FR2763931A1 - Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage - Google Patents
Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage Download PDFInfo
- Publication number
- FR2763931A1 FR2763931A1 FR9706471A FR9706471A FR2763931A1 FR 2763931 A1 FR2763931 A1 FR 2763931A1 FR 9706471 A FR9706471 A FR 9706471A FR 9706471 A FR9706471 A FR 9706471A FR 2763931 A1 FR2763931 A1 FR 2763931A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- solution
- bed
- hydrogen peroxide
- upstream
- purified
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B15/00—Peroxides; Peroxyhydrates; Peroxyacids or salts thereof; Superoxides; Ozonides
- C01B15/01—Hydrogen peroxide
- C01B15/013—Separation; Purification; Concentration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J47/00—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
- B01J47/02—Column or bed processes
- B01J47/026—Column or bed processes using columns or beds of different ion exchange materials in series
- B01J47/028—Column or bed processes using columns or beds of different ion exchange materials in series with alternately arranged cationic and anionic exchangers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B15/00—Peroxides; Peroxyhydrates; Peroxyacids or salts thereof; Superoxides; Ozonides
- C01B15/01—Hydrogen peroxide
- C01B15/013—Separation; Purification; Concentration
- C01B15/0135—Purification by solid ion-exchangers or solid chelating agents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Water Treatment By Sorption (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
Procédé de préparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogène caractérisé en ce qu'il comprend au moins une séquence incluant le passage de la solution à purifier, sur successivement au moins un lit d'adsorbants échangeurs d'anions (AEA) et au moins un lit d'adsorbants échangeurs de cations (AEC) et caractérisé en ce qu'une proportion non nulle de la solution sortant d'un lit est recyclée soit en amont de ce lit, soit en amont d'une des lits précédents, soit en amont du premier lit de la première séquence de passage. Installation pour la mise en oeuvre du procédé.
Description
L'utilisation du peroxyde d'hydrogène pour les applications de hautes technologies ou les applications dans l'industrie alimentaire, dans l'hygiène, ou la santé, requiert des produits de plus en plus purs qui doivent répondre à des spécifications de plus en plus contraignantes et nombreuses. En particulier, les demandes des utilisateurs se portent vers des solutions de peroxyde d'hydrogène dans lesquelles les teneurs de chaque impureté métallique sont inférieures à une partie par milliard (ppb) et de préférence inférieures à 100 parties par mille milliard (ppt). Dans l'exposé suivant, on appelera de telles solutions, des solutions ultra-pures de peroxyde d'hydrogène.
I1 est bien connu, selon l'art antérieur, qu'il est possible d'éliminer certaines impuretés par passage de la solution sur un lit d'adsorbants échangeurs d'ions. On peut citer par exemple, les polymères de type polystyrène /divinylbenzène fonctionnalisés, les silices, les aluminosilicates, en particulier les variétés à micropores contrôlés tels que les zéolithes ou les charbons actifs; ces solides portent des groupes fonctionnels capables de complexer soit des cations, soit des anions. A titre d'exemples de groupes fonctionnels capable de complexer les cations, on peut citer les groupes carboxyliques, sulfoniques, phosphoniques, hydroxydes, oxyde d'amine, oxyde de phosphine, ou encore les polyoxaalkyles cycliques ou ouverts, tels que par exemple les polymères d'oxyde d'éthylène. A titre d'exemples de groupes fonctionnels capables de complexer les anions, on peut citer les groupes ammonium quaternaires, et phosphonium quaternaires. Ces adsorbants peuvent également être obtenus par polymérisation d'un monomère portant un groupe fonctionnel, par exemple les acides polyméthacryliques, les acides polyvinylphosphoniques, les polyvinylpyridines, les polyvinylpyrrolidones, les alcools polyvinyliques, les polylactones saponifiées ou les copolymères contenant ces motifs. Les adsorbants les plus souvent décrits, sont, les polystyrènes gels ou réticulés possédant des groupes fonctionnels sulfoniques -SO3H ou triméthylammonium
CH3)3N -.
CH3)3N -.
De nombreuses combinaisons ont été proposées telles que, par exemple, résine anionique puis résine cationique ou résine cationique puis résine anionique, ou encore résine anionique puis résine cationique puis "lit mélangé" cationique + anionique; Des ajouts dans les phases interstades sont également décrits, comme par exemple, l'addition d'acide pour modifier le pH ou l'addition d'agents chélatants, tels que les dérivés aminométhylènecarboxyliques ou aminométhylènephosphoniques.
