JPH08304308A - Ｘ線試験・検査装置 - Google Patents
Ｘ線試験・検査装置Info
- Publication number
- JPH08304308A JPH08304308A JP7112748A JP11274895A JPH08304308A JP H08304308 A JPH08304308 A JP H08304308A JP 7112748 A JP7112748 A JP 7112748A JP 11274895 A JP11274895 A JP 11274895A JP H08304308 A JPH08304308 A JP H08304308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- detector
- mirror
- ray beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線源から発生するＸ線ビームが不安定な場
合でも、試料の試験、検査を精度良く行える。 【構成】 Ｘ線源１７からのＸ線ビーム１８を試料１３
に照射し、その反射線（又は透過線）２１をＸ線検出器
１４で検出して試料１３の試験、検査を行うＸ線試験、
検査装置において、Ｘ線ビーム１８の通過形状を規定す
る穴３１ａを有するＸ線ミラー３１をＸ線ビーム１８の
通路を横断するように設け、そのＸ線ミラー３１で反射
されたＸ線をＸ線検出器１４と同種のモニタ用検出器３
３で検出する。
合でも、試料の試験、検査を精度良く行える。 【構成】 Ｘ線源１７からのＸ線ビーム１８を試料１３
に照射し、その反射線（又は透過線）２１をＸ線検出器
１４で検出して試料１３の試験、検査を行うＸ線試験、
検査装置において、Ｘ線ビーム１８の通過形状を規定す
る穴３１ａを有するＸ線ミラー３１をＸ線ビーム１８の
通路を横断するように設け、そのＸ線ミラー３１で反射
されたＸ線をＸ線検出器１４と同種のモニタ用検出器３
３で検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線ビームを試料に
照射し、その反射線又は透過線をＸ線検出器で検出する
ことにより、試料の試験、検査等を行うＸ線試験・検査
装置に関する。
照射し、その反射線又は透過線をＸ線検出器で検出する
ことにより、試料の試験、検査等を行うＸ線試験・検査
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のＸ線試験・検査装置の一
例を図３に示す。この例はＸ線ビームを試料に照射し、
その反射線を検出して試料の評価を行うものであり、例
えばＸ線ミラーの検査におけるＸ線反射率の測定等に使
用される。真空チャンバ１１内にゴニオメータ１２が設
置され、その回転中心軸上に試料１３が配され、回転ア
ーム１２ａの先端部にＸ線検出器１４が配される。試料
１３はゴニオメータ１２の回転板１２ｂ上に搭載された
ホルダ１５に取付け固定される。なお、この例では試料
１３としてＸ線ミラーがその板面が垂直方向とされて取
付けられた状態を示している。
例を図３に示す。この例はＸ線ビームを試料に照射し、
その反射線を検出して試料の評価を行うものであり、例
えばＸ線ミラーの検査におけるＸ線反射率の測定等に使
用される。真空チャンバ１１内にゴニオメータ１２が設
置され、その回転中心軸上に試料１３が配され、回転ア
ーム１２ａの先端部にＸ線検出器１４が配される。試料
１３はゴニオメータ１２の回転板１２ｂ上に搭載された
ホルダ１５に取付け固定される。なお、この例では試料
１３としてＸ線ミラーがその板面が垂直方向とされて取
付けられた状態を示している。
【０００３】真空チャンバ１１の側壁には窓１１ａが設
けられており、この窓１１ａに管状通路１６を介してＸ
線源１７が接続される。Ｘ線源１７から出射されたＸ線
ビーム１８は管状通路１６を通って真空チャンバ１１内
に入射される。真空チャンバ１１の窓１１ａには二次電
子増倍器であるマイクロチャンネルプレート（以下、Ｍ
ＣＰと記す）１９が取付けられており、Ｘ線ビーム１８
の一部がＭＣＰ１９に入射され、このＭＣＰ１９によっ
てＸ線ビーム１８のパワーがモニタされる。このため、
ＭＣＰ１９は図４に示すように、その中央部に穴１９ａ
を有する構造とされ、またＸ線ビーム１８はそのビーム
断面が図４Ｂに示すように、例えば長円形とされて、そ
の長径がＭＣＰ１９の穴１９ａの径より大とされてい
る。なお、図４中、１９ｂはＭＣＰ１９の取付け基板を
示し、１９ｃは電極リードを示す。
けられており、この窓１１ａに管状通路１６を介してＸ
線源１７が接続される。Ｘ線源１７から出射されたＸ線
ビーム１８は管状通路１６を通って真空チャンバ１１内
に入射される。真空チャンバ１１の窓１１ａには二次電
子増倍器であるマイクロチャンネルプレート（以下、Ｍ
ＣＰと記す）１９が取付けられており、Ｘ線ビーム１８
の一部がＭＣＰ１９に入射され、このＭＣＰ１９によっ
てＸ線ビーム１８のパワーがモニタされる。このため、
ＭＣＰ１９は図４に示すように、その中央部に穴１９ａ
を有する構造とされ、またＸ線ビーム１８はそのビーム
