JP2000009913A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】細密で高精細なカラーフィルタを、高収率で作
製することが可能な製造方法を提供する。 【解決手段】少なくとも一方が透明な支持シートＡと支
持シートＢ１及び、両シート間に設けた放射線硬化性樹
脂と着色剤を含むインキ層２からなる感光性シートへの
放射線のパターン露光と、両支持シートの剥離現像によ
り得られる支持シートＡ上の未硬化の着色画素を、順次
各色毎に、透明基体３上への圧着または加熱圧着によっ
て転写して行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、プ
ラズマディスプレイ、などに使用される、複数の色を基
体上へストライプ、もしくはマトリクスと称されるパタ
ーン状に形成した色分解用のカラーフィルタの製造方法
に関するものである。さらに詳しくは、剥離現像法によ
って得られた着色画素を、透明基体上の透明樹脂層上に
転写してなるカラーフィルタの製造方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラス等の基体に２
種又はそれ以上の異なる色相からなる微細な帯を平行又
は交差して配置したもの（ストライプ）、又は微細な画
素を縦横一定の配列に配置したもの（マトリクス）であ
る。ストライプの幅は数μｍ、マトリクスの画素は縦横
が数十〜数百μｍという微細な形状であり、しかも色相
ごとに所定の順序で整然と配列している。このため、カ
ラーフィルタの製造法について種々の方法が従来から提
案されているが、いずれの方法も生産性が劣るものであ
るか、または、作られたカラーフィルタの品質が充分に
満足できるのものでなかった。

【０００３】ストライプ等の各色画素をオフセット印
刷、スクリーン印刷等で形成する印刷法は、各画素表面
の微小な凹凸や厚さムラが発生し易く、かつ、各色画素
の輪郭が重ならないように印刷するのが難しいため、各
画素内及び、カラーフィルタ全面を平滑な表面に保って
均一な光透過率にするのは困難である等の欠点を持つ。

【０００４】ホトリソグラフィー法は、ガラス等の基体
上に塗布した染色性の感光膜から、露光・現像により必
要なパターン形状を得た後に、染色して画素を形成する
工程を各色毎に繰り返す、もしくは、顔料を含む感光膜
から、必要なパターン形状に着色画素を形成してカラー
フィルタを製造する方法だが、この方法は染色後の画素
に次色染色への防染処理が必要等、工程数が多くて手間
がかかり、生産性に劣るといった欠点がある。

【０００５】電着法は、透明電極が画素の形状に作られ
た透明基板の上に、顔料と樹脂が分散されている溶液中
より、電気泳動法によって着色画素を形成する方法であ
るが、顔料と樹脂の分散溶液の経時安定性に欠けて再現
性が悪い、電気泳動した画素の流れのため画素の形状が
均一に作り難い、次色染色への防染処理が必要等の欠点
がある。

【０００６】他に、多孔質の金属酸化物を基板に蒸着し
て染色した後に封止する方法や、金属酸化物を基板に多
層に蒸着して得られる干渉フィルタを利用する方法等も
提案されているが、複雑な工程で生産性に劣り製造コス
トが高くなる欠点を持つ。

【０００７】特開昭６１−９９１０２号公報では、あら
かじめ各色に着色された感光性物質をポリエチレンテレ
フタレート（以下ＰＥＴという）フィルム等の透明支持
シートに塗布した着色シートを作り、各シート毎に所定
のパターン露光を行い、ついで未露光部を洗いとる現像
工程を経た後、得られた各色の着色画素を、ガラス等の
基板に所定の配列となるように転写してカラーフィルタ
を形成する方法を提案している。この方法では、フォト
グラフィー法にように防染処理の必要がなく、簡便な方
式であるが、液体による現像工程を必要とするので、生
産性の点から好ましいものではない。

【０００８】特開平２−１５１８０５号には、二枚の透
明な支持シート間に着色された感光性樹脂層を設け、所
定のパターン露光を行った後に両支持シートを剥離現像
し、片方の支持シート上に形成された未硬化の着色画素
を、フィルタ基板上に転写する方法が提案されている。
この方式によれば、乾式の現像工程により簡便に良好な
カラーフィルタを製造できるが、支持シート上の未硬化
の着色画素を、良好にガラス等の基板上へ転写させるた
めの設定条件や、感光性樹脂層の組成範囲が狭くなる傾
向が見られる。

