FR2778907A1 - Ozoniseur et procede de fabrication dudit ozoniseur - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un ozonisateur doté d'une première électrode et d'une seconde électrode. Ces électrodes définissent entre elles un espace de décharge, un diélectrique étant agencé entre la première électrode et la seconde électrode, ledit diélectrique consistant en un support en verre ou vitrocéramique sur lequel est déposée une couche céramique diélectrique, laquelle couche céramique consiste en une couche d'une épaisseur de 20 à 70 micromètres environ, de préférence de 30 à 50 micromètres environ, déposée par pulvérisation thermique.

Description

Ozoniseur et procédé de fabrication dudit ozoniseur La présente invention

concerne un ozoniseur doté d'une première et d'une seconde électrode, définissant entre elles un espace de décharge, un dielectrique doté d'un support en verre ou vitrocéramique, sur lequel est déposée une couche céramique, étant agencé entre ladite première et

ladite seconde électrode.

L'invention concerne en outre un procédé de

fabrication d'un tel ozoniseur.

Un ozoniseur de ce type est décrit dans le

document DE 38 30 106 A1.

L'ozoniseur connu présente deux électrodes métalliques en forme de plaque, agencées à distance l'une de l'autre et définissant entre elles un espace de décharge, un diélectrique en céramique ou verre étant prévu entre lesdites électrodes. Le diélectrique peut, dans ce cas, se présenter sous la forme d'une plaque de verre, dont la face opposée à l'espace de décharge est recouverte d'une couche métallique constituant l'une des électrodes et dont l'autre face, qui est en regard de l'espace de décharge, est recouverte d'une mince couche d'inhibition réalisée dans un matériau à haut coefficient d'émission secondaire. Cette couche d'inhibition présente une épaisseur comprise entre approximativement 0,1 pm et 10 pm et de préférence égale à environ 1 pm, et peut être composée d'oxyde de magnésium, d'oxyde d'yttrium, d'oxyde de lanthane ou d'oxyde céreux. La seconde électrode métallique, située de l'autre côté de l'espace de décharge, est - 2 - elle aussi dotée d'une couche d'inhibition correspondante. Les couches d'inhibition de l'ozoniseur ont pour fonction d'empêcher en grande partie les retards à la décharge et d'assurer ainsi une décharge "sans impulsions". Le dépôt des couches d'inhibition s'effectue selon un procédé qui ne sera pas décrit plus en détail et qui est communément employé pour les cellules d'affichage au plasma dans le but de fixer

la tension d'amorçage.

L'ozoniseur connu présente l'inconvénient d'être relativement complexe à fabriquer sans pour autant permettre d'obtenir une concentration en ozone suffisante pour satisfaire à de nombreux cas d'application. Le document DE 86 30 134 U1 décrit un autre ozoniseur à plaques dans lequel deux électrodes métalliques en forme de plaque sont également agencées à distance l'une de l'autre en définissant un espace de décharge. Sur l'une au moins des électrodes métalliques est déposée une couche de diélectrique en émail ou vitrocéramique, elle-même recouverte d'une couche d'inhibition en oxydes métalliques, tels que des oxydes de nickel, cobalt, titane ou chrome. Cette couche d'inhibition présente une très faible épaisseur, de l'ordre de quelques Angstrôm à quelques micromètres, et est de préférence déposée sur la couche de diélectrique par

métallisation sous vide.

Cet ozoniseur présente lui aussi les inconvénients mentionnés ci-dessus. Il est -3- relativement cher et complexe à fabriquer et ne permet toutefois pas d'atteindre des concentrations

en ozone suffisamment élevées.

Un autre ozoniseur décrit dans le document DE 11 001 A1 se compose d'un support en verre, par exemple tubulaire, sur la face externe duquel une première électrode métallique est déposée par pulvérisation thermique. Cette électrode métallique peut, à son tour, être recouverte d'une couche de diélectrique, par exemple, en oxyde d'aluminium, en oxyde de titane ou en oxyde d'hafnium, déposée par pulvérisation thermique. Entre la couche de diélectrique et une électrode externe agencée de manière concentrique est prévu un espace de décharge

pour la production d'ozone.

