FR3106935B1 - Procede de fabrication d'un dispositif electronique comportant au moins une zone supraconductrice et dispositif associe - Google Patents

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Procédé de fabrication d’un dispositif électronique comportant au moins une zone supraconductrice et dispositif associé L’invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif, le dispositif comportant une zone supraconductrice (20) et une zone isolante (22) selon un agencement comportant les étapes de : - dépôt d’une couche tampon (12) sur une partie d’un substrat (10), - gravure de la couche tampon (12) pour obtenir deux zones (Z1, Z2), chaque première zone (Z1) étant une zone dans laquelle le substrat (10) est recouvert par la couche tampon (12) et destinée à former une zone supraconductrice (20) respective, chaque deuxième zone (Z2) étant une zone dans laquelle le substrat (10) est apparent à former une zone isolante (22) respective, et - dépôt d’une deuxième couche (18) en matériau supraconducteur sur l’ensemble de la partie de substrat (10), la première couche (12) étant réalisée sous forme d’au moins deux sous-couches (14, 16) superposées. Figure pour l'abrégé : figure 4
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