HRP20150253T1 - Postupak proizvodnje monokristalnih metalnih ili polumetalnih tijela - Google Patents
Postupak proizvodnje monokristalnih metalnih ili polumetalnih tijela Download PDFInfo
- Publication number
- HRP20150253T1 HRP20150253T1 HRP20150253TT HRP20150253T HRP20150253T1 HR P20150253 T1 HRP20150253 T1 HR P20150253T1 HR P20150253T T HRP20150253T T HR P20150253TT HR P20150253 T HRP20150253 T HR P20150253T HR P20150253 T1 HRP20150253 T1 HR P20150253T1
- Authority
- HR
- Croatia
- Prior art keywords
- melting pot
- seeding
- crystal
- plate
- metallic
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 51
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 51
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 35
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 claims 24
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 11
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims 10
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 9
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims 2
- 238000002231 Czochralski process Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/14—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method characterised by the seed, e.g. its crystallographic orientation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Claims (13)
1. Postupak proizvodnje monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela usmjerenim stvrdnjavanjem, gdje:
polumetalnu ili metalnu sirovinu (32-34) se tali u loncu za taljenje (2, 4) kako bi se dobilo talinu (3) ili se u lonac za taljenje dodaje talina polumetala ili metala,
gdje se talina usmjereno stvrdnjava pod utjecajem temperaturnog gradijenta koji ide u okomitom smjeru od gornjeg kraja lonca za taljenje (2, 4) do njegovog donjeg kraja i u prisutnosti vodoravne granice faza između tekućeg i čvrstog stanja tijekom usmjerenog stvrdnjavanja u monokristalno metalno ili polumetalno tijelo,
prije dodavanja polumetalne ili metalne sirovine (32-34) ili taline u lonac za taljenje (2, 4) dno lonca za taljenje se potpuno prekrije slojem s tankom monokristalnom pločom za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) sa smjerom kristala uzdužnim okomitom smjeru lonca za taljenje (2, 4);
gdje se temperaturu dna lonca za taljenje (2, 4) drži na temperaturi nižoj od tališta sirovine (32-34) ili taline kako bi se spriječilo taljenje sloja s kristalnom pločom za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) u svakom slučaju dolje na dnu lonca za taljenje (2, 4); naznačen time što u postupku:
sloj s tankom monokristalnom pločom za zasijavanje sadrži više tankih monokristalnih ploča za zasijavanje (31a-31d; 31a-b) iste veličine posloženih neposredno jedna uz drugu kako bi potpuno prekrile dno lonca za taljenje (2, 4) ili sadrži jednu monokristalnu ploču za zasijavanje u kojoj nastaje najmanje jedna dislokacijska linija, koja dijeli jednu monokristalnu ploču za zasijavanje na odjeljke kristalne ploče za zasijavanje (1a-31d; 36a-d; 36a-b) iste veličine;
gdje monokristalni metal ili polumetalnino tijelo (35) se podijeli piljenjem duž najmanje jedne linije piljenja (37, 38) koja se pruža uzdužno smjeru kristala u više monokristalnih metalnih ili polumetalnih tijela; a
početak odgovarajuće linije piljenja (37, 38) se tako bira da je navedeni početak određen rubom kristalne ploče za zasijavanje (36a-d; 36a-b) ili odgovarajućom dislokacijskom linijom unutar jedne monokristalne ploče za zasijavanje;
gdje grijač koji okružuje lonac za taljenje (2, 4) sadrži gornji grijač (6), donji grijač (5) i pljosnati grijač (7) koji okružuje bočne stijenke lonca za taljenje (2, 4), gdje
ogrjevna snaga pljosnatog grijača (7) opada tijekom usmjerenog stvrdnjavanja od gornjeg kraja prema donjem kraju lonca za taljenje (2, 4) prema temperaturnom gradijentu na sredini lonca za taljenje; a
pljosnati grijač (7) sadrži više grijaćih elemenata (10-13) koji vijugaju u uzdužnom smjeru lonca za taljenje (2, 4) ili poprečno na isti, te koji su dodani kao premoštenja (10-13) koja se pružaju poprečno na uzdužni smjer, gdje se poprečni presjeci vodilica povećavaju od gornjeg kraja prema donjem kraju u više pojedinačnih koraka;
gdje lonac za taljenje (2, 4) ima pravokutan ili kvadratni poprečni presjek;
u područjima uglova lonca za taljenje (2, 4) ogrjevna snaga je veća ili je razmak između stijenke lonca za taljenje i pljosnatog grijača (7) manji nego u drugim područjima; a
premoštenja (10-13) su dodana po poprečnom presjeku vodilice, suženom na područjima povrata (15-17) vijugavog tijeka.
2. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 1, naznačen time što se odgovarajuću kristalnu ploču za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) odsječe od monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela proizvedenog usmjerenim stvrdnjavanjem taline u dodatnom loncu za taljenje, gdje se prije dodavanja polumetalne ili metalne sirovine (32-34) ili taline u dodatni lonac za taljenje (2, 4) dno dodatnog lonca za taljenje potpuno prekrije slojem s tankom monokristalnom pločom za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) sa smjerom kristala uzdužnim okomitom smjeru dodatnog lonca za taljenje (2, 4);
gdje se temperaturu dna dodatnog lonca za taljenje (2, 4) drži na temperaturi nižoj od tališta sirovine (32-34) ili taline kako bi se spriječilo taljenje sloja s kristalnom pločom za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) u svakom slučaju dolje na dnu lonca za taljenje (2, 4);
gdje sloj s tankom monokristalnom pločom za zasijavanje sadrži više tankih monokristalnih ploča za zasijavanje (31 a-d; 31a-b) iste veličine posloženih neposredno jedna uz drugu kako bi potpuno prekrile dno lonca za taljenje (2, 4) ili jednu monokristalnu ploču za zasijavanje u kojoj nastaje najmanje jedna dislokacijska linija, koja dijeli jednu monokristalnu ploču za zasijavanje na odjeljke kristalne ploče za zasijavanje (31a-31d; 36a-d; 36a-b) iste veličine.
3. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 2, naznačen time što temperaturni gradijent tijekom usmjerenog stvrdnjavanja prethodne šarže uzrokuje ravnu, vodoravnu granicu faza između tekućeg i čvrstog stanja polumetala ili metala.
4. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 1, naznačen time što je na početku proizvodnje kristalne ploče za zasijavanje samo mali središnji dio dna dodatnog lonca za taljenje (2, 4) prekriven tankom monokristalnom pločom za zasijavanje (31a) sa smjerom kristala uzdužnim okomitom smjeru lonca za taljenje (2, 4), gdje temperaturni gradijent tijekom usmjerenog stvrdnjavanja taline u dodatnom loncu za taljenje uzrokuje izbočenost granice faza između tekućeg i čvrstog stanja polumetala ili metala, tako da poprečni presjek monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela proizvedenog tijekom usmjerenog stvrdnjavanja povećava svoju veličinu u smjeru gornjeg kraja dodatnog lonca za taljenje, gdje se jedna monokristalna ploča za zasijavanje (31a) ili više monokristalnih ploča za zasijavanje odsjeca od gornjeg kraja ili blizu gornjeg kraja tako proizvedenog monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela.
5. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 1, naznačen time što se odgovarajuća kristalna ploča za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) proizvodi odsjecanjem najmanje dvije kristalne ploče za zasijavanje (31a-31d; 36a-d; 36a-b) s osnovnim oblikom pravokutnika ili kvadrata od monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela proizvedenog zonskim taljenjem ili postupkom prema Czochralskom,
potpunim prekrivanjem dna dodatnog lonca za taljenje s navedene najmanje dvije kristalne ploče za zasijavanje sa smjerom kristala uzdužnim okomitom smjeru dodatnog lonca za taljenje (2, 4),
taljenjem polumetalne ili metalne sirovine (32-34) u dodatnom loncu za taljenje kako bi se dobila talina (3) ili dodavanjem taline polumetala ili metala u dodatni lonac za taljenje,
usmjerenim stvrdnjavanjem taline pod utjecajem temperaturnog gradijenta koji ide u okomitom smjeru i od gornjeg kraja dodatnog lonca za taljenje (2, 4) do njegovog donjeg kraja kako bi se dobilo monokristalno metalno ili polumetalno tijelo, i
odsjecanjem odgovarajuće kristalne ploče za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) od monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela dobivenog usmjerenim stvrdnjavanjem,
gdje se temperaturu dna dodatnog lonca za taljenje (2, 4) drži na temperaturi nižoj od tališta sirovine (32-34) ili taline kako bi se u svakom slučaju spriječilo taljenje sloja s kristalnom pločom za zasijavanje dolje na dnu dodatnog lonca za taljenje (2, 4).
6. Postupak u skladu s bilo kojim od patentnih zahtjeva 2 do 5, naznačen time što se odgovarajuću kristalnu ploču za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) se dodatno odsječe od usmjerenog stvrdnjavanja monokristalnog metalnog ili polumetalnog tijela piljenjem u smjeru poprečnom na okomiti smjer.
7. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 6, naznačen time što se odgovarajuću kristalnu ploču za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b) dodatno presječe piljenjem u smjeru uzdužnom okomitom smjeru, gdje se početak odgovarajuće linije piljenja tako bira da je navedeni početak određen bilo rubom kristalne ploče za zasijavanje (36a-d; 36a-b) ili odgovarajućom dislokacijskom linijom unutar jedne monokristalne ploče za zasijavanje.
8. Postupak u skladu s bilo kojim od prethodnih patentnih zahtjeva, naznačen time što se smjer temperaturnog gradijenta nikad ne mijenja tijekom taljenja polumetalne ili metalne sirovine u loncu za taljenje i tijekom usmjerenog stvrdnjavanja taline u loncu za taljenje.
9. Postupak u skladu s bilo kojim od prethodnih patentnih zahtjeva, naznačen time što je polumetal silicij, a temperaturu dna lonca za taljenje se drži ispod 1.400 °C, poželjnije ispod 1.380 °C.
10. Postupak u skladu s bilo kojim od prethodnih patentnih zahtjeva, naznačen time što lonac za taljenje (2, 4) ima pravokutan ili kvadratni poprečni presjek.
11. Postupak u skladu s bilo kojim od prethodnih patentnih zahtjeva, naznačen time što su premoštenja (10-13) dodana u područjima povrata uz poprečni presjek vodilice, sužen u kosom smjeru, tako da je poprečni presjek vodilice isti kao poprečni presjek vodilice za odgovarajuće premoštenje ispred ili iza odgovarajućeg područja povrata.
12. Postupak u skladu s patentnim zahtjevom 11, naznačen time što suženja poprečnih presjeka vodilice u područjima povrata (15-17) nastaju zbog nastanka više rupa ili udubina unutar ili izvan premosnog materijala, gdje su navedene rupe ili udubine raspodijeljene poprečno u odnosu na poprečni presjek vodilice.
