JP2000002509A - 光測長器およびこれを備えた塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】長い測定可能距離を得ることが可能な光測長
器、およびこれを備えた塗布装置を提供することにあ
る。 【解決手段】被測定物Ｍに向けてレーザー光を出射する
出射素子５０ａ、および被測定物で反射したレーザー光
を受光する受光素子５０ｂを備えた測長部５０と被測定
物Ｍとの間には透明誘電体８０が配置されている。測長
部と被測定物との間の雰囲気の屈折率をｎ１、透明誘電
体へのレーザー光の入射角および受光素子に向かうレー
ザー光の透明誘電体からの出射角をθ１、透明誘電体の
厚さをｄ、測長部の測長可能距離の増加量をｘとした場
合、透明導電体の屈折率ｎ２は、 【数１】 で表される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光を用いた光測
長器、およびこれを備えた塗布装置、例えば、ペースト
状の塗布剤を基板上に塗布する塗布装置、に関する。

【０００２】

【従来の技術】光測長器として、特にレーザーを用いた
光測長器は、非接触で物体表面の凹凸を測定できること
から、各種の製造装置で用いられている。通常、光測長
器は、レーザー光の出射素子と受光素子とを備え、出射
素子から出たレーザー光は、被測定物の表面で反射した
後、受光素子に入射する。そして、受光素子上の反射光
入射位置に基いて光測長器から被測定物までの距離を測
定する。被測定物までの距離が変化すると、受光素子に
対する反射光の入射位置も変化し、この位置変化に応じ
て被測定物までの距離を検出する。

【０００３】このような光測長器を用いた製造装置の一
例として、液晶表示装置の製造に用いられるシール剤塗
布装置が知られている。シール剤塗布装置は、ガラス基
板と塗布ノズル先端との距離を一定に保つため、レーザ
ー測長器でガラス表面の凹凸を測定し、測定した凹凸に
合わせて塗布ノズルの高さを制御している。その制御精
度は２〜３μｍと非常に高精度である。

【０００４】ところが、近年、ガラス基板の厚さは、従
来の１．１ｍｍから０．７ｍｍと非常に薄くなり、ガラ
ス基板の裏面からの反射光を測長器で拾い易く、その結
果、レーザ測長器の誤動作が生じる場合がある。

【０００５】また、液晶表示装置は、ガラス基板上に薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したアクティブマトリ
クス駆動型のものが主流になってるとともに、カラー化
を図るため、カラーフィルターと組み合わせて用いる場
合が多い。しかしながら、このように、ガラス表面にＴ
ＦＴ、カラーフェイルタや金属配線等が設けられている
場合、出射素子から出射されたレーザ−光の反射率が低
減し、乱反射によって反射光強度が低下する。このた
め、受光素子で受光する反射光の強度が低下し、レーザ
ー測長器の誤動作や測定不能を生じる恐れが増加する。

【０００６】このような問題を解決する方法として、以
下のような方法が考えられる。第１の方法として、レー
ザー光の反射率を上げるために、ガラス基板表面の膜に
合わせてレーザー光の波長を調整する。第２の方法とし
て、ガラス基板表面へのレーザー光の入射角度を大きく
し、反射光強度を大きくする。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た第１の方法の場合、ガラス基板表面に形成された膜等
の種類に応じてレーザー光の波長を調整する必要があ
り、操作が面倒となる。また、レーザー光の波長設定
は、レーザー測長器自体の交換が必要な場合が多く、更
に、レーザー光の波長の選択幅も少ない。

【０００８】第２の方法の場合、レーザー光の入射角度
を大きく設定すると、測長器と被測定物との距離が接近
し、レーザー測長器の測定可能距離（ワークディスタン
ス）が短くなってしまう。そのため、レーザー測長器を
設置する上の制約が大きくなり、所望の測定装置を構成
できなくなる場合もある。

【０００９】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、測定光の出射角や入射角、波長を変更
することなく、長い測定可能距離を得ることが可能な光
測長器、およびこれを備えた塗布装置を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る光測長器は、測定光、例えばレーザ
ー光を出射する出射素子と受光素子とを有し、測定光を
被測定物に向けて照射し反射してきた測定光を受光素子
で受光し、被測定物との距離を測定する。そして、測定
部と被測定物との間に、屈折率が異なる透明誘電体を配
置して測定光の光路を曲げることにより、測長部の測長
可能距離を長くすることを特徴としている。

