JP2639715B2 - カラーフイルターの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、カラーテレビ、カメラ等に使用される光学
的カラーフイルターの製造方法に関する。さらに詳しく
は、一般的にストライプフイルターまたはマトリックス
と称されるパターンを簡単な操作によって形成すること
ができる高品質のカラーフイルターの製造方法に関す
る。

［従来の技術］ カラーフイルターは、ガラス等の光学的に透明な基板
の表面に２種またはそれ以上の異なる色相からなる微細
なストライプ（帯状）を平行または交差して配置したも
の、または微細な画素を縦横一定の配列に配置したもの
（マトリックス）である。ストライプの幅は数μｍ、マ
トリックスの画素は縦横が100〜200μｍという微細な形
状であり、しかも色相毎に所定の順序で整然と配列され
る。このためカラーフイルターの製造法については従来
から種々の方法が提案されているが、いずれも生産性が
劣るかまたは品質が充分満足できるものではなかった。

微細なストライプパターンを印刷により形成する方法
では、各色フイルター層の表面に微小な凹凸が形成され
るため、光の透過ムラが発生する、あるいは各色パター
ンの輪郭がわずかに重なり合いこのため平滑性に欠ける
等の欠点がある。また、このような欠点を解決する方法
として、まず被染色性の感光性物質をガラス等の基板に
塗布し、続いてある１つのフイルター色のパターン露光
を行い、ついで未露光部を現像工程で洗いとり、残った
パターン部を該フイルター色の染料で染色するといった
操作を全フイルター色について順次繰り返す方法が提案
されている。しかしこの方法は、工程数が多く、手間が
かかり生産性に劣るといった欠点がある。

特開昭第61−99102号公報では、あらかじめ各フイル
ター色に着色された感光性物質をポリエチレンテレフタ
レート（以下PETという）フイルム等の透明支持シート
に塗布した着色シートを作り、各シート毎に所定のパタ
ーン露光を行い、ついで未露光部を洗いとる現像工程を
経た後、得られた各色のパターンをガラス等の基板に所
定の配列となるように転写してカラーフイルターを形成
する方法を提案している。しかしこの方法も現像工程を
必要とし、生産性の点で好ましいものではない。この他
金属酸化物を多層に蒸着する方法も提案されているが、
製造コストが高いという欠点がある。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、上記した従来技術の欠点を解決し、簡単な
操作で、安価に、かつ高品質なカラーフイルターの製造
方法の提供を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 第１の本発明は、 a,支持シートＢに着色剤を含む感光性樹脂を塗布乾燥さ
せた後、支持シートＡを該感光性樹脂層上に積層し、つ
いで該感光性樹脂層を所定のパターン部分を残して放射
線硬化する工程、 b,支持シートＢを支持シートＡに対し鈍角に、および／
または支持シートＡと支持シートＢを加熱して剥離し、
支持シートＡに未硬化のパターン部分の感光性層の厚さ
方向に全部または一部を、支持シートＢに硬化パターン
部分を保持させる工程、 c,該感光性樹脂層の未硬化のパターン部分を剥離された
支持シートＡと共にフイルター基板へ圧着または加熱圧
着する工程、および d,支持シートＡの剥離後に未硬化のパターン部分を放射
線硬化する工程、または支持シートＡの剥離前に未硬化
のパターン部分を放射線硬化する工程、 を各色相の着色剤を含む感光性樹脂層について、同一の
フイルター基板に対し順次繰り返すことを特徴とするカ
ラーフイルターの製造方法を提供する。

第２の本発明は、第１の本発明における上記ａの工程
が、支持シートＢに着色剤を含む感光性樹脂を塗布乾燥
させた後、該感光性樹脂層側に保護シートを貼付し、つ
いで該感光性樹脂層を所定のパターン部分を残して放射
線硬化する工程、 上記ｂの工程が、該保護シートを剥離した後、該支持
シートの放射線硬化した感光性樹脂層側に支持シートＡ
を積層し、ついで２枚の支持シートＡおよびＢを剥離し
て支持シートＡに未硬化のパターン部分の感光性層の厚
さ方向に全部または一部を、支持シートＢに硬化パター
ン部分を保持させる工程、および上記ｃおよびｄの工程
からなり、このａ〜ｄの工程を各色相の着色剤を含む感
光性樹脂層について、同一のフイルターで基板に対し順
次繰り返すことからなるカラーフイルターの製造方法を
提供する。

