HRP20230954T1 - Postupak za otkrivanje nepravilnosti na površini višesmjernim osvjetljenjem i povezani uređaj - Google Patents
Postupak za otkrivanje nepravilnosti na površini višesmjernim osvjetljenjem i povezani uređaj Download PDFInfo
- Publication number
- HRP20230954T1 HRP20230954T1 HRP20230954TT HRP20230954T HRP20230954T1 HR P20230954 T1 HRP20230954 T1 HR P20230954T1 HR P20230954T T HRP20230954T T HR P20230954TT HR P20230954 T HRP20230954 T HR P20230954T HR P20230954 T1 HRP20230954 T1 HR P20230954T1
- Authority
- HR
- Croatia
- Prior art keywords
- point
- detection method
- illumination
- optical
- irregularity
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 title 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 11
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 8
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
- G01N2021/8816—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using multiple sources, e.g. LEDs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Claims (11)
1. Postupak za otkrivanje nepravilnosti na površini (12), pri čemu taj postupak obuhvaća sljedeće korake:
- dobivanje (100) većeg broja slika (200) površine (12) pomoću optičkog uređaja (14) koji ima optičku os, pri čemu se svaka slika (200) izrađuje s osvjetljenjem površine u smjeru (E, E') osvjetljenja koji je dan za svaku točku površine (12) i s optičkom osi optičkog uređaja u navedenom optičkom smjeru (O), pri čemu se slike (200) dobivaju s različitim smjerovima (E, E') osvjetljenja ili različitim kombinacijama smjerova osvjetljenja i/ili s različitim optičkim smjerovima (O);
- računanje (102) većeg broja parametara za svaku točku (202) površine (200) na temelju dobivenih slika (200), pri čemu navedeni parametri obuhvaćaju koeficijente jednadžbe koja karakterizira odgovor navedene točke (202) površine u ovisnosti od smjera (E, E’) osvjetljenja i smjera (B, B’) promatranja;
- zaključivanje (104) da li u navedenoj točki (202) površine (12) postoji nepravilnost na temelju izračunatih parametara, naznačen time, što se
nepravilnost u navedenoj točki (202) otkriva kada se najmanje jedan parametar u navedenoj točki razlikuje od vrijednosti koja je izabrana kao prag otkrivanja u odnosu na pozadinski šum navedenog parametra u susjednoj točki, pri čemu u susjednoj točki površine (12) ne postoji nepravilnost.
2. Postupak za otkrivanje prema zahtjevu 1, naznačen time, što je optički smjer (O) isti za veći broj slika (200).
3. Postupak za otkrivanje prema zahtjevu 2, naznačen time, što je optički smjer (O) uglavnom okomit na površinu (12).
4. Postupak za otkrivanje prema bilo kojem od prethodnih zahtjeva, naznačen time, što se osvjetljenje izvodi pomoću uređaja (15) za osvjetljenje, gdje uređaj (15) za osvjetljenje sadrži prvi broj izvora (16) svjetlosti, pri čemu je taj prvi broj veći od šest, gdje svaki izvor (16) svjetlosti ima različiti smjer (E, E') osvjetljenja za svaku dobivenu sliku, pri čemu svijetli jedan izvor svjetlosti ili definirana kombinacija izvora (16), pri čemu se jedan izvor svjetlosti ili kombinacija (16) razlikuje za svaku dobivenu sliku (200).
5. Postupak za otkrivanje prema zahtjevu 4, naznačen time, što izvori (16) svjetlosti imaju istovrsnu jačinu osvjetljenja.
6. Postupak za otkrivanje prema zahtjevu 4 ili 5, naznačen time, što su izvori (16) svjetlosti postavljeni u polukuglu (20) koja okružuje površinu (12).
7. Postupak za otkrivanje prema bilo kojem od zahtjeva 4 do 6, naznačen time, što uređaj (15) za osvjetljenje sadrži jedan izvor svjetlosti koji se može pomicati u prvi broj položaja u odnosu na površinu ili više njih.
8. Postupak za otkrivanje prema bilo kojem od prethodnih zahtjeva, naznačen time, što računanje parametara za svaku točku površine obuhvaća sljedeće korake:
- definiranje (106) veličine koja se mijenja u ovisnosti od dobivenih slika,
- izbor (108) modela površine za promjenu veličine, koji ovisi o smjeru ili smjerovima (E, E') osvjetljenja i/ili smjeru (B, B’) promatranja, pri čemu navedeni model sadrži koeficijente i
- računanje koeficijenata (110) regresijom promjene veličine.
9. Postupak za otkrivanje prema zahtjevu 8, naznačen time, što veličina odgovara intenzitetu sive boje točke (202) površine (12), pri čemu model ovisi o smjeru (E, E’) osvjetljenja.
10. Postupak za otkrivanje prema bilo kojem od prethodnih zahtjeva, naznačen time, što se nepravilnost u navedenoj točki (202) otkriva kada najmanje jedan parametar u navedenoj točki odstupa od definiranog opsega.
