JP2000012601A - リードフレーム固定治具 - Google Patents

リードフレーム固定治具

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JP2000012601A JP10175472A JP17547298A JP2000012601A JP 2000012601 A JP2000012601 A JP 2000012601A JP 10175472 A JP10175472 A JP 10175472A JP 17547298 A JP17547298 A JP 17547298A JP 2000012601 A JP2000012601 A JP 2000012601A
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lead
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rail
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Nobuyuki Iwashita
信幸 岩下
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リードフレーム受け部を交換する際に熟練し
た交換技術が不要で容易に交換できるリードフレーム固
定治具を提供する。 【解決手段】 本発明に係るリードフレーム固定治具
は、リードフレームを載置するためのリードフレーム受
け部19と、該リードフレーム受け部19上にリードフ
レームを載置した際、リードフレームのインナーリード
を押さえるインナーリード押さえ部11と、インナーリ
ード押さえ部11が取り付けられるスライド部13と、
スライド部13がスライド自在に取り付けられる第1の
レール部16と、第1のレール部16に連結され且つそ
の連結部16aで折りたたみ自在に形成される第2のレ
ール部17であって、スライド部13がスライド可能と
される第2のレール部17と、を具備するものである。
これにより、リードフレーム受け部を交換する際に熟練
した交換技術が不要となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレーム固
定治具及びリードフレーム固定方法に関する。特には、
リードフレーム受け部を交換する際に熟練した交換技術
が不要で容易に交換できるリードフレーム固定治具に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置は、リードフレ
ーム固定治具を有しており、このリードフレーム固定治
具によってリードフレームを固定保持し、半導体チップ
とインナーリードとを金線で電気的に接続するものであ
る。
【0003】従来のリードフレーム固定治具は、リード
フレームを載置するリードフレーム受け手段、及び、リ
ードフレームを押さえるリードフレーム押さえ手段等か
ら構成されている。このリードフレーム受け手段は、リ
ードフレームを載置する板状のリードフレーム受け部を
有し、このリードフレーム受け部の上にリードフレーム
を載置する構成となっている。上記リードフレーム押さ
え手段は、インナーリードを押さえるインナーリード押
さえ部を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
リードフレーム固定治具においては、異なる種類のリー
ドフレームを保持する場合には、そのリードフレームに
対応するリードフレーム受け部及びインナーリード押さ
え部それぞれに交換する必要がある。この交換の際、リ
ードフレーム受け部は取付台にネジ止めによって固定さ
れているため、ネジを外す等の作業をしなければならな
い。このため、それらを交換するのには時間がかかって
しまう。
【0005】また、インナーリード押さえ部について
は、それを交換する毎にX・Y位置やあおり調整が必要
となる。特にあおり調整はシビアに行われる必要があ
る。このため、熟練した交換技術が必要となり、また熟
練した技術を有するオペレータが交換を行っても交換時
間が長くかかってしまう。
【0006】一方、リードフレームは一般に、図7
(a),(b)に示すようにマウントされる半導体チッ
プ25の種類によってダイパット27のサイズが異なり
インナーリード23の長さも異なる。そして、従来のリ
ードフレーム固定治具を用いた固定方法では、図7
(a),(b)に示すように、インナーリード23のワ
イヤボンディング位置から所定の距離aだけ離した位置
でインナーリード押さえ部に設けられた突起11bをイ