I1 est bien connu de l'homme du métier que l'emploi d'adsorbants échangeurs d'anions présente de grandes difficultés de mise en oeuvre pour la purification du peroxyde d'hydrogène. En particulier, la forme hydroxyde, sous laquelle ces produits sont généralement disponibles industriellement, ne peut être utilisée directement à cause de sa trop forte basicité, conduisant à une décomposition importante du peroxyde d'hydrogène. De nombreuses publications décrivent l'utilisation d'adsorbants échangés par les ions carbonate ou bicarbonate, moins basiques, pour limiter la décomposition d'hydrogène, sans toutefois la supprimer complètement.
I1 est impératif de pouvoir contrôler ce phénomène de décomposition du peroxyde d'hydrogène sur les lits d'adsorbants, car cette décomposition avec dégagement d'oxygène gazeux étant exothermique, la vitesse est accélérée selon la d'Arhénius. La formation d'une poche de gaz peut encore aggraver le phénomène, puisqu'en éloignant le liquide du point de décomposition, la chaleur dégagée ne peut plus être éliminée par vaporisation de l'eau et l'on perd l'effet phlegmatisant du liquide. Un tel processus est caractéristique d'une réaction divergente qui peut conduire à une réaction extrêmement violente de décomposition autoaccélérée, d'autant plus dangereuse qu'elle est fortement exothermique et produit de l'oxygène gazeux, donc avec une force d'expansion considérable pouvant conduire à des explosions.
Il a été montré que ce phénomène d'amorçage de la réaction violente de décomposition, par simple chauffage d'un lit de résine échangeuses d'anions sous forme de bicarbonate de triméthyl ammonium (Dowex A 550 UPE) en présence d'une solution aqueuse à 30% de peroxyde d'hydrogène à température modérée, par exemple 30 à 350C, pendant quelques dizaines de minutes, est beaucoup plus rapide avec une résine ayant été utilisée pour la purification du peroxyde, qu'avec une résine fraichement échangée. Si l'on prend comme paramètre d'évaluation le "TMR" (time to maximum rate) qui indique, à une température donnée, la période d'induction avant l'amorçage de la décomposition explosive,les résultats suivants ont été obtenus résine neuve: T=560C: TMR=15 mn; T=510C: TMR=30 mn; T=440C: TMR=60 mn résine usagée: T=4l0C: TMR=15 mn; T=350C: miR=30 mn; T=320C: TMR=60 mn
Il est donc évident qu'une résine usagée est beaucoup plus sensible aux phénomènes d'autodécomposition du peroxyde d'hydrogène, probablement à cause de l'effet catalytique des espèces métalliques échangées au cours de la purification.
Il est donc évident qu'une résine usagée est beaucoup plus sensible aux phénomènes d'autodécomposition du peroxyde d'hydrogène, probablement à cause de l'effet catalytique des espèces métalliques échangées au cours de la purification.
L'objet de la présente invention est donc d'obtenir des solutions ultra-pures de peroxyde d'hydrogène, tout en limitant le risque de décomposition violente de celui-ci lors des étapes de purification.
La présente invention a pour objet un procédé de préparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogène caractérisé en ce qu'il comprend au moins une séquence incluant le passage de la solution à purifier, sur successivement au moins un lit d'adsorbants échangeurs d'anions (AEA) et au moins un lit d'adsorbants échangeurs de cations (AEC) et caractérisé en ce qu'une proportion non nulle de la solution sortant d'un lit est recyclée soit en amont de ce lit, soit en amont d'un des lits précédents, soit en amont du premier lit de la première séquence de passage.
La solution de peroxyde d'hydrogène à épurer selon la présente invention provenant d'une solution aqueuse industrielle, a une concentration de 1 à 70% en poids et de préférence de 5 à 50% en poids. Les adsorbants sont choisis parmi ceux qui sont décrits ci-dessus.
De manière générale on adapte le taux de recyclage pour chacun des lits d'adsorbants, de sorte que le temps moyen de séjour de la solution de peroxyde d'hydrogène à purifier dans chaque lit, soit d'au moins une minute; l'invention a notamment pour objet un procédé tel que défini précédemment dans lequel la proportion de solution recyclée au niveau de chaque lit d'adsorbants est supérieure à 10% en poids et de préférence supérieure à 50% en poids.
