JP2000028393A - 測定ユニット、管理ユニット、駆動ユニット、駆動システム、及び測定装置 - Google Patents

測定ユニット、管理ユニット、駆動ユニット、駆動システム、及び測定装置

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JP2000028393A
JP2000028393A JP10208592A JP20859298A JP2000028393A JP 2000028393 A JP2000028393 A JP 2000028393A JP 10208592 A JP10208592 A JP 10208592A JP 20859298 A JP20859298 A JP 20859298A JP 2000028393 A JP2000028393 A JP 2000028393A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定器の精度を上げるための情報管理に手間
がかかり、またその情報を正確に管理することが困難で
あるという課題があった。 【解決手段】 外部の信号処理装置と信号的に分離／接
続可能で且つ接続された前記外部の処理装置側に対して
直線ないし回転変位に伴う変位信号を出力する測定ユニ
ットであって、接続された前記外部の信号処理装置から
少なくとも管理情報の読み出しが可能な記憶手段を備え
たこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は直線ないし回転変位
に伴って変位信号を発生する測定ユニット及びこれ用の
管理ユニット及びこれを用いた駆動ユニットとシステム
更には測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の測定器は、測定結果を測
定器の固有の精度で出力するのみで、精度の限界は測定
器自体の設計に依存していた。たとえば、周期的な測定
信号を出力する測定器では、その測定信号を電気的手段
によって分割して分解能を上げることは可能であるが、
測定範囲全般にわたる直線性等は測定器自身の精度に依
存せざるを得なかった。そのため、精度を上げるには測
定器の寸法精度を上げて、ばらつきを少なくする方法が
取られてきた。
【０００３】また、上記精度を補正する手段として、測
定原器との誤差情報をデータシートやフロッピー情報と
して添付して、この情報を基に補正計算を実施する方法
もある。
【０００４】測定器は、駆動装置と一体に使用されるも
のであるが、高精度を発揮するためには駆動装置の特性
に合わせた調整が必要である。そのため、駆動装置の特
性のばらつきの影響をなくするために、個々の駆動装置
毎の特性に合わせた調整が必要である。
【０００５】また、調整を簡単にするためには、ばらつ
きの最悪の場合に合わせて使う方法が取られている。つ
まり、駆動装置としてのモータは、電流をトルク（力）
に変換するが、この変換率（トルク定数）にばらつきが
あり、性能を上げる場合は変換率に合わせた調整が必要
である。調整できない場合は、ばらつきの最悪のときで
も使えるレベルの性能におさえる。
【０００６】また、測定器に関する情報は、たとえばシ
リアル番号を製造時に割り付け、簡単なラベルを張る等
の方法によって記録するが、使用中に発生した情報を追
加する機能は乏しく、これ等詳しい情報は台帳等に測定
器と関連させて記載して管理されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定器は以上の
ように構成されているので、測定器の精度を上げること
は、部品コストの上昇や製造の困難さを伴い容易ではな
く、個別の調整は製造コストの上昇を招く。最悪の場合
を想定して調整し、個別の調整を省けば本来の性能を発
揮できないという課題があった。
【０００８】また、台帳等によって情報を管理すること
は、記録漏れや、測定器と記録した情報との関連が取れ
なくなるなど、情報を正確に管理するには多大のエネル
ギーを要する。
【０００９】また、必要な情報が台帳に記録されていた
としても、これを利用するためには、その都度、台帳と
測定器をつき合わせなければならず、情報入手に手間が