ンナーリード23に押さえ付けることによりリードフレ
ームを固定している。従って、ダイパット27のサイズ
(インナーリード23の長さ)毎にインナーリード押さ
え部の突起11bの位置を変更しなければならないの
で、異なる種類のリードフレームにワイヤボンディング
を行うごとにインナーリード押さえ部を交換する必要が
ある。これによって製造コストが増すばかりか、オペレ
ータがインナーリード押さえ部を管理するのも大変であ
った。
【0007】本発明は上記のような事情を考慮してなさ
れたものであり、その目的は、リードフレーム受け部を
交換する際に熟練した交換技術が不要で容易に交換でき
るリードフレーム固定治具を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係るリードフレーム固定治具は、リードフ
レームを載置するためのリードフレーム受け部と、該リ
ードフレーム受け部上にリードフレームを載置した際、
該リードフレームを押さえるリード押さえ部と、該リー
ド押さえ部が取り付けられるスライド部と、該スライド
部がスライド自在に取り付けられるガイドレールと、を
具備することを特徴とする。
【0009】上記リードフレーム固定治具では、スライ
ド部にリード押さえ部を取り付け、スライド部をガイド
レールにスライド自在に取り付けているため、オペレー
タがリード押さえ部をリードフレーム受け部から離れる
方向に引くだけで該リードフレーム受け部の上からエス
ケープさせることができ、リードフレーム受け部を交換
することが可能となる。
【0010】本発明に係るリードフレーム固定治具は、
リードフレームを載置するためのリードフレーム受け部
と、該リードフレーム受け部上にリードフレームを載置
した際、該リードフレームを押さえるリード押さえ部
と、該リード押さえ部が取り付けられるスライド部と、
該スライド部がスライド自在に取り付けられる第1のガ
イドレールと、該第1のガイドレールに連結され且つそ
の連結部で折りたたみ自在に形成される第2のガイドレ
ールであって、該スライド部がスライド可能とされる第
2のガイドレールと、を具備することを特徴とする。
【0011】上記リードフレーム固定治具では、スライ
ド部にリード押さえ部を取り付け、スライド部を第1及
び第2のガイドレールにスライド自在に取り付け、第2
のガイドレールを折りたたみ自在に形成している。この
ため、オペレータがリード押さえ部を第1のガイドレー
ルから第2のガイドレール側に引くことにより、該押さ
え部を第2のガイドレール上にスライドさせて該受け部
の上からエスケープさせることができるので、リードフ
レーム受け部を交換することが可能となる。
【0012】また、上記リード押さえ部は、インナーリ
ードがタイバーを介してアウターリードに接続されてい
るリードフレームを上記リードフレーム受け部上に載置
した際、該インナーリード上の位置であって該タイバー
から所定の長さを有する位置で該インナーリードを該リ
ードフレーム受け部側に押さえることにより該リードフ
レームを保持するものであることが好ましい。これによ
り、リードフレームの種類が変わってもインナーリード
を押さえる位置を統一することができる。したがって、
リードフレームの種類毎にりード押さえ部を交換する必
要がなくなる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施の形態について説明する。図1(a)〜(c)は、
本発明の実施の形態によるリードフレーム固定治具のリ
ードフレーム押さえ手段の動作を示す側面図である。図
2は、本発明の実施の形態によるリードフレーム固定治
具を示す斜視図である。図3は、図1に示すリードフレ
ーム固定治具によってリードフレームを固定する方法を
説明するための断面図である。
【0014】リードフレーム固定治具は、図3に示すよ
うに、半導体チップ25とインナーリード23とをツー
ル22を用いてワイヤ(金線)24で電気的に接続する
ワイヤボンディングを行う際に、ワイヤボンディング装
置内にリードフレーム3を固定するための治具であり、
この治具はワイヤボンディング装置に内蔵されるもので
ある。なお、リードフレーム3は半導体チップ25をマ
ウントするダイパット27を有し、このダイパット27
の周囲にはインナーリード23が配置されており、この
インナーリード23の一端はタイバー26を介してアウ
ターリード28に連結されている。
【0015】図2に示すように、リードフレーム固定治
具1は、リードフレーム3を載置するリードフレーム受
け手段5、リードフレーム3を押さえるリードフレーム
押さえ手段7、及び、リードフレーム受け手段5とリー
ドフレーム押さえ手段7を取り付ける略直方体形状から