第１の本発明の工程ａにおいて、支持シートＢへの支
持シートＡの積層方法としては、室温圧着する方法ある
いは加熱圧着する方法のいずれをも任意に選択できる
が、次の工程ｂにおける支持シートＡとシートＢとの剥
離方法との組合わせ方により選択することが好ましい。

工程ｂにおける支持シートＡからの支持シートＢの剥
離において、光硬化パターン部分と支持シート間の接着
力が剥離時において、支持シートＢの光硬化パターン部
分への接着力が支持シートＡのそれよりも大きくするこ
とにより、支持シートＡと支持シートＢとを剥離した
時、光硬化パターン部分は支持シートＢに保持されたま
まとなるようにする必要がある。第１の本発明において
は、感光性樹脂を支持シートＢに塗布乾燥させた後、支
持シートＡを積層することにより上記の条件を満足せし
めている。

未硬化の感光性樹脂は、支持シートＡと支持シートＢ
とを剥離した時に、該感光性樹脂層の全部または一部が
支持シートＡ側に移行せしめるようにする必要がある。
第１の本発明においては、かかる条件を支持シートＢを
平面に保持した支持シートＡに対し鈍角に剥離すること
により、未硬化パターン部分の剥離時の支持シートＡ側
に作用する接着力が支持シートＢへの接着力よりも大な
らしめることにより満足せしめている。また支持シート
Ａと支持シートＢとの積層物を、例えば60〜120℃程度
加熱状態で剥離することにより、未硬化感光性樹脂層内
での破断分離を生ぜしめ、未硬化感光性樹脂の一部を支
持シートＡ側に移行せしめてもよい。さらには上記の両
方法を併用してもよい。支持シートＡおよび支持シート
Ｂは、同一の材質からなるものでもよく、また同一の材
質からなる場合に支持シートＢにコロナ処理、あるいは
支持シートＡに剥離剤の塗布等を施して感光性樹脂の支
持シートＢおよび支持シートＡへの接着力の差を増強す
るようにせしめてもよい。

所定パターン部分形成のための放射線照射は、支持シ
ートＡ側または支持シートＢ側のいずれであってもよ
い。

第２の本発明は、支持シートＢに塗布乾燥された着色
剤を含む感光性樹脂側に保護シートを貼付した後、所定
のパターンに放射線硬化し、ついで保護シートを剥離し
た後、該樹脂層に支持シートＡを積層し、ついで２枚の
支持シートを剥離して支持シートＡ側に未硬化のパター
ン部分を移行せしめる方法である。

本方法においては、未硬化パターン部分に対する剥離
時の接着力を支持シートＡおよびＢの間で差をつけるこ
とが好ましい。支持シートＡおよびＢが同一の材質から
なる場合には、コロナ処理、剥離剤の塗布等により、ま
た異なる材質の支持シートを用いてもよい。また、第１
の本発明で採用される支持シートＡを平面に保持して支
持シートＢを支持シートＡに対し鈍角に剥離する方法、
あるいは支持シートＡと支持シートＢとの積層物を加熱
状態に保持して、未硬化感光性樹脂層内における破断分
裂を生ぜしめてもよい。また両方法を併用してもよい。
所定パターン部分形成のための放射線照射は、支持シー
トＢ側または保護シート側のいずれであってもよいが、
好ましくは保護シートＢ側からの照射がよい。

第１の本発明、第２の本発明ともに、光硬化したパタ
ーン部分の支持シートへの剥離時の接着力が支持シート
Ａよりも支持シートＢのそれの方が大であるようにする
ことが必要である。

液晶テレビやカラーテレビ等に用いられるストライプ
式のカラーフイルターは、一般に光の３原色と呼ばれる
赤、緑、青（以下順にR,B,Gともいう）の各色を第１図
に示すように一定の形状と配列で正確に透明基板上に配
置したものである。即ち、一定の順序で３色交互に縦１
列に配置したものである。一方マトリックス式のカラー
フイルターは、同じく透明基板上に第２図に示すように
隣合う画素列の各色を１つずつずれて配置したものであ
る。本発明は上記した３原色以外の色画素からなるカラ
ーフイルターにも利用できることは勿論であるが、以後
３原色のマトリックス式カラーフイルターについて説明
する。