【００１１】すなわち、この発明に係る光測長器は、被
測定物に向けて測定光を出射する出射素子と、上記被測
定物で反射した測定光を受光する受光素子と、を有する
測長部と、上記測長部と被測定部との間で上記測定光の
光路上に設けらているとともに、上記測長部と被測定物
との間の雰囲気の屈折率と異なる屈折率を有した透明誘
電体と、を備えたことを特徴としている。

【００１２】また、この発明の光測長器によれば、上記
測長部と被測定物との間の雰囲気の屈折率をｎ１、上記
透明誘電体に対する上記測定光の入射角および上記受光
素子に向かう測定光の上記透明誘電体からの出射角をθ
１、上記透明誘電体の厚さをｄ、上記測長部の測長可能
距離の増加量をｘとした場合、上記透明導電体の屈折率
ｎ２は、

【００１３】

【数３】

【００１４】で表されることを特徴としている。更に、
この発明の光測長器によれば、上記透明誘電体は、上記
測長部に対向した第１表面と、上記第１表面に平行に対
向した第２表面と、上記第１および第２表面上にそれぞ
れ形成された反射防止膜と、を備えていることを特徴と
している。

【００１５】この場合、反射防止膜により、透明誘電体
の第１および第２表面における測定光の反射を防止し、
誤測定や、被測定物からの反射光強度低下による測定不
能になる事を防ぐことができる。

【００１６】一方、この発明に係る塗布装置は、基板が
載置される載置面を備えたステージと、上記ステージに
載置された基板の表面に向かって延出した吐出ノズルを
有し、上記吐出ノズルから上記基板表面に塗布剤を供給
する供給手段と、上記ステージに載置された基板表面の
凹凸を測定する光測長器と、上記光測長器の測定結果に
応じて上記基板表面と吐出ノズルとの間隔を所定の値に
調整するノズル調整手段と、上記ステージに載置された
基板と上記吐出ノズルおよび光測長器とを相対的に移動
させる駆動手段と、を備えている。そして、上記光測長
器は、上記被測定物に向けて測定光を出射する出射素子
と、上記被測定物で反射した測定光を受光する受光素子
と、を有する測長部と、上記測長部と被測定部との間で
上記測定光の光路上に設けらているとともに、上記測長
部と被測定物との間の雰囲気の屈折率と異なる屈折率を
有した透明誘電体と、を備えていることを特徴としてい
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明の実施の形態に係る光測長器について詳細に説明す
る。図１に示すように、光測長器１０は、測長部５０、
および測長部と被測定物Ｍとの間に配置された透明誘電
体８０を備えている。測長部５０は、被測定物Ｍに向け
て測定光としてのレーザー光を出射する出射素子５０ａ
と、被測定物Ｍからの反射光を受光する受光素子５０ｂ
と、を備え、これら出射素子および受光素子は、支持体
８２によって支持されている。

【００１８】透明導電体８０は、例えば、ガラスから直
方体形状に形成され、測長部５０に対向した第１表面８
０ａと、この第１表面に平行に対向した第２表面８０ｂ
と、を備えている。そして、透明導電体８０は、第１お
よび第２表面８０ａ、８０ｂが被測定物Ｍの表面とほぼ
平行に位置した状態で配置されている。

【００１９】出射素子５０ａは、レーザー光が透明誘電
体８０の第１表面８０ａに対して、入射角θ１で入射す
るように、所定角度傾斜して設けられている。同様に、
受光素子５０ｂは、第１表面８０ａから角度θ１で出射
したレーザー光がほぼ垂直に入射するように、所定角度
傾斜して設けられている。

【００２０】上記構成の光測定器１０において、出射素
子５０ａから出射されたレーザー光８４は、透明誘電体
８０の第１表面８０ａに入射角θ１で入射し、スネルの
法則に従って屈折した後、透明誘電体内を第１表面に対
して角度θ２の方向に伝播する。透明誘電体８０を透過
したレーザー光８４は、第２表面８０ｂで再び屈折した
後、被測定物Ｍの表面に入射角θ１で入射し反射され
る。