【０００９】特開平４−７５００４号には、ガラス等の
透明基板上に放射線硬化性の無色透明樹脂層を設け、着
色画素の転写前に放射線硬化を行うことにより、基板と
着色画素の接着性を向上させる方法が提案されている。
この方式によれば、転写条件を向上させ、画素組成の選
択肢を広く取ることができるが、加熱や張力などの転写
条件によって着色画素側の支持シートが伸縮し、透明基
板上での正確な位置合わせが困難となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、上記の従来技術の欠点を解決し、簡便な操
作と工程で、安価に、かつ高品質なカラーフィルタの製
造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】第１の本発明は、着色画
素の形成を、少なくとも一方が透明な支持シートＡと支
持シートＢ及び、両シート間に設けた放射線硬化性樹脂
と着色剤を含むインキ層からなる感光性シートへの放射
線のパターン露光と両支持シートの剥離現像により行
い、得られた支持シートＡ上の未硬化の着色画素を、順
次各色毎に、基体上に設けた透明樹脂層上へ、任意の配
置と間隔で、多数の複数色の着色画素となるように、圧
着または加熱圧着後、剥離することによって転写するこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。

【００１２】第２の本発明は、第１の本発明における透
明樹脂層が、放射線硬化性樹脂成分のほかに、熱可塑性
樹脂を含有しており、放射線硬化後に着色画素を転写す
る際も熱可塑性を保持していることを特徴とするカラー
フィルタの製造方法を提供する。

【００１３】第３の本発明は、第１，第２の本発明にお
いて、１００℃以下の加熱，３ｋｇ／ｍ以下の張力の転
写条件下で、伸縮率が０．００１％以下であるような支
持シートＡを用いることを特徴とするカラーフィルタの
製造方法を提供する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。液晶カラーテレビや固体撮像素子等に用いられる
ストライプ式のカラーフィルタは、一般に光の３原色で
ある赤、緑、青（以下順にＲ，Ｇ，Ｂと言う）の各色画
素（４）を図１に示すように一定の形状と配列と間隔で
正確に透明基板（３）上に配置したものである。即ち、
一定の順序で３色交互に縦一列に配置したものである。
一方マトリクス式のカラーフィルタは、同じく透明基板
上に隣合う画素列を１つずつずらして配置したものであ
る。本発明は上記した３原色以外の着色画素からなるカ
ラーフィルタにも利用できることは勿論であるが、以下
３原色のマトリクス式カラーフィルタについて説明す
る。

【００１５】本発明において放射線とは、紫外線、電子
線、γ線等の放射線硬化性樹脂の硬化に、活性なエネル
ギーを有するものをいう。

【００１６】第１の本発明における感光性シートは、支
持シートＢ（１）上に放射線硬化性樹脂と顔料を含有す
るインキ層（２）を塗布・乾燥させた後（図２参照）、
支持シートＡを室温圧着あるいは加熱圧着して得られ
る。支持シートＡ上の未硬化の着色画素は、感光性シー
トに放射線でパターン露光を行った後、支持シートＢを
支持シートＡに対して鈍角に、また必要に応じて加熱し
ながら剥離し、未硬化のパターン部分のインキ層を、厚
さ方向の全部または一部を支持シートＡに保持させ、イ
ンキ層の光硬化したパターン部分を支持シートＢに保持
させることによって得られる。この時、光硬化したパタ
ーン部分を支持シートＢに保持させるためには、剥離時
の光硬化したパターン部分の支持シートへの接着力が、
支持シートＡよりも支持シートＢの方で大なることが必
要な条件であり、これは、支持シートＢへインキ層を塗
布・乾燥させた後、支持シートＡを圧着する工程を取る
ことにより満足される。さらに、未硬化のパターン部分
のインキ層を支持シートＡに保持させるため、支持シー
トＡを平面に保持しながら支持シートＢを鈍角に剥離す
ることにより、剥離時に作用する未硬化部の接着力が、
支持シートＢよりも支持シートＡで大なるようにしてい
る。また、剥離時に感光性シートを６０〜１２０℃程度
に加熱することにより、未硬化のインキ層内での破断分
離を行い、未硬化パターン部分のインキ層の一部を支持
シートＡに移行させてもよい。