Les lits d'adsorbants présentent un rapport diamètre compris entre 0,5 et 100, notamment entre 1 et 5.
De préférence, les adsorbants échangeurs d'anions seront alimentés en mode ascendant, tandis que les adsorbants échangeurs de cations seront alimentés en mode descendant. Il est possible de définir les géométries des lits pour que les débits et/ou les vitesses spatiales vraies dans chaque adsorbant soient optimisées.
I1 est également possible de travailler sous pression; on choisira de préférence, une pression de travail inférieure à 5 atm relatifs.
La température de la solution à purifier selon le procédé tel que décrit précédemment est inférieure ou égale à 300C et, de préférence, comprise entre -10 C et +100C.
Les débits de solution de peroxyde d'hydrogène, exprimés en volume de solution/heure passée par volume de lit d'adsorbant, peuvent varier entre 0,5 et 100, de préférence de 1 à 50 et plus particulièrement de 10 à 30.
Dans un mode particulier de réalisation de la présente invention, le procédé comprend une séquence AEA-tAEC, et le recyclage de la solution de peroxyde d'hydrogène obtenue en sortie de la colonne (AEC), se fait en amont de la colonne (AEA).
Dans une variante du procédé tel que défini précédemment, il comprend en amont ou en aval de séquences de passage sur les lits d'adsorbants échangeurs d'ions de la solution à purifier, une ou plusieurs étapes de purification telles que par exemple la distillation l'extraction liquide, la cristallisation, l'absorption, la filtration, l'ultra-filtration, la nanofiltration, ou l'osmose inverse. Le cas échéant la solution initiale est préalablement mise au titre désiré puis purifiée
Selon le degré de pureté et de dilution de la solution de peroxyde d'hydrogène à purifier, on met en oeuvre une ou plusieurs de ces étapes complémentaires.
Selon le degré de pureté et de dilution de la solution de peroxyde d'hydrogène à purifier, on met en oeuvre une ou plusieurs de ces étapes complémentaires.
Dans une première variante préférée de la présente invention, la solution de peroxyde d'hydrogène industrielle à purifier qui est à une concentration de 30 % à 70 %, en poids, est préalablement distillée et mise au titre désiré, puis épurée sur au moins deux lits d'adsorbants échangeurs d'ions, selon la séquence objet de la présente invention.
Selon une deuxième variante du procédé de purification, objet de la présente invention, une solution de peroxyde d'hydrogène de qualité industrielle ou de qualité dite "alimentaire" ayant une concentration d'environ 50 à 70 % en poids subit le traitement préalable suivant : une première étape de distillation/concentration pour obtenir un condensat ayant une concentration supérieure à 80 %, plus une première purification par cristallisation à basse température et l'élimination du surnageant. Les cristaux recueillis sont lavés, essorés, puis fondus et la solution obtenue est diluée à 30 ou 35% par de l'eau déionisée de qualité électronique ultra-pure.
On peut ainsi très facilement obtenir, à partir d'une qualité banale industrielle, une solution de peroxyde d'hydrogène de qualité "électronique" contenant moins de 200 ppt de chacun des cations métalliques des colonnes IA à
VIIA et des colonnes IB à VIII du tableau de la classification périodique des éléments.
VIIA et des colonnes IB à VIII du tableau de la classification périodique des éléments.
L'invention a aussi pour objet une installation pour la mise en oeuvre du procédé tel que défini précédemment.
Dans une variante préférée de la présente installation, les lits d'adsorbants échangeurs d'anions sont alimentés en mode ascendant et les lits d'adsorbants échangeurs de cations sont alimentés en mode descendant.
Dans une autre variante préférée de l'installation, celle-ci est située sur le site du client tel que, par exemple, un site de fabrication de composants électroniques, et relié directement au point d'utilisation du peroxyde d'hydrogène par celui-ci.
L'exemple suivant illustre l'invention sans toutefois la limiter.