【００２１】被測定物Ｍの表面で反射したレーザー光８
５は、第２表面８０ｂから入射角θ１で透明誘電体８０
内に入射し、角度θ２の方向に伝播する。透明誘電体８
０を透過したレーザー光８５は、第１表面８０ａで再び
屈折した後、第１表面に対して角度θ１の方向に伝播
し、測長部５０の受光素子５０ｂに垂直に入射する。そ
して、測長部５０は、受光素子５０ｂによって受光した
レーザー光に基いて、被測定物Ｍ表面までの距離を測定
する。

【００２２】このような光測長器１０において、透明誘
電体８０が設けられていない場合、出射素子５０ａから
出射されたレーザー光は、図１に破線８６で示すよう
に、屈折することなく真直ぐに伝播し、被測定物の測定
可能距離（ワークディスタンス）は、Ｄで示すように比
較的短くなる。

【００２３】これに対して、本実施の形態に係る光測長
器１０によれば、測長部５０と被測定物Ｍとの間に透明
誘電体８０を配置することにより、以下に示す式で表さ
れる距離ｘ分だけ、測定可能距離を延長することができ
る。

【００２４】

【数４】

【００２５】上記式において、ｎ１は測長部５０と被測
定物Ｍとの間の雰囲気の誘電率、ｎ２は透明誘電体８０
の誘電率、ｄは透明誘電体の厚さ、つまり、第１および
第２表面８０ａ、８０ｂ間の距離をそれぞれ示してい
る。

【００２６】更に、上記式を変形することで、光測長器
１０の測長可能距離Ｄをｘだけ延ばすために必要な透明
誘電体８０の誘電率ｎ２および厚さｄを次式のように求
めることができる。

【００２７】

【数５】

【００２８】上記のように構成された光測長器１０によ
れば、測長部５０と被測定物Ｍとの間に屈折率の異なる
透明誘電体８０を設け測定光の光路を曲げることによ
り、レーザー光の入射角や波長を変更することなく、測
長部の測長可能距離を長くすることができる。そのた
め、光測長器１０は設置上の制約が低減し、所望の測定
装置を構成することができ、その結果、利用範囲の拡大
を図ることができる。更に、既存の光測長器を大幅に変
更することなく使用できるため、安価で高性能な測長装
置を構成することが可能となる。

【００２９】図２は、この発明の他の実施の形態に係る
光測長器１０を示すもので、 この実施の形態によれば、
測長部５０と被測定物Ｍとの間に設けられた透明誘電体
８０の第１および第２表面８０ａ、８０ｂ上には、例え
ば、ＭｇＦ₂ あるいは氷晶石（Ｎａ₃ ＡｌＦ₆ ）からな
る反射防止膜９０ａ、９０ｂがそれぞれ形成されてい
る。この場合、これら反射防止膜９０ａ、９０ｂによっ
て、第１および第２表面８０ａ、８０ｂでのレーザー光
の反射を防止し、余分なレーザー光が受光素５０ｂに入
射することを防止できる。これにより、受光素子５０ｂ
に十分な強度の光を導き、誤測定および測定不能を防止
することができる。

【００３０】次に、上記構成の光測長器１０を備えた接
着剤塗布装置の実施の形態について説明する。図３に示
すように、接着剤塗布装置は基台８を備え、この基台８
上には門型の支持フレーム１１および駆動手段として機
能するＸ−Ｙステージ１２が設けられている。

【００３１】Ｘ−Ｙステージ１２は、平板状のＹステー
ジ１４およびＸステージ１６を有している。基台８の上
面には、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１８が固
定され、Ｙステージ１４はこれらのガイドレール１８に
沿って移動自在に基台８上に支持されている。そして、
Ｙステージ１４は、基台８上に設けられたステップモー
タ２０およびリードスクリュ２１を有するＹ軸駆動機構
２２により、Ｙ軸方向に往復駆動される。

【００３２】また、Ｙステージ１４上にはＸ軸方向に延
びる一対のガイドレール２４が固定され、Ｘステージ１
６はこれらのガイドレール２４に沿って移動自在にＹス
テージ１４上に支持されている。そして、Ｘステージ１
６は、Ｙステージ１４上に設けられたステップモータ２
６およびリードスクリュ２７を有するＸ軸駆動機構２８
により、Ｘ軸方向に往復駆動される。