【００１７】支持シートＡおよび支持シートＢは、同一
の材質からなるものでもよく、また同一の材質からなる
場合に支持シートＢにコロナ処理、あるいは、支持シー
トＡに剥離剤の塗布等を施して、インキ層の支持シート
Ｂおよび支持シートＡへの接着力の差を増強するように
してもよい。画素形成のための放射線のパターン露光
は、支持シートＡ側または、支持シートＢ側からのいず
れ側からであってもよい。

【００１８】上記の工程で得られた、支持シートＡ上の
着色画素と、一方基体上に設けた透明樹脂層とを接する
ように室温圧着あるいは加熱圧着し、全面に放射線を与
えて着色画素を硬化させた後に、支持シートＡを剥離す
ることにより、透明樹脂層を設けた基体上に着色画素を
形成することができる。この時、支持シートＡと透明樹
脂層とを剥離した後、つまり、着色画素を透明樹脂層へ
転写した後に全面を放射線硬化してもよいが、この場合
には、支持シートＡと透明樹脂層を剥離する際、未硬化
の着色画素内での破断を生じ易くなる傾向を示す。剥離
前に着色画素を硬化させた場合には、ほとんどが支持シ
ートＡと着色画素との界面での剥離となって、着色画素
内での破断を生じ難いため、転写量の均一性が向上し、
かつ、転写された画素表面の平滑性も良好な状態を保持
する。着色画素の平滑な表面は、拡散光を減少させてコ
ントラストを向上させるために効果的である。

【００１９】本発明の感光性シートに用いる樹脂は、放
射線照射により生ずる重合、架橋、二量体化等の反応に
より硬化し、その結果、支持シートＡに対する粘着力を
低下させるように配合されたもので、放射線硬化性樹脂
を主体とする組成物である。

【００２０】本発明に用いる放射線硬化性樹脂は、大別
して重合性二重結合を有するラジカル重合タイプと、エ
ポキシ基を有するカチオン重合タイプの２種類がある。
ラジカル重合タイプの放射線硬化性樹脂の例としては、
樹脂構造の一部に、−ＯＨ基、−ＣＯＯＨ基または、そ
の無水物、−ＮＨ₂ 基、エポキシ基等の反応性基を１種
以上有するベースポリマーとこれらの基と反応性を有す
る不飽和化合物、例えば（メタ）アクリル酸、桂皮酸Ｎ
−メチロール、アクリルアミド、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、イソシアネートエチル（メタ）アクリレー
ト、グリシジル（メタ）アクリレート等を反応させて得
たものをあげることができる。ベースポリマーとして
は、アルキッド樹脂、塩化ビニル酢酸ビニル共重合体の
けん化物、ポリビニルアルコール、ウレタンポリマー、
塩化ビニル酢酸ビニルマレイン酸共重合体、アミノ樹
脂、ポリアミド、エポキシ樹脂、アクリル共重合物、セ
ルロース誘導体、マレイン化ポリブタジエン等を例示で
きる。この他、樹脂骨格に不飽和二重結合を有する不飽
和ポリエステルや、残存二重結合を有するジアリル（イ
ソ）フタレートポリマー等も好適に使用できる。

【００２１】さらに、これらの放射線硬化性樹脂の架橋
反応性を高める重合性不飽和モノマー、オリゴマーを混
合して用いてもよい。モノマー、オリゴマーとしては、
ポリオールポリ（メタ）アクリレート、エポキシアクリ
レート、フタル酸、ピロメリット酸、リン酸および、ト
リイソシアヌル酸等のポリアッシドとヒドロキシ（メ
タ）アクリレートとの反応物、トリアリルイソシアヌレ
ート、ジアリル（イソ）フタレート等のアリル化合物、
その他ＵＶ・ＥＢ硬化ハンドブック（高分子刊行会発
行、加藤清視編）に記載されているモノマーやオリゴマ
ーが使用できる。モノマー、オリゴマーを用いるとき
は、ポリマーが必ずしも重合性二重結合を有している必
要はなく、加熱によって熱硬化を生じるものも使用でき
る。このような例としては、エポキシ樹脂、アミノアル
キッド樹脂等が挙げられる。

