容するキャリアを用い、ICデバイス
はキャリアに載置した状態で各ソケットに接続させる。
多種多様のパッケージ方式のものが開発され、また同じ
パッケージ方式のものであっても、サイズが異なる複数
種類のものが存在する。これら品種及びサイズが異なる
ICデバイスに対応するために、ICテスタにおけるソ
ケットは交換可能に構成するのが一般的である。このた
めに、ICテスタのマザーボードにインターフェースボ
ードをワイヤリング等の手段で接続し、このインターフ
ェースボードに所定数のソケットを取り付けたソケット
ボードを着脱可能に接続するように構成する。ソケット
ボードとインターフェースボードとの間の接続は、ソケ
ットボードにおけるソケットを取り付けた側とは反対側
の面に所定の配線パターンと共に所定数の電極を形成
し、インターフェースボード側には接点ピンをばねで付
勢したスプリングコネクタを装着する。これによって、
ソケットボードをインターフェースボードに接続した時
にはスプリングコネクタの接点ピンがソケットボードの
電極と当接し、かつ接点ピンに作用するばねが撓められ
て、ソケットボードを構成する各ソケットとインターフ
ェースボードとが電気的に接続される。
ICデバイスを接続するために、ソケットにはICデバ
イスのリードに接離するコンタクト部材が設けられる。
そこで、図7にコンタクト部材の概略構成を示す。同図
から明らかなように、コンタクト部材Cは概略U字状に
曲成したばね性を有する部材で構成され、このコンタク
ト部材Cを外方に突出させるようにしてソケットSに組
み付ける。従って、ICデバイスDをソケットSに対し
て押圧して、そのリードLをこのコンタクト部材Cに圧
接させると、コンタクト部材Cが撓んでリードLに圧接
され、もってリードLとコンタクト部材Cとが確実に電
気的に接続されることになる。
デバイスを同時にコンタクト部材と接続するに当って、
リードの形状やコンタクト部材の寸法,形状等に多少で
もばらつきがあると、部分的に接触不良を生じるおそれ
がある。そこで、リード及びコンタクト部材の寸法精度
のばらつき等を吸収させるために、コンタクト部材の撓
み代を大きく取ることによって、コンタクト部材のリー
ドに対する圧接力を大きくするようになし、もってIC
デバイスの押圧によるリードとコンタクト部材との間の
電気的な接続をより確かなものとする必要がある。この
ように、コンタクト部材の撓み代、つまり付勢力を大き
くするには、コンタクト部材の全長を長くしなければな
らない。このために、コンタクト部材が外方に大きく突
出して余分なスペースを取ることから、ソケットのサイ
ズが大きくなる。近年においては、ICデバイスを効率
的に試験するために、多数のソケットをソケットボード
に設けると共に、多数のICデバイスをデバイスキャリ
アに載置して、デバイスキャリアをソケットボードに向
けて押圧することにより各ICデバイスを同時にソケッ
トに接続するが、ソケットのサイズが大きくなると、そ
の分だけソケットボード及びデバイスキャリアのサイズ
も大きくしなってしまい、試験装置全体の構成が著しく
大型化する等の問題点がある。
電流を流すようにするが、このためにはインダクタンス
を低くする必要がある。ここで、リードとソケットボー
ドの電極との間はコンタクト部材により電気的に接続す
るようにしているから、低インダクタンス化を図るに
は、コンタクト部材における電気信号の伝送経路をでき
るだけ短くしなければならず、コンタクト部材とリード
との接続を安定させるために、コンタクト部材の長さを
長くすると、その分だけインダクタンスが大きくなって
しまう。従って、試験の高速化を図るために、測定時の
周波数を高くするのには限度がある等といった問題点も
ある。
り、課題なりを解決するためになされたものであって、
その目的とするところは、コンタクト部材のコンパクト
化を図ると共に、このコンタクト部材における信号伝送
路をできるだけ短縮することにある。
ために、本発明は、ICデバイスが着脱可能に設置され
るソケット本体と、このソケット本体に設けた多数の電
極と、前記ICデバイスの各リードと各電極との間を電
気的に接続させるためのコンタクト部材とを備え、この
コンタクト部材にばね性を持たせることによって、前記
ICデバイスを加圧した時に、コンタクト部材の撓みに
よって、このコンタクト部材を介して前記リードと電極
とを電気的に接続する構成としたものであって、前記コ
ンタクト部材は、前記電極に接合される第1の接合部片
及び前記リードに接合される第2の接合部片と、この第
2の接合部片を加圧した時に、前記第1の接合部片を支
点として回動するようにガイドするために、前記ソケッ
ト本体に設けたガイド面に沿って摺動するガイド部片と
が連設され、前記ICデバイスの加圧力によっては実質
的に弾性変形しないコンタクト部と、このコンタクト部