Dans cet ozoniseur connu, le diélectrique n'est pas constitué par le tube en verre, mais uniquement par la couche de céramique déposée par pulvérisation thermique. Le tube en verre n'a par

conséquent d'autre fonction que celle de support.

Cette disposition permet d'atteindre un rendement en ozone relativement élevé, dans la mesure o le diélectrique n'est formé que par une couche relativement mince et o le rendement en ozone est, de manière connue, approximativement proportionnel à la constante diélectrique et, inversement, proportionnel à l'épaisseur du diélectrique. Le rendement en ozone est par ailleurs encore augmenté du fait qu'en lieu et place du verre on utilise, comme diélectrique, de l'oxyde d'aluminium, de l'oxyde de titane, de l'oxyde d'hafnium ou un mélange de ceux-ci, ce qui conduit à une constante

diélectrique plus élevée.

-4 Cet ozoniseur connu présente toutefois quelques inconvénients. Ainsi la couche diélectrique déposée par pulvérisation thermique doit-elle présenter une épaisseur de l'ordre de 1 mm environ pour acquérir une rigidité diélectrique suffisante. L'application d'une telle couche par pulvérisation thermique est relativement complexe et onéreuse. En outre, on n'exploite plus les ozoniseurs les plus récents en recherchant un rendement en ozone (rapport de masse de l'ozone produit par rapport à l'énergie électrique mise en oeuvre) le plus élevé possible mais l'on s'efforce d'obtenir une concentration en ozone aussi élevée que possible dans le flux massique d'oxygène utilisé comme base de départ. On s'efforce donc, avec éventuellement une plus grande consommation d'énergie électrique, de maintenir aussi basse que possible la consommation d'oxygène pour la production d'une quantité d'ozone prédéterminée. Une forte concentration en oxygène ne peut toutefois être atteinte qu'avec des tensions de service plus élevées. Dans l'ozoniseur décrit dans le document DE 11 001 Ai, la rigidité diélectrique est toutefois relativement limitée dans la mesure o la couche de diélectrique déposée par pulvérisation thermique présente une porosité relativement élevée et n'a été déposée que sur une épaisseur de l'ordre de 1 mm pour des raisons évidentes de coût et d'amélioration du

rendement en ozone.

Par rapport aux ozoniseurs classiques en verre, dans lesquels le tube en verre est doté d'une électrode interne et fait lui-même office de dielectrique, l'ozoniseur selon le document DE 195 11 001 Al permet certes d'obtenir un plus grand rendement en ozone, mais la concentration en ozone

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est plus faible que celle obtenue avec les ozoniseurs

en verre classiques.

La présente invention a par conséquent pour objet de concevoir un ozoniseur amélioré, qui permette d'obtenir une concentration en ozone aussi élevée que possible tout en maintenant un rendement en ozone relativement bon. L'invention entend également fournir un procédé approprié pour la fabrication d'un ozoniseur de ce type, qui permette une fabrication aussi simple, reproductible et

économique que possible.

Pour ce qui concerne l'ozoniseur, cet objectif est atteint conformément à l'invention par un ozoniseur présentant les caractéristiques décrites ci--après. Concernant le procédé de fabrication, l'objectif est atteint par un procédé présentant les

caractéristiques décrites ci-après.

Les objectifs de l'invention sont ainsi

entièrement atteints.

Il s'est avéré que pour améliorer le rendement en ozone, il faut déposer par pulvérisation thermique sur le support en verre ou vitrocéramique une fine couche de céramique d'une épaisseur de 20 à 70 pm

environ, de préférence de 30 à 50 pm environ.