断面が図４Ｂに示すように、例えば長円形とされて、そ
の長径がＭＣＰ１９の穴１９ａの径より大とされてい
る。なお、図４中、１９ｂはＭＣＰ１９の取付け基板を
示し、１９ｃは電極リードを示す。
【０００４】この図３及び４に示した従来のＸ線試験・
検査装置では、ＭＣＰ１９の穴１９ａを通過したＸ線ビ
ーム１８ａが試料１３に入射されて反射され、その反射
線２１がＸ線検出器１４によって検出されて、試料１３
の試験、検査が行われる。一方、Ｘ線ビーム１８の、穴
１９ａからはみ出た部分はＭＣＰ１９に入射し、ＭＣＰ
１９によってＸ線ビーム１８のパワーがモニタされる。
これにより、例えばＸ線ビーム１８のパワー変動等を知
ることができ、モニタ値に基づき、Ｘ線検出器１４の検
出値が較正される。Ｘ線検出器１４には性能、価格面及
び取扱い易さの点より、例えば比例計数管等が用いられ
る。
検査装置では、ＭＣＰ１９の穴１９ａを通過したＸ線ビ
ーム１８ａが試料１３に入射されて反射され、その反射
線２１がＸ線検出器１４によって検出されて、試料１３
の試験、検査が行われる。一方、Ｘ線ビーム１８の、穴
１９ａからはみ出た部分はＭＣＰ１９に入射し、ＭＣＰ
１９によってＸ線ビーム１８のパワーがモニタされる。
これにより、例えばＸ線ビーム１８のパワー変動等を知
ることができ、モニタ値に基づき、Ｘ線検出器１４の検
出値が較正される。Ｘ線検出器１４には性能、価格面及
び取扱い易さの点より、例えば比例計数管等が用いられ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、Ｘ線検出器
には上述した比例計数管、ＭＣＰの他、半導体検出器
等、種々のものがあり、その種類によって、Ｘ線の波長
に対する検出効率が異なることが知られている。しかる
に、図３及び４に示した従来のＸ線試験・検査装置では
Ｘ線ビーム１８のモニタ用として中央部に穴１９ａを形
成したＭＣＰ１９を用い、これによりＸ線ビーム１８の
一部をモニタ用に使用可能な構成を実現している。
には上述した比例計数管、ＭＣＰの他、半導体検出器
等、種々のものがあり、その種類によって、Ｘ線の波長
に対する検出効率が異なることが知られている。しかる
に、図３及び４に示した従来のＸ線試験・検査装置では
Ｘ線ビーム１８のモニタ用として中央部に穴１９ａを形
成したＭＣＰ１９を用い、これによりＸ線ビーム１８の
一部をモニタ用に使用可能な構成を実現している。
【０００６】従って、モニタ用の検出器はＭＣＰに限定
され、一方試料１３の試験、検査用のＸ線検出器１４は
例えば試料やＸ線の波長に応じてその種類を選択するこ
とができるものの、この場合、Ｘ線検出器１４にＭＣＰ
以外の検出器を用いると、Ｘ線の波長が変動した場合
に、モニタ用及び試料用の検出器間に検出効率の差が生
じ、よって正確に較正を行うことができず、測定誤差が
大きくなって、試料１３の試験、検査を精度良く行なえ
ないという問題が発生する。
され、一方試料１３の試験、検査用のＸ線検出器１４は
例えば試料やＸ線の波長に応じてその種類を選択するこ
とができるものの、この場合、Ｘ線検出器１４にＭＣＰ
以外の検出器を用いると、Ｘ線の波長が変動した場合
に、モニタ用及び試料用の検出器間に検出効率の差が生
じ、よって正確に較正を行うことができず、測定誤差が
大きくなって、試料１３の試験、検査を精度良く行なえ
ないという問題が発生する。
【０００７】また、試料１３に入射されるＸ線ビーム１
８ａの断面形状はＭＣＰ１９の穴１９ａの形状によって
決まるものであるため、Ｘ線ビーム１８ａの断面形状を
変える場合には比較的大型で高価なＭＣＰ１９を他のも
のと交換しなければならず、手間がかかり、また費用が
かかるものとなっていた。この発明の目的は従来の欠点
を除去し、Ｘ線の波長が変動しても常に精度良く試験、
検査を行うことができ、かつ試料用のＸ線検出器に任意
のものを用いることができ、さらに試料に入射されるＸ
線ビームの形状を簡易に変えることができるＸ線試験・
検査装置を提供することにある。
８ａの断面形状はＭＣＰ１９の穴１９ａの形状によって
決まるものであるため、Ｘ線ビーム１８ａの断面形状を
変える場合には比較的大型で高価なＭＣＰ１９を他のも
のと交換しなければならず、手間がかかり、また費用が
かかるものとなっていた。この発明の目的は従来の欠点
を除去し、Ｘ線の波長が変動しても常に精度良く試験、
検査を行うことができ、かつ試料用のＸ線検出器に任意
のものを用いることができ、さらに試料に入射されるＸ
線ビームの形状を簡易に変えることができるＸ線試験・
検査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明はＸ線源からの
Ｘ線ビームを試料に照射し、その反射線又は透過線をＸ
線検出器で検出して試料の試験、検査を行うＸ線試験・
検査装置において、Ｘ線ビームの通路を横断して設けら
れ、Ｘ線ビームの通過形状を規定する穴を有するＸ線ミ
ラーと、そのＸ線ミラーで反射されたＸ線を検出する上
記Ｘ線検出器と同種のモニタ用検出器とを具備するもの
である。
Ｘ線ビームを試料に照射し、その反射線又は透過線をＸ
線検出器で検出して試料の試験、検査を行うＸ線試験・