かかる。たとえば累積精度の情報が台帳に記録されてい
たとしても、測定器を他の装置と組み合わせて使用する
場合、他の装置との組み合わせが変わる毎に該他の装置
に対して情報を再度入力しなければならない。
【００１０】また、保証期間を設定する場合、実際の使
用時間たとえば通電時間（電源を入れていた時間）を知
る手段を持たないときは、在庫期間であっても保証期間
に含まれてしまうため、使用者にとっては保証期間を有
効に使えない。また製造者にとっても故障の原因探求が
困難である。
【００１１】また、測定器の部品のなかには、レーザー
ダイオードのように使用期間（通電時間）によってある
確率で故障が発生するものがある。このような故障を追
跡して分析する時、これまでは通電時間を知るためには
スイッチを入れてから切るまでの時間を、その都度記録
しなければならず、そのため、出荷時期は特定できても
実際に何時間使用した後に故障が発生したかを調査でき
ないという課題があった。
【００１２】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたもので、種々の情報を測定器と一体に管理
できるようにした測定ユニットとこれ用の管理ユニット
及びこれを用いた駆動ユニットとシステムを提供するこ
とを目的とする。
【００１３】これとは別に本発明は各々の測定装置に固
有に原器との誤差があったとしても各装置で正確に測定
を実行することが簡単な構成の測定装置を提供すること
を目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の測定ユニット
は、 （１）外部の信号処理装置と信号的に分離／接続可能で
且つ接続された前記外部の処理装置側に対して直線ない
し回転変位に伴う変位信号を出力する測定ユニットであ
って、接続された前記外部の信号処理装置から少なくと
も管理情報の読み出しが可能な記憶手段を備えたことを
特徴としている。
【００１５】（１−１）前記記憶手段は、電力の供給無
しに記憶内容を保持することができ、任意に書き換え及
び追加が可能な記憶素子を有すること。
【００１６】（１−２）前記記憶手段は、製造時に決定
された管理情報を書き換え不能に記憶し、又は使用状況
によって外部の信号処理装置から書き換え又は追加され
る管理情報を記憶すること。
【００１７】（１−３）前記管理情報は、該測定ユニッ
トの製造年月日、製造番号、部品情報の少なくともいず
れかを含むこと。
【００１８】（１−４）前記管理情報は、該測定ユニッ
トの経時変化の情報を含むこと。
【００１９】（１−５）前記管理情報は、該測定ユニッ
トへの通電時間の累積情報を含むこと。
【００２０】（１−６）前記管理情報は、該測定ユニッ
トを測定原器で検定した際に得られる誤差情報を含むこ
と。
【００２１】（１−７）前記変位信号は前記直線ないし
回転変位に伴う周期的信号を前記外部の信号処理装置側
へ出力し、前記管理情報は、該測定ユニットを測定原器
で検定した際に得られる累積誤差情報を含むこと。等を
特徴としている。
【００２２】本発明の管理ユニットは、 （２）構成（１）のいずれかの測定ユニットからの出力
信号と測定原器からの出力信号とを比較して誤差情報を
得る検出手段、及び該検出手段の得た誤差情報を管理情
報として前記測定ユニットの前記記憶手段に書き込み、
且つ該管理情報を読み出す制御を行う制御手段を有する
ことを特徴としている。
【００２３】本発明の駆動ユニットは、 （３）駆動部を有し、外部の制御装置と信号的に分離／
接続可能で且つ接続された前記外部の制御装置側に対し
て前記駆動部の直線ないし回転変位に伴う変位信号を出
力する駆動ユニットであって、接続された前記外部の制
御装置から少なくとも管理情報の読み出しが可能な記憶
手段を備えたことを特徴としている。
【００２４】（３−１）前記記憶手段は、電力の供給無
しに記憶内容を保持することができ、任意に書き換え及
び追加が可能な不揮発性記憶素子を有すること。
【００２５】（３−２）前記記憶手段は、製造時に決定
された管理情報を書き換え不能に記憶し、且つ使用状況
によって制御装置から書き換え又は追加される管理情報
を記憶すること。
【００２６】（３−３）前記記憶手段は、前記駆動部の
情報を管理情報として記憶すること。