13. Postupak u skladu s bilo kojim od prethodnih patentnih zahtjeva, naznačen time što je polumetalna ili metalna sirovina silicij u grumenima, granulama koji se tali počevši od gornjeg ruba lonca za taljenje, tako da istaljeni, tekući silicij teče ili se cijedi niz punilicu za silicij, gdje
radi dopunjavanja lonca za taljenje, gdje se granule sirovog silicija (34), po mogućnosti srednje ili fine veličine zrna, dodaje na dno prekriveno slojem s kristalnom pločom za zasijavanje (31; 31a-31d; 36a-d; 36a-b),
najprije se dodaje granule silicija (34) u tankom sloju, a zatim velike ploče silicija (32) u vodoravnom smjeru, tako da se svaka od navedenih ploča pruža od sredine lonca za taljenje uglavnom do njegovih unutarnjih stijenki, i/ili ih se dodaje u okomitom smjeru, tako da se navedene ploče uglavnom pružaju do gornjeg ruba lonca za taljenje,
velike ploče silicija (32) se prekriva dodatnim granulama silicija (34), i
punilicu za silicij se na kraju prekriva manjim komadima silicija (33).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007038851A DE102007038851A1 (de) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | Verfahren zur Herstellung von monokristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern |
EP08161248.3A EP2028292B1 (de) | 2007-08-16 | 2008-07-28 | Verfahren zur Herstellung von monokristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
HRP20150253T1 true HRP20150253T1 (hr) | 2015-06-05 |
Family
ID=39816878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
HRP20150253TT HRP20150253T1 (hr) | 2007-08-16 | 2015-03-06 | Postupak proizvodnje monokristalnih metalnih ili polumetalnih tijela |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090047203A1 (hr) |
EP (1) | EP2028292B1 (hr) |
DE (1) | DE102007038851A1 (hr) |
HR (1) | HRP20150253T1 (hr) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2839505B1 (fr) * | 2002-05-07 | 2005-07-15 | Univ Claude Bernard Lyon | Procede pour modifier les proprietes d'une couche mince et substrat faisant application du procede |
US20070151504A1 (en) * | 2005-10-19 | 2007-07-05 | General Electric Company | Quartz glass crucible and method for treating surface of quartz glass crucible |
KR101136143B1 (ko) * | 2009-09-05 | 2012-04-17 | 주식회사 크리스텍 | 사파이어 단결정 성장방법과 그 장치 |
DE102009045680B4 (de) | 2009-10-14 | 2012-03-22 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Siliziumblöcken aus der Schmelze durch gerichtete Erstarrung |
US8647433B2 (en) * | 2009-12-13 | 2014-02-11 | Axt, Inc. | Germanium ingots/wafers having low micro-pit density (MPD) as well as systems and methods for manufacturing same |
DE102010029741B4 (de) * | 2010-06-07 | 2013-02-28 | Solarworld Innovations Gmbh | Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern, Silizium Wafer und Verwendung eines Silizium-Wafer als Silizium-Solarzelle |
TWI534307B (zh) | 2010-06-15 | 2016-05-21 | 中美矽晶製品股份有限公司 | 製造矽晶鑄錠之方法 |
US20120260845A1 (en) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | Rec Silicon Inc | Polysilicon system |
CN102758242B (zh) * | 2011-04-25 | 2015-04-08 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种单晶硅铸锭的装料方法及单晶硅铸锭方法 |
CN102206857A (zh) * | 2011-04-30 | 2011-10-05 | 常州天合光能有限公司 | 111晶向铸锭硅单晶及其制备方法 |
CN102797036B (zh) * | 2011-05-26 | 2016-06-15 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 多晶硅锭及其制造方法、太阳能电池 |
DE102011076860B4 (de) | 2011-06-01 | 2016-01-14 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Verfahren zur gerichteten Kristallisation von Ingots |