検査装置において、Ｘ線ビームの通路を横断して設けら
れ、Ｘ線ビームの通過形状を規定する穴を有するＸ線ミ
ラーと、そのＸ線ミラーで反射されたＸ線を検出する上
記Ｘ線検出器と同種のモニタ用検出器とを具備するもの
である。
【０００９】
【実施例】この発明の実施例を図１に示す。なお、図３
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。この例では真空チャンバ１１の窓１１ａの内側にＸ
線ミラー３１が配設される。Ｘ線ミラー３１は真空チャ
ンバ１１内に設置された支持台３２の上面の一半部に立
設された一対の支持板３２ａに、その両端が支持されて
取付けられており、所定の傾きをもってＸ線ビーム１８
の通路を横断するように配されている。この例ではＸ線
ミラー３１はその反射Ｘ線が斜め下方に向かうように傾
けられている。
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。この例では真空チャンバ１１の窓１１ａの内側にＸ
線ミラー３１が配設される。Ｘ線ミラー３１は真空チャ
ンバ１１内に設置された支持台３２の上面の一半部に立
設された一対の支持板３２ａに、その両端が支持されて
取付けられており、所定の傾きをもってＸ線ビーム１８
の通路を横断するように配されている。この例ではＸ線
ミラー３１はその反射Ｘ線が斜め下方に向かうように傾
けられている。
【００１０】Ｘ線ミラー３１は図２Ａ、Ｂに示すよう
に、例えば方形状とされ、またその中央部には方形状の
穴３１ａが形成されている。従って、Ｘ線源１７から出
射されたＸ線ビーム１８の一部はこの穴３１ａを通過し
て試料１３に入射し、即ち試料１３に入射するＸ線ビー
ム１８ａのビーム断面形状はこの穴３１ａによって規定
される。
に、例えば方形状とされ、またその中央部には方形状の
穴３１ａが形成されている。従って、Ｘ線源１７から出
射されたＸ線ビーム１８の一部はこの穴３１ａを通過し
て試料１３に入射し、即ち試料１３に入射するＸ線ビー
ム１８ａのビーム断面形状はこの穴３１ａによって規定
される。
【００１１】Ｘ線ビーム１８の、Ｘ線ミラー３１の穴３
１ａからはみ出す部分はＸ線ミラー３１によって反射さ
れ、この反射されたＸ線１８ｂがモニタ用検出器３３に
よって検出される。モニタ用検出器３３はこの例では支
持台３２の上面の他半部に設置されている。モニタ用検
出器３３はゴニオメータ１２の回転アーム１２ａ上に設
置されている試料１３用のＸ線検出器１４と同種のもの
とされ、例えばＸ線検出器１４に比例計数管を用いる場
合にはモニタ用検出器３３も比例計数管とされる。
１ａからはみ出す部分はＸ線ミラー３１によって反射さ
れ、この反射されたＸ線１８ｂがモニタ用検出器３３に
よって検出される。モニタ用検出器３３はこの例では支
持台３２の上面の他半部に設置されている。モニタ用検
出器３３はゴニオメータ１２の回転アーム１２ａ上に設
置されている試料１３用のＸ線検出器１４と同種のもの
とされ、例えばＸ線検出器１４に比例計数管を用いる場
合にはモニタ用検出器３３も比例計数管とされる。
【００１２】上記のように構成されたＸ線試験・検査装
置では、穴３１ａを有するＸ線ミラー３１によってＸ線
ビーム１８はその穴３１ａを通過するＸ線ビーム１８ａ
とＸ線ミラー３１によって反射されるＸ線１８ｂに分け
られ、Ｘ線ビーム１８ａが試料１３に入射されて反射さ
れ、その反射線２１がＸ線検出器１４によって検出され
る。一方、Ｘ線ミラー３１で反射されたＸ線１８ｂはモ
ニタ用検出器３３によって検出され、この検出値によ
り、Ｘ線検出器１４の検出値が較正される。
置では、穴３１ａを有するＸ線ミラー３１によってＸ線
ビーム１８はその穴３１ａを通過するＸ線ビーム１８ａ
とＸ線ミラー３１によって反射されるＸ線１８ｂに分け
られ、Ｘ線ビーム１８ａが試料１３に入射されて反射さ
れ、その反射線２１がＸ線検出器１４によって検出され
る。一方、Ｘ線ミラー３１で反射されたＸ線１８ｂはモ
ニタ用検出器３３によって検出され、この検出値によ
り、Ｘ線検出器１４の検出値が較正される。
【００１３】従って、試料１３の試験、検査において、
Ｘ線ビーム１８のパワー変動等の誤差要因を取り除くこ
とができ、さらにＸ線検出器１４及びモニタ用検出器３
３は同種のものであるため、Ｘ線ビーム１８の波長変動
によって検出効率に差が生じることもなく、よってＸ線
ビーム１８の波長が変動しても常に正確に較正すること
ができる。
Ｘ線ビーム１８のパワー変動等の誤差要因を取り除くこ
とができ、さらにＸ線検出器１４及びモニタ用検出器３
３は同種のものであるため、Ｘ線ビーム１８の波長変動
によって検出効率に差が生じることもなく、よってＸ線
ビーム１８の波長が変動しても常に正確に較正すること
ができる。
【００１４】試料１３に照射するＸ線ビーム１８ａの断
面形状は試験、検査の内容あるいは試料１３に応じて適
宜選択されるが、この例ではＸ線ミラー３１の穴３１ａ
の形状を変えればよく、つまり所要の穴形状を有するＸ
線ミラー３１に交換すればよく、簡易かつ安価にビーム
形状を変えることができる。図２ＣはＸ線ミラー３１に
