FR2696426A1 - Procédé pour le masquage d'une pièce, et installation de traitement sous vide. - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un procédé pour le masquage d'une pièce (22), notamment de la zone centrale et/ou périphérique de pièces en forme de disques (22) pendant un traitement de surface sous vide. Selon ce procédé, au moins un organe de masquage (58) se présentant comme un élément séparé est appliqué sur la pièce, sur le trajet amenant celle-ci au traitement, puis est enlevé de cette pièce. L'invention concerne aussi une installation de traitement sous vide comportant un dispositif de chambre (1, 2) et des moyens de transport pour faire entrer les pièces dans ledit dispositif, pour les faire passer par celui-ci et pour les faire sortir de celui-ci. Le long des moyens de transport est prévu un poste pour appliquer à chaque fois au moins un organe de masquage amovible sur une pièce.

Description

Procédé pour le masquage d'une pièce, et installation de traitement sous

vide La présente invention concerne un procédé pour le masquage d'une pièce, notamment pour couvrir la zone centrale et/ou périphérique de pièces en forme de disques, par exemple lors de la fabrication de disques de mémoires, pendant un traitement de surface sous vide Elle concerne également une installation de traitement sous vide pour le traitement de surface de pièces, notamment pour couvrir la zone centrale et/ou périphérique de pièces en forme de disques, comme pour la fabrication de disques compacts ou de disques de mémoires, comportant un dispositif de chambre apte à être mis sous vide et des moyens de transport pour faire entrer les pièces dans le dispositif de chambre, pour les faire passer par celui-ci

et pour les faire sortir de celui-ci.

Lors du traitement de surface de pièces à l'aide de procédés sous vide non réactifs ou réactifs comme par exemple des procédés de gravure, des procédés de revêtement physiques ou chimiques avec ou sans le soutien d'un décharge lumineuse, il est souvent nécessaire de couvrir des zones de la surface à traiter pour les protéger de l'un au moins des procédés de traitement exécutés ou de leur action Un exemple typique auquel se réfère en particulier mais pas exclusivement la présente invention est celui du traitement de surface de pièces en forme de disques comme par exemple la fabrication ou l'usinage de disques de mémoires, par exemple de disques compacts, de disques de mémoires magnétiques ou magnétiques optiques. On connaît pour cela un moyen de prévoir pour ces plaques en folme de disques, par exemple pour leur zone centrale et périphérique, au niveau d'un poste de traitement correspondant, des organes de masquage fixes Etant exposés au procédé d'usinage, les organes de masquage doivent être régulièrement remplacés A cet effet, l'installation de traitement ou au moins le poste d'usinage concerné doit être exposé généralement à une atmosphère normale, ce qui nécessite en conséquence des temps d'arrêt longs suivis d'un reconditionnement. L'homme de l'art sait qu'il est également possible d'associer de façon fixe lesdits organes de masquage à une pièce usinée dans une installation, c'est-à-dire de prévoir des tôles de masquage ou des éléments similaires au niveau d'un support de pièce et, si ce dernier est mobile dans l'installation, de le faire passer à travers l'installation avec la pièce Mais là aussi, le changement de masque oblige à ouvrir l'installation et entraîne donc des temps d'arrêt et

de reconditionnement longs.

D'après la demande US-4 857 160, on connaît un moyen d'amener des masques, qui sont maintenus dans une atmosphère normale, vers les pièces lorsque celles-ci entrent dans une zone d'usinage sous vide, et de les enlever de ces pièces dès que celles-ci, usinées, sont sorties de la zone d'usinage sous vide Le gros inconvénient de ce procédé est que les pièces qui doivent absolument être amenées à moment ou à un autre dans l'atmosphère d'usinage sous vide à partir de l'atmosphère normale le sont au même rythme que les organes de masquage Cela introduit dans l'atmosphère d'usinage sous vide une source de contamination sensible supplémentaire qui nécessite des temps de dégazage et de conditionnement supplémentaires. D'après la demande DE-OS 39 12 297, on connaît un moyen d'associer de façon fixe des organes de masquage à un poste de gravure par crépitement, de les arrêter axialement sur la pièce amenée en position d'usinage et de les soulever de celle-ci Les organes de masquage restent ici en atmosphère d'usinage sous vide, mais, comme il a été indiqué plus haut, le changement des organes de masquage usés oblige à arrêter au moins le poste d'usinage concerné, quand ce

n'est pas l'ensemble de l'installation.