に連設され、ICデバイスの加圧時に弾性変形すること
によって、第1の接合部片を前記電極に、また第2の接
合部片を前記リードに圧接する方向に付勢力を働かせる
ばね部とを備える構成としたことをその特徴とするもの
である。
は、ガイド部片から下方に延在させた上で、内向きに湾
曲させるようになし、このばね部の端部をストッパに当
接させるようにして装着すると、さらにソケットを小型
化、コンパクト化することができ、ソケットボードによ
り多数のソケットを装着することができる。また、スト
ッパとガイド面とは、それぞれ別個の部材で構成しても
良いが、ソケット本体に設けた作動板の両面に形成する
構成とすることも可能である。さらに、ソケット本体に
設けた各電極は、ソケット本体に装着した基板に形成
し、この基板には、各電極に中継用コンタクト部材に当
接させて設け、この中継用コンタクト部材に前記コンタ
クト部材の第1の接合部片を当接させる構成し、さらに
この中継用コンタクト部材は加圧力により前記電極に圧
接する方向に弾性変形する弾性部材で形成できる。
的特性の試験装置の概略構成を示す。図中において、1
はICテスタであって、ICテスタ1はテストヘッド2
を有し、このテストヘッド2には多数のICデバイスD
を載置して、それらの電気的特性の試験を同時に行える
ようにしている。
めの治具としてデバイスキャリア3が用いられる。デバ
イスキャリア3は、縦横に多数のデバイス収容部3aを
形成したものであり、これら各デバイス収容部3aには
ローダ部でICデバイスDを載置した後に、図1にある
ように、ICテスタ1のテストヘッドが設けられている
部位にまで搬送させる。そして、この位置で、デバイス
キャリア3を図示しないプッシャで押し上げることによ
って、テストヘッド1aに接続される。この状態で、I
Cテスタ1に定められた手順でICデバイスDに通電す
ることによって、その電気的特性の試験が行われる。試
験が終了すると、デバイスキャリア3はテストヘッド2
から離脱させて、アンローダ部に移行し、このアンロー
ダ部において、試験結果に基づく品質毎に分類される。
を示す。まず、図2から明らかなように、テストヘッド
2はマザーボード10を有し、このマザーボード10に
対して所定の間隔をもってインターフェースボード11
が対面するように配置されている。インターフェースボ
ード11には所定数のコネクタ12が設けられ、コネク
タ12とマザーボード10との間は多数の同軸線13で
接続されている。14はソケットボード、15はこのソ
ケットボード14に装着したソケットであって、ソケッ
トボード14には、ソケット15から延在された基板1
6が貫通してインターフェースボード11側に延在され
ている。そして、基板16には接続コネクタ17が同軸
線18を介して接続されており、この接続コネクタ17
がインターフェースボード11の接続部12に着脱可能
に接続される。
能となっているので、ソケットボード14はテストヘッ
ド2から取り外すことができることになる。この結果、
試験を行うICデバイスの種類は寸法等が異なる場合
に、ソケットボード14を適宜交換することができ、こ
れによってICテスタ1を複数種類のICデバイスの測
定を行うために使用できるようになる。
ェースボード11との接続は、基板16及び同軸線1
3,18を介して行うようになっているから、信号の伝
送路に同軸性を確保される。また、接続コネクタ17と
接続部12との接続は、接続コネクタ17及び接続部1
2にそれぞれ同軸ピン19,20を設けて、これら同軸
ピン19,20により接続する構成とすることによっ
て、完全な同軸性が確保される。この結果、インピーダ
ンスの整合が図られる。また、ソケットボード14には
基板16が、このソケットボード14の板面に対して直
交する方向に延在されており、この基板16には、例え
ばチップコンデンサ21,ブースタ抵抗22(またはL
Rモジュール等)の電子部品を搭載できる。しかも、こ
れらの電子部品はソケット15に極めて近い位置に配置
されることから、測定精度を向上させることができ、高
周波測定が可能になる。
ケットボード14に設けたソケット15との接続機構の
構成を示す。これらの図において、30はソケット本体
を示し、このソケット本体30は有底枠状の部材からな
り、合成樹脂等の電気絶縁部材で形成されている。ソケ
ット本体30は、ソケットボード14に固定的に保持さ
れており、その左右の側壁部30a,30aには基板挿
通部31が形成されている。基板16はソケットボード
14に設けた基板取付用の貫通孔14aを貫通してソケ
ット本体30の基板挿通部31内に臨んでいる。ここ
で、基板16は貫通孔14aに固定的に保持されてお
り、基板挿通部31内では遊嵌状態となっている。そし
て、基板16はその配線パターンを形成した部位が内向
きとなるようにして装着される。