本発明で用いる感光性樹脂は、放射線照射により生ず
る重合、架橋、室温あるいは少なくとも加熱した場合に
は二量体化等の反応により硬化する放射線硬化性ポリマ
ーを主体とする組成物である。また未硬化の感光性樹脂
は、カラーフイルター基板に対し粘着力を有するもので
あり、未硬化の所定パターン部分の感光性樹脂は圧着ま
たは加熱圧着によりカラーフイルター基板へ転写され
る。

本発明において放射線とは、紫外線、電子線、γ−線
等の感光性樹脂の硬化に活性なエネルギーを有するもの
をいう。

本発明で用いる感光性樹脂は大別して重合性二重結合
を有するラジカル重合タイプと、エポキシ基を有するカ
チオン重合タイプの２種類がある。

ラジカル重合タイプの感光性樹脂の例としては、樹脂
構造の一部に−OH基、−COOH基またはその無水物、−NH
₂基、エポキシ基等の反応性基を１種以上有するベース
ポリマーと、これらの基と反応性を有する不飽和化合物
例えば（メタ）アクリル酸、桂皮酸Ｎ−メチロール、ア
クリルアミド、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、イソ
シアネートエチル（メタ）アクリレート、グリシジル
（メタ）アクリレート等を反応させて得たものをあげる
ことができる。ベースポリマーとしては、アルキッド樹
脂、塩酢ビコポリマーのけん化物、ポリビニルアルコー
ル、ウレタンポリマー、塩酢ビ・マレイン酸コポリマ
ー、アミノ樹脂、ポリアミド、エポキシ樹脂、アクリル
共重合物、セルロース誘導体、マレイン化ポリブタジエ
ン等を例示できる。この他、樹脂骨格に不飽和二重結合
を有する不飽和ポリエステルや、残存二重結合を有する
ジアリル（イソ）フタレートポリマー等も好適に使用で
きる。

さらにこれらの感光性樹脂の架橋反応性を高める重合
性不飽和モノマー、オリゴマーを混合して用いてもよ
い。モノマー、オリゴマーとしては、ポリオール、ポリ
（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、フタル
酸、ピロメリット酸、リン酸およびトリイソシアヌル酸
等のポリアシッドとヒドロキシ（メタ）アクリレートと
の反応物、トリアリルイソシアヌレート、ジアリル（イ
ソ）フタレート等のアリル化合物等、その他UV・EB硬化
ハンドブック（高分子刊行会発行、加藤清視編）に記載
されているモノマー、オリゴマーが使用できる。

モノマー、オリゴマーを用いるときは、ポリマーが必
ずしも重合性塗重結合を有している必要はないが所定パ
ターン部分の転写後の加熱により硬化を生じるものが耐
熱性付与の点で好ましい。このような例としては、エポ
キシ樹脂、アミノアルキッド樹脂等を挙げることができ
る。

重合性不飽和化合物からなる感光性樹脂を紫外線によ
り重合、架橋等の反応をさせる場合には、光重合開始剤
および促進剤を加えてもよい。光重合開始剤としては、
ベンゾフェノン、オルトベンゾイル安息香酸メチル、
２、４ジエチルチオキサントン、２−メチル−１−［４
−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパノ
ン−１、テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベ
ンゾフェノン、ベンジル、２−ヒドロキシ−２−メチル
−１−フェニル−プロパン−１−オン、４、４′ビスジ
エチルアミノベンゾフェノン等が作用できる。促進剤と
しては、ジメチルエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミ
ノ安息香酸等の各種アミン誘導体が使用できる。電子
線、γ線を利用する場合や、桂皮酸エステル系の感光性
樹脂を使用する場合には開始剤を用いなくともよい。こ
の他、貯蔵安定性を考慮する場合には重合禁止剤を少量
添加してもよい。

エポキシ基を有するカチオン重合タイプの感光性樹脂
の例としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラ
ック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、不飽和樹脂
を過酢酸等でエポキシ化したもの、グリシジル（メタ）
アクリレートと他のビニルモノマーとの共重合物等種々
のエポキシ化合物を挙げることができる。またこれらエ
ポキシ樹脂の他に、ビニルシクロヘキセンジオキサイ
ド、ビス（３、４−エポキシシクロヘキシル）アジペー
ト、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、フ
ェニルグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジ
ルエーテル、グリシジル（イソ）フタレート、１、３−
ジグリシジル−５、５−ジメチルヒダントイン、トリグ
リシジルイソシアヌレート、グリシジルフタルイミド、
ハイドロキノンジグリシジルエーテル、ビスフェノール
Ｓジグリシジルエーテル等の液状または固体状の低分子
量エポキシ化合物、エポキシ基と反応する化合物例えば
アルコール化合物やアミノ化合物を併用することができ
る。