US20130252011A1 (en) * | 2011-09-14 | 2013-09-26 | MEMC Singapore, Pte. Ltd. (UEN200614797D) | Multi-Crystalline Silicon Ingot And Directional Solidification Furnace |
EP2589687A1 (en) | 2011-11-04 | 2013-05-08 | Vesuvius France (S.A.) | Crucible and method for the production of a (near ) monocrystalline semiconductor ingot |
DE102011086669B4 (de) * | 2011-11-18 | 2016-08-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken sowie Silizium-Block |
US10065863B2 (en) * | 2011-11-28 | 2018-09-04 | Sino-American Silicon Products Inc. | Poly-crystalline silicon ingot having a nucleation promotion layer comprising a plurality of chips and chunks of poly-crystalline silicon on the bottom |
US9493357B2 (en) * | 2011-11-28 | 2016-11-15 | Sino-American Silicon Products Inc. | Method of fabricating crystalline silicon ingot including nucleation promotion layer |
GB2497120A (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-05 | Rec Wafer Norway As | Production of mono-crystalline silicon |
DE102011087759B4 (de) * | 2011-12-05 | 2018-11-08 | Solarworld Industries Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Silizium-Ingots und Silizium-Ingot |
DE102011056404A1 (de) | 2011-12-14 | 2013-06-20 | Schott Solar Ag | Verfahren zur Qualitätsermittlung eines Siliciumwafers |
DE102012100147A1 (de) | 2012-01-10 | 2012-12-13 | Schott Solar Ag | Verfahren zur Herstellung von mono-, quasimono- oder multikristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern |
US20130193559A1 (en) * | 2012-01-27 | 2013-08-01 | Memc Singapore Pte. Ltd. (Uen200614794D) | CAST SILICON ingot prepared BY DIRECTIONAL SOLIDIFICATION |
US20150086464A1 (en) * | 2012-01-27 | 2015-03-26 | Gtat Corporation | Method of producing monocrystalline silicon |
TWI580825B (zh) * | 2012-01-27 | 2017-05-01 | Memc新加坡有限公司 | 藉由定向固化作用製備鑄態矽之方法 |
CN102703965A (zh) * | 2012-05-08 | 2012-10-03 | 常州天合光能有限公司 | 一种降低铸锭硅单晶晶体缺陷的方法 |
GB2502102A (en) * | 2012-05-16 | 2013-11-20 | Rec Wafer Norway As | Improved production of monocrystalline silicon |
KR102144135B1 (ko) * | 2013-03-11 | 2020-08-12 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 반도체 장치용 실리콘 부재 및 반도체 장치용 실리콘 부재의 제조 방법 |
DE102013107188A1 (de) | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Schott Ag | Rohling aus Silizium, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung desselben |
DE102013107189A1 (de) | 2013-03-22 | 2014-09-25 | Schott Ag | Rohling aus Silizium, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung desselben |
WO2014147262A1 (de) | 2013-03-22 | 2014-09-25 | Schott Ag | Rohling aus silizium, verfahren zu dessen herstellung sowie verwendung desselben |
DE102013107193A1 (de) | 2013-04-08 | 2014-10-09 | Schott Ag | Rohling aus Silizium, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung desselben |
CN103255472B (zh) * | 2013-04-25 | 2016-12-28 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 具有双电源加热的区熔炉热场及保温方法 |
CN103255473B (zh) * | 2013-04-25 | 2016-06-29 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于区熔炉的辅助加热装置及其单晶棒保温方法 |
FR3005966B1 (fr) * | 2013-05-27 | 2016-12-30 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'un lingot de silicium par reprise sur germes en four de solidification dirigee |
FR3005967B1 (fr) * | 2013-05-27 | 2017-06-02 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'un lingot de silicium dote de joints de grains symetriques |
CN103789829B (zh) * | 2014-02-11 | 2016-03-02 | 英利能源(中国)有限公司 | 硅锭底部晶粒均匀成核的方法 |
WO2015127157A2 (en) | 2014-02-21 | 2015-08-27 | Momentive Performance Materials Inc. | Multi-zone variable power density heater apparatus containing and methods of using the same |