【００３３】Ｘステージ１６の上面は水平に延びてお
り、液晶表示パネルの製造に使用されるガラス基板Ｐを
載置するための載置面１６ａを構成している。また、Ｘ
ステージ１６には多数の吸引孔３０が形成され、Ｘステ
ージ１６の載置面１６ａに開口している。これらの吸引
孔３０は真空ライン３２を介して後述する真空ポンプ３
３に連通している。従って、Ｘステージ１６上にガラス
基板Ｐを載置した状態で真空ポンプ３３を作動させるこ
とにより、ガラス基板ＰをＸステージ１６の載置面１６
ａ上に吸着固定することができる。そして、Ｘ−Ｙステ
ージ１２を駆動するよことにより、後述する吐出ノズル
に対してガラス基板Ｐを相対移動させることができる。

【００３４】支持フレーム１１の中央部には支持ブロッ
ク３１が固定され、この支持ブロックには、互いに平行
に配置された第１および第２のＺ方向駆動機構３４、３
６が支持され、Ｘ−Ｙステージ１２の上方に位置してい
る。

【００３５】第１のＺ方向駆動機構３４は、第１のガイ
ドレール３４ａと、この第１のガイドレール３４ａに沿
ってＺ方向、つまり、Ｘステージ１６の載置面１６ａと
直交する方向、にスライド自在に設けられた第１のスラ
イダ３４ｂとを有している。第１のスライダ３４ｂには
Ｚ方向に延びるボールねじ３５が回転自在に噛合してい
る。

【００３６】ボールねじ３５は、第１のＺ方向駆動機構
３４の上端部に取り付けられた第１のパルスモータ３７
によって回転駆動されるようになっている。ボールねじ
３５のピッチは２ｍｍであり、第１のパルスモータ３７
はボールねじ３５の１ピッチを４０００パルスに分割し
て駆動する。

【００３７】そして、図３ないし図６に示すように、第
１のスライダ３４ｂには塗布剤としての接着剤が充填さ
れたシリンジ３８が取り付けられ、シリンジの下端部に
は吐出ノズル４０が設けられている。また、シリンジ３
８の上端には、給気パイプ４２を介して吐出ポンプ４３
が接続されている。吐出ノズル４０は細長い円筒形状に
形成され、Ｘステージ１６の載置面１６ａ上に載置され
たガラス基板Ｐの表面に対して垂直に延びている。

【００３８】そして、吐出ポンプ４３によってシリンジ
３８に空気あるいは窒素等の圧縮気体を供給することに
より、シリンジ内の接着剤が吐出ノズル４０の先端から
吐出され、ガラス基板Ｐ上に塗布される。これらシリン
ジ３８、吐出ノズル４０、吐出ポンプ４３は、この発明
における供給手段として機能する。

【００３９】また、第１のＺ方向駆動機構３４を駆動し
てシリンジ３８および吐出ノズル４０を昇降させること
により、吐出ノズル４０先端とガラス基板Ｐ表面との隙
間を調整することができるもので、第１のＺ方向駆動機
構３４はこの発明における調整手段として機能する。

【００４０】なお、シリンジ１５内に充填された接着剤
としては、エポキシ樹脂系熱硬化性接着剤、例えば、ス
トラクトボンド（商品名）（三井東圧社製）を主体とし
たものが用いられている。

【００４１】一方、図３および図４に示すように、第２
のＺ方向駆動機構３６は、第１のＺ方向駆動機構３４と
同様に構成され、第２のパルスモータ４４でボールねじ
４５を回転させることにより、支持フレーム３１に取り
付けられた第２のガイドレール３６ａに沿って第２のス
ライダ３６ｂをＺ方向へ駆動する。

【００４２】そして、図３ないし図６に示すように、第
２のスライダ３６ｂには、位置調整装置４８を介して光
測長器１０が取り付けられている。この光測長器１０と
して、前述の図１あるいは図２に示した実施の形態と同
様の構成を有する光測長器が用いられている。すなわ
ち、光測長器１０はガラス基板Ｐ表面の凹凸を測定する
ために設けられ、測長部５０と透明誘電体８０とを備え
ている。そして、前述したように、測長部５０は、測定
光としのレーザー光を出射する出射素子５０ａと、ガラ
ス基板表面からの反射光を受光する受光素子５０ｂと、
を備えている。