【００２２】重合性不飽和化合物からなる放射線硬化性
樹脂を紫外線により重合、架橋等の反応をさせる場合に
は、光重合開始剤および、促進剤を加えてもよい。光重
合開始剤としては、ベンゾフェノン、オルトベンゾイル
安息香酸メチル、２，４ジメチルチオキサントン、２−
メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モ
ルホリノプロパノン−１，テトラ（ｔ−ブチルパーオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン、ベンジル，２−ヒドロ
キシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オ
ン，４，４’ビスジエチルアミノベンゾフェノン等が使
用できる。促進剤としては、ジメチルエタノールアミ
ン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸等の各種アミン誘導体
が使用できる。電子線、γ線を使用する場合や、桂皮酸
エステル系の放射線硬化性樹脂を使用する場合には開始
剤を用いなくともよい。この他、貯蔵安定性を考慮する
場合には重合禁止剤を少量添加してもよい。

【００２３】エポキシ基を有するカチオン重合タイプの
放射線硬化性樹脂の例としては、ビスフェノール型エポ
キシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ
樹脂、不飽和樹脂を過酢酸等でエポキシ化したもの、グ
リシジル（メタ）アクリレートと他のビニルモノマーと
の共重合物等、種々のエポキシ化合物を挙げることがで
きる。また、これらエポキシ樹脂の他に、ビニルシクロ
ヘキセンジオキサイド、ビス（３，４−エポキシシクロ
ヘキシル）アジペート、ネオペンチルグリコールジグリ
シジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ソルビ
トールポリグリシジルエーテル、グリシジル（イソ）フ
タレート、１，３−ジグリシジル−５，５−ジメチルヒ
ダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート、グリシ
ジルフタルイミド、ハイドロキノンジグリシジルエーテ
ル、ビスフェノールＳジグリシジルエーテル等の液状、
または固体状の低分子量エポキシ化合物、エポキシ基と
反応する化合物、例えばアルコール化合物やアミノ化合
物を併用することができる。

【００２４】カラーフィルタに用いる材料は、目的に応
じた色相を有する顔料、染料の中から選択することがで
きる。赤、緑、青の各色に使用できる顔料としては、下
記のものを例示できる。（Ｃ．ＩはＣｏｌｏｒ Ｉｎｄ
ｅｘを示す）。

【００２５】Ｃ．Ｉ．赤色顔料 ９７、１２２、１４
９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５ Ｃ．Ｉ．緑色顔料 ７、３６ Ｃ．Ｉ．青色顔料 １５、１５：１、１５：４、１５：
６、２２、６０、６４

【００２６】この他、油溶性染料、アルコール溶性染料
も使用できる。顔料、および染料の放射線硬化樹脂への
分散には３本ロールミル、２本ロールミル、サンドミ
ル、ニーダー等の各種分散手段の使用ができ、また各分
散手段に適した粘度に調整する必要があるときには、沸
点が約１４０℃以下の溶剤を用いて希釈するのがよい。
また、適宜分散助剤を添加することもできる。顔料、お
よび／または染料を分散した放射線硬化樹脂溶液の支持
シートへの塗布は、グラビアリバースコーター、リップ
コーター、ナイフコーター等の手段によって行えばよ
い。塗工液中の不揮発分は、目的とする塗膜厚とコータ
ーの種類により適宜選択すればよく、乾燥後の塗膜厚は
０．５〜４μｍ、好ましくは１〜２μｍである。

【００２７】図３は、着色剤を含むインキ層（２）を支
持シートＢ（１）に設け、支持シートＡ（３）をラミネ
ートした感光性シートの断面図を示している。ここで、
支持シートＡ（３）は、支持シートＢ（１）へインキ層
２を塗工した直後に設ける必要は無く、インキ層２との
接着力が弱くて剥離の容易な、塵芥の付着防止と放射線
硬化時の酸素阻害の防止等の作用を持つ保護シートを、
最初に設けても差し支えない。インキ層２を放射線照射
により所定のパターンに硬化させた後、もしくは前に保
護シートを剥離してから、支持シートＡを室温圧着ある
いは加熱圧着すればよい。放射線照射面は、保護シー
ト、支持シートＢのどちら側でもよいが、支持シートＢ
へのインキ層の硬化部と未硬化部との付着力の差を大き
く取るためには、保護シート側であることが好ましい。
上記の保護シートは、厚さが５〜４０μｍのポリエチレ
ン、ポリプロピリレン、離型剤で処理したＰＥＴ等のフ
ィルムを使用することが好ましい。

