JP2000021679A - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents
積層セラミックコンデンサInfo
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Abstract
させることができる積層セラミックコンデンサを提供す
る。 【解決手段】誘電体層3と内部電極層4とを交互に積層
してなるコンデンサ本体1の両端に一対の外部電極2を
設けてなり、内部電極層4の一端が外部電極2に電気的
に接続され、他端が外部電極2と電気的に絶縁された積
層セラミックコンデンサであって、内部電極層4に層厚
部6を設けるとともに、該層厚部6の厚みが、該層厚部
6と誘電体層3を介して対向する位置の内部電極層4の
厚みよりも厚いことを特徴とする。
Description
極層とを交互に積層してなる積層セラミックコンデンサ
に関する。
は、図5に示すように、誘電体層11と内部電極層12
とを交互に積層し、内部電極層12の端部を交互にコン
デンサ本体13の対向する端面に露出させ、この部分に
それぞれ外部電極を形成することにより、内部電極層1
2の一端を外部電極に接続していた。
般的な製造方法は、例えば、誘電体セラミック粉末を有
機バインダーに分散させたセラミックスラリーをシート
状に成形してセラミックグリーンシートを作製し、スク
リーン印刷法などにより、このセラミックグリーンシー
トの上に導電性ペーストを塗布し、内部電極パターンを
印刷する。
たセラミックグリーンシートを複数積層し、該積層成形
体の上下面に内部電極パターンが印刷されていないセラ
ミックグリーンシートを複数枚積み重ねる。こうして得
られた積層成形体を内部電極層の一端が端面に露出する
ようにしてチップ状に切断し、これを焼成し、コンデン
サ本体を作製する。
て、その端面に内部電極層の端面を露出させ、コンデン
サ本体の端面に導電性ペーストを塗布し、これを焼き付
けて外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを作
製していた。
造方法として、チップ状に切断された未焼成の積層成形
体を焼成する前に、その端部に予め導電性ペーストを塗
布し、焼成と同時に導電性ペーストを焼き付けるという
製造方法もある。
ックグリーンシートを使用する、いわゆるシート法の他
に、セラミックペーストと導電性ペーストとを交互に印
刷していく、いわゆる印刷法も採用されている。
サにおける内部電極層12は、図5に示すように、同一
厚みとされていた。また、内部電極層12の他端部は、
コンデンサ本体13の端面に露出しないように導電性ペ
ーストの塗布面積を考慮し、外部電極と電気的に絶縁さ
れていた。
ラミックコンデンサでは、一般に内部電極層12と誘電
体層11との焼成収縮率が異なるため、焼成後において
は内部応力が発生し、構造欠陥が発生しやすく、静電容
量の温度特性が悪化するという問題があった。そして、
近年においては、高容量を達成するために積層数を増加
することが行われているが、積層数を増加する程内部応
力が大きくなり、構造欠陥が発生したり、静電容量の温
度特性の悪化が大きいという問題があった。
は、導電性ペーストの印刷パターンの制御により外部電
極との絶縁を確保していたため、印刷の精度による外部
電極との短絡を防止するために、印刷パターンの外部電
極端と外部電極との間隔を大きく設定する(いわゆる大
きなマージン領域を形成する)必要があり、容量が発生
する有効電極面積が小さくなり、静電容量が小さくなる
という問題があった。
温度特性を向上させることができる積層セラミックコン
デンサを提供することを目的とする。
について鋭意検討した結果、積層セラミックコンデンサ
の内部電極層の一部あるいは全体の厚みを、その内部電
極層の上下に設けられる内部電極層の厚みと異なるよう
に設定することにより、誘電体層と内部電極層との焼成
収縮率の差にもかかわらず、積層セラミックコンデンサ
の内部応力を小さくすることができることを見出し、本
発明に至った。
は、誘電体層と内部電極層とを交互に積層してなるコン
デンサ本体の両端に一対の外部電極を設けてなり、前記
内部電極層の一端が前記外部電極に電気的に接続され、
他端が前記外部電極と電気的に絶縁された積層セラミッ
クコンデンサであって、前記内部電極層に層厚部を設け
るとともに、該層厚部の厚みが、該層厚部と前記誘電体
層を介して対向する位置の内部電極層の厚みよりも厚い
ものである。
層厚部と誘電体層を介して対向する位置の内部電極層の
厚みの1.2〜3倍であることが望ましい。また、層厚
部は、内部電極層の外部電極に電気的に接続される側に
形成されていることが望ましい。さらに、内部電極層の
他端部が酸化され、外部電極と電気的に絶縁されている
ことが望ましい。
