JP2000028585A - センサ配列体を正規化、較正するシステムおよび方法 - Google Patents

センサ配列体を正規化、較正するシステムおよび方法

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    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts

Abstract

(57)【要約】 【課題】センサの配列体を正規化、較正するシステムお
よび方法を提供する。 【解決手段】センサ配列体は、差動素子センサ、たとえ
ば渦電流センサや絶対センサからなる。単一の試験検体
を用いて、この検体の１回以上の走査によりセンサ配列
体を正規化、較正する。試験検体に対するセンサの位置
決めは１回しか必要でない。試験検体は、検査すべき部
品と同一または類似の材料から、単純な平坦表面または
もっと複雑な表面を有する、部品と同様の幾何形状に形
成するのが好ましい。たとえば放電加工により試験検体
の表面に１個の線形特徴と複数のノッチとを切削加工
し、これらから、センサ配列体で検体を走査したときに
必要な信号を得る。検体上の線形特徴から得た信号を用
いてバイアスを除去し、また配列体内のセンサすべての
ダイナミックレンジを正規化する。ノッチから得た信号
を用いて配列体内のセンサに利得設定を確立する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【関連出願】本出願は、１９９８年６月２３日に出願さ
れた先の米国仮出願番号６０／090,293号に関して、米
国法35ＵＳＣ119のもとに優先権を主張するものであ
る。
【０００２】
【技術分野】この発明はセンサ配列体に関し、特にセン
サ配列体を正規化、較正する方法に関する。
【０００３】
【背景技術】センサの配列体（アレー）を用いて、金属
要素や部品中の欠陥を検出したり、欠陥の寸法を測定す
ることができる。この場合、配列体内の各センサは、金
属要素または部品中の欠陥を示す電気信号を発生する。
一つのセンサに対して金属要素または部品が大きすぎる
場合には、多数のセンサを一緒に配列体として用いて、
金属部品のある区域をスキャンすればよい。しかし、欠
陥の検出および／または測定を正確に行うためには、配
列体内のセンサすべてが同じ欠陥に対して同様に反応す
る（すなわち、同じ電気信号を発生する）ことが重要で
ある。そうなるためには、配列体内のセンサがすべて同
じダイナミックレンジを有し、同じ欠陥に対して同じ信
号振幅で応答する必要がある。
【０００４】複数のセンサから均一な反応を得るため
に、これらのセンサを正規化し、較正する。たとえば、
航空機エンジン構成部品を検査するのに用いられるフレ
キシブル渦電流センサアレーは、従来、２つの別個の検
体、すなわち、すべてのセンサ素子からの信号を正規化
するための検体と、素子信号レベルを較正するための検
体とを用いて、正規化と較正を行っている。正規化のた
めには、すべての素子を線形特徴を横切って走査する。
各素子について、その信号レベルから補正率およびオフ
セットを計算し、後で部品の検査時に用いるように保存
する。較正のためには、センサ素子の一つを用いて、試
験検体上の単一ノッチを二次元的に走査する。センサ配
列体を各試験検体に対して適切に位置決めするのに、か
なり長い時間が必要とされるので、このプロセスにかか
る時間は長くなる。この場合、センサを試験検体と最低
でも２回位置決めする必要がある。また、二次元走査を
高い空間解像度で行う。さらに、検査しようとする部品
の幾何形状と合致しない（したがって、部品試験条件が
較正条件と合致しない）試験検体を用いてデータを得て
いるので、結果の正確さに限度がある。したがって、得
られたデータは、複雑な表面を有する部品を走査するの
に用いたセンサ配列体の走査条件を十分に表わしていな
い。
【０００５】
【発明の概要】したがって、センサ配列体を正規化し、
較正する、迅速、簡単かつ正確なシステムおよび方法が
求められている。この発明は、単一の試験検体の１回以
上の走査（スキャン）により、センサの配列体を正規化
（normalize）し、較正（calibrate）する、システム、
試験検体および方法を提供する。試験検体に対するセン
サの位置決めは１回しか必要でない。試験検体は、欠陥
を検出するために走査すべき金属要素または部品と同一
または類似の材料から、部品と同様の幾何形状（たとえ
ば、単純な平坦表面またはもっと複雑な表面）に形成す
るのが好ましい。試験検体は、検体の表面に切削加工さ
れた、少なくとも１個の線形特徴（linearfeature）と
複数のノッチとを有する。線形特徴およびノッチは両方
共、配列体のセンサに電気信号を発生させ、これらの電
気信号を用いてセンサ配列体を正規化し、較正する。本
発明の方法では、走査中に、配列体内の各センサが試験
検体上の線形特徴を検出したことにより各センサが発生
する電気信号トレースを用いて、バイアスを除去し、ま
た各センサのダイナミックレンジを正規化する。さらに
本発明の方法では、走査中に、配列体内の特定のセンサ
が試験検体の複数のノッチの１個以上を検出したことに
よりこれらのセンサが発生する電気信号トレースを用い
て、配列体の各センサの利得設定を確立し、各センサを
較正する。
【０００６】
【好適な実施態様】図１は、本発明の１実施例にしたが
って、渦電流センサ６０の配列体５０を正規化し、較正
する方法の工程を示すフローチャートである。各渦電流
センサ６０は、１対の差動接続した素子５８，５９、す
なわち二重コイルから構成される。ただし、この発明は
絶対型の素子、すなわち単一コイルから構成されるセン
サにも等しく適用できる。