【００４３】位置調整手段として機能する位置調整装置
４８は、Ｘ−Ｙステージ１２とほぼ同一の構成を有して
いる。つまり、位置調整装置４８は、第２のスライダ３
６ｂにＹ軸方向に沿って移動自在に支持されたＹテーブ
ル５２と、図示しないボールねじを介してＹテーブル５
２をＹ軸方向に往復移動させるパルスモータ５３と、を
備えている。また、光測長器１０はＹテーブル５２の下
面側にＸ軸方向に沿って移動自在に支持され、ボールね
じ５４を介してパルスモータ５６によりＸ軸方向に往復
移動される。

【００４４】そして、測長部５０は、位置調整装置４８
によってほぼ水平に、つまり、ガラス基板Ｐ表面と平行
に支持され、出射素子５０ａから出射されたレーザー光
は、吐出ノズル４０と直交する水平面に沿って出射され
る。

【００４５】また、透明誘電体８０は、その第１および
第２表面８０ａ、８０ｂがそれぞれガラス基板Ｐ表面に
対してほぼ垂直に延びるように配置され、かつ、第１表
面８０ａが測長部５０の出射部５０ａおよび受光部５０
ｂと対向して位置している。なお、第１および第２表面
８０ａ、８０ｂには、前述した反射防止膜が設けられて
いてもよい。

【００４６】更に、光測長器１０は、透明誘電体８０の
第２表面８０ｂと対向して設けられた矩形板状の反射ミ
ラー６０を備えている。反射板として機能する反射ミラ
ー６０は、透明誘電体８０と共に、一対の支持アーム６
２を介して測長部５０に固定され、測長部５０と一体に
移動可能となっている。また、反射ミラー６０は、ガラ
ス基板Ｐ表面に対して４５度傾斜した状態で固定されて
いる。従って、反射ミラー６０の反射面６０ａは、４５
度傾斜した状態で測長部５０に対して一定の位置に保持
されている。

【００４７】更に、反射ミラー６０のほぼ中央には透孔
６４が形成され、この透孔を通って吐出ノズル４０が延
びている。吐出ノズル４０に対して反射ミラー６０、透
明誘電体８０、および測長部５０を移動できるように、
透孔６４は吐出ノズル４０の外径よりも大きな径に形成
されている。

【００４８】測長部５０の出射素子５０ａから出射され
たレーザー光は、吐出ノズル４０の軸と直交する水平面
に沿って伝搬した後、透明誘電体８０内を通り、更に、
反射ミラー６０によりガラス基板Ｐに向かって直角に偏
向され、ガラス基板Ｐの表面と垂直な平面内を伝搬す
る。そして、レーザー光は、吐出ノズル４０の先端に隣
接した位置でガラス基板Ｐ表面に入射する。

【００４９】更に、レーザー光は、ガラス基板Ｐ表面で
反射してガラス基板Ｐの表面と垂直な平面内を伝搬し、
反射ミラー６０により直角に反射され、透明誘電体８０
を通過した後、測長部５０の受光素子５０ｂに受光され
る。そして、測長部５０は、ガラス基板Ｐ表面からの反
射光に基づいてガラス基板Ｐ表面の凹凸を測定する。

【００５０】図６に示すように、塗布装置の制御系は、
装置全体の動作を制御する制御部６６を備えている。そ
して、制御部６６には、Ｘ−Ｙステージ１２のステップ
モータ２０、２６を駆動するドライバ６７、第１および
第２のＺ方向駆動機構３４、３６のパルスモータ３７、
４４を駆動するドライバ６８、位置調整装置４８のパル
スモータ５３、５６を駆動するドライバ７０が接続され
ている。

【００５１】また、制御部６６には、測長部５０が接続
されているとともに、真空ポンプ３３、吐出ポンプ４３
が接続されている。更に、制御系は、装置全体の制御プ
ログラムが格納されたＲＡＭ７２、オペレータによって
制御データを入力するための操作パネル７３を有してい
る。

【００５２】次に、以上のように構成された接着剤塗布
装置を用いて液晶表示パネル用のガラス基板Ｐに接着剤
を塗布する動作について説明する。まず、Ｘステージ１
６の載置面１６ａ上の所定位置にガラス基板Ｐが自動搬
送された後、真空ポンプ３３を作動させ、ガラス基板Ｐ
を載置面１６ａ上に吸着固定する。