【００２８】本発明で使用するパターンマスクは、利用
する放射線源により異なる。例えば、紫外線を利用する
場合は、転写されるパターン部分が紫外線を実質的に透
過せず、他の部分は紫外線を透過するものでなければな
らない。このようなパターンマスクの材料としては銀塩
フィルム、ジアゾフィルム等がある。電子線、γ線等の
透過力の強い線源を利用場合は、ＰＥＴフィルム等にラ
ミネートした金属箔にエッチング法でパターンを形成
し、マスクとすればよい。また、マスクを用いずに、細
いビームに絞った電子線や紫外線を面状に走査し、感光
性シートに直接パターンを描画して硬化させてもよい。
感光性シートのインキ層を放射線硬化させ、所定の未硬
化のパターン部分を残した支持シートＡを、基体に設け
た放射線硬化性の透明樹脂層上の所定の位置へ、正確に
転写するためには、レジスターマーク法、パンチング法
等従来公知の手段を利用できる。

【００２９】第２の本発明における、基体上に設けた透
明樹脂層は、熱可塑性を有しているので、支持シートと
の圧着または加熱圧着時に適度な撓みやタック性を生じ
て、未硬化の着色画素との接着性が向上し着色画素の転
写は良好になる。上記の透明樹脂層は、熱可塑性の樹脂
成分等から構成されている。これらは、上記の感光性シ
ートに使用されるものの中から、透明性の良好なものを
そのまま使用することができる。熱可塑性樹脂は上記ベ
ースポリマーの中から選択しても良いが、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポレオレフィン、エチレンと酢
酸ビニル、エチレンとアクリル酸エステルのようなエチ
レン共重合体、塩化ビニル重合体、酢酸ビニル塩化ビニ
ル共重合体、ポリスチレン、スチレン、ポリ（メタ）ア
クリル酸エステル、各種（メタ）アクリル酸エステル共
重合体、ポリアミド樹脂、等の軟化点が比較的低く、可
撓性の良い樹脂が使用できる。上記の中から選択する、
無色透明な熱可塑性樹脂と放射線硬化性樹脂の割合は、
使用する樹脂の種類、光重合開始剤等の含有量によって
も異なるが、１：９〜９：１の範囲にあれば良く、さら
に望ましい範囲は４：６〜７：３である。さらに、透明
樹脂層上へ、多数の着色画素が任意の配置と間隔で複数
色のカラーフィルタとなるように転写された後に、着色
画素の間にある透明樹脂層を黒色染色してブラックスト
ライプを製作できるように、染色性を合わせ持つ熱可塑
性樹脂を選択しても良い。

【００３０】第３の本発明における、支持シートは、耐
熱性および耐伸性に優れているため、基体と支持シート
との加熱圧着時にも、大きな伸縮を起こすことはなく、
赤，緑，青といった複数色の着色画素を転写させる際、
各色の位置合わせにおいて、位置のズレを０．００１％
に抑えることができる。該支持シートは、転写熱、化学
薬品、光等に安定であり、しかも放射線を透過する材料
が好適である。例えば、ポリエチレンテレフタレート、
トリアセテート、セルロースアセテート、ポリスチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリイミド等
のフィルムである。特にポリエチレンテレフタレートフ
ィルムが、透明性、熱安定性、および接着性に優れてい
て好ましい。これらのシートは、そのまま使用してもよ
く、また適当なプライマー処理、コロナ放電処理、低温
プラズマ処理を施してもよい。支持シートには、厚さ１
０〜１００μｍのフィルムが好ましく用いられる。