エポキシ化合物の放射線重合用開始剤としては、式 ［式中、φ−、−φ−はそれぞれフェニル、フェニレン
を、ＸはPF₆,Sb₆,BF₆,AsF₆を表す］ の化合物を触媒として使用できる。

前記した、ラジカル重合タイプおよびカチオン重合タ
イプの感光性樹脂を混合して使用することもできる。

カラーフイルターに用いる材料は、目的に応じた色相
を有する顔料、染料の中から選択することができる。
赤、緑、青および黒の各色に使用できる顔料としては下
記のものを例示できる（C.IはColor Indexを示す）。

C.I.赤色顔料 97、122、149、168、177、180、192、21
5 C.I.緑色顔料 ７、36 C.I.青色顔料 15、15:1、15:4、15:6、22、60、64 C.I.黒色顔料 ７ この他油溶性染料、アルコール溶性染料も使用できる。

顔料および染料の感光性樹脂への分散には、３本ロー
ルミル、２本ロールミル、サンドミル、ニーダー等の各
種分散手段を使用することができ、また各分散手段に適
した粘度に調整する必要があるときには、沸点が約140
℃以下の溶剤を用いて希釈するのがよい。また適宜分散
助剤を添加することもできる。

分散助剤としては、各種界面活性剤を使用することも
できるが、耐水性に問題があるため、後述する実施例に
示す染料あるいは顔料の誘導体である式（１） （式中、Ｄは染料または顔料の残基、Ｘは２価の基、R₁
およびR₂はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アリ
ール基またはR₁とR₂が一緒になって窒素原子と共に複素
環を形成するものでもよい、ｎは１〜４の整数を表す） の化合物が好ましい。

この分散助剤は、染料または顔料の分散効果に優れ、
しかも分散後の再凝集を防止する効果があるので透明性
に優れたカラーフイルターが得られる。

顔料および／または染料を分散した感光性樹脂の支持
シートへの塗布は、感光性樹脂を溶剤に溶解し、グラビ
アリバースコーター、リップコーター、ナイフコーター
等で塗工する。塗工液中の不揮発分は目的とする塗膜厚
とコーターの種類により適宜選択すればよい。乾燥後の
塗膜厚は0.5〜４μｍ、好ましくは１〜２μｍである。

支持シートは、熱、化学薬品、光等に安定でありしか
も放射線を透過する材料が好適である。例えばポリエチ
レンテレフタレート（PET）、トリアセテート、セルロ
ースアセテート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ
カーボネート、ポリイミド等のフイルムである。特にPE
Tフイルムが、透明性、熱安定性および接着性に優れて
おり好ましい。これらのシートは、そのまま使用しても
よく、また適当なプライマー処理、コロナ放電処理、低
温プラズマ処理等を施してもよい。支持シートには厚さ
10〜100μｍのフイルムが好ましく用いられる。

感光性樹脂の塗工面に保護シートを設ける場合は、厚
さが５〜20μｍのポリエチレン、ポリプロピレン、離型
剤で処理したPET等のフイルムが好ましい。

第３図は着色剤を含む感光性樹脂層２を支持シートＢ
（１）に設けた第２の本発明工程ａの転写シートの断面
図である。保護シート３は塵埃の付着防止、感光性樹脂
層が放射線照射で重合する際に生ずる酸素阻害の防止等
の作用効果を有する。放射線により所定のパターン部分
を残して硬化する際の照射面は、保護シート側であるこ
とが好ましい。保護シート側からの照射の方が感光性樹
脂層の硬化部と未硬化部のフイルター基板への付着力の
差が大きくなるからである。

感光性樹脂層を放射線照射により所定のパターン部分
を残して硬化した後、保護シートを剥離し、該感光性樹
脂側に支持シートＡを貼付し、ついで支持シートＡおよ
びＢを剥離し、続いて支持シートＡ上の未硬化パターン
部分をフイルター基板へ圧着する。圧着後支持シートＡ
をフイルター基板から剥離するが、この際未硬化の感光
性樹脂をさらに硬化するに当たって、支持シートＡの剥
離後に放射線照射する方法と、支持シートＡの剥離前に
放射線照射する方法とがあり、いずれの方法をも採用す
ることができる。しかし、前者は支持シートＡを剥離す
る際に未硬化感光性樹脂層の層内での感光性樹脂の破断
が生じやすいのに対し、後者は支持シートＡと感光性樹
脂層との界面から剥離できるため、転写量の均一性、転
写表面の平滑性を確保しやすいという利点がある。転写
表面の平滑性は、光の拡散を防止し、鮮明な画像が得ら
れるカラーフイルターの製造を容易ならしめる。