【００５３】この状態で、Ｘ−Ｙステージ１２を作動さ
せ、ガラス基板Ｐの任意の塗布開始位置を吐出ノズル４
０の先端部と対向させる。続いて、第１のＺ方向駆動機
構３４を作動させ吐出ノズル４０を所定の塗布基準位置
まで下降させる。それにより、吐出ノズル４０の先端面
４０ｂはガラス基板Ｐ表面に対して所定の隙間おいた状
態に対向する。

【００５４】同時に、第２のＺ方向駆動機構３６を作動
させて測長部５０を所定の測定基準高さ位置まで下降さ
せる。そして、位置調整装置４８により、吐出ノズル４
０に対する測長部５０、透明誘電体８０、および反射ミ
ラー６０の位置を調整し、測長部５０の測定ポイント、
つまり、測定光がガラス基板Ｐ表面に入射する位置を、
吐出ノズル先端の近傍で、かつ、吐出ノズルの進行方向
前方に設定する。

【００５５】この状態で、測長部５０によりガラス基板
Ｐ表面の高さおよび凹凸を測定し、塗布基準位置に待機
している吐出ノズル４０先端面４０ｂとガラス基板Ｐ表
面との間隔を制御部６６により演算する。そして、その
演算結果に応じて、吐出ノズル４０先端面４０ｂがガラ
ス基板表面に対して所定の隙間、例えば、１０μｍの隙
間をおいて対向するように、第１のＺ方向駆動機構３４
を作動させ、吐出ノズル４０の高さを調整する。

【００５６】上述した凹凸の測定および高さ調整が終了
した後、図７に示すように、吐出ノズル４０がガラス基
板Ｐに対して所定の経路Ｒに沿って移動するように、Ｘ
−Ｙステージ１２を駆動してガラス基板Ｐを移動させ
る。これと同時に、吐出ポンプ３０を作動させて所定の
流量にて圧縮気体を給気し、給気パイプ４２を通してシ
リンジ３８に供給する。それにより、シリンジ３８内に
充填されている接着剤Ａは、吐出ノズル４０の先端から
吐出されガラス基板Ｐ上に塗布される。

【００５７】Ｘ−Ｙステージ１２の駆動により吐出ノズ
ル４０を経路Ｒに沿って移動する間、測長部５０および
反射ミラー６０も同時に移動し、測長部５０はガラス基
板Ｐ表面の凹凸を経路Ｒに沿って連続的に測定する。そ
して、制御部６６は、測定結果に応じて吐出ノズル４０
先端面とガラス基板Ｐ表面との間隔を随時演算し、上記
間隔が所定値（１０μｍ）を維持するように吐出ノズル
４０の高さを随時調節する。

【００５８】ここで、吐出ノズル４０および測長部５０
の測定ポイントが塗布経路Ｒの角部を通過する際、Ｘ−
Ｙステージ１２の移動方向はＸ方向からＹ方向へ、ある
いは、Ｙ方向からＸ方向へ切換えられる。そして、制御
部６６は、移動方向の切換え時、測長部５０の測定ポイ
ントが吐出ノズル４０に対して常に吐出ノズルの進行方
向前方に位置するように、位置調整装置４８により吐出
ノズル４０に対する測長部５０および反射ミラー６０の
位置を切換える。

【００５９】更に、塗布経路Ｒの角部を通過する際、測
長部５０の測定光が、ガラス基板Ｐ表面に既に塗布され
ている接着剤Ａと交差する場合がある。このような交差
領域は、ＲＡＭ７２に予めプログラムされており、制御
部６６は、測長部５０の測定光が上記交差領域を通過す
る間、測長部５０からの測定データを無視し、吐出ノズ
ル４０の高さ調整を行わない。

【００６０】そして、吐出ノズル４０が塗布経路Ｒに沿
ってガラス基板上を１周した時点で、Ｘ−Ｙステージ１
２の移動および接着剤の供給を停止するとともに、吐出
ノズル４０および測長部５０を所定位置まで上方させガ
ラス基板Ｐから離間させる。これにより、ガラス基板Ｐ
表面には、接着剤Ａが塗布経路Ｒに沿って矩形状に塗布
される。