La présente invention s'est fixé pour but de

supprimer ces inconvénients.

Ce but est atteint, selon l'invention, grâce à un procédé du type spécifié en introduction qui se caractérise en ce qu'au moins un organe de masquage se présentant comme un élément séparé est appliqué sur la pièce, sur le trajet amenant celle-ci au traitement, puis est enlevé de cette

pièce L'application se fait dans des conditions de vide.

On conserve non seulement l'avantage présenté par exemple par la demande DE-OS 39 12 297 mentionnée, qui réside dans le fait que les organes de masquage restent pendant de longs intervalles de temps dans l'atmosphère d'usinage sous vide, mais on obtient également l'avantage rencontré avec la demande US-PS 4 857 160, grâce auquel on peut changer les organes de masquage une fois usés sans arrêter l'installation, en amenant par exemple les pièces suffisamment tôt dans l'atmosphère vide en fonction des temps

de dégazage nécessaires.

Grâce au fait que l'organe de masquage considéré est amené sous la forme d'un élément séparé vers la pièce, sur le trajet amenant celle-ci vers le traitement, puis est enlevé de celle-ci, l'organe de masquage peut être mis en place au niveau de pièces arrivant aussi souvent que le permet son degré d'usure par les procédés d'usinage Etant donné que l'organe de masquage est par ailleurs amené vers la pièce dans une atmosphère vide et qu'il est maintenu pour cela dans une atmosphère vide, certains éléments ne sont plus absolument nécessaires, à savoir des éléments mis en place sur la pièce elle-même de l'atmosphère normale dans l'atmosphère d'usinage sous vide Pour le changement des organes de masquage, l'installation de traitement dans laquelle le procédé est mis en oeuvre n'a plus à être arrêtée

et reconditionnée après le changement de masque.

Les organes de masquage doivent en effet rester le plus possible dans des conditions de vide, c'est-à-dire rester conditionnés, étant donné qu'une exposition fréquente à l'atmosphère normale entraîne une absorption de gaz et de vapeur d'eau, l'écaillage de couches déjà appliquées et la formation de particules dans l'atmosphère d'usinage En laissant les organes de masquage en atmosphère vide, on augmente leur durée de vie et on réduit la formation de particules. Bien qu'il soit par ailleurs possible de procéder à l'application mentionnée même à l'intérieur d'une installation de traitement sous vide, c'est-à-dire dans des conditions de vide, à n'importe quel endroit de la trajectoire de déplacement des pièces, celles-ci sont transférées de préférence au moins d'une première chambre dans une seconde chambre puis amenées dans une position de traitement, et inversement après leur traitement, et les organes de masquage sont appliqués sur les pièces lors du transfert de celles- ci de la première à la seconde chambre, et de préférence enlevés des pièces lors du retour ou après

le retour de celles-ci.

Il s'est avéré que la phase pendant laquelle une pièce était transférée d'une chambre de l'installation de traitement dans une chambre voisine et inversement était

optimale pour l'application dudit organe de masquage.

On obtient une utilisation optimale des organes de masquage d'une part, et une fréquence minimale de l'amenée dans l'installation de traitement de surfaces de masquage non conditionnées d'autre part grâce au fait que c'est le même organe de masquage qui est enlevé d'une pièce usinée et appliqué sur une pièce à usiner, et qu'il est remplacé périodiquement. Au lieu de dispositifs d'amenée mécaniques, d'inverseurs, etc, tout à fait réalisables, l'invention propose que l'application de l'organe de masquage et son enlèvement se fassent de façon commandée par champ magnétique et que ledit organe de masquage soit de préférence retenu en position d'application contre la pièce de façon magnétique,

et de préférence magnétique permanente.