【０００７】まず最初、試験検体を選定する。試験検体
は、これから正規化、較正する必要のあるセンサ配列体
５０により走査（スキャン）される。試験検体は、欠陥
を検出するために走査すべき金属要素または部品と同一
または類似の材料から形成し、類似の幾何表面形状とす
るのが好ましい。場合によっては、製作を簡単にするた
めに、試験検体を、多数の材料片を互いに接着して構成
することもできる。図２は平坦な表面を有する試験検体
１０の平面図である。図３は複雑な表面を有する試験検
体１８の斜視図である。図４は、その試験検体１８の内
面を二次元的に平らに伸ばした状態を示す、試験検体１
８の平面図である。
【０００８】試験検体は、たとえば既知の放電加工法を
用いて試験検体の表面に加工した、１個以上の線形特徴
１２と多数のノッチ１４とを有する。たとえばある用途
には、線形特徴は、約０．００３インチ（３ミル）の狭
い幅を有し、センサ６０の差動素子により無限に深いと
見なされる（すなわち、ノッチ１４がそれ以上深くても
信号振幅が増加しない）のに十分な深さを有するが、こ
れらの寸法値は用途に応じて変えればよい。すべての用
途について、すべてのセンサ６０が線形特徴を検出した
結果として信号を発生するように、線形特徴の長さまた
は複数の線形特徴の組合せが、センサ配列体５０の走査
区域をカバーすることが必要である。たとえばある用途
には、ノッチ１４が深さ約１５ミル、長さ約３０ミル、
幅約３ミル（すなわち０．０１５″ｘ０．０３０″ｘ
０．００３″）であるが、これらの寸法値は用途に応じ
て変えればよい。すべての用途について、複数ノッチ１
４を走査方向に、１つの素子が同時に１つのノッチにし
かかからないように、配置する必要がある。ノッチ同士
は水平方向において素子の幅の約３／４だけ離す必要が
あるが、これ以外の分離距離としてもよい。図２に示す
試験検体１０は、１個の線形特徴１２と複数個のノッチ
１４とを有する。図４に示す試験検体１８は、多数の線
形特徴２０，２１，２２と複数個のノッチ１４とを有す
る。
【０００９】渦電流センサ配列体５０は、図２および図
４に示すように、センサ６０の列５６が二列互いにずれ
た構成であるが、工程３０で、渦電流センサ配列体５０
をあらかじめ選択された試験検体に対して位置決めす
る。図２において、センサ配列体５０は試験検体に対し
て、（イ）線形特徴がセンサ配列体５０の走査区域をカ
バーし、（ロ）センサ配列体５０の第一列からの一つの
センサ５４だけとセンサ配列体５０の第二列からの一つ
のセンサ５２だけがノッチ１４上を通るように、位置決
めする。なお、センサ配列体５０の試験検体に対する位
置決めは１回しか必要ない。
【００１０】つぎに、工程３１で、初期システム位相角
および利得設定を選択し、そして、試験検体の走査をお
こなう。試験検体の走査は方向５６に行う。位相角およ
び利得設定は、センサ配列体５０を用いて試験検体を走
査するときに、センサ６０が出す電気信号が飽和されな
いように、選択する。たとえば、センサ配列体５０を用
いた以前の経験から得られたデータを用いて、位相角お
よび利得設定を選択することができる。あるいはまた、
位相角は、１チャンネルのみの電気信号振幅を最適にす
るように選択してもよい。このように選択した位相角お
よび利得設定から１組のトレース（記録）が得られ、試
験検体の走査を１回行ったときに配列体５０内の各セン
サ６０から１トレースが得られる。たとえば、図２に、
センサ５２からのトレース５１およびセンサ５４からの
トレース５３を示す。図２に、センサ５２についての走
査通路６２およびセンサ５４についての走査通路６４も
示す。
【００１１】つぎに、工程３２で、配列体５０内の各セ
ンサについてのダイナミックレンジを、線形特徴を検出
した結果として配列体５０内の各センサ６０が出す電気
信号の最大および最小振幅から求める。ダイナミックレ
ンジは、センサの表面適合性およびセンサ素子製造正確
度の反映である。工程３２で、配列体５０内の各センサ
６０が出す電気信号のオフセットから、各センサ６０に
ついてのＤＣバイアスも求める。図２において、試験検
体１０の線形特徴１２は、センサ５０の配列体の検査幅
より広い区域にまたがり、センサ配列体５０の走査方向
５６に対して傾斜している。線形特徴１２は、配列体５
０の各センサが出す電気信号を用いて、各センサ６０の
差動要素を正規化することを可能にする。その結果、得
られる電気信号は、図２のトレースにより示されるよう
に、最大および最小振幅両方を有する。得られる信号の
幅７０は、差動素子（コイル５８および５９）の幅およ
び素子に対する線形特徴の角度に相関する。なお、線形
特徴１２は、センサ配列体５０の走査方向に垂直ではな
い。もしも線形特徴１２をセンサ配列体５０の走査方向
に垂直に位置させると、センサ５０の配列を正規化する
ことが不可能になるおそれがある。その理由は、センサ
６０が線形特徴１２を通過する際に、各センサ６０の差
動素子５８，５９が出す電気信号が互いにキャンセルし
合うであろうからである。センサ配列体が絶対素子を有
するセンサから構成される場合には、線形特徴をセンサ
配列体の走査方向に垂直に位置させてもよい。
【００１２】図４に示す試験検体１８は、第１線形特徴
２０、第２線形特徴２１および第３線形特徴２２を有
し、複雑な表面を有する金属要素または部品についてダ
イナミックレンジおよびＤＣバイアスのより正確な測定
を可能にするものである。この場合、単一の線形特徴を
複雑な表面幾何形状の部品に加工するのは困難である。
その結果、複数の線形特徴の多数の重複セグメントを加
工して、単一線形特徴と同じ機能を得る。多数の線形特
徴は、センサ配列体５０の検査幅を完全にカバーする。
図３において、第１線形特徴２０は、第１線形特徴２０