電極層に層厚部を設けるとともに、この内部電極層の層
厚部の厚みを、該層厚部と誘電体層を介して対向する位
置の内部電極の厚みよりも厚くすることにより、誘電体
層に作用する応力の方向を分散することができ、誘電体
層と内部電極層との焼成収縮率の差にもかかわらず、内
部応力が小さくなり、これにより、構造欠陥が少なくな
り、静電容量の温度特性を良好にできる。
厚部と誘電体層を介して対向する位置の内部電極の厚み
の1.2〜3倍の厚みとすることにより、内部応力をよ
り小さくできる。
に電気的に接続される側に形成することにより、さらに
内部応力を小さくできるととともに、内部電極層の電流
密度が均一になるため、積層セラミックコンデンサの等
価直列抵抗を低くすることができ、高周波電流に対する
電力損失を小さくすることができる。
電極と電気的に絶縁することにより、印刷パターンの制
御によっていわゆる誘電体マージン領域を形成した従来
の積層セラミックコンデンサよりも有効電極面積を大き
くすることができる。
サは、図1に示すようにコンデンサ本体1の対向する両
端にそれぞれ外部電極2が形成されている。図2は、コ
ンデンサ本体1の断面を示すもので、複数の誘電体層3
と複数の内部電極層4とが交互に積層されている。内部
電極層4の一端はコンデンサ本体1の両端面に露出し、
図示しないが、外部電極2に電気的に接続され、他端が
印刷パターンの制御により外部電極2と電気的に絶縁さ
れている。
外部電極2に接続される内部電極層4毎に、第1内部電
極層4a、第2内部電極層4bとされており、これらの
第1内部電極層4a、第2内部電極層4bは交互に形成
され、第1内部電極層4aの厚みが第2内部電極層4b
の厚みよりも厚く形成されている。つまり、第1内部電
極層4aの全体が層厚部とされており、第1内部電極層
4aの厚みは、第2内部電極層4bの厚みの3倍の厚み
とされている。
パラジウム、ニッケル、銀、銅、またはそれらの合金等
があるが、これらのうちでも、安価であるという理由か
ら、ニッケルからなる内部電極材料を用いることが望ま
しい。内部電極層4中には、金属を主成分とするもので
あれば良く、金属の他に金属の酸化物やガラス等を含有
していても良いが、金属のみからなる場合が最も望まし
い。
えば、先ず、誘電体層となるグリーンシートを作製する
ことにより得られる。グリーンシートは、例えば、チタ
ン酸バリウムを主成分とし、酸化イットリウム、炭酸マ
ンガンおよび酸化マグネシウムを加えた誘電体粉末に、
水および分散剤を加え、ボールミルにて混合粉砕した
後、有機バインダーを混合し、得られたスラリーを所定
厚みのテープ状に成形することにより得られる。
ムを主成分とし、この主成分100モル部に対して、酸
化マグネシウムを0.5〜8モル部、炭酸マンガンを
0.05〜0.5モル部、酸化イットリウムを0.3〜
4モル部添加含有したものを用いることが誘電率などの
特性を向上するという点から望ましい。一方、例えば、
ニッケル粉末に有機可塑剤を加えた導電性ペーストを作
製する。
えば、スクリーン印刷法により上記導電性ペーストを塗
布する。このとき、第1内部電極層4a用の印刷パター
ンは導電性ペーストを複数回印刷することにより、第2
内部電極層4bの印刷パターンよりも厚い導電膜を形成
する。この後、導電性ペーストを塗布したグリーンシー
トを積層する。
切断したのち、酸素分圧3×10-8〜3×10-3Pa、
温度1150〜1300℃で0.5〜3時間焼成し、次
に、酸素分圧1×10-2〜2×104 Pa、温度900
〜1150℃で1〜5時間熱処理し、コンデンサ本体を
作製する。
トを作製し、このペーストを、前記内部電極層と交互に
電気的に接続するようにコンデンサ本体の両端に塗布
し、焼き付けることにより外部電極を形成し、本発明の
積層セラミックコンデンサを作製する。尚、上記例で
は、複数回の印刷によって厚みを厚く形成したが、本発
明は上記例に限定されるものではない。
ンデンサでは、第1内部電極層4aの全体の厚みを、そ
の上下に設けられる第2内部電極層4bの厚みよりも厚
く設定することにより、誘電体層3に加わる応力の方向
を分散させることができ、誘電体層3と内部電極層4と
の焼成収縮率の差にもかかわらず、内部応力が小さくな
り、これにより、構造欠陥が少なくなり、静電容量の温
度特性を良好にできる。
aの厚みを、第2内部電極層4bの厚みの3倍の厚みと
したので、内部応力をより小さくでき、構造欠陥がより
少なくなり、静電容量の温度特性をより良好にできる。
サの他の例を示すもので、この形態では、第1内部電極
層4aおよび第2内部電極層4bの外部電極2と接続さ
れる側の厚みがそれぞれ厚く形成されている。即ち、第
1内部電極層4aの左側半分、第2内部電極層4bの右
側半分が層厚部6とされ、その他の部分は層厚部6より
も薄く形成されている。
誘電体層3を介して対向する位置の内部電極層4a、4