11. Postupak za otkrivanje prema bilo kojem od prethodnih zahtjeva, naznačen time, što se nepravilnost u navedenoj točki (202) otkriva kada najmanje jedan parametar u navedenoj točki odstupa od opsega centriranog oko srednje vrijednosti navedenog parametra na skupu točaka površine (12).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1652980A FR3049709B1 (fr) | 2016-04-05 | 2016-04-05 | Procede de detection d'un defaut sur une surface par eclairage multidirectionnel et dispositif associe |
PCT/EP2017/058162 WO2017174683A1 (fr) | 2016-04-05 | 2017-04-05 | Procédé de détection d'un défaut sur une surface par éclairage multidirectionnel et dispositif associé |
EP17714822.8A EP3440452B1 (fr) | 2016-04-05 | 2017-04-05 | Procédé de détection d'un défaut sur une surface par éclairage multidirectionnel et dispositif associé |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
HRP20230954T1 true HRP20230954T1 (hr) | 2023-11-24 |
Family
ID=56741146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
HRP20230954TT HRP20230954T1 (hr) | 2016-04-05 | 2017-04-05 | Postupak za otkrivanje nepravilnosti na površini višesmjernim osvjetljenjem i povezani uređaj |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10648920B2 (hr) |
EP (1) | EP3440452B1 (hr) |
JP (1) | JP7078543B2 (hr) |
CN (1) | CN108885181B (hr) |
BR (1) | BR112018069960B1 (hr) |
ES (1) | ES2956762T3 (hr) |
FI (1) | FI3440452T3 (hr) |
FR (1) | FR3049709B1 (hr) |
HR (1) | HRP20230954T1 (hr) |
SA (1) | SA518400151B1 (hr) |
WO (1) | WO2017174683A1 (hr) |
ZA (1) | ZA201806534B (hr) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3103602B1 (fr) * | 2019-11-21 | 2021-12-10 | Ingenico Group | Terminal de paiement électronique, procédé d’optimisation du fonctionnement et programme d’ordinateur correspondants |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5952735A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Kawasaki Steel Corp | 熱間鋼片の表面欠陥検出方法 |
US5313542A (en) * | 1992-11-30 | 1994-05-17 | Breault Research Organization, Inc. | Apparatus and method of rapidly measuring hemispherical scattered or radiated light |
US6327374B1 (en) * | 1999-02-18 | 2001-12-04 | Thermo Radiometrie Oy | Arrangement and method for inspection of surface quality |
FR2806478B1 (fr) * | 2000-03-14 | 2002-05-10 | Optomachines | Dispositif et procede de controle optique de pieces de vaisselle comme des assiettes emaillees ou tout produit ceramique emaille |
US6850637B1 (en) * | 2000-06-28 | 2005-02-01 | Teradyne, Inc. | Lighting arrangement for automated optical inspection system |
US7113313B2 (en) * | 2001-06-04 | 2006-09-26 | Agilent Technologies, Inc. | Dome-shaped apparatus for inspecting a component or a printed circuit board device |
JP2003098100A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Konica Corp | 表面欠陥検査装置 |
FR2858412B1 (fr) | 2003-07-31 | 2007-03-30 | Stephane Louis Frederi Perquis | Systeme et procede de mesure de l'aspect visuel des materiaux. |
US20050180160A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-18 | Brett K. Nelson | Hemispherical illuminator for three dimensional inspection |
DE102004034160A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
KR101256391B1 (ko) * | 2004-10-08 | 2013-04-25 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 테스트 표면의 광학 검사 |
WO2007069457A1 (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-21 | Nikon Corporation | 表面検査装置および表面検査方法 |
JP2008070145A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 印刷物検査装置及び印刷物検査方法 |
CN100547387C (zh) * | 2006-09-22 | 2009-10-07 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 地面brdf自动测量架 |
US8103491B2 (en) * | 2006-11-20 | 2012-01-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for generating bidirectional reflectance distribution functions of gonioapparent materials with limited measurement data |
ATE497159T1 (de) * | 2006-11-20 | 2011-02-15 | Du Pont | Verfahren zur erzeugung bidirektionaler reflektanzverteilungsfunktionen gonioapparenter materialien mit begrenzten messdaten |
US8280144B2 (en) * | 2007-02-21 | 2012-10-02 | Goldfinch Solutions, Llc | System and method for analyzing material properties using hyperspectral imaging |
US7929142B2 (en) * | 2007-09-25 | 2011-04-19 | Microsoft Corporation | Photodiode-based bi-directional reflectance distribution function (BRDF) measurement |
JP5882730B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2016-03-09 | 株式会社ブリヂストン | 外観検査装置及び外観検査方法 |