の端部２３が第２線形特徴２１の端部２５と重なり、第
２線形特徴２１の他端２６は第３線形特徴２２の端部２
７と重なるように、配置されている。この重なり（オー
バーラップ）は、センサ素子５８，５９と走査される試
験検体１８の表面部分との空間差を補償する。つぎに、
工程３３で、各信号トレースからＤＣバイアスを取り除
き、トレース信号のすべてを同じダイナミックレンジに
正規化する。
【００１３】つぎに、工程３４で、ノッチ１４を検出し
た結果としてセンサ６０が出す最大信号をノッチ信号か
ら計算する。この計算は、最大信号を選ぶか、ともにノ
ッチ１４上を通過するずれた２列における隣接するオー
バーラップ素子であるセンサ６０からセンサ５２，５４
への信号の組合せを用いて最大応答に近似させることに
より、行う。図２および図４において、試験検体１０，
１８の多数のノッチ１４は、センサ５０の配列体に対し
て垂直に配向され、ノッチの端部が重ならないように互
いにオフセットされている。ノッチ１４の数およびノッ
チ１４間の水平方向オフセット距離は、代表的なセンサ
６０の幾何形状および空間応答機能に基づいて定め、こ
れにより、得られたデータから確実にピーク応答を計算
できるようにする。センサ６０の幅に沿ってのセンサ６
０の応答が均一であればあるほど、ノッチの必要数は少
なくてよい。図２および図４に示すように、センサ５０
の配列体は、渦電流センサ６０の互いにずれた２列から
なる。特に図２に示すように、ノッチ１４は試験検体１
０上に、ノッチ１４が第１センサ列からの一つのセンサ
のみおよび第２センサ列からの一つのセンサのみの走査
通路に入るように、配置されている。たとえば、センサ
５２についてのトレース５１とセンサ５４についてのト
レース５３を図２に示す。センサ５２についての走査通
路６２およびセンサ５４についての走査通路６４も図２
に示す。同様に、図４でも、ノッチ１４は試験検体１８
上に、ノッチ１４が第１センサ列からの一つのセンサの
みおよび第２センサ列からの一つのセンサのみの走査通
路に入るように、配置されている。その結果として、セ
ンサ５２，５４からの電気信号を用いて、システム利得
を確立する。
【００１４】つぎに、工程３５で、ノッチ１４を検出し
た結果としてセンサ５２，５４が発生する電気信号を用
いて、最大信号推定値を改良し、つぎに必要なシステム
利得を最大信号推定値から確立する。もしも、正規化に
用いたセンサ６０についての利得が、ノッチ１４につい
てのセンサ６０から良好な信号を得るのに十分な高いも
のでなければ、２回目の走査をより高いシステム利得
（この場合、線形特徴からの信号が飽和信号となる）で
行い、ノッチ１４を検出した結果としてセンサ５２，５
４が発生する信号のより良好な評価値を得るのがよい。
１回の走査を用いた低いノッチ信号振幅では、ノッチ応
答を解析するのにエンハンスメント型信号処理が必要と
なるが、２回の走査を行う場合には、これは不要とな
る。こうして正規化兼較正プロセスを完了する。このセ
ンサ配列体５０は、信頼性のある欠陥検出その他の測定
を目的として、正規化兼較正プロセスにより求めたとお
りの適切な設定で、種々の部品の検査に用いることがで
きる。
【００１５】線形特徴およびノッチの片方または両方に
ついて、最適な位相角を求めるために、追加の走査を行
うことができる。あるいはまた、所定のシステム／セン
サ組合せについて位相角が先験的に知られていることも
あり、これを直接用いてもよい。正規化および較正工程
の順序は、試験検体が単純な平坦表面であれば、互換可
能である。しかし、表面が複雑であると、センサ配列体
５０は試験検体の表面に沿って同一に順応しないので、
最適な結果を得るには正規化工程を最初に行うのが好ま
しい。
【００１６】以上、渦電流センサ配列について説明した
が、同様の正規化・較正方法を他のセンサ配列（たとえ
ば熱電対、超音波またはデジタルＸ線センサアレー）に
も適用できる。また、データの解析および／または組合
せアルゴリズムとして別のものを開発することも、本発
明の範囲内で可能である。二重使用のために試験検体設
計を変えることも本発明の範囲内である。
【００１７】したがって、この発明によれば、ここに記
載した目的および効果を完全に満足する、渦電流センサ
配列体を正規化、較正するシステム、試験検体および方
法が提供される。本発明をその好適な実施例について説
明したが、当業者であれば、本発明の要旨から逸脱しな
い範囲内で、種々の変更や改変を加えることが可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例にしたがって、渦電流センサ
の配列体を正規化し、較正する方法の工程を示すフロー
チャートである。
【図２】この発明による平坦な表面を有する試験検体の
平面図である。
【図３】この発明による複雑な表面を有する試験検体の
平面図である。
【図４】試験検体の内面を二次元的に平らに広げた状態
の、図３の試験検体の平面図である。
【符号の説明】
１０ 試験検体 １２ 線形特徴 １４ ノッチ ５０ 配列体 ５１，５３ トレース ５２，５４，６０ センサ ５６ 走査方向

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 加工品を走査して加工品内の不連続部を
    検出するのに用いるセンサ配列体を同時に正規化、較正
    するにあたり、 加工品内の不連続部を表す電気信号を発生する多数のセ
    ンサを有するセンサ配列体を用意し、 １個以上の線形特徴および２個以上のノッチを有する試
    験検体を用意し、 前記センサ配列体を用いて前期試験検体を走査し、前記
    線形特徴および前記２個以上のノッチを表す多数の電気