bの厚みは、層厚部6よりも薄く形成され、その厚みの
比は1:3とされている。
ンデンサは、上記した製造方法とほぼ同様の製造方法に
より作製できる。そして、得られた積層セラミックコン
デンサについても、上記態様とほぼ同様の効果を得るこ
とができるが、さらに、内部電極層4a、4bの外部電
極2に接続される側に層厚部6を形成したので、層厚部
6において電流密度が均一化し、積層セラミックコンデ
ンサの等価直列抵抗を低くすることができ、高周波電流
に対する電力損失を小さくすることができ、高周波用の
積層セラミックコンデンサとして好適に利用することが
できる。
サのさらに他の例を示すもので、この形態では、第1内
部電極層4aおよび第2内部電極層4bの外部電極2と
接続される側の厚みが厚く形成されている。即ち、第1
内部電極層4aの左側端部、第2内部電極層4bの右側
端部が層厚部6とされ、その他の部分は層厚部6よりも
薄く形成されており、第1内部電極層4aの層厚部6以
外の部分と第2内部電極層4bの層厚部6以外の部分は
同一厚みとされている。
右側端部、および第2内部電極層4bの左側端部が酸化
されて酸化部7が形成され、第1内部電極層4aの右側
端部、第2内部電極層4bの左側端部と外部電極2とが
電気的に絶縁されている。
グリーンシートの上面に、例えば、スクリーン印刷法に
より上記導電性ペーストを塗布する。このとき、膜厚部
6については複数回導電性ペーストを印刷することによ
り形成する。この後、導電性ペーストを塗布したグリー
ンシートを積層し、得られた積層成形体を所定寸法に切
断したのち焼成し、内部電極層の両端が端面に露出した
コンデンサ本体を作製する。
a、温度900〜1150℃で1〜5時間熱処理するこ
とにより、第2内部電極層4bの左側端部、および第1
内部電極層4aの右側端部が酸化され、第2内部電極層
4bの左側端部、第1内部電極層4aの右側端部と外部
電極2とが電気的に絶縁される。この後、外部電極2を
形成することにより、本発明の積層セラミックコンデン
サが得られる。
については酸化されやすいため、上記熱処理により酸化
し、外部電極2と絶縁されるが、層厚部6の端面につい
ては上記熱処理によっても酸化されにくく、コンデンサ
本体1に外部電極2を形成すると、層厚部6と外部電極
2とが導通することになる。
ンデンサでも、上記態様とほぼ同様の効果を得ることが
できるが、さらに、層厚部6において電流密度が均一化
されるので、積層セラミックコンデンサの等価直列抵抗
を低くすることができ、高周波電流に対する電力損失を
小さくすることができるとともに、印刷パターンの制御
によって誘電体マージン領域を形成した従来の積層セラ
ミックコンデンサよりも有効電極面積を大きくでき、静
電容量を大きくすることができる。
主成分100モル部に対して、酸化イットリウムを1モ
ル部、酸化マグネシウムを2モル部、酸化マンガンを
0.1モル部添加した誘電体粉末に、水及び分散剤を加
え、ZrO2 ボールを用いたボールミルにて混合粉砕し
た後、有機バインダーを混合し、得られたスラリーを厚
み13μmのテープ状に成形した。
機可塑剤を加えた導電性ペーストを用意し、上記テープ
上にスクリーン印刷法にて形成し、テープを積層した。
この際、第2内部電極層4bと第1内部電極層4aの厚
みの比率が1:1.2、1:2.0、1:3.0、およ
び1:4.0になるように導電性ペーストを塗布し、印
刷パターンを形成した。
層を有し、マージン領域を形成した成形体も用意した。
1×10-6Pa、温度1260℃で2時間焼成し、次
に、酸素分圧1×101 Pa、温度1000℃で1時間
熱処理を行った。次に、焼結体の両端面に銅ペーストを
800℃で焼き付け、内部電極層4と電気的に接続する
外部電極2を形成し、図2に示すような内部電極層4の
厚みが異なる4種類の積層セラミックコンデンサを作製
した。また図5に示すような従来の積層セラミックコン
デンサを作製した。
電体層3の厚みが9μm、有効誘電体層数が100層、
外形寸法が2mm×1.2mm×1.2mm、有効電極
面積が0.78mm2 であり、(第1内部電極層4aの
厚み、第2内部電極層4bの厚み)が(1.2μm、
1.0μm)、(1.6μm、0.8μm)、(1.5
μm、0.5μm)、(1.6μm、0.4μm)であ
った。
は、誘電体層11の厚みが9μm、有効誘電体層数10
0層、外形寸法2mm×1.2mm×1.2mm、有効
電極面積0.78mm2 であり、内部電極層12の厚み
は1.2μmであった。
84Aを用いて、周波数1.0kHz、入力信号レベル
1.0Vrmsにて+25℃及び+125℃における静
電容量を測定した。
単一の厚みによって構成されていた図5の比較例の場
合、静電容量が0.5μF、+25℃の静電容量に対す
る125℃の静電容量の変化率は−16%であったのに
対して、内部電極層を一層おきに1:1.2〜1:3.