EXEMPLE
Une unité de purification comporte deux colonnes remplies respectivement de 3 litres d'une résine échangeuse d'anions
DOWEX Monosphère A 550 UPE qui a été préalablement échangée par une solution de bicarbonate de sodium et lavée à l'eau et 3 litres d'une résine échangeuse de cations DOWEX
Monosphère C 650 UPN. Le diamètre des colonnes est environ égal à 11,7 centimètres, ce qui donne une hauteur de lit de 28 centimètres, soit un rapport : hauteur/diamètre égal à 2,6. 900 litres d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène à 30 % en poids (solution A), obtenue par dilution par de l'eau ultra-pure d'une solution commerciale à 60% en poids, sont introduits en mode ascendant dans la première colonne à lit (AEA) avec un débit de 130 litres par heure puis en mode descendant dans la deuxième colonne chargée en lit (AEC). Environ 600 litres de la solution purifiée obtenue en sortie de la colonne (AEC) (solution B) subissent un nouveau passage sur les mêmes lits selon la séquence (AEA)o(AEC), le temps de passage global de la solution à traiter sur lits étant ainsi de 1,2 minutes On obtient alors la solution C. L'analyse de ces trois solutions en vue de déterminer les concentrations, exprimées en ppt, des principaux contaminants conduit aux résultats suivants
Une unité de purification comporte deux colonnes remplies respectivement de 3 litres d'une résine échangeuse d'anions
DOWEX Monosphère A 550 UPE qui a été préalablement échangée par une solution de bicarbonate de sodium et lavée à l'eau et 3 litres d'une résine échangeuse de cations DOWEX
Monosphère C 650 UPN. Le diamètre des colonnes est environ égal à 11,7 centimètres, ce qui donne une hauteur de lit de 28 centimètres, soit un rapport : hauteur/diamètre égal à 2,6. 900 litres d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène à 30 % en poids (solution A), obtenue par dilution par de l'eau ultra-pure d'une solution commerciale à 60% en poids, sont introduits en mode ascendant dans la première colonne à lit (AEA) avec un débit de 130 litres par heure puis en mode descendant dans la deuxième colonne chargée en lit (AEC). Environ 600 litres de la solution purifiée obtenue en sortie de la colonne (AEC) (solution B) subissent un nouveau passage sur les mêmes lits selon la séquence (AEA)o(AEC), le temps de passage global de la solution à traiter sur lits étant ainsi de 1,2 minutes On obtient alors la solution C. L'analyse de ces trois solutions en vue de déterminer les concentrations, exprimées en ppt, des principaux contaminants conduit aux résultats suivants
<tb> <SEP> Solution <SEP> A <SEP> Solution <SEP> B <SEP> Solution <SEP> C
<tb> Na <SEP> 300 <SEP> 000 <SEP> 100 <SEP> 85
<tb> Al <SEP> 59 <SEP> 000 <SEP> 5 <SEP> 200 <SEP> 420
<tb> Ca <SEP> 8 <SEP> 000 <SEP> 460 <SEP> 80
<tb> Fe <SEP> 2 <SEP> 600 <SEP> 370 <SEP> 170
<tb> Sn <SEP> 101 <SEP> 000 <SEP> 1 <SEP> 760 <SEP> 140
<tb>
Ces résultats montrent les avantages inhérents au procédé tel que défini précédemment. I1 permet notamment de limiter les pertes de charge dans les colonnes et donc de travailler avec des vitesses spatiales importantes, en facilitant ainsi l'échange turbulent et en limitant l'épaisseur de la couche de diffusion autour des grains d'adsorbants. Ceci a pour conséquence bénéfique de pouvoir utiliser des lits d'adsorbants à faible hauteur de lit; dans le cas d'un lit (AEA), ceci réduit le risque de dégazage de l'oxygène formé par décomposition, d'off une sécurité accrue.
<tb> Na <SEP> 300 <SEP> 000 <SEP> 100 <SEP> 85
<tb> Al <SEP> 59 <SEP> 000 <SEP> 5 <SEP> 200 <SEP> 420
<tb> Ca <SEP> 8 <SEP> 000 <SEP> 460 <SEP> 80
<tb> Fe <SEP> 2 <SEP> 600 <SEP> 370 <SEP> 170
<tb> Sn <SEP> 101 <SEP> 000 <SEP> 1 <SEP> 760 <SEP> 140
<tb>
Ces résultats montrent les avantages inhérents au procédé tel que défini précédemment. I1 permet notamment de limiter les pertes de charge dans les colonnes et donc de travailler avec des vitesses spatiales importantes, en facilitant ainsi l'échange turbulent et en limitant l'épaisseur de la couche de diffusion autour des grains d'adsorbants. Ceci a pour conséquence bénéfique de pouvoir utiliser des lits d'adsorbants à faible hauteur de lit; dans le cas d'un lit (AEA), ceci réduit le risque de dégazage de l'oxygène formé par décomposition, d'off une sécurité accrue.