    信号トレースを生成し、 前記多数の電気信号トレースを用いて、前記センサ配列
    体の各センサを、各センサから均一な電気信号を得るよ
    うに、調節する工程を含む、センサ配列体を同時に正規
    化、較正する方法。
  2. 【請求項２】 さらに、前記センサ配列体を前記試験検
    体に対して位置決めする工程を含む、請求項１に記載の
    方法。
  3. 【請求項３】 前記センサ配列体が互いにずれた２列の
    センサを備え、 前記センサ配列体を前記試験検体に対して位置決めする
    工程は、 線形特徴が前記センサ配列体の走査区域をカバーするよ
    うに、前記センサを前記線形特徴と位置決めし、 前記センサ配列体の第１列からの第１センサを、走査中
    にこの第１センサが前記ノッチ上を通過するように、位
    置決めし、 前記センサ配列体の第２列からの第２センサを、走査中
    にこの第２センサが前記ノッチ上を通過するように、位
    置決めする工程を含む、請求項２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記センサ配列体が渦電流センサを備え
    る、請求項１に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記センサ配列体が絶対素子からなるセ
    ンサを備える、請求項１に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記試験検体が前記加工品と実質的に同
    一の材料からなる、請求項１に記載の方法。
  7. 【請求項７】 前記線形特徴が前記センサ配列体の走査
    方向に対して傾斜している、請求項１に記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記線形特徴が前記センサ配列体の走査
    方向に対して垂直である、請求項１に記載の方法。
  9. 【請求項９】 前記多数の電気信号トレースを用いて、
    前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一な電
    気信号を得るように、調節する工程が、 前記線形特徴を検出した結果として前記センサが出す電
    気信号を用いて、前記センサ配列体を正規化する工程を
    含む、請求項１に記載の方法。
  10. 【請求項１０】 前記多数の電気信号トレースを用い
    て、前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一
    な電気信号を得るように、調節する工程が、 前記２個以上のノッチを検出した結果として前記センサ
    が出す電気信号を用いて、前記センサ配列体を較正する
    工程を含む、請求項１に記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記多数の電気信号トレースを用い
    て、前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一
    な電気信号を得るように、調節する工程が、 前記線形特徴を検出した結果として各センサが出す最大
    および最小電気信号から、前記センサ配列体の各センサ
    についてのダイナミックレンジを求める工程を含む、請
    求項１に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 さらに、得られたダイナミックレンジ
    を用いて、各センサが出す電気信号を正規化する工程を
    含む、請求項１１に記載の方法。
  13. 【請求項１３】 前記多数の電気信号トレースを用い
    て、前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一
    な電気信号を得るように、調節する工程が、 前記線形特徴を検出した結果として各センサが出す電気
    信号のオフセットから、各センサについてのＤＣバイア
    スを求める工程を含む、請求項１に記載の方法。
  14. 【請求項１４】 さらに、前記線形特徴を検出した結果
    として各センサが出す電気信号からＤＣバイアスを除去
    する工程を含む、請求項１３に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 前記多数の電気信号トレースを用い
    て、前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一
    な電気信号を得るように、調節する工程が、 前記２個以上のノッチを検出した結果として各センサが
    出す最大電気信号から、最大ノッチ応答を決定する工程
    を含む、請求項１に記載の方法。
  16. 【請求項１６】 さらに、前記最大ノッチ応答から所望
    のシステム利得を確立する工程を含む、請求項１５に記
    載の方法。
  17. 【請求項１７】 前記多数の電気信号トレースを用い
    て、前記センサ配列体の各センサを、各センサから均一
    な電気信号を得るように、調節する工程が、 前記２個以上のノッチを検出したセンサに隣接するセン
    サが出す電気信号を用いる推定値から、最大ノッチ応答
    を決定する工程を含む、請求項１に記載の方法。
  18. 【請求項１８】 加工品を走査して加工品内の不連続部
    を検出するのに用いるセンサ配列体を同時に正規化、較
    正するシステムにおいて、 加工品内の不連続部を表す電気信号を発生する多数のセ
    ンサを有するセンサ配列体と、 １個以上の線形特徴および２個以上のノッチを有する試