【００６１】なお、上述した各機構の駆動は、制御部６
６の制御の下、ＲＡＭ７２に格納されているプログラム
に応じて行われる。その後、液晶表示パネルを製造する
場合には、他方のガラス基板を接着剤Ａの塗布されたガ
ラス基板Ｐに対して位置決めし、互いに貼り合わせる。
そして、張り合わされた一対のガラス基板を接合方向に
圧力をかけつつ加熱して接着剤を硬化させた後、塗布さ
れた接着剤Ａによって囲まれた領域Ｂ（図７）に液晶を
封入する。

【００６２】上記のように構成された接着剤塗布装置に
よれば、透明誘電体８０を備えた光測長器１０を用いる
ことにより、光測長器の測長可能距離を自由に設定する
ことができ、光測長器１０を所望の位置に配置すること
ができる。同時に、市販のレーザー測長器を用いて、正
確な測長が可能な接着剤塗布装置を開発することができ
る。

【００６３】また、上記構成の接着剤塗布装置によれ
ば、測長器５０から出射されたレーザー光は、反射ミラ
ーにより吐出ノズル４０の近傍でガラス基板表面上に導
かれる。そのため、測長部５０の測定ポイントを吐出ノ
ズル４０の近傍に設定することが可能となり、吐出ノズ
ルに連動して測長器を移動させた場合でも、測定ポイン
トがガラス基板の外側に位置することがなくなる。従っ
て、吐出ノズル４０による塗布動作と測長部５０による
測定動作とを同時に行うことができ、接着剤Ａの塗布作
業を短時間で効率よく行うことが可能となる。

【００６４】なお、この発明は上述した実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々
変形可能である。例えば、使用する接着剤は上述したエ
ポキシ樹脂系熱硬化性接着剤に限定されることなく、必
要に応じて変更可能である。また、反射ミラーは、ガラ
ス基板表面に対して４５度傾斜して設ける構成とした
が、この傾斜角度は、測長器からの測定光の出射方向と
併せて、必要に応じて変更可能である。

【００６５】また、上記実施の形態では、ガラス基板側
をＸＹ方向に駆動して塗布する構成としたが、シリン
ジ、吐出ノズルおよび測長器側をＸＹ方向に駆動する構
成としても良い。シリンジと吐出ノズルとは一体的に上
下移動するよう設けられているが、シリンジと吐出ノズ
ルとを可撓性チューブで接続し、吐出ノズルのみを上下
駆動する構成としても良い。更に、吐出ノズルはステー
ジに載置されたガラス基板の表面に対して垂直に限ら
ず、傾斜して延出していてもよい。

【００６６】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、測長部と被測定物との間に透明誘電体を配置するこ
とにより、出射角や入射角、波長を変更することなく、
測長可能距離を自由に設定可能な光測長器を提供するこ
とができる。また、上記光測長器を用いることにより、
光測長器を所望の位置に配置でき、正確な測長が可能な
塗布装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係る光測長器を示す側
面図。

【図２】この発明の他の実施の形態に係る光測長器を示
す側面図。

【図３】この発明の実施の形態に係る接着剤塗布装置全
体を示す斜視図。

【図４】上記接着剤塗布装置の要部を概略的に示す側面
図。

【図５】上記接着剤塗布装置の吐出ノズルおよび光測長
器、反射ミラーを示す正面図および平面図。

【図６】上記接着剤塗布装置の制御系の構成を示すブロ
ック図。

【図７】上記接着剤塗布装置による接着剤の塗布経路を
示す斜視図。

【符号の説明】

１０…光測長器 １２…Ｘ−Ｙステージ １６…Ｘステージ １６ａ…載置面 ３４…第１のＺ方向駆動機構 ３６…第２のＺ方向駆動機構 ３８…シリンジ ４０…吐出ノズル ４３…給気ポンプ ４８…位置調整装置 ５０…測長部 ５０ａ…出射素子 ５０ｂ…受光素子 ６０…反射ミラー ６０ａ…反射面 ６４…透孔 ６６…制御部 ８０…透明誘電体 ８０ａ…第１表面 ８０ｂ…第２表面 ９０ａ、９０ｂ…反射防止膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA22 CC25 DD06 FF44 GG04 HH12 JJ08 JJ16 KK01 LL12 LL53 MM07 NN20 PP12 PP22 2H088 FA18 FA30 HA01 HA21 MA20 2H090 HC18 JB02 LA03 4F042 DH09 EB17