円形の穴３１ａが形成されている例を示したものであ
る。
面形状は試験、検査の内容あるいは試料１３に応じて適
宜選択されるが、この例ではＸ線ミラー３１の穴３１ａ
の形状を変えればよく、つまり所要の穴形状を有するＸ
線ミラー３１に交換すればよく、簡易かつ安価にビーム
形状を変えることができる。図２ＣはＸ線ミラー３１に
円形の穴３１ａが形成されている例を示したものであ
る。
【００１５】なお、図１は試料１３からの反射線２１を
検出する装置例を示したものであるが、試料１３にＸ線
ビーム１８ａを照射して、その透過線をＸ線検出器で検
出する構造のＸ線試験・検査装置においてもこの発明を
実施できることは言うまでもない。
検出する装置例を示したものであるが、試料１３にＸ線
ビーム１８ａを照射して、その透過線をＸ線検出器で検
出する構造のＸ線試験・検査装置においてもこの発明を
実施できることは言うまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
試料１３用のＸ線検出器１４に、検出する反射線あるい
は透過線に適した検出器を用いることができ、かつ照射
するＸ線ビーム１８のパワー変動や波長変動等の変動要
因に起因する測定誤差の極めて少ない測定を行うことが
できる。よって、例えばＸ線源１７から発生するＸ線ビ
ーム１８が不安定な場合でも、試料１３の試験、検査を
常に精度良く行うことができる。
試料１３用のＸ線検出器１４に、検出する反射線あるい
は透過線に適した検出器を用いることができ、かつ照射
するＸ線ビーム１８のパワー変動や波長変動等の変動要
因に起因する測定誤差の極めて少ない測定を行うことが
できる。よって、例えばＸ線源１７から発生するＸ線ビ
ーム１８が不安定な場合でも、試料１３の試験、検査を
常に精度良く行うことができる。
【００１７】さらに、試料１３に入射させるＸ線ビーム
１８ａのビーム形状は、Ｘ線ミラー３１の交換により変
えることができ、極めて簡易かつ安価にビーム形状を変
えることができる。
１８ａのビーム形状は、Ｘ線ミラー３１の交換により変
えることができ、極めて簡易かつ安価にビーム形状を変
えることができる。
【図１】Ａはこの発明の一実施例を示す横断面図、Ｂは
その縦断面図。
その縦断面図。
【図２】ＡはＸ線ビームとＸ線ミラーの関係を説明する
ための図、ＢはＸ線ミラーの正面図、ＣはＸ線ミラーの
他の例を示す正面図。
ための図、ＢはＸ線ミラーの正面図、ＣはＸ線ミラーの
他の例を示す正面図。
【図３】Ａは従来のＸ線試験・検査装置を示す横断面
図、Ｂはその縦断面図。
図、Ｂはその縦断面図。
【図４】ＡはＸ線ビームとＭＣＰの関係を説明するため
の側面図、Ｂはその正面図。
の側面図、Ｂはその正面図。
１３ 試料 １４ Ｘ線検出器 １７ Ｘ線源 １８ Ｘ線ビーム ３１ Ｘ線ミラー ３３ モニタ用検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線源からのＸ線ビームを試料に照射
し、その反射線又は透過線をＸ線検出器で検出して上記
試料の試験、検査を行うＸ線試験・検査装置において、 上記Ｘ線ビームの通路を横断して設けられ、上記Ｘ線ビ
ームの通過形状を規定する穴を有するＸ線ミラーと、 そのＸ線ミラーで反射されたＸ線を検出する、上記Ｘ線
検出器と同種のモニタ用検出器とを具備することを特徴
とするＸ線試験・検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7112748A JPH08304308A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | Ｘ線試験・検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7112748A JPH08304308A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | Ｘ線試験・検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304308A true JPH08304308A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14594574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7112748A Pending JPH08304308A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | Ｘ線試験・検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304308A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013092498A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| CN104459754A (zh) * | 2014-12-18 | 2015-03-25 | 清华大学 | 一种集装箱检查系统加速器x射线能量的在线测量方法 |