Claims (8)
1. Procédé de préparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogène caractérisé en ce qu'il comprend au moins une séquence incluant le passage de la solution à purifier, sur successivement au moins un lit d'adsorbants échangeurs d' anions (AEA) et au moins un lit d'adsorbants échangeurs de cations (AEC) et caractérisé en ce qu'une proportion non nulle de la solution sortant d'un lit est recyclée soit en amont de ce lit, soit en amont d'un des lits précédents, soit en amont du premier lit de la première séquence de passage.
2. Procédé tel que défini à la revendication l.dans lequel la proportion de solution recyclée au niveau de chaque lit d'adsorbants est supérieure à 10% en poids et de préférence supérieure à 50% en poids.
3. Procédé tel que défini à l'une des revendications 1 ou 2.caractérisé en ce qu'il comprend une séquence AEAoAEC, et que le recyclage de la solution de peroxyde d'hydrogène obtenue en sortie de la colonne (AEC) se fait en amont de la colonne (AEA).
4. Procédé tel que défini à l'une des revendications 1 ou 3, comprenant en amont et/ou en aval de la séquence de passage sur les lits d'adsorbants échangeurs d'ions de la solution à purifier, une ou plusieurs étapes de purification, telle que la distillation l'extraction liquide, la cristallisation, l'absorption, la filtration, l'ultra-filtration, la nanofiltration, ou l'osmose inverse.
et si désiré une mise au titre préalable de la solution initiale à purifier
5. Procédé tel que défini à la revendication 4 dans lequel la solution de peroxyde d'hydrogène industrielle à purifier, qui est à une concentration de 30 % à 70 % en poids, est préalablement distillée et mise au titre désiré.
6. Procédé tel que défini à la revendication 5 dans lequel une solution de peroxyde d'hydrogène de qualité industrielle ou de qualité dite "alimentaire" ayant une concentration d'environ 50% à 70% en poids subit le traitement préalable suivant : une première étape de distillation/concentration pour obtenir un condensat ayant une concentration supérieure à 80%, plus une première purification par cristallisation à basse température et l'élimination du surnageant. Les cristaux recueillis sont lavés, essorés, puis fondus et la solution obtenue est diluée à 30 ou 35 % par de l'eau déionisée de qualité électronique ultra-pure.
7. Installation pour la mise en oeuvre du procédé tel que décrit à l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce qu'elle est située sur le site d'utilisation de la solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogène et notamment sur le site de fabrication de composants électroniques.
8. Installation telle que décrite à la revendication 7 dans laquelle les lits d'adsorbants échangeurs d'anions sont alimentés en mode ascendant et les lits d'adsorbants échangeurs de cations sont alimentés en mode descendant.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9706471A FR2763931B1 (fr) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
US08/867,960 US5928621A (en) | 1997-05-27 | 1997-06-03 | Process for the preparation of an ultra pure solution of hydrogen peroxide by ion exchange with recycling |
TW087107891A TW450941B (en) | 1997-05-27 | 1998-05-21 | Process for the preparation of an ultrapure solution of hydrogen peroxide by ion exchange with recycling |
KR19997011044A KR20010013065A (ko) | 1997-05-27 | 1998-05-27 | 이온 교환과 재순환에 의해 초순도 과산화수소 용액을제조하는 방법 |
EP98928367A EP0984900A1 (fr) | 1997-05-27 | 1998-05-27 | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
JP50032999A JP2002500612A (ja) | 1997-05-27 | 1998-05-27 | 再循環でのイオン交換による超高純度過酸化水素溶液の製造方法 |
AU80228/98A AU8022898A (en) | 1997-05-27 | 1998-05-27 | Method for preparing an ultrapure hydrogen peroxide solution by ion exchange with recirculation |
PCT/FR1998/001058 WO1998054088A1 (fr) | 1997-05-27 | 1998-05-27 | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