【００３１】

【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
例中部とあるのは重量部を意味する。

【００３２】＜実施例１＞赤、緑、青各色の感光性シー
トを製造した。エピクロンＮ−６（大日本インキ化学工
業社製、ノボラックエポキシ）９００部：エピコート１
００１（シェル化学社製）６００部ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテル８００部：エチレングリコールモ
ノブチルエーテル２００部からなる溶液を作製し（以下
ワニスＡという）、ワニスＡと赤、緑、青の各色の顔料
を下記処方で配合し、３本ロールにより練肉した。

【００３３】 （赤色フィルタ用ペースト処方） 顔料 リオノーゲンレッドＧＤ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ ド１６８）７０部とリオノーゲンオレンジ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ．ピグメ ントオレンジ３６）３０部との混合物 ２２部 ワニスＡ ７８部 計 １００部

【００３４】 （緑色フィルタ用ペースト処方） 顔料 リオノールグリーン２ＹＳ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ．ピグメントグ リーン３６）７５部とリオノーゲンイエロー３Ｇ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ． ピグメントイエロー１５４）２５部との混合物 ２２部 ワニスＡ ７８部 計 １００部

【００３５】 （青色フィルタ用ペースト処方） 顔料 リオノールブルーＥＳ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー １５：６）８０部とリオノーゲンバイオレットＲＬ（東洋インキ製造社製Ｃ．Ｉ ．ピグメントバイオレット２３）２０部との混合物 １２部 ワニスＡ ８８部 計 １００部

【００３６】前記各色カラーフィルタ用のペースト処方
のそれぞれ１００部に対し、ジペンタエリストールヘキ
サアクリレート（以下ＤＰＨＡという）３０部、イルガ
キュア９０７（チバガイギー社製）３．８部、トリオー
ル１５０部およびメチルエチルケトン（以下ＭＥＫとい
う）１５０部を加え、よく混合してインキ層用の塗液と
した。

【００３７】次に、厚さ１２μｍの透明ＰＥＴフィルム
（支持シートＢ）のコロナ処理面に、乾燥後の塗膜厚さ
２μｍとなるようにグラビアリバースコーターで塗布・
温風乾燥を行い、厚さ１００μｍのコロナ処理のない透
明ＰＥＴフィルム（ＩＣＩジャパン（株） Ｓ−１０
０）（支持シートＡ）を、インキ層にラミネートするこ
とにより、各色の感光性シートを作製した。次に、アロ
ニックスＭ−５５００（東亜合成化学社製、オリゴエス
テルアクリレート）１０部とバイロン２００（東洋紡績
社製、ポリエステル樹脂）１５部、イルガキュア９０７
（重合開始剤，チバガイギー社製）２部をＭＥＫ７５部
に投入して溶解させ、清浄なガラス基板上に、乾燥後の
塗液膜厚が１μｍとなるように、ワイヤバーで塗布後乾
燥させたものに、ＵＶコンベアHC-40112K （東芝社製）
で５００ミリジュール（以下ｍＪという）の露光を与
え、硬化した熱可塑性を持つ透明樹脂層をガラス基板上
に作製した。製版用の銀塩フィルムを用い、放射線不透
過部分及び放射線透過部分のパターンが形成されたフォ
トマスクを作製した。

【００３８】赤色フィルタ用の感光性シートの支持シー
トＢ側から紫外線露光機（オーク製作所製、高圧水銀灯
３ＫＷ装備）により、１００ｍＪの露光を行った。露光
後支持シートＢを鈍角に剥離して、支持シートＡ上に未
硬化のインキ層のパターンを作り、前記透明樹脂層を積
層したガラス基板上へ、８０℃に加温したラミネーター
により圧着した。続いて、支持シートＡ側から２００ｍ
Ｊで全面露光し、インキ層を光硬化させた後、支持シー
トＡを剥離して、赤色インキ層の転写を終了した。

【００３９】以下、緑色、青色フィルタ用の感光性シー
トについても同様の手順で、透明樹脂層（３）を積層し
たガラス基板に重ねて転写し、３色の画素（４）が図４
に示す色配列となるカラーフィルタを作製した。ただ
し、２色目以降の転写作業においては、拡大レンズで観
察しながら、各パターンが互いに重なり合わないよう
に、また、各パターン間の間隙が一定になるように保っ
て、レジスターマークの１画素分のズラシを正確に行っ
た。