FR3029941B1 (fr) * | 2014-12-12 | 2019-10-11 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Pavage de germes |
JP6850004B2 (ja) * | 2015-04-29 | 2021-03-31 | 1366 テクノロジーズ インク. | 材料が消費及び補給される溶融材料の含有体積を維持する方法 |
US10435814B2 (en) * | 2015-10-30 | 2019-10-08 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Single metal crystals |
JP6629886B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2020-01-15 | 株式会社クリスタルシステム | 単結晶製造装置 |
DE102018200571A1 (de) | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Materialkörpers und zur Herstellung eines optischen Elements, optisches Element und Behälter |
WO2019186871A1 (ja) | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 株式会社クリスタルシステム | 単結晶製造装置および単結晶製造方法 |
DE102018207759A1 (de) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Substrats für ein optisches Element und reflektierendes optisches Element |
AT522892A1 (de) * | 2019-08-26 | 2021-03-15 | Lkr Leichtmetallkompetenzzentrum Ranshofen Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Gussstückes bevorzugt als Vormaterial |
CN113026088A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 晶体硅锭的制备方法 |
CN113089074B (zh) * | 2021-03-30 | 2023-01-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Dkdp晶体长籽晶二维运动生长方法 |
CN114455591B (zh) * | 2022-01-18 | 2023-08-18 | 山西宏晟利隆科技有限公司 | 一种工业制造二氧化硅设备 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1020311A (en) * | 1961-01-20 | 1966-02-16 | Eisler Paul | Electrical heating film |
US3538767A (en) * | 1968-12-04 | 1970-11-10 | Gen Electric | Flowmeter fluid drive |
US3939035A (en) * | 1971-03-31 | 1976-02-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of producing monocrystalline semiconductor material, particularly silicon, with adjustable dislocation density |
US3898051A (en) * | 1973-12-28 | 1975-08-05 | Crystal Syst | Crystal growing |
US4256774A (en) * | 1977-07-11 | 1981-03-17 | The Procter & Gamble Company | Decaffeination process |
US4256530A (en) | 1978-12-07 | 1981-03-17 | Crystal Systems Inc. | Crystal growing |
US4381214A (en) | 1980-06-26 | 1983-04-26 | The General Electric Company Limited | Process for growing crystals |
US4404172A (en) * | 1981-01-05 | 1983-09-13 | Western Electric Company, Inc. | Method and apparatus for forming and growing a single crystal of a semiconductor compound |
FR2567922B1 (fr) * | 1984-07-18 | 1987-05-07 | Commissariat Energie Atomique | Four de cristallogenese |
DE3532131A1 (de) | 1985-09-10 | 1987-03-12 | Bayer Ag | Verfahren zur gerichteten erstarrung von metallschmelzen |
DD298532A5 (de) * | 1988-06-03 | 1992-02-27 | Veb Carl Zeiss Jena,De | Verfahren zur zuechtung von quarzkeimkristallen |
US4946542A (en) * | 1988-12-05 | 1990-08-07 | At&T Bell Laboratories | Crystal growth method in crucible with step portion |
DE4018967A1 (de) * | 1990-06-13 | 1991-12-19 | Wacker Chemitronic | Verfahren und vorrichtung zum giessen von siliciumbloecken mit kolumnarstruktur als grundmaterial fuer solarzellen |
EP0631832B1 (de) | 1993-07-02 | 1998-05-20 | ALD Vacuum Technologies GmbH | Verfahren zum gerichteten Erstarren einer Metallschmelze und Giessvorrichtung zu seiner Durchführung |
JP3242292B2 (ja) | 1995-06-15 | 2001-12-25 | シャープ株式会社 | 多結晶半導体の製造方法および製造装置 |
JPH107493A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-13 | Sharp Corp | シリコン半導体基板および太陽電池用基板の製造方法 |
JP3520957B2 (ja) | 1997-06-23 | 2004-04-19 | シャープ株式会社 | 多結晶半導体インゴットの製造方法および装置 |