赤、緑、青の各色について、第２図に示すように、色
毎に定まった位置へ順次転写する。また、赤、緑、青の
各画素の境界線に沿い黒色の縁どりを施す必要がある場
合には、第４図に示すように、縁どり用パターンマスク
を用いて転写を行えばよい。

全てのパターン転写が終了した後、さらに重合を促進
するため、あるいはフイルター基板への密着性を向上さ
せるため後加熱してもよい。加熱条件は感光性樹脂によ
り異なるが、一般に120〜250℃、10〜30分である。

本発明で使用するパターンマスクは利用する放射線源
により異なる。例えば、紫外線を利用する場合は転写さ
せるパターン部分が紫外線を実質的に透過せず、他の部
分は紫外線を透過するものでなければならない。このよ
うなパターンマスクの材料としては銀塩フイルム、ジア
ゾフイルム等がある。電子線、γ線等の透過力の強い線
源を利用する場合はPET等にラミネートした金属箔にエ
ッチング法でパターンを形成し、マスクとすればよい。
また、マスクを用いず、細いビームに絞った電子線や紫
外線を走査して直接感光性樹脂層にパターンを形成して
もよい。

所定のパターン部分を残して感光性樹脂層を放射線硬
化した転写シートを、フイルター基板の所定位置に正確
に転写するには、レジスターマーク法、パンチング法等
従来公知の方法が利用できる。特に黒色転写シートにお
いては、レジスターマークが見えにくいため、パンチン
グ法が好ましい。

以下実施例に基づいて本発明を説明する。例中部とあ
るは重量部を意味する。

実施例１ エピクロンＮ−６（大日本インキ化学工業社製、ノボラ
ックエポキシ） 900部 エピコート1001（シエル化学社製） 600部 ジエチレングリコールモノエチルエーテル 800部 エチレングリコールモノブチルエーテル 200部 からなる溶液を作製した（以下ワニスＡという）。ワニ
スＡと赤、緑、青の各色の顔料を下記処方で配合し、３
本ロールにより練肉した。

赤色フイルター用ペースト処方 顔料 リオノーゲンレッドGD（東洋インキ製造社製C.I.ピグ
メントレッド168）70部とリオノーゲンオレンジＲ（東
洋インキ製造社製C.I.ピグメントオレンジ36）30部との
混合物 22 部 分散助剤 下記式の化合物 2.2部 ワニスＡ 75.8部 計 100 部 緑色フイルター用ペースト処方 顔料 リオノールグリーン2YS（東洋インキ製造社製C.I.ピ
グメントグリーン36）75部とリオノーゲンイエロー3G
（東洋インキ製造社製C.I.ピグメントイエロー154）25
部との混合物 20 部 分散助剤 下記式の低塩素化銅フタロシアニン誘導体 1.4部 ワニスＡ 78.6部 計 100 部 青色（Ｂ）フイルター用ペースト処方 顔料 リオノールブルーES（東洋インキ製造社製C.I.ピグメ
ントブルー15:6）80部とリオノーゲンバイオレットRL
（東洋インキ製造社製C.I.ピグメントバイオレット23）
20部との混合物 12 部 分散助剤 下記式の銅フタロシアニン誘導体 0.6部 ワニスＡ 87.4部 計 100 部 前記各色カラーフイルター用ペースト処方のそれぞれ
100部に対し、ジペンタエリスリトール・ヘキサアクリ
レート（以下DPHAという）30部、イルガキュア907（チ
バガイギー社製）3.8部、トルオール150部およびメチル
エチルケトン（以下MEKという）150部を加え、よく混合
して塗液とした。

厚さ12μｍの透明PETフイルムのコロナ処理面（支持
シートＢ）に乾燥後の塗膜厚さ３μｍとなるようにグラ
ビアリバースコーターで塗布し、温風で乾燥後、厚さ50
μｍのコロナ処理のないPETフイルム（支持シートＡ）
をラミネートして各色の転写シートを作製した。