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定光により被測定物との間の距離を測定
   する光測長器において、 上記被測定物に向けて測定光を出射する出射素子と、上
   記被測定物で反射した測定光を受光する受光素子と、を
   有する測長部と、 上記測長部と被測定部との間で上記測定光の光路上に配
   置されているとともに、上記測長部と被測定物との間の
   雰囲気の屈折率と異なる屈折率を有した透明誘電体と、 を備えたことを特徴とする光測長器。
2. 【請求項２】上記測長部と被測定物との間の雰囲気の屈
   折率をｎ１、上記透明誘電体に対する上記測定光の入射
   角および上記受光素子に向かう測定光の上記透明誘電体
   からの出射角をθ１、上記透明誘電体の厚さをｄ、上記
   測長部の測長可能距離の増加量をｘとした場合、上記透
   明導電体の屈折率ｎ２は、 【数１】 で表されることを特徴とする請求項１に記載の光測長
   器。
3. 【請求項３】上記透明誘電体は、上記測長部に対向した
   第１表面と、上記第１表面に平行に対向した第２表面
   と、上記第１および第２表面上にそれぞれ形成された反
   射防止膜と、を備えていることを特徴とする請求項１又
   は２に記載の光測長器。
4. 【請求項４】基板が載置される載置面を備えたステージ
   と、 上記ステージに載置された基板の表面に向かって延出し
   た吐出ノズルを有し、上記吐出ノズルから上記基板表面
   に塗布剤を供給する供給手段と、 上記ステージに載置された基板表面の凹凸を測定する光
   測長器と、 上記光測長器の測定結果に応じて上記基板表面と吐出ノ
   ズルとの間隔を所定の値に調整するノズル調整手段と、 上記ステージに載置された基板と上記吐出ノズルおよび
   光測長器とを相対的に移動させる駆動手段と、を備え、 上記光測長器は、上記被測定物に向けて測定光を出射す
   る出射素子と、上記被測定物で反射した測定光を受光す
   る受光素子と、を有する測長部と、 上記測長部と被測定部との間で上記測定光の光路上に設
   けらているとともに、上記測長部と被測定物との間の雰
   囲気の屈折率と異なる屈折率を有した透明誘電体と、を
   備えていることを特徴とする塗布装置。
5. 【請求項５】上記測長部と被測定物との間の雰囲気の屈
   折率をｎ１、上記透明誘電体に対する上記測定光の入射
   角および上記受光素子に向かう測定光の上記透明誘電体
   からの出射角をθ１、上記透明誘電体の厚さをｄ、上記
   測長部の測長可能距離の増加量をｘとした場合、上記透
   明導電体の屈折率ｎ２は、 【数２】 で表されることを特徴とする請求項４に記載の塗布装
   置。
6. 【請求項６】上記透明誘電体は、上記測長部に対向した
   第１表面と、上記第１表面に平行に対向した第２表面
   と、上記第１および第２表面上にそれぞれ形成された反
   射防止膜と、を備えていることを特徴とする請求項４又
   は５に記載の塗布装置。
7. 【請求項７】上記光測長器は、上記出射素子から出射さ
   れた測定光を上記吐出ノズルの近傍で上記基板表面上に
   導くとともに、上記基板表面で反射した測定光を上記受
   光手段に導く反射板を備え、上記透明誘電体は、上記測
   定部と反射板との間に設けられていることを特徴とする
   請求項４ないし６のいずれか１項に記載の塗布装置。
8. 【請求項８】上記出射素子は、上記吐出ノズルの軸とほ
   ぼ直交する方向に向けて測定光を出射し、上記反射板
   は、上記出射素子から出射された測定光を上記ステージ
   に載置された基板表面と直交する平面内に偏向するよう
   に配設されていることを特徴とする請求項７に記載の塗
   布装置。
9. 【請求項９】上記反射板は、上記吐出ノズルと交差して
   設けられているとともに、上記吐出ノズルが隙間をもっ
   て挿通された透孔を備えていることを特徴とする請求項
   ８に記載の塗布装置。
10. 【請求項１０】上記吐出ノズルに対する上記光測定器お
    よび反射板の位置を調整する位置調整手段と、 上記光測定器からの測定光が、上記基板表面において上
    記吐出ノズルの移動方向前方に入射するように、上記位
    置調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴
    とする請求項４ないし９のいずれか１項に記載の塗布装
    置。