-
1995
- 1995-05-11 JP JP7112748A patent/JPH08304308A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013092498A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| CN104459754A (zh) * | 2014-12-18 | 2015-03-25 | 清华大学 | 一种集装箱检查系统加速器x射线能量的在线测量方法 |
| US10031261B2 (en) | 2014-12-18 | 2018-07-24 | Tsinghua University | Method for measuring X-ray energy of an accelerator in an inspection system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4169228A (en) | X-ray analyzer for testing layered structures | |
| US4710642A (en) | Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth | |
| JP5280057B2 (ja) | Ｘ線散乱用のｘ線回折機器 | |
| US6947520B2 (en) | Beam centering and angle calibration for X-ray reflectometry | |
| US20040151278A1 (en) | Dual-wavelength x-ray monochromator | |
| JPH11502025A (ja) | 同時ｘ線回折及びｘ線蛍光測定のための装置 | |
| JPH04501175A (ja) | 楕円偏光解析による表面測定装置および方法 | |
| WO1997006430A1 (en) | Method and apparatus for total reflection x-ray fluorescence spectroscopy | |
| JP3889851B2 (ja) | 膜厚測定方法 | |
| JP2001165875A (ja) | 大型ウエーハ表面用検出器 | |
| JP4677217B2 (ja) | サンプル検査方法、サンプル検査装置、マイクロエレクトロニックデバイス製造用クラスタツール、マイクロエレクトロニックデバイス製造用装置 | |
| JP2002189004A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| US20230349846A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
| Claes et al. | Comparison of Grazing Emission XRF with Total Reflection XRF and Other X‐Ray Emission Techniques | |
| JPH08304308A (ja) | Ｘ線試験・検査装置 | |
| JPH06123717A (ja) | 複数条件螢光ｘ線定性分析方法 | |
| US6285736B1 (en) | Method for X-ray micro-diffraction measurement and X-ray micro-diffraction apparatus | |
| US6310937B1 (en) | X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel | |
| EP0894264B1 (en) | X-ray spectrometer with an analyzer crystal having a partly variable and a partly constant radius of curvature | |
| JP4257034B2 (ja) | グレージング出射条件におけるｘ線解析装置 | |
| JPH1114566A (ja) | Ｘ線回折測定及び蛍光ｘ線測定のためのｘ線装置 | |
| CN109459458A (zh) | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 | |
| JPH05119000A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2001133420A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JPH0552777A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置の入射角補正方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990615 |