【００２７】等を特徴としている。
【００２８】本発明の駆動システムは、 （４）構成（３）のいずれかの駆動ユニットと、該駆動
ユニットからの出力信号と管理情報を用いて前記駆動部
の制御を行う制御装置とを有することを特徴としてい
る。
【００２９】本発明の測定装置は、 （５）直線ないし回転変位に伴う周期的信号を出力する
測定装置であって、該周期的信号の累積誤差を記憶する
為の記憶手段を備えたことを特徴としている。
【００３０】特に、 （５−１）更に前記周期的信号を処理する為の信号処理
手段を有し、該信号処理手段は前記記憶手段に対して累
積誤差の読み出し、書き込みを実行することを特徴とし
ている。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を添
付図面について説明する。尚、以下の説明では測定対象
を回転変位として説明したが、直線変位にも同様に適用
できるものである。
【００３２】実施の形態１．図１は本発明の実施の形態
１よる測定ユニットとしての測定器とその管理装置を示
すブロック図である。図において、１は記憶手段１ａを
備えた測定器であり、測定器１は軸１ｂの回転量に応じ
て周期的出力信号を変位信号として発生する構成となっ
ている。この記憶手段１ａとしては、電力の供給なしに
記憶内容を保持することができ、任意に書き換えおよび
追加が可能な不揮発性記憶手段を用いる。
【００３３】２は測定器１と測定原器３を接続する接続
器、４は測定原器３からの情報を不揮発性記憶手段１ａ
に記憶したり該不揮発性記憶手段の記憶情報を読み出す
管理ユニットしての情報処理手段である。情報処理手段
４と測定器１は接続線５，８で信号的に接続しており、
かつこの接続線をはずして、両者を信号的に分離可能で
ある。
【００３４】上記不揮発性記憶手段１ａとしては、フラ
ッシメモリ、ＥＥＰＲＯＭ、ＮＯＶＲＡＭ等を用いる。
また、上記情報処理手段４は、測定器１、測定原器３の
出力差を検出する検出装置４ａと、この検出装置４ａか
らの情報を処理して、不揮発性記憶手段１ａに書き込
み、または読み出しの機能を有する制御装置４ｂとから
なる。
【００３５】また、接続器２によって回転軸同士を接続
された測定器１とこの測定器と同様の周期的信号を出力
する測定原器３とは、図示しない駆動装置によって駆動
され、一体となって動作し、それぞれの回転量に応じた
周期的信号の出力は接続線５、６を介して検出装置４ａ
に入力される。この検出装置４ａの出力は接続線７を介
して制御装置４ｂに入力される。
【００３６】測定器１と検出原器３の一回転に亘る各回
転角での出力差（本来は０であるべきものである）、つ
まり一周にわたる出力差が累積誤差Ｅ（θ）となる。こ
の累積誤差Ｅ（θ）は、周期性をもち、一般的には次式
のフーリエ係数で表現できる。
【００３７】
【数１】 ここで、ｎは次数 φn は位相オフセット θは測定された角度 Ａn は振幅 支配的な成分に限定すればｎ＝６程度で実用上は十分で
ある。説明を簡単にするためｎ＝１の場合を図２に示
す。
【００３８】図２は上記累積誤差Ｅ（θ）を示す図であ
り、一周を周期とする周期的な信号になる。９は測定器
１の基準位置を示す。回転角度を測定する測定器１で
は、一周に１つの基準位置信号を持ち、これを基準とし
て測定値とする。
【００３９】累積誤差Ｅ（θ）の測定原器の出力を０と
したときの直線３１からのずれが非直線性をあらわし、
精度を悪化させる要因である。従来はこのようなグラフ
を測定器１の精度情報として添付していた。使用者は必
要に応じて、これらの情報を補正のために使うが、その
手間は使用者の負担であった。
【００４０】制御装置４ｂは図２に示すような累積誤差
Ｅ（θ）を接続線８を介して不揮発性記憶手段１ａに書
き込む。その内容は角度情報とその角度のときの測定原
器３との誤差情報である。
【００４１】図３は誤差情報を１度毎の図２の縦方向の
大きさの値の組で表した補正テーブルであり、上段が角
度（１度間隔の時）、下段がその角度における測定器１
と測定原器３との誤差情報である。補正の方法は、測定
器１が１度の位置のとき、図３で示すように誤差情報が
１１なので、測定器が１度を示した時はその値は真の値
より大きい。誤差は測定値からこの誤差情報を引けば補
正できる。