L'ozoniseur selon l'invention permet d'élever simultanément aussi bien le rendement en ozone par rapport aux ozoniseurs traditionnels en verre, dans lesquels le tube de verre sert de diélectrique et qui sont dotés d'une électrode interne, que la - 6 - concentration en ozone par rapport aux ozoniseurs dans lesquels le tube en verre a pour unique fonction de servir de support, sur lequel sont rapportées tout d'abord l'électrode puis, par-dessus, une couche diélectrique. L'ozoniseur selon l'invention permet d'améliorer le comportement de décharge par rapport aux ozoniseurs classiques. On obtient ainsi une configuration de décharge particulièrement homogène, ce qui est avantageux pour allier haut rendement et

haute concentration en ozone dans le gaz porteur.

L'ozoniseur peut en même temps être exploité à des tensions plus élevées, dans la mesure o la rigidité diélectrique est assurée par le support en verre ou vitrocéramique. L'ozoniseur selon l'invention permet également d'obtenir ainsi des concentrations en ozone nettement plus élevées dans

le gaz porteur.

Dans un perfectionnement préféré de l'invention, la première électrode est prévue sur une première face du support, qui est opposée à la

seconde électrode.

Dans la mesure o l'ozoniseur se présente sous la forme d'un ozoniseur en tube, la première électrode est ainsi prévue sur la face interne du support, tandis que la seconde électrode est prévue sur la face interne d'un second tube qui entoure le

support de manière concentrique.

Selon un autre mode d'exécution de l'invention, la couche céramique est prévue sur une -7- seconde face du support, qui est en regard de la

seconde électrode.

L'agencement de la première électrode sur la première face du support et de la couche céramique sur la seconde face du support, en regard de la seconde électrode, permet d'obtenir une fabrication

simple selon un procédé de pulvérisation thermique.

La première électrode peut être produite par pulvérisation thermique au moyen d'une minibuse coudée latéralement, qui est introduite axialement dans le tube en verre. La couche céramique peut ensuite être produite de préférence par projection au

plasma sur la face externe du support.

Etant donné que la rigidité diélectrique de l'ozoniseur est assurée par le support en verre ou vitrocéramique, qui est naturellement étanche aux gaz et peut être fabriqué avec une haute précision, la couche céramique diélectrique appliquée sur le support en tant que couche supplémentaire de diélectrique peut présenter une épaisseur relativement faible, comprise entre 10 et 100 pm environ et de préférence entre 20 et 70 pm environ,

en particulier entre 30 et 50.m environ.

Une couche diélectrique de cette finesse s'obtient de manière relativement économique par pulvérisation thermique. En même temps et contre toute attente, on obtient, malgré une couche de diélectrique supplémentaire de si faible épaisseur, un rendement en ozone supérieur à celui des ozoniseurs classiques, dans lesquels le diélectrique est uniquement constitué par un tube de verre et qui

sont dotés d'une électrode interne.

- 8 - Selon un autre exemple d'exécution préféré de l'invention, la couche céramique comporte au moins de l'oxyde d'aluminium, de l'oxyde de titane ou de

l'oxyde de zirconium.

Dans un autre perfectionnement de ce mode de réalisation, la couche céramique comporte un mélange d'oxyde de titane et d'oxyde d'aluminium, ledit mélange contenant jusqu'à 10% en poids d'oxyde de titane. Il s'est avéré, dans ce cas, qu'une teneur en oxyde de titane de 5 à 10 % en poids, de préférence de l'ordre d'environ 7 % en poids, était particulièrement avantageuse. Lorsque la teneur en oxyde de titane est plus élevée, une grande proportion de l'oxyde de titane n'est plus liée dans le réseau de l'oxyde d'aluminium, ce qui a pour effet de rendre la couche céramique conductrice et d'empêcher d'atteindre la rigidité diélectrique requise. Conformément à un autre mode d'exécution de l'invention, la couche céramique contient de l'oxyde de zirconium stabilisé à l'oxyde d'yttrium, à l'oxyde

de magnésium ou à l'oxyde de calcium.