    験検体とを備え、 前記センサ配列体を用いて前記試験検体を走査し、前記
    線形特徴および前記２個以上のノッチを表す多数の電気
    信号トレースを生成し、 前記多数の電気信号トレースを用いて、前記センサ配列
    体の各センサを、各センサから均一な電気信号を得るよ
    うに、調節し、この調節は、前記線形特徴を検出した結
    果としてセンサ配列体が出す電気信号を用いてセンサ配
    列体を正規化し、前記２個以上のノッチを検出した結果
    としてセンサ配列体が出す電気信号を用いてセンサ配列
    体を較正することによって行う、センサ配列体を同時に
    正規化、較正するシステム。
  19. 【請求項１９】 加工品を走査して加工品内の不連続部
    を検出するのに用いるセンサ配列体とともに用いられ、
    センサ配列体の正規化および較正を容易にする目的でセ
    ンサ配列体とともに用いられる試験検体において、 前記加工品を形成する材料と類似の材料から形成され、
    前記加工品の表面湾曲と同様の表面湾曲と、線形特徴
    と、複数のノッチとを有する、試験検体。
  20. 【請求項２０】 前記線形特徴の幅が約０．００３イン
    チである、請求項１９に記載の試験検体。
  21. 【請求項２１】 複数の線形特徴を有する、請求項１９
    に記載の試験検体。
  22. 【請求項２２】 前記線形特徴の長さが前記センサ配列
    体の検査幅より大きい、請求項１９に記載の試験検体。
  23. 【請求項２３】 前記複数のノッチそれぞれの長さが約
    ０．０３０インチである、請求項１９に記載の試験検
    体。
  24. 【請求項２４】 前記複数のノッチそれぞれの幅が約
    ０．００３インチである、請求項１９に記載の試験検
    体。
  25. 【請求項２５】 前記複数のノッチそれぞれの深さが約
    ０．０１５インチである、請求項１９に記載の試験検
    体。
  26. 【請求項２６】 前記センサ配列体が加工品を第１方向
    に走査し、 前記複数のノッチは第１方向に対して、前記センサ配列
    体の一つのセンサが同時に一つのノッチの上だけを通過
    するように、配置された、請求項１９に記載の試験検
    体。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001116727A (ja) * 1999-09-22 2001-04-27 General Electric Co <Ge> 渦電流較正基準器
JP2011075540A (ja) * 2009-09-07 2011-04-14 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd 渦電流探傷法およびこれに用いる対比試験片
JP2011517338A (ja) * 2007-12-28 2011-06-02 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 無指向性渦電流プローブを用いた部品検査方法及び装置
JP2012110470A (ja) * 2010-11-24 2012-06-14 Kobe Univ 磁場分布取得装置

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7514917B2 (en) * 2003-09-19 2009-04-07 Automotive Systems Laboratory, Inc. Magnetic crash sensor
US6734664B2 (en) 2001-07-30 2004-05-11 United Technologies Corporation Compliant laminar eddy current sensitivity standard
US6662088B1 (en) 2002-06-28 2003-12-09 General Electric Company Methods and systems for inspecting aircraft fuselage frames
WO2005028253A2 (en) * 2003-09-19 2005-03-31 Automotive Systems Laboratory, Inc. Magnetic crash sensing method
US7570068B2 (en) * 2003-09-19 2009-08-04 Tk Holdings, Inc. Signal processing system and method
CN1852815A (zh) * 2003-09-19 2006-10-25 汽车系统实验室公司 磁碰撞传感器
US7664612B2 (en) * 2003-09-19 2010-02-16 T K Holdings, Inc. Signal processing system and method
US7564249B2 (en) * 2003-12-21 2009-07-21 Tk Holdings, Inc. Signal processing system and method
WO2005062901A2 (en) * 2003-12-21 2005-07-14 Automotive Systems Laboratory, Inc. Magnetic sensor
EP1564551A1 (en) * 2004-02-10 2005-08-17 Alstom Technology Ltd Non-destructive method for the detection of creep damage in ferromagnetic parts with a device consisting of an eddy current coil and a hall sensor