【００４２】上記のように、それ自身の累積誤差Ｅ
（θ）が不揮発性記憶手段１ａに書き込まれた測定器１
は、一旦この情報処理手段４と切り離された後、任意の
回転量測定用の信号処理装置と組み合わされて使用され
る。
【００４３】この信号処理装置は測定器１の不揮発性記
憶手段１ａからあらかじめ図３の情報を取り込むこと
で、過去における累積誤差Ｅ（θ）を補正できる。
【００４４】即ち、この信号処理装置では測定器１から
の変位信号を通常の方式で処理して変位角度を算出、測
定した後、測定器１より得ている補正テーブルから誤差
情報を得、これを引き算して真の変位角度を得る。
【００４５】この際、使用者はこれらのやり取りを意識
する必要がない。また、測定器自身は、上記の情報を不
揮発性記憶手段１ａに保存するので、信号処理装置との
組み合わせを変えた時、例えば別の信号処理装置にこの
測定器１を接続した場合でも、使用者はなんら追加の負
担をすることなしに同様の効果を得ることができる。
尚、測定器１が直線変位検出用である場合は、累積誤差
は１ストロークに亘っての原器との出力差になる。
【００４６】実施の形態２．実施の形態１では、誤差情
報を図３に示す補正テーブルの形で記憶手段１ａに保存
したが、これでは角度間隔を細かくして情報量を増やそ
うとすると、補正テーブルの容量が増加する。
【００４７】一方、前記（式１）のように誤差情報は周
期性がある。次数一次に対して、即ちｎ＝１だけの場合 Ｅ（θ）＝Ａ１・ｓｉｎ（θ×１＋φ１） となるので振幅と位相オフセットがあれば、元の情報は
再現可能、即ちＡ１とφ１が分かればθに対するＥ
（θ）を計算で出すことが可能である。
【００４８】実施の形態２では、振幅と位相オフセット
を使う方法について説明する。誤差情報が図２で示され
る場合、振幅をＡ1（図２の３２） 、位相オフセットを
φ1（図２の３３） 、測定された角度をθ、角度θにお
ける累積誤差をＥ（θ）で表すと、 Ｅ（θ）＝Ａ1 ｓｉｎ（θ＋φ1 ） ‥‥‥（式２） のように表現される。
【００４９】振幅Ａ1 と位相オフセットφ1 を記憶手段
１ａに保存すれば、制御装置４ｂで振幅Ａ1 と位相オフ
セットφ1 の値を取り込んで（式２）から累積誤差Ｅ
（θ）を再現できる。たとえば測定された角度θのとき
の補正後の角度θｒは次式で求められる。
【００５０】 θr ＝θ−Ｅ（θ） ‥‥‥（式３） よって（式２）を記憶手段１ａに記憶させ、信号処理装
置ではこれを読み出し、測定時に( 式３) を実行させ
る。
【００５１】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３による駆動システムを示すブロック図であり、駆動
装置としてのモータ１０の軸１１に直接測定器としての
エンコーダ１２を取付け、このエンコーダの出力を処理
手段１３に供給し、この処理手段１３の出力で信号線１
６を介してモータ１０を制御する位置決め装置としたも
のである。
【００５２】ここでモータ１０とエンコーダ１２は一体
構成であり、これらは処理手段１３と信号線１３，１
４，１５を介して接続／分離可能である。
【００５３】上記処理手段１３は、分割装置１３ａ、制
御装置１３ｂ、モータドライバ（駆動制御装置）１３ｃ
等を備え、分割装置１３ａは接続線１４を介して入力さ
れたエンコーダの信号を分割するもので、８１０００パ
ルスのエンコーダを１６０分割すれば８１０００×１６
０＝１２，９６０，０００パルスのエンコーダとして使
用できる。
【００５４】また、制御装置１３ｂは、エンコーダ信号
の取り込みと、この信号に基づいてモータ１０の制御信
号をつくり出すもので、通常は分割機能も有する。そし
て、制御装置１１ｂはその制御信号を接続線１７を介し
てモータドライバ１３ｃに供給するとともに、接続線１
５を介して不揮発性記憶手段１２ａとの間で情報の書き
込み、読み出しを行う。モータドライバ１３ｃは接続線
１６を介してモータ１０へ制御信号を供給する。
【００５５】この位置決め装置による位置決めを高精度
に行うには、モータ１０の特性に合わせた調整が必要で
ある。モータ１０は電気エネルギーによって駆動力を発
生するが、製造時に電気エネルギーを駆動力に変換する
変換率（トルク定数）に各装置毎にばらつきがあると、