Il s'est avéré, dans ce cas, qu'une stabilisation à l'oxyde de magnésium en particulier (jusqu'à 28 % en poids) et/ou à l'oxyde de calcium (jusqu'à 40% en poids) était particulièrement

avantageuse.

Selon un autre mode d'exécution préféré de l'invention, la première et de préférence également la seconde électrode sont réalisées en aluminium, en un alliage d'aluminium, en titane, en un alliage de - 9 - titane ou en un composé intermétallique d'aluminium

et de nickel.

On peut également utiliser dans ce cas un alliage d'aluminium contenant jusqu'à environ 30 % en

poids de silicium.

L'utilisation de tels matériaux, connus en soi, pour produire la première et, le cas échéant, également la seconde électrode permet d'obtenir une bonne adhérence de l'électrode à la surface de verre lors de l'application par pulvérisation au plasma, tout en assurant une bonne conductibilité et une

bonne tenue en fonctionnement en longue durée.

Le support est de préférence en verre de

borosilicate ou en vitrocéramique.

Ces deux matériaux permettent une fabrication très précise en particulier de tubes, tant le verre que la vitrocéramique présentant un module d'élasticité spécifique supérieur à celui de l'acier par exemple. Il en résulte une flèche limitée des tubes traditionnellement agencés horizontalement et, de ce fait, une plus grande stabilité dimensionnelle

de l'espace de décharge.

Le support en verre ou vitrocéramique présente de préférence une épaisseur de paroi de 1,0 à 3,0 mm environ, en particulier de 1,5 à 2, 1 mm environ, et

de préférence de 1,7 à 1,9 mm environ.

D'une part, une telle épaisseur de paroi confère au support une stabilité mécanique et thermique suffisante pour supporter l'application de

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la couche métallique en vue de la production de la première électrode ainsi que l'application de la couche supplémentaire de diélectrique par pulvérisation thermique. D'autre part, un tel dimensionnement permet d'obtenir un bon rendement et

une haute concentration en ozone.

Comme il a déjà été mentionné précédemment, la couche céramique est obtenue de préférence par pulvérisation au plasma et présente une épaisseur de à 100 pm environ, de préférence de 20 à 70 pm

environ, en particulier de 30 à 50 pm environ.

Une telle épaisseur de couche conduit à une nette amélioration du rendement en ozone tout en conservant une haute concentration en ozone et des

coûts de fabrication relativement bas.

Comme il a déjà été mentionné précédemment, le procédé selon l'invention permet de fabriquer un ozoniseur qui allie en fonctionnement un haut rendement en ozone et une haute concentration en ozone. Le revêtement de la face externe du support avec une couche céramique est obtenu par pulvérisation thermique, de préférence par pulvérisation au plasma. Le revêtement de la face interne du support avec une couche métallique est, de préférence, également obtenu par pulvérisation au plasma. La couche céramique peut ainsi être déposée sur le support de manière relativement économique tout en présentant les propriétés requises. La couche

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métallique sur la face interne pourrait, en variante, être également produite selon d'autres procédés, par

exemple selon un procédé galvanique.

Comme il a également été mentionné precédemment, la couche céramique est de préférence fabriquée en un matériau céramique comportant au moins de l'oxyde d'aluminium, de l'oxyde de titane ou de l'oxyde de zirconium, un mélange d'oxyde d'aluminium avec environ 7% en poids d'oxyde de titane étant en particulier préféré ou encore de l'oxyde de zirconium stabilisé avec de préférence jusqu'à 28 % en poids d'oxyde de magnésium ou jusqu'à

% en poids d'oxyde de calcium.

Il va de soi que les caractéristiques de l'invention précédemment citées ainsi que celles qui seront encore exposées par la suite peuvent être utilisées non seulement dans la combinaison indiquée mais également dans d'autres combinaisons ou prises isolément sans quitter pour autant le cadre de

1 invention.