次に製版用銀塩フイルムを用い、第５図に示すパター
ンのフオトマスクを作製した。図中４は放射線非透過部
分、５は放射線透過部分を示す。まず赤色フイルター用
転写シートの支持シートＢ側から紫外線露光機（オーク
製作所製、高圧水銀灯3KW装備）により、100ミリジュー
ル（以下mjという飯）の露光を行った。露光後支持シー
トＢを80℃のラミネーター通過後直ちに剥離し、感光性
樹脂層をシランカップリング剤で処理した透明ガラスフ
イルター基板上に60℃加温したラミネーターで圧着し
た。続いて支持シートＡ側から200mjで全面露光し、支
持シートＡを剥離して赤色感光性樹脂層の転写を終了し
た。

以下、緑色、青色フイルター用転写シートについても
同様の手順で透明ガラスフイルター基板上に重ねて転写
し、３色が第２図に示す色配列となるカラーフイルター
を作製した。ただし２色目以降の転写作業においては、
各パターンが互いに重なり合わないように、拡大レンズ
によりレジスターマークが１画素分移動するように正確
に位置合わせをした後、熱圧着してカラーフイルターを
作製した。

実施例２ 実施例１で作製した各色フイルター用ペースト処方の
それぞれ100部に対し、ベークライトERL・4221（ユニオ
ンカーバイド社製、脂環式エポキシ）25部、UVR−6351
（ユニオンカーバイド社製、反応性希釈剤）５部、レジ
ン・キヤタリストFC−520（ミネソタ・マイニング・ア
ンド・マニュフアクチャリング社製、紫外線重合開始
剤）３部、アデカオプトンCP−66（旭電化社製、熱硬化
触媒）１部、トルオール200部およびMEK100部を添加混
合し、塗液を製造した他は実施例１と同様の方法でカラ
ーフイルターを作製した。

実施例３ 下記各配合処方について、２本ロールにより80〜90℃
で練肉し、各色のチップを製造した。

赤色（Ｒ）フイルター用チップ処方 顔料（実施例１の赤色顔料と同じ） 50部 分散助剤（実施例１の赤色用分散助剤と同じ）２部 ダップＫ（大阪曹達社製ジアリルフタレートプレポ
リマー） 48部 計 100部 緑色（Ｇ）フイルター用チップ処方 顔料（実施例１の緑色顔料と同じ） 50部 分散助剤（実施例１の緑色用分散助剤と同じ）３部 ダップＫ（大阪曹達社製ジアリルフタレートプレポ
リマー） 47部 計 100部 青色（Ｂ）フイルター用チップ処方 顔料（実施例１の青色顔料と同じ） 50部 分散助剤（実施例１の青色用分散助剤と同じ）３部 ダップＫ（大阪曹達社製ジアリルフタレートプレポ
リマー） 47部 計 100部 各色チップ処方のそれぞれ100部に対し、スピラック
Ｔ−502（昭和高分子社製）20部、アロニックスＭ−315
（東亞合成化学社製）10部、3,3′,4,4′テトラキス
（ｔ−ブチルオキシカルボニル）ベンゾフエノン３部、
MEK170部およびトルオール180部を添加混合して塗液を
製造した。続いて実施例１と同様にして各色の転写シー
トを作製した。

厚さ５μｍのPETフイルムに厚さ５μｍの銅を蒸着し
たフイルムの銅面にポリビニールアルコール・重クロム
酸アンモニウム水溶液のエッチングレジストを塗布し、
実施例１で使用したフオトマスクのパターンを反転した
フオトマスクを用いて露光し、現像、エッチングをして
銅箔製のマスクを作製した。

このマスクを上記転写シートの支持シートＢ面側に圧
着し、加速電圧150KV、線量2Mradの条件で電子線照射機
（ESI社製、150B−15型）によりパターン硬化させた。
続いて支持シートＢを80℃のラミネーターを通過後直ち
に剥離し、感光性樹脂層をシランカップリング剤処理し
た透明ガラス基板上に60℃に加温したラミネーターによ
り圧着し、その後支持シート側から上記電子線照射機を
用い加速電圧150計KV,線量3Mradで照射し、硬化させ
た。

上記操作を赤、緑、青の順に透明ガラスフイルター基
板上に重ねて転写し、ついで180℃で15分加熱硬化し、
カラーフイルターを作製した。

実施例４ 下記処方による縁どり用黒色転写シートを作製した。

三菱カーボンMA7（三菱化成社製） 16 部 リポキシSP−1519（昭和高分子社製） 35 部 アロニックスＭ−305（東亞合成化学社製） 15 部 カヤキュアーDETX（日本化薬社製） ４ 部 ３、３′、４、４′ビス（ジエチルアミノ）ベンゾ
フエノン ２ 部 ハイドロキノン 0.05 部 エピコート1010 28 部 トルオール 150 部 MEK 150 部 上記各材料をタンクに投入し、デイゾルバーでよく撹
拌した後、サンドミルにより分散し塗液を作製した。