なる取付台9から構成されている。
【0016】上記リードフレーム押さえ手段7は、図1
に示すように、インナーリードを押さえるインナーリー
ド押さえ部11、この押さえ部11をネジで固定するス
ライド部13、及び、このスライド部13がスライド自
在に取り付けられる折りたたみ式ガイドレール15から
構成されている。
【0017】この折りたたみ式ガイドレール15は互い
に連結された第1及び第2のレール部16,17からな
る。第1のレール部16は、クリアランスレスガイド機
構を有し、取付台9の上面に設けられた略直方体形状か
らなる取付部18に固定されている。第2のレール部1
7は、図1(a)に示すように第1のレール部16との
連結部16aを支点として該レール部17の長手方向を
水平にする位置から垂直にする位置に自在に動かすこと
が可能に構成されている。第2のレール部17の先端に
はストッパー17aが設けられている。
【0018】インナーリード押さえ部11は、スライド
部13を介して折りたたみ式ガイドレール15上をスラ
イドできるように構成されている。すなわち、第1のレ
ール部16上にあるインナーリード押さえ部11を第2
のレール部17側に引くと、図1(a)に示すように第
2のレール部17はその長手方向が水平になる位置に動
き、さらに該押さえ部11に第2のレール部17側への
力を加えると、スライド部13が第2のレール部17上
にスライドされる。また、これとは逆向きの力をインナ
ーリード押さえ部11に加えると、スライド部13は第
2のレール部17から第1のレール部16にスライドさ
れる。このようにインナーリード押さえ部11は、第1
のレール部16と第2のレール部17の相互間を自由に
スライド可能に構成されている。
【0019】上記インナーリード押さえ部11は、図3
に示すインナーリード23を押さえた際に該インナーリ
ード23の一部と半導体チップ25を露出させるための
穴11aを有している。また、インナーリード押さえ部
11の下面には、インナーリード23を押さえるたえの
突起11bが設けられている。
【0020】リードフレーム受け手段5は、図2に示す
ように、リードフレーム3を載置する板状のリードフレ
ーム受け部19及びこの受け部19を載置する載置台2
1から構成されている。この載置台21は取付台9の上
面に固定されている。載置台21の上面にはリードフレ
ーム受け部19を嵌め込むレール21aが設けられてい
る。このレール21aの一方側には段差部21bが設け
られている。レール21aの他方側には、リードフレー
ム受け部19を段差部21b側に押圧して固定保持する
保持手段29が取り付けられている。この保持手段29
は、約250℃の熱を考慮したメタル軸受に支持された
回転軸31、この軸31に回転可能に取り付けられた押
圧部29a、この押圧部29aの基端と載置台21とに
両端が取り付けられたバネ33から構成されている。押
圧部29aの先端側には棒状の突出部29bがネジで取
り付けられており、このネジによって突出部29bの押
圧部29aからの長さを調整できるようになっている。
【0021】また、リードフレーム受け部19の上面に
は、図3に示すリードフレーム3のダイパット27を収
納する凹部19aが設けられている。リードフレーム受
け部19の下面には、載置台21の上面のレール21a
をスライド自在に嵌め込む凹部19b(図6(b)に示
す)が設けられている。
【0022】次に、リードフレーム固定方法について図
3及び図4を参照しつつ説明する。図4(a),(b)
は、リードフレーム固定方法を説明するための断面図で
ある。
【0023】図3に示すように、リードフレーム受け部
19にリードフレーム3を載置する。この際、凹部19
a内にダイパット27が収納される。そして、インナー
リード押さえ部11の突起11bがインナーリード23
のタイバーに近い部分を下方に押さえることにより、リ
ードフレーム受け部19の上にリードフレーム3を保持
する。
【0024】ここで、従来のリードフレーム固定方法で
は、前述したようにダイパット27のサイズ(インナー
リード23の長さ)毎にインナーリード押さえ部の穴の
大きさを変更しなければならないので、異なる種類のリ
ードフレームにワイヤボンディングを行うごとにインナ
ーリード押さえ部を交換していた。ところが、インナー
リード23の長さが異なるリードフレームでもタイバー
26の位置は同一の場合が多い。
【0025】このような事情から、図4(a),(b)
に示すように、本実施の形態によるリードフレーム固定
治具では、インナーリード23のタイバー26から所定
の距離cだけ離した位置(インナーリードの根元、即ち