D'autres caractéristiques et avantages de

l'invention ressortent de la description suivante

d'exemples d'exécution préférés, faite en référence au dessin. On a représenté: Fig. 1 une vue en coupe et à caractère schématique d'un ozoniseur selon l'invention; Fig. 2 une représentation graphique du rendement en ozone, en fonction de la puissance électrique, d'un ozoniseur à tube

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classique, dans lequel un tube en verre de borosilicate, commercialisé par la société Schott sous l'appellation commerciale "Duran", est utilisé comme diélectrique; Fig. 3 une représentation graphique du rendement en ozone, en fonction de la puissance, d'un ozoniseur selon l'invention, doté d'un support tubulaire en Duran et d'une couche céramique diélectrique en oxyde de zirconium stabilisé à l'oxyde d'yttrium; Fig. 4 une représentation graphique de la concentration en ozone, en fonction de la puissance électrique, obtenue avec un ozoniseur traditionnel tel que représenté en figure 2; Fig. 5 une représentation graphique de la concentration en ozone, en fonction de la puissance électrique, obtenue avec un ozoniseur selon l'invention, doté d'un support en Duran et d'une couche céramique diélectrique en oxyde de zirconium stabilisé à l'oxyde d'yttrium; Fig. 6 une représentation graphique du rendement en ozone en fonction de la puissance électrique, obtenu avec un ozoniseur tubulaire classique, doté d'un support en Duran sur lequel est rapportée une électrode externe, recouverte elle-même d'une couche diélectrique en oxyde d'aluminium avec 6 % en poids d'oxyde de titane, le tube en verre ne servant pas de diélectrique; et

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Fig. 7 une représentation graphique de la concentration en ozone qui peut être atteinte avec l'ozoniseur représenté en figure 6, en fonction de la puissance électrique. La figure 1 représente un ozoniseur selon l'invention, désigné dans son ensemble par le

repère 10.

L'ozoniseur présente deux tubes en verre concentriques, à savoir un support interne 18 en

Duran et un support externe 24 également en Duran.

Il va de soi que la représentation n'est pas à l'échelle. Les supports sont maintenus à leurs extrémités dans des logements appropriés (non

représentés) et sont refroidis en fonctionnement.

Les deux supports 18 et 24 présentent une épaisseur de paroi d'environ 1,8 mm. Le support 18 présente, sur sa face interne, une première électrode métallique 12, qui peut par exemple être réalisée en un alliage sensiblement eutectique d'aluminium et de silicium (environ 11,7 % en poids de silicium). On

peut également utiliser des alliages aluminium-

titane, aluminium-nickel ou des composés intermétalliques correspondants. Il est également possible d'utiliser des mélanges d'alliages. La première électrode 12 a été produite par pulvérisation au plasma en introduisant axialement

dans le support une minibuse à gaz coudée.

Une couche céramique diélectrique 20, qui peut être en oxyde d'aluminium, en oxyde de titane, en oxyde de zirconium ou en des mélanges de ceux-ci, est

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également déposée par pulvérisation au plasma sur la face externe du support 18. La couche céramique peut par exemple consister en de l'oxyde de zirconium stabilisé par environ 10 % en poids d'oxyde d'yttrium. Bien que largement disponible dans le commerce, l'oxyde de zirconium stabilisé à l'oxyde d'yttrium est relativement onéreux. Il est préférable de le remplacer par de l'oxyde de zirconium stabilisé

à l'oxyde de calcium ou à l'oxyde de magnésium.

Parallèlement, des mélanges d'oxyde d'aluminium et d'oxyde de titane sont également préconisés, en particulier des mélanges contenant jusqu'à 10 % en poids d'oxyde de titane, de

préférence environ 7% en poids d'oxyde de titane.

L'épaisseur de la couche céramique 20 est de préférence comprise entre 30 et 50 Mm environ, et en

particulier égale à 40 pm environ.