EP0996516B1 (de) | 1997-07-16 | 2001-08-29 | ALD Vacuum Technologies GmbH | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von werkstücken oder blöcken aus schmelzbaren materialien |
DE19855061B4 (de) | 1998-11-28 | 2012-05-16 | Ald Vacuum Technologies Ag | Schmelzofen zum Schmelzen von Silizium |
DE10021585C1 (de) | 2000-05-04 | 2002-02-28 | Ald Vacuum Techn Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Einschmelzen und Erstarren von Metallen und Halbmetallen in einer Kokille |
DE10239104B4 (de) * | 2002-08-27 | 2006-12-14 | Crystal Growing Systems Gmbh | Kristallzüchtungsofen, nämlich Vertical-Bridgman- oder Vertical-Gradient-Freeze-Kristallzüchtungsofen mit einem Mantelheizer und Verfahren zur Regelung der Heizleistung des Mantelheizers |
US7001456B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-02-21 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | Apparatus and method for supplying Crystalline materials in czochralski method |
DE102004003035B4 (de) * | 2004-01-21 | 2007-05-24 | Ruhstrat Gmbh | Elektrisches Heizelement aus einem flächigen Heizband |
EP1974077A2 (en) | 2006-01-20 | 2008-10-01 | BP Corporation North America Inc. | Methods and apparatuses for manufacturing monocrystalline cast silicon and monocrystalline cast silicon bodies for photovoltaics |
DE102006017621B4 (de) | 2006-04-12 | 2008-12-24 | Schott Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von multikristallinem Silizium |
DE102006017622B4 (de) | 2006-04-12 | 2008-03-27 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von multikristallinem Silizium |
-
2007
- 2007-08-16 DE DE102007038851A patent/DE102007038851A1/de not_active Ceased
-
2008
- 2008-07-28 EP EP08161248.3A patent/EP2028292B1/de active Active
- 2008-08-14 US US12/191,807 patent/US20090047203A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-03-06 HR HRP20150253TT patent/HRP20150253T1/hr unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2028292A3 (de) | 2009-07-15 |
EP2028292A2 (de) | 2009-02-25 |
US20090047203A1 (en) | 2009-02-19 |
DE102007038851A1 (de) | 2009-02-19 |
EP2028292B1 (de) | 2014-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
HRP20150253T1 (hr) | Postupak proizvodnje monokristalnih metalnih ili polumetalnih tijela | |
CN106245113B (zh) | 一种多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片 | |
CN105568365B (zh) | 一种籽晶铺设方法、晶体硅及其制备方法 | |
RU2015131829A (ru) | Обработка материалов через оптически прозрачный шлак | |
EP2072645A3 (en) | Method for producing a monocrystalline or polycrystalline semiconductor material | |
CN102758242A (zh) | 一种单晶硅铸锭的装料方法及单晶硅铸锭方法 | |
TWI541394B (zh) | 多晶矽晶鑄錠之製造方法及其多晶矽晶棒 | |
CN103255475A (zh) | 包含成核促进颗粒的硅晶铸锭及其制造方法 | |
KR101323901B1 (ko) | 용융 미립자를 이용하여 실리콘으로 이루어진 단결정을 제조하는 방법 | |
CN102473793B (zh) | 制造光电元件的系统和方法 | |
CN104451870A (zh) | 一种多晶硅锭的铸造方法 | |
CN105603521A (zh) | 一种籽晶的铺设方法、类单晶硅锭的制备方法和类单晶硅片 | |
KR20130055534A (ko) | 실리콘 블록 및 이의 제조방법 | |
CN102703965A (zh) | 一种降低铸锭硅单晶晶体缺陷的方法 | |
WO2004092454A3 (en) | System and method of making single-crystal structures through free-form fabrication techniques | |
CN102797036B (zh) | 多晶硅锭及其制造方法、太阳能电池 | |
JP6121422B2 (ja) | 方向性凝固によって結晶性材料を作製するための、追加の側方熱源が備わったシステム | |
JP5458295B1 (ja) | 押湯を用いない鋳造方法 | |
DE102007035756B4 (de) | Verfahren zur Herstellung von Nichteisenmetall-Blöcken | |
CN103132133B (zh) | 用于生产硅锭的方法 | |
CN104294358B (zh) | 一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭 | |
KR101408594B1 (ko) | 다결정 실리콘 잉곳을 생산하기 위한 장치 | |
CN103710744A (zh) | 制造硅单晶籽晶和硅晶片的方法及硅晶片和硅太阳能电池 | |
CN103924294A (zh) | 一种多晶硅及其制备方法 | |
CN103088418B (zh) | 硅晶铸锭及其制造方法 |