材32と、第2のコンタクト部材33とが、ICデバイ
スDのリードLの数だけ設けられている。第1のコンタ
クト部材32はリードLに接離されるものであり、また
第2のコンタクト部材33は第1のコンタクト部材32
及び基板16に設けた電極(図示せず)と当接するよう
になっている。ソケット本体30にはこれら第1,第2
のコンタクト部材32,33を保持するための多数のス
リット34が形成されている。
導電部材からなり、水平部33aと鉛直部33bとから
なる概略L字状の部材からなり、水平部33aにはソケ
ット本体30に設けたストッパ部35に挿嵌される突出
部33cが形成されている。また、鉛直部33bの基板
16に対面する側には接点部33dが外方に突出する状
態に設けられており、この接点部33dが基板16に設
けた電極に当接することになる。さらに、鉛直部33b
の上端部は、第1のコンタクト部材32が当接する受け
部33eが形成される。接点部33dは常時には基板1
6と当接しており、これによって第2のコンタクト部材
33は基板16と電気的に接続されている。そして、接
点部33dを基板16側に向けて突出させているのは、
第2のコンタクト部材33に押圧力が作用した時に、こ
の接点部33dを基板16に確実に当接させるためのも
のである。従って、多数設けられる第2のコンタクト部
材33の形状に多少のばらつきがあったり、変形したり
しても、少なくとも押圧力が作用した時には、この第2
のコンタクト部材33は基板16と確実に接続されるこ
とになる。
クト部32aとばね部32bとから構成される。この第
1のコンタクト部材32も、第2のコンタクト部材33
と同様に、導電性を有し、かつばね性を有する部材から
なるが、コンタクト部32aはコンタクト時には実質的
に弾性変形しない程度の幅寸法を有するものであり、ば
ね部32bは細長く、しかも概略ループ状に曲成してい
る。この第1のコンタクト部材32は、コンタクト部3
2aを上方に配置され、ばね部32bは下方に向けて延
在されており、途中で上方に向くように曲成されてい
る。ソケット本体30には、その側壁30aの内面に当
接するように隔壁36が設けられており、この隔壁36
の下部側には側壁30aに形成したスリット34に対応
する挿通路36aが形成されている。そして、第1のコ
ンタクト部材32は、そのコンタクト部32aがスリッ
ト34内に挿入され、ばね部32bの下端部から曲成さ
れた部位が隔壁36の挿通路36a内に挿通されて、こ
の隔壁36の裏面側に回り込んだ後に上方に延在させ、
かつこのばね部32bの端部は押動部37となって隔壁
36に当接しており、これによってばね部32bの端部
は動きが制限されることになる。
32aは、図5からも明らかなように、3箇所にわたっ
て突出する形状となっている。まず、上方に突出する部
位はICデバイスDのリードLと当接する第1の当接部
片38であり、外向きに突出する部位は第2の当接部片
39で、第2のコンタクト部材33における受け部33
aと当接している。さらに、内向きにも突出する部位が
形成されており、この突出部位はガイド部片40であ
る。ガイド部片40は隔壁36に形成した円弧状のガイ
ド面36bに沿って摺動するようになっており、このガ
イド面36bの上端側はストッパ部36cとなってい
る。そして、ばね部32bの端部を構成する押動部37
が所定のばね力で隔壁36に圧接されており、この結果
ガイド部片40がストッパ部36bに押し当てられると
共に、その反力により第2の当接部片39が第2のコン
タクト部材33の受け部33eに圧接されることにな
り、これによって第1のコンタクト部材32は所定の位
置に安定的に保持される。
タクトボード3の各デバイス収容部3aにそれぞれIC
デバイスDを収容させて水平方向に搬送して、ICテス
タ1に対面する位置にまで搬送する。そして、コンタク
トボード3をICテスタ1のソケットボード14に近接
する方向に移動させると、コンタクトボード3に載置し
た各ICデバイスDがソケットボード14のソケット1
5に接続される。このICデバイスDとソケット15と
の接続は、ICデバイスDのリードLが第1のコンタク
ト部材32におけるコンタクト部32aを構成する第1
の当接部片38に当接させることにより行われる。ここ
で、コンタクトボード3に載置した全てのICデバイス
Dにおける全てのリードLをソケット15の第1のコン
タクト部材32に当接させ、かつ確実に電気的に接続で
きるようにする必要がある。このためには、リードLで
第1のコンタクト部材32を押圧した時には、この第1
のコンタクト部材32に付勢力を作用させて、両者間を
確実に接続しなければならない。
ンタクト部材32を構成するコンタクト部32aにおけ
る第1の当接部片38に圧接すると、この第1のコンタ
クト部材32に押圧力が作用する。第2の当接部片39