Le support externe 24, également en Duran, est doté sur sa face interne d'une seconde électrode 14, qui peut par exemple être en aluminium pur ou encore

en un alliage d'aluminium du type cité précédemment.

Entre la couche céramique 20 et la seconde électrode 14 est formé un espace de décharge 22 de

forme annulaire.

La première électrode 12 et la seconde électrode 14 sont reliées par des conducteurs 28 à une source de tension alternative de 50 à 60 Hz environ ou plus s'il est prévu un groupe

convertisseur de fréquences.

Du fait du revêtement extérieur du support 18 avec la couche céramique 20, on obtient un

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diélectrique, globalement désigné par le repère 16, entre la première électrode interne 12 et la seconde électrode externe 14, ledit diélectrique consistant en la combinaison du support 18 et de la couche céramique 20. Un tel ozoniseur selon l'invention permet d'obtenir un meilleur rendement et une plus grande concentration en ozone que ceux obtenus avec les ozoniseurs tubulaires classiques en verre à électrode interne et diélectrique en verre. Par rapport à des ozoniseurs traditionnels de conception différente, dans lesquels le tube en verre sert uniquement de support sur la face externe duquel est rapportée la première électrode, elle-même recouverte du diélectrique, l'ozoniseur selon l'invention offre certes un rendement légèrement inférieur mais une concentration en ozone nettement plus élevée, comme il sera expliqué ci-après en se référant aux figures

2 à 7.

La figure 3 est une représentation graphique du rendement d'un ozoniseur selon l'invention en fonction de la puissance appliquée. Il ressort d'une comparaison avec la figure 2, qui montre le rendement d'un ozoniseur traditionnel à électrode interne et tube en Duran comme diélectrique, que le rendement en

ozone est amélioré de 10 à 15 % environ.

La figure 5 est une représentation graphique de la concentration en ozone (en fonction de la puissance électrique) que l'on peut obtenir avec l'ozoniseur selon l'invention représenté en figure 3 si l'on utilise de l'oxygène pur comme gaz

porteur.

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I1 ressort d'une comparaison avec la figure 4, qui montre la concentration en ozone correspondante en fonction de la puissance électrique de l'ozoniseur décrit préalablement à l'aide de la figure 2, que la concentration en ozone peut être augmentée d'environ

% par rapport à l'ozoniseur traditionnel.

Pour comparaison, on a représenté aux figures 6 et 7 les caractéristiques correspondantes de rendement en ozone et de concentration en ozone en fonction de la puissance électrique appliquée, que l'on obtient avec un autre ozoniseur classique, dans lequel un tube en verre est exclusivement employé comme support, sur la face externe duquel une première électrode est déposée par pulvérisation au plasma, ladite électrode étant elle-même recouverte d'une couche de diélectrique d'une épaisseur d'environ 1 mm, composée d'oxyde d'aluminium et de 6 % en poids d'oxyde de titane et déposée par pulvérisation au plasma. Dans cet ozoniseur, le tube en verre sert donc exclusivement de support et non de diélectrique. Il ressort d'une comparaison des ozoniseurs de l'invention selon les figure 3 et 6 que l'ozoniseur classique permet d'obtenir un rendement légèrement supérieur. Une comparaison des figures 5 et 7 révèle cependant que l'ozoniseur selon l'invention permet d'atteindre une concentration en ozone nettement supérieure à celle obtenue avec l'ozoniseur classique.

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Claims (18)

REVENDICATIONS

1. Ozoniseur doté d'une première électrode (12) et d'une seconde électrode (14), définissant entre elles un espace de décharge (22), un diélectrique (16) étant agencé entre la première électrode (12) et la seconde électrode (14), ledit diélectrique (16) consistant en un support (18) en verre ou vitrocéramique sur lequel est déposée une couche céramique diélectrique (20), laquelle couche céramique (20) consiste en une couche d'une épaisseur de 20 à 70 micromètres environ, de préférence de 30 à micromètres environ, déposée par pulvérisation thermique.