On obtient ainsi que pendant la phase dans laquelle l'organe de masquage doit être manipulé, cela puisse se faire de façon commandée par voie électromagnétique, et ce localement à l'intérieur de l'installation Lorsque l'organe de masquage est transporté avec la pièce, le mode de réalisation préféré prévoit que l'organe de masquage et éventuellement, de ce fait, la pièce soient retenus de façon

magnétique permanente.

Lors du changement de l'organe de masquage, un cycle préféré se déroule de la manière suivante lors du transfert, l'organe de masquage est soulevé d'une pièce usinée, dans la zone de retour, la pièce usinée est transférée dans la première chambre et évacuée dans celle-ci, une pièce non usinée se trouvant dans la première chambre est amenée en position de transfert, l'organe de masquage soulevé est appliqué sur la pièce non usinée, et celle-ci est transférée dans la seconde chambre et, de là, amenée vers la

position d'usinage.

Pour atteindre le but fixé, l'installation de traitement sous vide également proposée se caractérise en ce qu'il est prévu, le long des moyens de transport, un poste d'application pour appliquer à chaque fois au moins un organe

de masquage amovible sur une pièce.

D'une manière avantageuse, le poste d'application au

moins est disposé à l'intérieur du dispositif de chambre.

Celui-ci comprend au moins deux chambres communiquant au moins temporairement par l'intermédiaire d'une ouverture de transfert, et dans laquelle est prévu un mécanisme de transport pour les pièces, et le poste d'application est

défini dans la zone d'ouverture.

Dans un mode de réalisation préféré, des postes d'application et d'évacuation sont définis au niveau de l'ouverture de transfert et sont conçus conjointement comme un poste de transition qui soumet l'organe de masquage à un mouvement de va-et-vient par rapport au mécanisme de transport prévu dans la seconde chambre, suivant qu'il doit

être enlevé ou ré-appliqué.

L'invention propose que le poste de transition comporte, au niveau du mécanisme de transport prévu dans la première chambre, un dispositif de transfert pour transférer l'organe de masquage à partir du mécanisme de transport prévu dans la seconde chambre et pour le ramener sur ledit mécanisme de transport prévu dans la seconde chambre Enfin, le poste d'application et également, de préférence, le poste d'évacuation comporte un dispositif d'électro-aimant pour la

manipulation commandée par champ de l'organe de masquage.

L'invention va maintenant être décrite plus en détail, à titre d'exemple, en référence aux dessins dans lesquels: la figure 1 est une coupe longitudinale schématique d'une configuration d'installation préférée dans laquelle est appliqué le procédé de l'invention, la figure 2 est une vue de dessus partiellement en coupe d'une installation selon la figure 1, la figure 2 a montre un mode de réalisation préféré d'un logement de pièce prévu dans une chambre d'une installation selon les figures 1 et 2, les figures 3 a à 3 f montrent schématiquement le principe du procédé et d'une installation de traitement sous vide conformes à l'invention, selon un mode de réalisation préféré, la figure 4 montre une variante de réalisation pour la zone de transfert prévue pour les pièces et les organes de masquage sur une installation selon les figures 1 et 2, la figure 5 montre schématiquement le principe de base du procédé conforme à l'invention et d'une installation utilisant celui-ci, la figure 6 montre schématiquement et partiellement en coupe une chambre telle qu'elle est utilisée dans l'installation selon les figures 1 et 2, afin d'expliquer ses principes de base, la figure 7 montre une variante de réalisation pour une chambre analogue à celle qui est représentée sur la figure 6, la figure 8 est une coupe partielle d'une autre variante de réalisation du principe d'une chambre telle qu'elle est utilisée également dans l'installation des figures 1 et 2, la figure 9 montre le principe d'une variante de réalisation de la chambre selon la figure 6, intégrée dans une disposition d'installation différente, la figure 10 est une vue de dessus partiellement en coupe d'une configuration de l'installation selon la figure 9, la figure 11 montre schématiquement le principe de base de chambres selon les figures 8 à 10 et de l'une des chambres selon les figures 1 et 2, la figure 12 montre schématiquement, à partir du principe de la figure 11, une autre possibilité de disposition de chambre, la figure 13 montre, à partir de la disposition de la chambre selon la figure 12, une autre possibilité de disposition plus étendue, la figure 14 est une coupe partielle d'un autre mode de réalisation d'une chambre suivant le même principe que l'une des chambres utilisées dans l'installation de la figure 1 et que les chambres des figures 8 à 13, la figure 15 donne la définition de symboles graphiques pour des types de chambres différents, et la figure 16 montre, à titre d'exemple, des configurations d' installations construites de façon modulaire avec l'une au moins des chambres conçues suivant le principe

des figures 1 et 2.