この塗液を用いて実施例１と同様にして転写シートを
作製した。線幅15μｍの第４図に示すパターンを有する
縁どり用フオトマスクを、製版用銀塩フイルムを用いて
作製した。次に、黒色転写シートの支持シートＢ側から
上記縁どり用フオトマスクを通して実施例１と同様にし
て300mjの露光を行った。次に80℃ラミネーター通過後
直ちに支持シートＢを剥離し、続いて実施例１〜３で作
製した赤、緑、青の各色を転写したカラーフイルターに
上記露光を行った黒色転写シートを用い、各画素の境界
線に縁どり線が来るように位置合わせし、加温ラミネー
トした。

続いて、実施例３の条件即ち3Mradの電子線照射を行
った後、支持シートを剥離した。その後180℃、10分の
加熱硬化を行い、黒色縁どりのあるカラーフイルターを
作製した。

実施例５ 実施例１で作成した各色塗液を厚さ50μｍの透明PET
フイルムのコロナ処理面（支持シートＢ）に乾燥後の塗
膜厚さ３μｍとなるようにグラビアリバースコーターで
塗布し、温風で乾燥後、厚さ12μｍのシリコーン離型処
理したPETフイルム（保護シート）をラミネートして各
色の転写シートを作製した。

次に製版用銀塩フイルムを用い、第５図に示すパター
ンのフオトマスクを作製した。図中４は放射線非透過部
分、５は放射線透過部分を示す。まず赤色フイルター用
転写シートの保護シート側から紫外線露光機（オーク製
作所社製、高圧水銀灯3KW装備）により、100ミリジュー
ル（以下mjという）の露光を行った。露光後保護シート
を剥離し、厚さ50μｍのPETフイルム（支持シートＡ）
に80℃のラミネーターで貼合わせ、ロールを通過後直ち
に剥離することにより、支持シートＡ上に未硬化の感光
性樹脂層の約半分を移行させた。感光性樹脂層をシラン
カップリング剤で処理した透明ガラスフイルター基板上
に60℃に加温したラミネーターで圧着した。続いて支持
シートＡ側から200mjで全面露光し、支持シートＡを剥
離して赤色感光性樹脂層の転写を終了した。

以下、緑色、青色フイルター用転写シートについても
同様の手順で透明ガラスフイルター基板上に重ねて転写
し、３色が第２図に示す色配列となるカラーフイルター
を作製した。ただし２色目以降の転写作業においては、
各パターンが互いに重なり合わないように、拡大レンズ
によりレジスターマークが１画素分移動するように正確
に位置合わせをした後、熱圧着した。

実施例６ 実施例１で作成した各色塗液を厚さ50μｍの透明PET
フイルム（支持シートＢ）に乾燥後の塗膜厚さ１μｍと
なるようにグラビアリバースコーターで塗布し、温風で
乾燥後、支持シートＢと同じ材質で厚さが12μｍのPET
フイルム（支持シートＡ）を塗膜面にラミネートして各
色の転写シートを作製した。

次に製版用銀塩フイルムを用い、第５図に示すパター
ンのフオトマスクを作製した。まず赤色フオトマスク用
転写シートの支持シートＡ側から紫外線露光機により10
0mjの露光を行った。露光後支持シートＢを平面に保持
した支持シートＡから鈍角に剥離し、支持シートＡ上に
未硬化の感光性樹脂層だけを全部移行させた。

感光性樹脂層をシランカップリング剤で処理した透明
ガラスフイルター基板上に60℃に加温したラミネーター
で圧着した。続いて支持シートＡ側から200mjで全面露
光し、支持シートＡを剥離して赤色感光性樹脂層の転写
を終了した。

以下、緑色、青色フイルター用転写シートについても
同様の手順で透明ガラスフイルター基板上に重ねて転写
し、３色が第２図に示す色配列となるカラーフイルター
を作製した。ただし２色目以降の転写作業においては、
各パターンが互いに重なり合わないように、拡大レンズ
によりレジスターマークが１画素分移動するように正確
に位置合わせをした後、熱圧着した。