2. Ozoniseur selon la revendication 1, dans lequel la première électrode (12) est prévue sur une première face du support (18), opposée à la seconde

électrode (14).

3. Ozoniseur selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la couche céramique (20) est prévue sur une seconde face du support (18), en regard de la

seconde électrode (14).

4. Ozoniseur selon l'une des revendications

précédentes, dans lequel la couche céramique contient au moins de l'oxyde d'aluminium, de l'oxyde de titane

ou de l'oxyde de zirconium.

5. Ozoniseur selon l'une des revendications

précédentes, dans lequel la couche céramique (20) contient un mélange d'oxyde de titane et d'oxyde d'aluminium comportant jusqu'à environ 10 % en poids

d'oxyde de titane.

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6. Ozoniseur selon la revendication 5, dans lequel le mélange contient environ 7 % en poids

d'oxyde de titane.

7. Ozoniseur selon la revendication 4, dans lequel la couche céramique contient de l'oxyde de

zirconium stabilisé au Y203, au MgO ou au CaO.

8. Ozoniseur selon la revendication 7, dans lequel la couche céramique contient de l'oxyde de zirconium stabilisé avec jusqu'à 28 % en poids de MgO

ou jusqu'à 40 % en poids de CaO.

9. Ozoniseur selon l'une des revendications

précédentes, dans lequel la première électrode (12) est en aluminium, en un alliage d'aluminium, en titane, en un alliage de titane ou en un composé intermétallique d'aluminium et de nickel ou de titane.

10. Ozoniseur selon la revendication 9, dans lequel la première électrode (12) est réalisée en un alliage d'aluminium contenant jusqu'à environ 30 % en

poids de silicium.

11. Ozoniseur selon l'une des revendications

précédentes, dans lequel le support (18) est en verre

de borosilicate.

12. Ozoniseur selon l'une des revendications 1

à 10, dans lequel le support (18) est en vitrocéramique.

13. Ozoniseur selon l'une des revendications

précédentes, dans lequel le support (18) consiste en un tube en verre avec une épaisseur de paroi d'environ 1,0 à 3,0 mm, de préférence d'environ 1,5 à

2,1 mm, en particulier d'environ 1,7 à 1,9 mm.

14. Procédé de fabrication d'un ozoniseur (10) comportant les étapes suivantes: - revêtement de la face interne d'un support tubulaire (18) en verre ou vitrocéramique avec une couche métallique en vue de produire une première électrode (12); - revêtement de la face externe du support (18) avec une couche céramique diélectrique (20) déposée par pulvérisation thermique, avec une épaisseur de couche d'environ 20 à 70 micromètres, de préférence d'environ 30 à 50 micromètres; - agencement de la première électrode (12) et d'une seconde électrode (14) à distance l'une de l'autre de façon à définir un espace de décharge (22) entre la couche

céramique (20) et la seconde électrode (14).

15. Procédé selon la revendication 14, dans lequel le revêtement d'au moins la face interne du support (18) avec une couche métallique (12) ou de la face externe du support par une couche céramique (20)

s'effectue par pulvérisation au plasma.

16. Procédé selon la revendication 14 ou 15, dans lequel la couche céramique (20) est produite dans un matériau céramique contenant au moins de l'oxyde d'aluminium, de l'oxyde de titane ou de

l'oxyde de zirconium.

17. Procédé selon la revendication 16, dans lequel la couche céramique (20) est produite dans un

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matériau céramique contenant un mélange d'oxyde d'aluminium et jusqu'à environ 10 % en poids d'oxyde de titane, de préférence environ 7 % en poids d'oxyde

de titane.

18. Procédé selon la revendication 16, dans lequel la couche céramique (20) est produite dans un matériau céramique avec de l'oxyde de zirconium stabilisé avec jusqu'à 28 % en poids de MgO ou

jusqu'à 40 % en poids de CaO.