US8056490B2 (en) 2004-09-06 2011-11-15 Skysails GmbH Co. KG Watercraft having a kite-like element
WO2007016300A2 (en) 2005-07-29 2007-02-08 Automotive Systems Laboratory, Inc. Magnetic crash sensor
EP1798516A1 (en) * 2005-12-14 2007-06-20 Aktiebolaget SKF Method for generating a relation between an output signal of a distance gauge and a distance between the distance gauge and a measuring surface of a mechanical element
US7952348B2 (en) * 2007-11-05 2011-05-31 General Electric Company Flexible eddy current array probe and methods of assembling the same
US7888932B2 (en) * 2007-11-05 2011-02-15 General Electric Company Surface flaw detection system to facilitate nondestructive inspection of a component and methods of assembling the same
US8272246B2 (en) * 2008-09-30 2012-09-25 General Electric Company Electronic self-calibration for sensor clearance
US8269489B2 (en) * 2008-11-25 2012-09-18 General Electric Company System and method for eddy current inspection of parts with complex geometries
EP2312266B1 (en) * 2009-10-12 2015-06-17 General Electric Company Electronic self-calibration for turbine blade clearance sensor
US8884614B2 (en) 2011-10-31 2014-11-11 General Electric Company Eddy current array probe
CN104636559B (zh) * 2015-02-11 2017-08-11 西北工业大学 一种利用三维检验模型对飞机零件进行检验的方法
US10025289B2 (en) * 2015-05-26 2018-07-17 Pratt & Whitney Canada Corp. System and method for automated part inspection
GB201515483D0 (en) * 2015-09-01 2015-10-14 Rolls Royce Plc Multi-element sensor array calibration method
CA3030247A1 (en) 2018-01-19 2019-07-19 Ascension Technology Corporation Calibrating a magnetic sensor
CA3030409A1 (en) 2018-01-19 2019-07-19 Ascension Technology Corporation Calibrating a magnetic transmitter

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3718855A (en) * 1970-11-30 1973-02-27 R Cordova Eddy current flaw detection system
DE2756244A1 (de) * 1977-12-16 1979-06-21 Graenges Oxeloesunds Jaernverk Verfahren und vorrichtung zum ueberpruefen der funktionsfaehigkeit und zum einstellen und eichen einer pruefvorrichtung zum zerstoerungsfreien elektrischen oder magnetischen pruefen von metallenen rohlingen
DE2853457A1 (de) 1978-12-11 1980-06-12 Ssab Svenskt Stal Ab Verfahren und vorrichtung zum ueberpruefen der funktionsfaehigkeit und zum einstellen und eichen einer pruefvorrichtung zum zerstoerungsfreien elektrischen oder magnetischen pruefen von metallenen rohlingen