このばらつきに合わせた調整が必要である。
【００５６】この時のエネルギー変換率（トルク定数）
の各装置毎のばらつきを製造時に各装置毎によく知られ
た手段で測定して、実施の形態１と同様に各々の装置の
不揮発性記憶手段１２ａに記憶しておくことにより、制
御手段１３ｂはモータ固有のエネルギー変換率（トルク
定数）を自動的にとりこむことができる。
【００５７】制御手段１３ｂはこの得られたトルク定数
に基づき、モータ１０への制御信号の供給量ないし仕方
を装置毎に適切なものに変える。この代え方については
良く知られた手法を用いれば良い。
【００５８】以上のように、実施の形態３によれば、モ
ータ１０と測定器１の組み合わせはかえられないが、モ
ータ１０のトルク定数情報を測定器１に持たせることが
できる。
【００５９】実施の形態４．製造時に製造年月日、製造
番号、主要部品のロット情報などを管理情報として不揮
発性記憶手段１ａに書き換え不能に記録しておく（例え
ばＲＯＭに記録しておく）ことにより、制御装置１３ｂ
はいつでもこれ等の記憶情報を利用することができる。
例えば特定の日付以前の製造日の装置であると判断すれ
ば警告を発する。
【００６０】図５は記憶パターンを示すもので、製造年
月日１８、製造番号１９、主要部品のロット情報２０で
ある。
【００６１】実施の形態５．時間と共に変化する情報を
管理情報として不揮発性記憶手段１１ａに記憶しておく
ことにより、交換やメンテナンスの時期をあらかじめ予
測して実施することができるため、故障して使用できな
い時間を最小限にすることが可能である。
【００６２】特に、測定器１に使用される部品の中には
時間と共に劣化するものがある。たとえば、レーザーダ
イオードは時間と共に劣化し、発光量が減少するので、
発光量を一定にするために電流を増加して発光量の減少
分を補う回路が組み込まれている。この電流値がある量
を越えると、レーザーダイオードは使用不能となり、交
換を要することになる。
【００６３】そこで、製品出荷時にレーザー電流の調整
値を不揮発性記憶手段１ａに記憶しておく。信号処理装
置や制御装置１３ｂは実施の形態１、２、３、４のよう
にあらかじめ不揮発性記憶手段１ａ又は１２ａの記憶値
を取り込み、かつレーザー電流を不図示の検出系でモニ
タしておき、この記憶値から一定量増加する毎にその時
の累積使用時間を不図示のタイマ手段からデータを得て
追記する。
【００６４】図６はレーザー電流の増加傾向を示すもの
で、縦軸が電流の増加の割合、横軸が累積時間である。
３０％増加した時点をレーザーダイオードの交換時期と
すると、累積時間の傾き２１を延長すれば、交換時期２
２を予測することができる。
【００６５】一方、光学部品は温度や湿度の変動によっ
て時間的に位置関係がずれることがある。また、電気部
品も時間的に特性に変化することがある。これ等は測定
器１の出力信号の変動としてあらわれる。具体的には出
力信号の振幅や直流成分の基準値からのずれである。出
力信号の変動はある範囲内であれば、信号処理装置や制
御装置１３ｂによって補正することが可能であるが、限
界に達すれば使用不能となる。
【００６６】そこで、これ等の変動を不図示の検出系で
モニタして上記のレーザー電流の変動と同様に記録して
おけば、補正限界に達する時期を予測することができ
る。
【００６７】これらの記録データは例えば既定値を超え
た段階で信号処理装置や制御装置１３ｂから警告を発す
るのに用いる。
【００６８】実施の形態６．図７は通電時間の累積を更
新する手順を示すフローチャートである。信号処理装置
や制御装置１３ｂは起動時にあらかじめ測定器１の不揮
発性記憶手段１ａないしエンコーダ１２の記憶手段１２
ａから通電時間の累積値を取り込み（ステップＳ１）、
動作終了かを判断し（ステップＳ２）、ＮＯであれば起
動後の時間の経過を計測する（ステップＳ３）。
【００６９】この値を一定時間たとえば１時間経過した
かを判断し（ステップＳ４）、ＮＯであればステップＳ
２〜ステップＳ４の動作を繰返終了し、ＹＥＳであれば
１加算すると共に不揮発性記憶手段１ａ又は１２ａに書
き込み記憶値を更新する（ステップＳ５）。さらに正確
な値が必要であれば時間に加えて分の単位も使用する。
【００７０】一方、上記ステップＳ２における判断がＹ
