FR2746183B1 - Dispositif capteur chimique a semiconducteur et procede de formation d'un dispositif capteur chimique a semiconducteur - Google Patents

Dispositif capteur chimique a semiconducteur et procede de formation d'un dispositif capteur chimique a semiconducteur

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6202467B1 (en) * 1996-10-10 2001-03-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Hybrid integrated circuit for a gas sensor
EP0856825B1 (fr) * 1997-01-31 2004-11-17 STMicroelectronics S.r.l. Méthode pour la fabrication des dispositifs semi-conducteur avec des microcapteurs de gaz chimiorésistants
FR2765967B1 (fr) * 1997-07-11 1999-08-20 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'analyse a puce comprenant des electrodes a chauffage localise
EP0947245B1 (fr) 1998-02-05 2004-04-07 Motorola Semiconducteurs S.A. Procédé de fabrication de colloides contenant un métal et procédé de fabrication d'une couche sensible pour un dispositif capteur chimique
US6387724B1 (en) * 1999-02-26 2002-05-14 Dynamics Research Corporation Method of fabricating silicon-on-insulator sensor having silicon oxide sensing surface
DE10011562C2 (de) * 2000-03-09 2003-05-22 Daimler Chrysler Ag Gassensor
DE10119405A1 (de) * 2001-04-20 2002-10-24 Bosch Gmbh Robert Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE60102684T2 (de) * 2001-07-05 2004-12-02 Microchemical Systems S.A. Chemischer Gassensor
KR100529233B1 (ko) * 2003-09-06 2006-02-24 한국전자통신연구원 센서 및 그 제조 방법
DE102004017750B4 (de) * 2004-04-06 2006-03-16 Flechsig, Gerd-Uwe, Dr. rer. nat. Analyse-Array mit heizbaren Elektroden
DE102006006347B3 (de) 2006-02-07 2007-08-23 Universität Rostock Sensorvorrichtung für ein elektrochemisches Messgerät und Verfahren zur Durchführung elektrochemischer Messungen
US7759957B2 (en) * 2007-07-27 2010-07-20 United Microelectronics Corp. Method for fabricating a test structure
US9863901B2 (en) * 2013-12-06 2018-01-09 Robert Bosch Gmbh Semiconductor sensor having a suspended structure and method of forming a semiconductor sensor having a suspended structure
WO2017205146A1 (fr) * 2016-05-27 2017-11-30 Carrier Corporation Dispositif de détection de gaz et son procédé de fabrication
US10094802B2 (en) 2016-06-01 2018-10-09 EXIAS Medical GmbH Heating system for a measurement cell
TWI679782B (zh) * 2017-12-19 2019-12-11 財團法人工業技術研究院 感測裝置及其製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5618750A (en) * 1979-07-25 1981-02-21 Ricoh Co Ltd Gas detector
CA1216330A (fr) * 1983-02-07 1987-01-06 Junji Manaka Detecteur faible puissance pour gaz
US4967589A (en) * 1987-12-23 1990-11-06 Ricoh Company, Ltd. Gas detecting device
FI82774C (fi) * 1988-06-08 1991-04-10 Vaisala Oy Integrerad uppvaermbar sensor.
DE3941837C2 (de) * 1989-12-19 1994-01-13 Bosch Gmbh Robert Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen und Verfahren zu seiner Herstellung
US5250170A (en) * 1990-03-15 1993-10-05 Ricoh Company, Ltd. Gas sensor having metal-oxide semiconductor layer
JPH04212048A (ja) * 1990-06-11 1992-08-03 Ricoh Co Ltd ガスセンサ
US5345213A (en) * 1992-10-26 1994-09-06 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Temperature-controlled, micromachined arrays for chemical sensor fabrication and operation
JP3452409B2 (ja) * 1994-08-10 2003-09-29 株式会社リコー マイクロブリッジヒータ

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JP3949771B2 (ja) 2007-07-25
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TW359888B (en) 1999-06-01
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EP0795747A1 (fr) 1997-09-17
KR970067765A (ko) 1997-10-13
DE69725770D1 (de) 2003-12-04

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