US4418315A (en) * 1981-05-22 1983-11-29 Combustion Engineering, Inc. Method for effecting a surface examination of coated components
US4425545A (en) * 1981-07-27 1984-01-10 Scalese Joseph J Eddy current probe calibration standard
US4963826A (en) * 1989-07-18 1990-10-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Reference standard block for use in nondestructive test probe calibration and method of manufacture thereof
EP0439912B1 (en) 1989-11-30 1994-08-17 Texas Instruments Incorporated Circuit and method for normalizing detector output
US5182513A (en) 1991-04-06 1993-01-26 General Electric Company Method and apparatus for a multi-channel multi-frequency data acquisition system for nondestructive eddy current inspection testing
US5389876A (en) 1991-05-06 1995-02-14 General Electric Company Flexible eddy current surface measurement array for detecting near surface flaws in a conductive part
US5345514A (en) 1991-09-16 1994-09-06 General Electric Company Method for inspecting components having complex geometric shapes
US5262722A (en) 1992-04-03 1993-11-16 General Electric Company Apparatus for near surface nondestructive eddy current scanning of a conductive part using a multi-layer eddy current probe array
US5315234A (en) 1992-04-03 1994-05-24 General Electric Company Eddy current device for inspecting a component having a flexible support with a plural sensor array
US5371461A (en) 1992-06-26 1994-12-06 General Electric Company Apparatus and method for compensating for variations in the lift-off of eddy current surface inspection array elements
US5418457A (en) 1993-03-12 1995-05-23 General Electric Company System and method for aligning an inspection probe and maintaining uniform spacing between the probe surface and an inspection surface
US5371462A (en) 1993-03-19 1994-12-06 General Electric Company Eddy current inspection method employing a probe array with test and reference data acquisition and signal processing

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001116727A (ja) * 1999-09-22 2001-04-27 General Electric Co <Ge> 渦電流較正基準器
JP4659194B2 (ja) * 1999-09-22 2011-03-30 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 渦電流較正基準器
JP2011517338A (ja) * 2007-12-28 2011-06-02 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 無指向性渦電流プローブを用いた部品検査方法及び装置
JP2011075540A (ja) * 2009-09-07 2011-04-14 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd 渦電流探傷法およびこれに用いる対比試験片
JP2012110470A (ja) * 2010-11-24 2012-06-14 Kobe Univ 磁場分布取得装置

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