ＥＳ１の場合は、制御装置４ｂから動作時の情報を不揮
発性記憶手段１ａ又は１２ａに書き込み（ステップＳ
６）、動作を終了する。
【００７１】不揮発性記憶手段１ａ又は１２ａには時
間、分の単位でそれまでの累積時間が保存され、次回の
起動時はこの保存値を元に累積時間の計算を開始する。
この結果、通電時間の累積が正確に把握できる。製品の
保証期間を設定するときに、この累積時間を使えば、使
用者が実際に電源を入れていた時間に対して保証を行う
ことができる。この結果、製品を購入した後、保管して
いた時間は除外できるので、使用者にとって長期間の保
証が受けられることになる。
【００７２】また、不揮発性記憶手段１ａ又は１２ａに
は管理情報として、部品交換や調整などの日時、内容を
記憶しておくと、情報管理をより正確に行うことができ
る。
【００７３】上述した各実施形態の管理情報は、適宜自
由に組み合わせて記憶させることが可能である。
【００７４】
【発明の効果】以上のように、測定ユニット及び駆動ユ
ニットに記憶手段を設け、この記憶手段から外部の信号
処理装置や制御装置が管理情報を少なくとも読み出して
用いることができるように構成したので、例えば累積誤
差の補正、製造時の情報を利用すること、制御装置のパ
ラメータとしてトルク定数を取り込むこと、電流値の増
加の管理、出力信号の変化の管理、通電時間の累積の管
理等が個々の測定ユニット、駆動ユニットで独自に簡単
にできる。この結果、例えば、 １）累積誤差を測定器と検定装置との差分情報としてあ
らかじめ求めて記憶しておくことで、これを用いて補正
することができ、累積誤差の各装置毎の固体差にかかわ
らず、検出装置と同等の累積精度を得ることができる。
【００７５】２）製造時の情報を不揮発性記憶手段に書
き込んでおくことができ、必要時に読み出すことによっ
て確認でき、ロット毎にオペレーションを変えることが
できる。
【００７６】３）駆動装置のトルク定数を正確に設定で
きるので、高精度の位置決め制御ができる。
【００７７】４）電流量の増加の様子を時間情報ととも
にチェックしておけば、劣化した部品（レーザーダイオ
ード）を交換すべき時期をあらかじめ予測することがで
き、交換のために要する時間ロスを最小限にすることが
できる。
【００７８】５）出力信号変動の傾向をチェックできる
ので、制御装置で補正できる限界に達する時期を予測で
きる。補正限界に達すれば再調整、交換などの時間が必
要であるので、これらのロスを最小限にすることができ
る。
【００７９】６）出荷時期によらず通電時間によって補
償期間を設定するなどのサービスが可能となる。
【００８０】７）メンテナンスの傾向を把握することが
容易となる。また、製造時の情報と照合することでロッ
ト毎の故障の割合などをつかむことができる。等の利用
ができる。
【００８１】これとは別に、累積誤差を記憶する記憶手
段を設けることによって、測定装置毎の累積誤差の管理
を簡単にし、正確なる測定が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による測定器の管理装置
の構成を示すブロック図
【図２】累積誤差を示す説明図
【図３】累積誤差を１度毎で表した補正テーブル図
【図４】本発明の実施の形態３による駆動システムの構
成を示すブロック図
【図５】本発明の実施の形態４による製造時に記憶する
情報の記憶パターン図
【図６】本発明の実施の形態５による経時変化する情報
の説明図
【図７】本発明の実施の形態６による通電時間の記憶を
説明する図
【符号の説明】
１、１２ 測定器 １ａ、１２ａ 不揮発性記憶手段 ３ 測定原器 ４ 情報処理手段 １０ 駆動装置 １１ 駆動軸 １３ａ 分割装置 １３ｂ 制御装置 １３ｃ モータドライバ（駆動制御装置）

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外部の信号処理装置と信号的に分離／接
    続可能で且つ接続された前記外部の処理装置側に対して
    直線ないし回転変位に伴う変位信号を出力する測定ユニ
    ットであって、接続された前記外部の信号処理装置から
    少なくとも管理情報の読み出しが可能な記憶手段を備え
    たことを特徴とする測定ユニット。