タイバーのすぐ内側)に突起11bでインナーリード2
3を押さえ付けることにより固定している。これによ
り、ワイヤボンディングを行う際のインナーリード23
のバタツキを完全に抑えることができ、インナーリード
側へのボンディング(セカンドボンド)を良好に行うこ
とができる。なお、上記所定の距離cは、0.5mm〜
1.0mmであることが好ましい。
【0026】次に、図2のリードフレーム固定治具1に
おいてリードフレーム受け部19を交換する手順につい
て図1、図5及び図6を参照しつつ説明する。リードフ
レーム3の種類を変更してワイヤボンディングを行う際
にはリードフレーム受け部19を交換する必要がある。
【0027】図6(a)は、図2に示すリードフレーム
受け手段を示す平面図であり、図6(b)は、図6
(a)のリードフレーム受け部を取り外した状態を示す
平面図である。
【0028】まず、図1(a)に示すように、第2のレ
ール部17をその長手方向が水平になる位置に移動させ
る。次に、この状態で、図1(b)に示すように、スラ
イド部13を第1のレール部16から第2のレール部1
7にスライドさせる。この後、図1(c)に示すよう
に、第2のレール部17をその長手方向が垂直になる位
置に移動させる。これにより、図5に示すように、イン
ナーリード押さえ部11をリードフレーム受け部19上
から外すことができる。尚、図5は、図1(c)に示す
リードフレーム固定治具の状態の斜視図である。
【0029】次に、図6(b)に示すように、リードフ
レーム3を取り外した後、図6(b)に示すように、バ
ネ33が引っ張る力とは逆方向に押圧部29aの基端側
を動かすことにより、回転軸31を中心として押圧部2
9aを矢印の方向に少し回転させる。これによって、リ
ードフレーム受け部19を押圧している突出部29bを
該受け部19から解放し、自由になったリードフレーム
受け部19を載置台21のレール21aから取り外すこ
とができる。
【0030】次に、別のリードフレーム受け部を準備
し、上記のように押圧部29aの基端側を動かし、その
リードフレーム受け部をレール21aに嵌め込んだ後、
バネ33の力によってその受け部の一端を突出部29b
の先端で押圧する。これにより、その受け部19の他端
を段差部21bに押しつけ、該受け部を載置台21に保
持する。
【0031】この後、該受け部19の上に交換するリー
ドフレームを載置し、図1(b)に示すように、インナ
ーリード押さえ部11がスライド部13を介して取り付
けられた第2のレール部17を、その長手方向が水平に
なる位置に移動させる。次に、図1(a)に示すよう
に、スライド部13を第2のレール部17から第1のレ
ール部16にスライドさせる。これにより、インナーリ
ード押さえ部11が第1のレール16上に固定される。
更にダブルロックとしてボールプランジャー(図示せ
ず)によってインナーリード押さえ部11を両サイドよ
り保持し、その結果、インナーリード押さえ部11によ
ってリードフレーム3を固定する。このようにしてリー
ドフレーム受け部19を交換することができる。
【0032】上記実施の形態によれば、インナーリード
押さえ部11がスライド部13を介して折りたたみ式ガ
イドレール15上を自由にスライド可能に構成してい
る。このため、オペレータがインナーリード押さえ部1
1を第2のレール部17側に引くだけでリードフレーム
受け部19の上からエスケープさせることができ、リー
ドフレーム受け部19を交換することができる。したが
って、リードフレーム受け部19の交換作業(ワイヤボ
ンド切り替え作業)に締結用要素部品、工具、熟練した
技術が不要となる。さらに、第1のレール部16がクリ
アランスレスガイド機構を有しているので、インナーリ
ード固定面の再現性が良くなり、該固定面のあおり調整
が不要となる。即ち、インナーリード固定面のあおり不
良、ガタ等は全く生じない。このため、交換作業時間を
大幅に短縮することができる。また、熟練した交換技術
が必要でないため、交換作業についての教育、訓練を受
けなくても良く、誰でも交換作業を行うことが可能とな
る。また、あおり調整等に起因する品質トラブルの発生
を抑制することができる。このような事から、大幅な製
造コストのダウンにつながる。
【0033】また、このリードフレーム固定治具は、図
1に示すように、インナーリード押さえ部11を折りた
たみ式ガイドレール15上を水平方向に移動させること
により、該押さえ部11をリードフレーム上からエスケ
ープさせるものである。このため、リードフレームの上
方に顕微鏡等の機材を配置している場合は、この機材を
取り外さなくてもインナーリード押さえ部11をリード