は第2のコンタクト部材33における受け部33eに当
接しているから、第2の当接部片39は固定的に保持さ
れ、従って図5に矢印aで示したように、コンタクト部
32aは第2の当接部片39を支点として下方に回動変
位する。この結果、ガイド部片40は隔壁36のガイド
面36bに沿って摺動変位することになり、第1のコン
タクト部材32全体が下方に回動しようとする。コンタ
クト部32aにはばね部32bが連設されており、この
ばね部32bの端部は押動部37として隔壁36に当接
することにより規制されていることから、第1のコンタ
クト部材32に作用する力によりばね部32bが矢印b
で示した方向に弾性変形して、図5に仮想線で示した状
態になる。
部37は隔壁36に当接しているだけであるから、この
隔壁36に沿って矢印c方向に摺動するが、ばね部32
bに働く力は矢印b方向であるから、このばね部32b
のループが開く方向に弾性変形することになる。従っ
て、この時の反力が矢印dで示したように、第1の当接
部片38に作用する結果、この第1の当接部片38はI
CデバイスDのリードLに圧接されて、その間の電気的
接続が確実に行われる。また、第1の当接部片38がリ
ードLにより動きが規制されることから、ばね部32b
の弾性変形に対する反力は矢印eで示したように、第1
のコンタクト部材32を構成する第2の当接部片39に
も作用して、この第2の当接部片39と第2のコンタク
ト部材33の受け部33eとの間の電気的な接続がより
安定する。さらに、第2のコンタクト部材33が受承す
る押圧力により、矢印fで示したように、その接点部3
3dを基板16に押し付ける方向に作用するようになっ
て、接点部33dと基板16の電極との間も確実に電気
的に接続されることになる。
ト部材32とを圧接させることによってリードLと基板
16との電気的な接続を確実に行うが、そのための付勢
力としては、この第1のコンタクト部材32の下方に向
けて延在させたばね部32bの弾性変形により作用させ
るようにしているので、その付勢力を大きくするため
に、ばね部32bを長尺化させても、ソケット15の幅
方向に大きく突出することがない。従って、ソケットボ
ード14に設けられるソケット15のピッチ間隔を短く
することができるようになり、その分だけ小型のソケッ
トボード14で多数のソケット15を設けることができ
る。
クト部材32の第1の当接部片38に圧接されると、I
CデバイスDと基板16との間で電気信号を授受するこ
とによって、このICデバイスDの電気的特性の試験が
行われる。ここで、ICデバイスDのリードLと基板1
6の電極との間における電気信号の伝送経路としては、
第1のコンタクト部材32の第1の当接部片38及び第
2の当接部片39との間と、第2のコンタクト部材33
において、第2の当接部片39との当接部である受け部
33eから基板16への接点部33dから構成される。
そして、リードLとの接続を確実にするための付勢力が
作用するばね部32bは電気信号の伝送経路として機能
しないことから、付勢力を大きくするために、ばね部3
2bを長尺化させたとしても、信号伝送経路が長くなる
ことはない。この結果、ICテスタ1とICデバイスD
との間の通電特性が著しく向上し、低インダクタンス化
が図られて、高周波測定が可能になり、試験の高速化が
図られる。
離脱させると、第1のコンタクト部材32が復元するこ
とになり、図5に実線で示した位置に復帰する。ここ
で、仮想線の位置から実線の位置に復帰する際には、ば
ね部32bにおける押動部37が隔壁36に沿って摺動
することから、ばね部32bには、この摺動が可能な程
度の付勢力を作用させるようにする。これによって、繰
り返しICデバイスDをソケット15にコンタクトさせ
ても、常に安定した電気的接続を確保できる。
ンタクト部材のコンパクト化を図ると共に、このコンタ
クト部材における電気信号の伝送経路を短縮でき、試験
時における通電特性を著しく向上させることができる。
図である。
示すテストヘッドの要部構成図である。
平面図である。
説明図である。
図である。
ドラ 3 コンタクトボード 10 マザー
ボード 11 インターフェースボード 14 ソケッ
トボード 15 ソケット 16 基板 30 ソケット本体 32 第1の
コンタクト部材 32a コンタクト部 32b ばね
部 33 第2のコンタクト部材 33a 水平
部 33b 鉛直部 33d 接点
部 33e 受け部 35 ストッ
パ部 36 隔壁 36a ガイ
ド面 36b ストッパ部 37 押動部 38 第1の当接部片 39 第2の
当接部片 40 ガイド部片 D ICデバ
イス L リード
Claims (5)
- 【請求項1】 ICデバイスが着脱可能に設置されるソ
ケット本体と、このソケット本体に設けた多数の電極
