IL306035A - מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקס - Google Patents
מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקסInfo
- Publication number
- IL306035A IL306035A IL306035A IL30603523A IL306035A IL 306035 A IL306035 A IL 306035A IL 306035 A IL306035 A IL 306035A IL 30603523 A IL30603523 A IL 30603523A IL 306035 A IL306035 A IL 306035A
- Authority
- IL
- Israel
- Prior art keywords
- sample
- inspection
- ray sources
- ray
- inspection system
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL306035A IL306035A (he) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקס |
| JP2024159858A JP7839839B2 (ja) | 2023-09-18 | 2024-09-17 | デュアルソースｘ線検査システムおよび方法 |
| TW113135336A TWI905947B (zh) | 2023-09-18 | 2024-09-18 | 雙源x射線檢驗系統及方法 |
| EP24200988.4A EP4524558A1 (en) | 2023-09-18 | 2024-09-18 | Dual source x-ray inspection system and method |
| KR1020240126489A KR20250041602A (ko) | 2023-09-18 | 2024-09-19 | 듀얼 소스 x-선 검사 시스템 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL306035A IL306035A (he) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקס |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| IL306035A true IL306035A (he) | 2025-04-01 |
Family
ID=95250164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| IL306035A IL306035A (he) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקס |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| IL (1) | IL306035A (he) |
| TW (1) | TWI905947B (he) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2180439C2 (ru) * | 2000-02-11 | 2002-03-10 | Кумахов Мурадин Абубекирович | Способ получения изображения внутренней структуры объекта с использованием рентгеновского излучения и устройство для его осуществления |
| US9606073B2 (en) * | 2014-06-22 | 2017-03-28 | Bruker Jv Israel Ltd. | X-ray scatterometry apparatus |
| EP3658033A4 (en) * | 2017-07-26 | 2021-02-24 | Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. | SYSTEM WITH A SPATIAL EXTENSION X-RAY SOURCE FOR X-RAY IMAGING |
| CN114486971A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-05-13 | 深圳市埃芯半导体科技有限公司 | 多源设计的x射线分析系统和方法 |
| CN115791862B (zh) * | 2022-12-22 | 2024-03-26 | 南开大学 | 一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用 |
-
2023
- 2023-09-18 IL IL306035A patent/IL306035A/he unknown
-
2024
- 2024-09-18 TW TW113135336A patent/TWI905947B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI905947B (zh) | 2025-11-21 |
| TW202519858A (zh) | 2025-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5722861B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
| CN102004113B (zh) | X线分析装置以及x线分析方法 | |
| US7600916B2 (en) | Target alignment for X-ray scattering measurements | |
| JP2005525580A (ja) | 一時的痕跡を使用するエミッション・コンピューテッド・トモグラフィのための方法と装置 | |
| US8548121B2 (en) | X-ray analyzer | |
| US10697908B2 (en) | Metrology inspection apparatus | |
| KR101387844B1 (ko) | Ｘ선 분석 장치 및 ｘ선 분석 방법 | |
| US12050187B1 (en) | Dual source X-ray inspection system and method | |
| EP4524558A1 (en) | Dual source x-ray inspection system and method | |
| IL306035A (he) | מערכת ושיטה לבדיקה עם שני מקורות גלי איקס | |
| JP7839839B2 (ja) | デュアルソースｘ線検査システムおよび方法 | |
| KR20250041602A (ko) | 듀얼 소스 x-선 검사 시스템 및 방법 | |
| JP7765525B2 (ja) | デュアルヘッドｘ線検査システム | |
| US10697907B2 (en) | Metrology measuring apparatus | |
| JP4349146B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| KR20150102682A (ko) | Ｘ-선 형광을 이용한 측정 대상의 측정 방법 | |
| JP2023061041A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置および蛍光ｘ線分析方法 | |
| JPH1114566A (ja) | Ｘ線回折測定及び蛍光ｘ線測定のためのｘ線装置 | |
| CN119833433B (zh) | 单晶半导体晶圆测量系统及方法 | |
| JP2006189281A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JP2008286735A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置のｅｄｓヘッド保護方法及び保護機構 | |
| WO2021112079A1 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH08304308A (ja) | Ｘ線試験・検査装置 | |
| JPH08145647A (ja) | 形状測定器 | |
| JPH07318518A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析方法及びその装置 |