【００４０】＜実施例２＞実施例１で作製した各色フィ
ルタ用ペースト処方の、それぞれ１００部に対し、ベー
クライトＥＲＬ・４２２１（ユニオンカーバイド社製、
脂環式エポキシ）２５部、ＵＶＲ−６３５１（ユニオン
カーバイド社製、反応希釈剤）５部、レジンキャタリス
トＦＣ−５２０（３Ｍ社製、紫外線重合開始剤）３部、
アデカオプトンＣＰ−６６（旭電化社製、熱硬化触媒）
１部、トルオール２００部、およびＭＥＫ１００部を添
加して塗液を製造し、実施例１と同様の方法で、３色の
感光性シートを作った。

【００４１】次に、アロニックスＭ−３０５（東亜合成
化学社製、オリゴエステルアクリレート）１０部とダッ
プＫ（大阪ソーダ社製、ジアリルフタレート樹脂）１５
部、カヤキュアーＤＥＴＸ（日本化薬社製、重合開始
剤）４部、３，３’，４，４’ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン２部をＭＥＫ７５部に投入して溶解さ
せ、清浄なガラス基板上に、乾燥後の塗液膜厚が１μｍ
となるように、ワイヤバーで塗布後乾燥させたものに、
ＵＶコンベアHC-40112K （東芝社製）で５００ｍＪの露
光を与え、硬化した熱可塑性を持つ透明樹脂層をガラス
基板上に作製した。

【００４２】実施例１と同様の方法で、露光用のフォト
マスクを使用して赤色フィルタ用の画素を、前記透明樹
脂層を積層したガラス基板上へ転写した。次に、３０℃
に保温されたＭＥＫ９０部とトルオール１０部を容器の
下部に満たしたデシケーターの上部に、ガラス基板を濡
れないように保持しながら３０分間放置した。この工程
によって赤色画素周辺の透明樹脂層の透明性は、画素転
写前と同等になることが確認できた。

【００４３】以下、緑色、青色フィルタ用の感光性シー
トについても同様の手順で、画素を透明樹脂層を積層し
たガラス基板に重ねて転写し、３色が図４に示す色配列
となるようにカラーフィルタを作製した。ただし、２色
目以降の転写作業においては、各パターンが互いに重な
り合わず、各パターン間の間隙も一定になるように、拡
大レンズで見ながら、レジスターマークの１画素分のズ
ラシを正確に行った。また、各色の画素を透明樹脂層を
積層したガラス基板に転写する毎に、前記デシケーター
中に３０分間保持して平滑化を行った。なおこの時、赤
色、緑色、青色の画素を前記透明樹脂層を積層したガラ
ス基板上へ転写する順序は任意でよい。

【００４４】

【発明の効果】本発明によれば、現像工程を必要とせ
ず、生産性に優れたカラーフィルタを提供できる。ま
た、本発明によれば、カラ−フィルタ−のパターンの位
置精度が向上する。これにより、さらに細密で高精細な
カラーフィルタを、高収率で作製することが可能とな
る。

【００４５】

【図面の簡単な説明】

【図１】赤、緑、青の各色画素のストライプを示す説明
図。

【図２】感光性シートの断面図。

【図３】支持シートＡ、Ｂ間にインキ層をラミネートし
た感光性シートの断面図。

【図４】各色画素を転写した後のカラーフィルタの断面
図。

【符号の説明】

１ 支持シートＢ ２ インキ層 ３ 透明基板 ４ 各色画素

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも一方が透明な支持シートＡと支
   持シートＢ及び、両シート間に設けた放射線硬化性樹脂
   と着色剤を含むインキ層からなる感光性シートへの放射
   線のパターン露光と、両支持シートの剥離現像により得
   られる支持シートＡ上の未硬化の着色画素を、順次各色
   毎に、透明基体上への圧着または加熱圧着によって転写
   して行うカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】前記透明基体上に無色透明樹脂層を設け、
   着色画素の転写をおこなうことを特徴とする請求項１記
   載のカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】１００℃以下の加熱条件と、３ｋｇ／ｍ以
   下の張力条件下において、シートの伸縮率が０．００１
   ％以下である支持シートＡを用いることを特徴とする請
   求項１および２に記載するカラーフィルタの製造方法。