フレーム上からエスケープさせることができるという利
点がある。
【0034】また、種々のリードフレームにおいてもタ
イバーの位置が同一であることから、タイバー26のす
ぐ内側のインナーリード23をインナーリード押さえ部
11の突起11bで押さえ付けることにより、リードフ
レームを固定している。つまり、リードフレームの種類
が変わってもインナーリードを押さえる位置を統一して
いる。このため、ワイヤボンディングするリードフレー
ムの種類を変更しても、インナーリード押さえ部11を
交換する必要がなくなり製造コストを低減することがで
きる。
【0035】尚、上記実施の形態では、押圧部29aの
先端側にネジで突出部29bを取り付けているが、この
突出部29bは必ずしも必要ではなく、押圧部の先端部
で直接リードフレーム受け部19を押圧することも可能
である。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、リ
ードフレーム受け部を交換する際に熟練した交換技術が
不要で容易に交換できるリードフレーム固定治具を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)〜(c)は、本発明の実施の形態に
よるリードフレーム固定治具のリードフレーム押さえ手
段の動作を示す側面図である。
【図2】本発明の実施の形態によるリードフレーム固定
治具の斜視図である。
【図3】図1に示すリードフレーム固定治具によってリ
ードフレームを固定する方法を説明するための断面図で
ある。
【図4】図4(a),(b)は、リードフレーム固定方
法を説明するための断面図である。
【図5】図2に示すリードフレーム固定治具においてリ
ードフレーム受け部を交換する手順を説明するための斜
視図である。
【図6】図1に示すリードフレーム固定治具においてリ
ードフレーム受け部を交換する手順を説明するものであ
り、図6の次の手順を示す平面図である。
【図7】図7(a),(b)は、従来のリードフレーム
固定方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1…リードフレーム固定治具、3…リードフレーム、5
…リードフレーム受け手段、7…リードフレーム押さえ
手段、9…取付台、11…インナーリード押さえ部、1
1a…穴、11b…突起、13…スライド部、15…折
りたたみ式ガイドレール、16…第1のレール部、16
a…連結部、17…第2のレール部、17a…ストッパ
ー、18…取付部、19…リードフレーム受け部、19
a,19b…凹部、21…載置台、21a…レール、2
1b…段差部、22…ツール、23…インナーリード、
24…ワイヤ(金線)、25…半導体チップ、26…タ
イバー、27…ダイパット、28…アウターリード、2
9…保持手段、29a…押圧部、29b…突出部、31
…回転軸、33…バネ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームを載置するためのリード
    フレーム受け部と、 該リードフレーム受け部上にリードフレームを載置した
    際、該リードフレームを押さえるリード押さえ部と、 該リード押さえ部が取り付けられるスライド部と、 該スライド部がスライド自在に取り付けられるガイドレ
    ールと、 を具備することを特徴とするリードフレーム固定治具。
  2. 【請求項2】 リードフレームを載置するためのリード
    フレーム受け部と、 該リードフレーム受け部上にリードフレームを載置した
    際、該リードフレームを押さえるリード押さえ部と、 該リード押さえ部が取り付けられるスライド部と、 該スライド部がスライド自在に取り付けられる第1のガ
    イドレールと、 該第1のガイドレールに連結され且つその連結部で折り
    たたみ自在に形成される第2のガイドレールであって、
    該スライド部がスライド可能とされる第2のガイドレー
    ルと、 を具備することを特徴とするリードフレーム固定治具。
  3. 【請求項3】 上記リード押さえ部は、インナーリード
    がタイバーを介してアウターリードに接続されているリ
    ードフレームを上記リードフレーム受け部上に載置した
    際、該インナーリード上の位置であって該タイバーから
    所定の長さを有する位置で該インナーリードを該リード
    フレーム受け部側に押さえることにより該リードフレー
    ムを保持するものであることを特徴とする請求項1又は
    2記載のリードフレーム固定治具。
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