実施例７ 実施例１で作成した各色塗液を厚さ50μｍの透明PET
フイルム（支持シートＢ）に乾燥後の塗膜厚さ３μｍと
なるようにグラビアリバースコーターで塗布し、温風で
乾燥後、厚さ12μｍのシリコーン離型処理したPETフイ
ルム（保護シート）をラミネートして各色の転写シート
を作製した。

次に製版用銀塩フイルムを用い、第５図に示すパター
ンのフオトマスクを作製した。まず赤色フイルター用転
写シートの保護シート側から紫外線露光機により、100m
jの露光をおこなった。露光後保護シートを剥離し、厚
さ12μｍのPETフイルムのコロナ処理面（支持シート
Ａ）に60℃のラミネーターで貼合わせた。室温で支持シ
ートＢを平面に保持した支持シートＡから鈍角に剥離
し、支持シートＡ上に未硬化の感光性樹脂層だけを全部
移行させた。

感光性樹脂層をシランカップリング剤で処理した透明
ガラスフイルター基板上に60℃に加温したラミネーター
で圧着した。続いて支持シートＡ側から200mjで全面露
光し、支持シートＡを剥離して赤色感光性樹脂層の転写
を終了した。

以下、緑色、青色フイルター用転写シートについても
同様の手順で透明ガラスフイルター基板上に重ねて転写
し、３色が第２図に示す色配列となるカラーフイルター
を作製した。ただし２色目以降の転写作業においては、
各パターンが互いに重なり合わないように、拡大レンズ
によりレジスターマークが１画素分移動するように正確
に位置合わせをした後、熱圧着した。

［発明の効果］ 本発明によれば、現像工程を必要とせず、生産性に優
れたカラーフイルターが提供される。

本発明によれば、各画素の位置合わせが容易であり、
各画素が正確に配列されたカラーフイルターが提供され
る。

本発明によれば、カラーテレビ等の鮮明な画面が提供
できるカラーフイルターが提供される。

本発明によれば、フイルター基板へ圧着または加熱圧
着される支持シートＡ上には未硬化のパターン部分のみ
が存在するから、支持シートＡ上に未硬化および硬化の
パターン部分が存在する場合と比較して、硬化パターン
部分による未硬化パターン部分のフイルター基板への圧
着または加熱圧着を妨げられることがない鮮明な画面を
提供できるカラーフイルターが提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、赤、緑、青の各色画素のストライプ状配列
図、第２図は各色画素のマトリックス状配列図、第３図
は第２の本発明工程ａで用いる転写シートの断面図、第
４図および第５図はフオトマスクのパターンを示す図で
ある。 1:支持シートＢ、2:着色感光性樹脂層 3:保護シート、4:放射線非透過部分 5:放射線透過部分

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】a,支持シートＢに着色剤を含む感光性樹脂
   を塗布乾燥させた後、支持シートＡを該感光性樹脂層上
   に積層し、ついで該感光性樹脂層を所定のパターン部分
   を残して放射線硬化する工程、 b,支持シートＢを支持シートＡに対し鈍角に、および／
   または支持シートＡと支持シートＢを加熱して剥離し、
   支持シートＡに未硬化のパターン部分の感光性層の厚さ
   方向に全部または一部を、支持シートＢに硬化パターン
   部分を保持させる工程、 c,該感光性樹脂層の未硬化のパターン部分を剥離された
   支持シートＡと共にフイルター基板へ圧着または加熱圧
   着する工程、および d,支持シートＡの剥離後に未硬化のパターン部分を放射
   線硬化する工程、または支持シートＡの剥離前に未硬化
   のパターン部分を放射線硬化する工程、 を各色相の着色剤を含む感光性樹脂層について、同一の
   フイルター基板に対し順次繰り返すことを特徴とするカ
   ラーフイルターの製造方法。
2. 【請求項２】a,請求項1.a,の工程が、支持シートＢに着
   色剤を含む感光性樹脂を塗布乾燥させた後、該感光性樹
   脂層側に保護シートを貼付し、ついで該感光性樹脂層を
   所定のパターン部分を残して放射線硬化する工程、 b,請求項1.b,の工程が、該保護シートを剥離した後、該
   支持シートの感光性樹脂層側に支持シートＡを積層し、
   ついで２枚の支持シートを剥離して支持シートＡに未硬
   化のパターン部分の感光性層の厚さ方向に全部または一
   部を、支持シートＢに硬化パターン部分を保持させる工
   程である請求項１記載の製造方法。