FI125320B (en) * | 2012-01-05 | 2015-08-31 | Helmee Imaging Oy | ORGANIZATION AND SIMILAR METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS |
CN102590150B (zh) * | 2012-03-01 | 2014-02-26 | 浙江大学 | 室内高光谱brdf测定系统 |
JP6053506B2 (ja) * | 2012-12-25 | 2016-12-27 | キヤノン株式会社 | 反射特性の測定装置 |
JP6119663B2 (ja) * | 2014-04-25 | 2017-04-26 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
JP6287360B2 (ja) * | 2014-03-06 | 2018-03-07 | オムロン株式会社 | 検査装置 |
US9885671B2 (en) * | 2014-06-09 | 2018-02-06 | Kla-Tencor Corporation | Miniaturized imaging apparatus for wafer edge |
JP6470506B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2019-02-13 | 株式会社キーエンス | 検査装置 |
JP6405124B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-10-17 | 株式会社キーエンス | 検査装置、検査方法およびプログラム |
JP6424020B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-11-14 | 株式会社キーエンス | 画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
CN104897616B (zh) * | 2015-05-26 | 2017-09-01 | 北京理工大学 | 任意形状样品多光谱双向反射分布函数的测量方法和系统 |
-
2016
- 2016-04-05 FR FR1652980A patent/FR3049709B1/fr active Active
-
2017
- 2017-04-05 FI FIEP17714822.8T patent/FI3440452T3/fi active
- 2017-04-05 ES ES17714822T patent/ES2956762T3/es active Active
- 2017-04-05 BR BR112018069960-8A patent/BR112018069960B1/pt active IP Right Grant
- 2017-04-05 WO PCT/EP2017/058162 patent/WO2017174683A1/fr active Application Filing
- 2017-04-05 EP EP17714822.8A patent/EP3440452B1/fr active Active
- 2017-04-05 US US16/091,682 patent/US10648920B2/en active Active
- 2017-04-05 JP JP2018552217A patent/JP7078543B2/ja active Active
- 2017-04-05 CN CN201780021518.5A patent/CN108885181B/zh active Active
- 2017-04-05 HR HRP20230954TT patent/HRP20230954T1/hr unknown
-
2018
- 2018-09-30 SA SA518400151A patent/SA518400151B1/ar unknown
- 2018-10-02 ZA ZA2018/06534A patent/ZA201806534B/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI3440452T3 (fi) | 2023-10-02 |
ES2956762T3 (es) | 2023-12-27 |
BR112018069960B1 (pt) | 2022-11-16 |
JP2019510981A (ja) | 2019-04-18 |
FR3049709B1 (fr) | 2019-08-30 |
CN108885181B (zh) | 2021-01-29 |
EP3440452B1 (fr) | 2023-08-02 |
SA518400151B1 (ar) | 2022-12-05 |
CN108885181A (zh) | 2018-11-23 |
JP7078543B2 (ja) | 2022-05-31 |
ZA201806534B (en) | 2019-08-28 |
EP3440452A1 (fr) | 2019-02-13 |
FR3049709A1 (fr) | 2017-10-06 |
WO2017174683A1 (fr) | 2017-10-12 |
US20190162674A1 (en) | 2019-05-30 |
BR112018069960A2 (pt) | 2019-02-05 |
US10648920B2 (en) | 2020-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
BR112018069911A2 (pt) | dispositivo de inspeção de defeito de superfície e método para lâminas de aço | |
RU2016121162A (ru) | Система и способ управления транспортным средством на основе камеры | |
JP2016534329A5 (hr) | ||
JP2016528549A5 (hr) | ||
EP3139213A3 (en) | Defect inspecting method, sorting method and producing method for photomask blank | |
JP2013016710A5 (hr) | ||
WO2013048093A3 (ko) | 비접촉식 부품검사장치 및 부품검사방법 | |
BR102018015681A8 (pt) | Método para inspecionar uma peça de trabalho, sistema de inspeção, e, linha de fabricação de aeronave | |
JP2014115109A5 (hr) | ||
WO2013039340A3 (ko) | 평판 패널 검사방법 | |
EP2793067A3 (de) | Verfahren zur Beleuchtung eines Objektes in einem digitalen Lichtmikroskop, digitales Lichtmikroskop und Hellfeld-Auflichtbeleuchtungsvorrichtung für ein digitales Lichtmikroskop | |
EP3109700A3 (en) | Defect inspecting method, sorting method, and producing method for photomask blank | |
JP2016534329A (ja) | 欠陥検査システム及び方法 | |
JP2010021443A5 (hr) | ||
JP7506429B2 (ja) | 滑走路照明灯の検査装置 | |
FI20165678A (fi) | Menetelmä ja laitteisto kuulapuhalluksen ohjaamiseksi | |
HRP20230954T1 (hr) | Postupak za otkrivanje nepravilnosti na površini višesmjernim osvjetljenjem i povezani uređaj | |
WO2014017977A8 (en) | Method and apparatus for determining coplanarity in integrated circuit packages | |
EP3088798A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur anordnung eines schaltungsträgers mit einer halbleiterlichtquelle in einer bestimmten lage relativ zu einem optischen system einer beleuchtungseinrichtung | |
JP2018505385A (ja) | 製造ラインでタイヤをチェックする方法および装置 | |
MY196733A (en) | Intraocular lens inspection | |
EP3174011A3 (en) | Processing apparatus, processing system, image pickup apparatus, processing method, and processing program | |
MX2021010741A (es) | Sistema y metodo para inspeccionar un cilindro transparente. | |
KR20110119079A (ko) | 기판검사장치 및 기판검사방법 | |
JP6371720B2 (ja) | 鉄道用発光機の検査方法、鉄道用発光機の検査装置 |