US09/275,819 US6187189B1 (en) | 1997-05-27 | 1999-03-25 | Process for the preparation of an ultrapure solution of hydrogen peroxide by ion exchange with recycling |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9706471A FR2763931B1 (fr) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2763931A1 true FR2763931A1 (fr) | 1998-12-04 |
FR2763931B1 FR2763931B1 (fr) | 1999-07-30 |
Family
ID=9507279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR9706471A Expired - Fee Related FR2763931B1 (fr) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5928621A (fr) |
EP (1) | EP0984900A1 (fr) |
JP (1) | JP2002500612A (fr) |
KR (1) | KR20010013065A (fr) |
AU (1) | AU8022898A (fr) |
FR (1) | FR2763931B1 (fr) |
TW (1) | TW450941B (fr) |
WO (1) | WO1998054088A1 (fr) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2763931B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
FR2784670B1 (fr) * | 1998-10-16 | 2001-01-19 | Air Liquide | Procede de purification aqueuse de peroxyde d'hydrogene contenant des impuretes |
US6471735B1 (en) | 1999-08-17 | 2002-10-29 | Air Liquide America Corporation | Compositions for use in a chemical-mechanical planarization process |
FR2800301B1 (fr) * | 1999-10-27 | 2002-04-26 | Air Liquide | Procede de purification d'une solution de peroxyde d'hydrogene et appareil de purification pour la mise en oeuvre dudit procede |
DE19954055A1 (de) * | 1999-11-10 | 2001-05-17 | Basf Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Entfernung von Salzen aus Wasserstoffperoxid-Lösungen |
FR2803590B1 (fr) * | 2000-01-07 | 2002-06-14 | Air Liquide | Perfectionnement a la purification sur resines echangeuses d'ions de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogene |
JP4030262B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2008-01-09 | 三徳化学工業株式会社 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
JP4056695B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2008-03-05 | 三徳化学工業株式会社 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
JP3895540B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2007-03-22 | 三徳化学工業株式会社 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
DE10054742A1 (de) * | 2000-11-04 | 2002-05-08 | Degussa | Verfahren zur Konzentrierung von wässrigem Wasserstoffperoxid durch Kristallisation |
EP1213262A1 (fr) * | 2000-12-02 | 2002-06-12 | Degussa AG | Procédé de préparation d' eau oxygènée hautement concentrée et eau oxyènée à plus de 99,9% obtenue par ce procédé |
ITMI20032553A1 (it) * | 2003-12-22 | 2005-06-23 | Polimeri Europa Spa | Procedimento per la rimozione degli acidi inorganici e delle impurezze metalliche presenti in soluzioni essenzialmente alcoliche di h202 proveniente da sintesi iretta |
WO2009146186A1 (fr) * | 2008-04-15 | 2009-12-03 | David Randolph Smith | Procédé et appareil pour traiter un puits avec un fluide à densité d’énergie élevée |
CN102485642B (zh) * | 2010-12-02 | 2015-10-07 | 上海化学试剂研究所 | 超高纯过氧化氢的生产方法 |
SG10201608178YA (en) * | 2013-10-02 | 2016-11-29 | Solvay | Process For Manufacturing A Purified Aqueous Hydrogen Peroxide Solution |
KR102579673B1 (ko) * | 2018-08-17 | 2023-09-18 | 오씨아이 주식회사 | 과산화수소의 정제 방법 |
CN116002626B (zh) * | 2022-11-30 | 2023-07-25 | 湖北兴福电子材料股份有限公司 | 一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3074782A (en) * | 1959-05-29 | 1963-01-22 | Shell Oil Co | Hydrogen peroxide purification |
GB2056314A (en) * | 1979-08-13 | 1981-03-18 | Vaponics | Purification of water involving ultrafiltration |
US5397475A (en) * | 1990-10-10 | 1995-03-14 | Interox Chemicals Limited | Purification of hydrogen peroxide |
WO1996039237A1 (fr) * | 1995-06-05 | 1996-12-12 | Startec Ventures, Inc. | Generation sur site de peroxyde d'hydrogene tamponne a purete ultra-haute pour le traitement de semi-conducteurs |
EP0774442A1 (fr) * | 1995-11-15 | 1997-05-21 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Procédé de production d'une solution aqueuse purifiée de peroxyde d'hydrogène |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999179A (en) * | 1988-12-26 | 1991-03-12 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Method for purifying impure aqueous hydrogen peroxide solution |