  2. 【請求項２】 前記記憶手段は、電力の供給無しに記憶
    内容を保持することができ、任意に書き換え及び追加が
    可能な記憶素子を有することを特徴とする請求項１に記
    載の測定ユニット。
  3. 【請求項３】 前記記憶手段は、製造時に決定された管
    理情報を書き換え不能に記憶し、又は使用状況によって
    外部の信号処理装置から書き換え又は追加される管理情
    報を記憶することを特徴とする請求項１に記載の測定ユ
    ニット。
  4. 【請求項４】 前記管理情報は、該測定ユニットの製造
    年月日、製造番号、部品情報の少なくともいずれかを含
    むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の
    測定ユニット。
  5. 【請求項５】 前記管理情報は、該測定ユニットの経時
    変化の情報を含むことを特徴とする請求項１乃至３のい
    ずれかに記載の測定ユニット。
  6. 【請求項６】 前記管理情報は、該測定ユニットへの通
    電時間の累積情報を含むことを特徴とする請求項１乃至
    ３のいずれかに記載の測定ユニット。
  7. 【請求項７】 前記管理情報は、該測定ユニットを測定
    原器で検定した際に得られる誤差情報を含むことを特徴
    とする請求項１乃至３のいずれかに記載の測定ユニッ
    ト。
  8. 【請求項８】 前記変位信号は前記直線ないし回転変位
    に伴う周期的信号を前記外部の信号処理装置側へ出力
    し、前記管理情報は、該測定ユニットを測定原器で検定
    した際に得られる累積誤差情報を含むことを特徴とする
    請求項１乃至３のいずれかに記載の測定ユニット。
  9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかの測定ユニッ
    トからの出力信号と測定原器からの出力信号とを比較し
    て誤差情報を得る検出手段、及び該検出手段の得た誤差
    情報を管理情報として前記測定ユニットの前記記憶手段
    に書き込み、且つ該管理情報を読み出す制御を行う制御
    手段を有することを特徴とする管理ユニット。
  10. 【請求項１０】 駆動部を有し、外部の制御装置と信号
    的に分離／接続可能で且つ接続された前記外部の制御装
    置側に対して前記駆動部の直線ないし回転変位に伴う変
    位信号を出力する駆動ユニットであって、接続された前
    記外部の制御装置から少なくとも管理情報の読み出しが
    可能な記憶手段を備えたことを特徴とする駆動ユニッ
    ト。
  11. 【請求項１１】 前記記憶手段は、電力の供給無しに記
    憶内容を保持することができ、任意に書き換え及び追加
    が可能な不揮発性記憶素子を有することを特徴とする請
    求項１０に記載の駆動ユニット。
  12. 【請求項１２】 前記記憶手段は、製造時に決定された
    管理情報を書き換え不能に記憶し、且つ使用状況によっ
    て制御装置から書き換え又は追加される管理情報を記憶
    することを特徴とする請求項１１に記載の駆動ユニッ
    ト。
  13. 【請求項１３】 前記記憶手段は、前記駆動部の情報を
    管理情報として記憶することを特徴とする請求項１０乃
    至１２のいずれかに記載の駆動ユニット。
  14. 【請求項１４】 請求項１０乃至１３のいずれかの駆動
    ユニットと、該駆動ユニットからの出力信号と管理情報
    を用いて前記駆動部の制御を行う制御装置とを有するこ
    とを特徴とする駆動システム。
  15. 【請求項１５】 直線ないし回転変位に伴う周期的信号
    を出力する測定装置であって、該周期的信号の累積誤差
    を記憶する為の記憶手段を備えたことを特徴とする測定
    装置。
  16. 【請求項１６】 更に前記周期的信号を処理する為の信
    号処理手段を有し、該信号処理手段は前記記憶手段に対
    して累積誤差の読み出し、書き込みを実行することを特
    徴とする請求項１５に記載の測定装置。
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