Ce qui suit va tout d'abord décrire, en référence aux figures 1, 2, 2 a, un agencement d'installation préféré à l'heure actuelle qui comprend le procédé conforme à l'invention Pour des raisons de clarté, la figure 1 est davantage schématisée que la figure 2 Les mêmes chiffres de

référence sont utilisés sur les figures 1 à 2 a.

L'installation comprend une première chambre 1 et une seconde chambre 2 qui communiquent entre elles par l'intermédiaire d'une ouverture de liaison 4 La première chambre 1, conçue comme une chambre tampon, comporte (figure 2) une ouverture d'amenée et d'évacuation 6 (une ouverture formant sas) qui peut être obturée de façon étanche à l'aide d'un plateau d'amenée et d'obturation 8 à actionnement commandé Au centre du carter de la première chambre 1 est monté un mécanisme d'entraînement rotatif 10 qui entraîne un

carrousel 14 par l'intermédiaire d'un axe d'entraînement 12.

Ce carrousel 14 comprend une plaque de transfert 16 sur laquelle sont disposés, par l'intermédiaire de ressorts à lames 18 (voir aussi figure 2 a), des logements 20 pour des pièces 22 en forme de disques Grâce à la suspension par ressorts à lames, les logements 20 peuvent être écartés radialement de façon élastique comme il est représenté sur la

figure 1 en sj.

Les huit logements 20 prévus sur le carrousel 14 sont conçus sensiblement comme des châssis, comme il apparaît en particulier sur la figure 2 a Perpendiculairement à la surface d'extension des pièces 22, ces logements 20 présentent une ouverture de passage 24 ainsi qu'un mécanisme de retenue 26 agissant comme une pince pour les pièces 22 passant par l'ouverture de passage 24, ce mécanisme de retenue 26 n'étant dessiné que sur la figure 2 a, pour des raisons de clarté Grâce au fait que les ressorts à lames 18 sont disposés au bord (figure 2 a), l'ouverture de passage 24

reste dégagée.

Les pièces, qui consistent ici en disques de mémoires, présentent une ouverture centrale 28 Grâce à une rotation intermittente du carrousel 14, les logements 20 sont amenés de façon séquentielle en face des ouvertures 4 et 6 de

la chambre 1.

Comme il ressort notamment de la figure 2, il est prévu un socle de montage 29 qui est monté de façon rigide au niveau du carter de la chambre 1, à l'opposé du dispositif de transfert 16, par rapport à l'axe A 14 du carrousel 14 prévu dans la chambre 1, et sur lequel sont disposés, dans l'alignement des deux ouvertures 4 et 6 prévues ici à titre d'exemple, deux plateaux 30 a et 30 b aptes à être déployés et rétractés radialement indépendamment l'un de l'autre Les organes d'entraînement prévus pour ces plateaux 30 a et 30 b sont rendus étanches et enveloppés selon la technique du vide par l'intermédiaire de soufflets 32 a, 32 b Des conduites de commande pneumatiques 34 a, 34 b sont amenées dans le bloc 29, comme le montre schématiquement la figure 1 Comme le montre également schématiquement 36 sur la figure 1, la chambre 1 présente un branchement de pompe 36 pour son conditionnement,

et éventuellement des branchements de gaz.