と、前記ICデバイスの各リードと各電極との間を電気
的に接続させるためのコンタクト部材とを備え、このコ
ンタクト部材にばね性を持たせることによって、前記I
Cデバイスを加圧した時に、コンタクト部材の撓みによ
って、このコンタクト部材を介して前記リードと電極と
を電気的に接続する構成としたICソケットにおいて、
前記コンタクト部材は、前記電極に接合される第1の接
合部片及び前記リードに接合される第2の接合部片と、
この第2の接合部片を加圧した時に、前記第1の接合部
片を支点として回動するようにガイドするために、前記
ソケット本体に設けたガイド面に沿って摺動するガイド
部片とが連設され、前記ICデバイスの加圧力によって
は実質的に弾性変形しないコンタクト部と、このコンタ
クト部に連設され、ICデバイスの加圧時に弾性変形す
ることによって、第1の接合部片を前記電極に、また第
2の接合部片を前記リードに圧接する方向に付勢力を働
かせるばね部とを備える構成としたことを特徴とするI
Cソケット。 - 【請求項2】 前記ばね部は、前記ガイド部片から下方
に延在させた上で、内向きに湾曲させるようになし、こ
のばね部の端部をストッパに当接させるようにして装着
する構成としたことを特徴とする請求項1記載のICソ
ケット。 - 【請求項3】 前記ストッパと前記ガイド面とは、前記
ソケット本体に設けた作動板の両面に形成する構成とし
たことを特徴とする請求項2記載のICソケット。 - 【請求項4】 前記各電極は、前記ソケット本体に装着
した基板に形成し、この基板の各電極に中継用コンタク
ト部材に当接させて設け、この中継用コンタクト部材に
前記コンタクト部材の第1の接合部片を当接させる構成
としたことを特徴とする請求項1記載のICソケット。 - 【請求項5】 前記中継用コンタクト部材は加圧力によ
り前記電極に圧接する方向に弾性変形する弾性部材で形
成したことを特徴とする請求項1記載のICソケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19255698A JP3719003B2 (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Icソケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19255698A JP3719003B2 (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Icソケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000030824A true JP2000030824A (ja) | 2000-01-28 |
JP3719003B2 JP3719003B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=16293249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19255698A Expired - Fee Related JP3719003B2 (ja) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Icソケット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3719003B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190009279A (ko) * | 2016-06-17 | 2019-01-28 | 오므론 가부시키가이샤 | 프로브 핀 |
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1998
- 1998-07-08 JP JP19255698A patent/JP3719003B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190009279A (ko) * | 2016-06-17 | 2019-01-28 | 오므론 가부시키가이샤 | 프로브 핀 |
KR102088123B1 (ko) | 2016-06-17 | 2020-03-11 | 오므론 가부시키가이샤 | 프로브 핀 |
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JP3719003B2 (ja) | 2005-11-24 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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