FR2763931B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
-
1997
- 1997-05-27 FR FR9706471A patent/FR2763931B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-03 US US08/867,960 patent/US5928621A/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-21 TW TW087107891A patent/TW450941B/zh active
- 1998-05-27 KR KR19997011044A patent/KR20010013065A/ko not_active Application Discontinuation
- 1998-05-27 AU AU80228/98A patent/AU8022898A/en not_active Abandoned
- 1998-05-27 EP EP98928367A patent/EP0984900A1/fr not_active Withdrawn
- 1998-05-27 JP JP50032999A patent/JP2002500612A/ja active Pending
- 1998-05-27 WO PCT/FR1998/001058 patent/WO1998054088A1/fr not_active Application Discontinuation
-
1999
- 1999-03-25 US US09/275,819 patent/US6187189B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3074782A (en) * | 1959-05-29 | 1963-01-22 | Shell Oil Co | Hydrogen peroxide purification |
GB2056314A (en) * | 1979-08-13 | 1981-03-18 | Vaponics | Purification of water involving ultrafiltration |
US5397475A (en) * | 1990-10-10 | 1995-03-14 | Interox Chemicals Limited | Purification of hydrogen peroxide |
WO1996039237A1 (fr) * | 1995-06-05 | 1996-12-12 | Startec Ventures, Inc. | Generation sur site de peroxyde d'hydrogene tamponne a purete ultra-haute pour le traitement de semi-conducteurs |
EP0774442A1 (fr) * | 1995-11-15 | 1997-05-21 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Procédé de production d'une solution aqueuse purifiée de peroxyde d'hydrogène |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW450941B (en) | 2001-08-21 |
KR20010013065A (ko) | 2001-02-26 |
FR2763931B1 (fr) | 1999-07-30 |
US5928621A (en) | 1999-07-27 |
US6187189B1 (en) | 2001-02-13 |
WO1998054088A1 (fr) | 1998-12-03 |
JP2002500612A (ja) | 2002-01-08 |
EP0984900A1 (fr) | 2000-03-15 |
AU8022898A (en) | 1998-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2763931A1 (fr) | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage | |
FR2763932A1 (fr) | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde par echange ionique dans des lits a rapports h/d definis | |
EP0634364B1 (fr) | Procede de production d'eau pure | |
EP0984897B1 (fr) | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique en presence d'ions acetate | |
CA2062435C (fr) | Methode d'epuration de peroxyde d'hydrogene pour applications en micro-electronique | |
FR2624500A1 (fr) | Procede pour la fabrication de peroxyde d'hydrogene de haute purete | |
JP6365624B2 (ja) | 過酸化水素水溶液の精製方法および精製装置 | |
FR2763930A1 (fr) | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique sequence : anionique- cationique-anionique-cationique | |
EP1670717B1 (fr) | Purification de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogène | |
JPH0592187A (ja) | フツ素含有水の処理方法 | |
JP3849724B2 (ja) | 高純度過酸化水素水の製造方法 | |
FR2667327A1 (fr) | Procede d'epuration de solutions de phosphate d'alkyle dans un solvant organique hydrophobe. | |
FR2677010A1 (fr) | Procede de purification de peroxyde d'hydrogene. | |
JP3259557B2 (ja) | 有機物の除去方法 | |
KR100582524B1 (ko) | 인산 함유 폐식각액의 재생방법 | |
RU2016637C1 (ru) | Способ получения сахара-песка из сахарных соков методом салдадзе | |
JP4665279B2 (ja) | ホウ素含有水の処理方法 | |
EP0369831B1 (fr) | Procédé de traitement chimique des effluents de régénération de résines échangeuses d'ions de décoloration de solutions de sucre pour leur réutilisation comme régénérant | |
KR20060002636A (ko) | 인산 함유 폐식각액의 재생방법 | |
FR2835444A1 (fr) | Procede et installation de traitement d'effluents liquides contenant notamment des polluants en suspension | |
KR0140321B1 (ko) | 철강 산세 폐액중의 불순물 제거방법 | |
FR2584699A1 (fr) | Chlorosulfate d'aluminium basique, son procede de preparation et son application comme agent coagulant | |
JP3525495B2 (ja) | 高純度水の製造方法 | |
JPS59163366A (ja) | カプロラクタムの精製方法 | |
FR2538365A1 (fr) | Procede d'elimination de l'anhydride sulfureux present dans l'acide fluorhydrique en tant qu'impuretes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TP | Transmission of property | ||
ST | Notification of lapse |