0の比率で異なる厚みを持つように形成した図2の積層
セラミックコンデンサの場合、+25℃での静電容量は
それぞれ0.5μFであり、静電容量の変化率は−11
%、−12%、−13%であった。インピーダンスアナ
ライザ4194Aで測定した透過直列抵抗は87mΩで
あった。
る厚みを持つように形成した場合には、静電容量が0.
5μF、静電容量の変化率は−14%であった。
コンデンサを作製した。この際、層厚部6の厚みと対向
する内部電極層4の厚みの比を2:1とし、内部電極層
4の膜厚部6の占める割合を全長の1/2とした。作製
した積層セラミックコンデンサの層厚部6の厚みは1.
6μm、対向する内部電極層4の厚みが0.8μmであ
り、誘電体層3の厚み9μm、有効誘電体層数100
層、外形寸法2mm×1.2mm×1.2mm、有効電
極面積0.78mm2 であった。
電容量が0.5μF、+25℃の静電容量に対する12
5℃の静電容量の変化率は−11%であり、インピーダ
ンスアナライザ4194Aで測定した等価直列抵抗は6
4mΩであった。
コンデンサを作製した。この際、内部電極層4a、4b
の他端部を熱処理により酸化し、外部電極2と電気的に
絶縁した。
電極層4a、4bの厚みの2倍とし、内部電極層4の層
厚部6の占める割合を全長の1/5とした。作製した積
層セラミックコンデンサの層厚部6の厚みは1.6μ
m、対向する内部電極層4の厚みが0.8μmであり、
中央部付近の誘電体層3の厚み9μm、有効誘電体層数
100層、外形寸法2mm×1.2mm×1.2mm、
有効電極面積0.94mm2 であった。
電容量が0.6μF、+25℃の静電容量に対する12
5℃の静電容量の変化率は−11%であり、インピーダ
ンスアナライザ4194Aで測定した等価直列抵抗は7
0mΩであった。
内部電極層に層厚部を設けるとともに、該内部電極層の
層厚部の厚みを、該層厚部と誘電体層を介して対向する
位置の内部電極層の厚みを厚く形成したので、誘電体層
と内部電極層との焼成収縮率の差にもかかわらず、内部
応力が小さくなり、これにより、構造欠陥が少なくな
り、静電容量の温度特性を良好にできる。
サ本体の断面図である。
デンサ本体の断面図である。
のコンデンサ本体の断面図である。
本体の断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】誘電体層と内部電極層とを交互に積層して
なるコンデンサ本体の両端に一対の外部電極を設けてな
り、前記内部電極層の一端が前記外部電極に電気的に接
続され、他端が前記外部電極と電気的に絶縁された積層
セラミックコンデンサであって、前記内部電極層に層厚
部を設けるとともに、該層厚部の厚みが、該層厚部と前
記誘電体層を介して対向する位置の内部電極層の厚みよ
りも厚いことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。 - 【請求項2】内部電極層の層厚部の厚みが、該層厚部と
誘電体層を介して対向する位置の内部電極層の厚みの
1.2〜3倍であることを特徴とする請求項1記載の積
層セラミックコンデンサ。 - 【請求項3】層厚部は、内部電極層の外部電極に電気的
に接続される側に形成されていることを特徴とする請求
項1または2記載の積層セラミックコンデンサ。 - 【請求項4】内部電極層の他端部が酸化され、外部電極
と電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項1乃
至3のうちのいずれかに記載の積層セラミックコンデン
サ。
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