Comme on peut le voir, grâce au principe, appliqué à la chambre 1, du carrousel comportant une multiplicité de logements 20 pour les pièces, et les plateaux 30 à action radiale, le nombre de pièces contenues dans cette chambre est supérieur au nombre de pièces momentanément transférées par les ouvertures prévues Le gros avantage de cette situation est que les pièces momentanément non manipulées par rapport aux ouvertures mentionnées peuvent être conditionnées dans cette chambre, et notamment dégazées Cela peut se faire par chauffage ou à l'aide d'autres traitements préliminaires connus. Un autre avantage doit être considéré dans le fait que la manipulation des pièces par rapport auxdites ouvertures se fait dans le même plan que celui dans lequel

les pièces tournent dans la chambre 1 à l'aide du carrousel.

Il est ainsi possible de construire de façon modulaire, compacte et radiale, et donc, si nécessaire, de façon plate, toute une installation comprenant la chambre 1 et d'autres chambres disposées au niveau de ces ouvertures, qu'il s'agisse d'autres chambres de transport et de distribution,

de chambres d'usinage ou de chambres formant sas.

Il est bien évident que dans la chambre 1, considérée en soi, plus de deux ouvertures peuvent être prévues et desservies radialement par des plateaux 30 disposés en conséquence La simplicité de construction est conservée étant donné que le carrousel peut être entraîné de façon très simple et que les mouvements radiaux de manipulation peuvent être commandés par un centre fixe, ce qui rend cette commande sensiblement plus simple que lorsque les mouvements rotatif et axial sont accouplés Mais fondamentalement, il est tout à fait possible, en conservant cette structure simple, de faire tourner le socle 29 avec les plateaux 30 autour de l'axe A 14, mais indépendamment du carrousel 14 Un plus grand nombre d'ouvertures peut ainsi être desservi avec moins de plateaux 30, en particulier lorsque les ouvertures ne doivent pas être obturées de façon étanches, par exemple si l'étanchéité réalisée à l'aide de joints à labyrinthe de

diffusion est suffisante pour l'application considérée.

Dans le mode de réalisation représenté, la zone de l'ouverture 6 agit comme sas d'entrée-sortie pour les pièces, tandis que la chambre 1 en soi sert au conditionnement de pièces amenées de l'atmosphère, avant que celles-ci ne soient transportées vers un poste d'usinage, d'une manière décrite

plus loin, par l'ouverture 4.

Considérons maintenant, à l'aide de la configuration de la chambre 1 représentée spécifiquement, le fonctionnement du dispositif d'amenée et d'évacuation de pièces par

l'ouverture 6 conçue comme un sas.

Grâce à une rotation du carrousel 14 dans le sens indiqué sur la figure 2 par S 2, un logement 20 contenant par exemple une pièce finie est amené dans la zone de l'ouverture alors que le plateau 30 a est rétracté et que le plateau d'amenée/d'obturation 8 est bien évidemment obturé de façon étanche par l'intermédiaire de joints d'étanchéité 38 Puis, à l'aide du plateau 30 a, à l'encontre de l'action des ressorts 18, le logement 20 considéré est appliqué contre la paroi de la chambre 1 de manière étanche grâce à des joints d'étanchéité 40, des joints d'étanchéité non représentés prévus entre le logement 20 et le plateau 30 a garantissant l'isolation étanche au vide de l'ouverture 6 par rapport à la

chambre 1.

Par voie magnétique, pneumatique ou mécanique, par exemple, la pièce 22, après le relâchement du mécanisme de retenue 26, est prise sur le logement 20 par le plateau d'amenée/d'obturation 8, grâce à l'action d'un coulisseau d'actionnement tel qu'il est représenté sur la figure 2 a par s 3 Tout en conservant l'obturation étanche réalisée par le plateau 30 a contre la paroi de la chambre 1, par il l'intermédiaire du logement 20, le plateau d'amenée/ d'obturation 8 peut alors être soulevé, la pièce usinée est enlevée de ce plateau 8 et une nouvelle pièce à usiner est mise en place Le plateau 8 contenant la nouvelle pièce à usiner est obturé de façon étanche, là encore, le mécanisme de retenue 26 prend la pièce à usiner, au niveau du logement libre, après quoi le plateau 30 a est amené dans la position rétractée représentée en trait discontinu sur la figure 2 Le carrousel est ainsi libre de tourner pour un

nouveau cycle dans le sens S 2.

Comme il est indiqué en trait discontinu sur la figure 2 en 42, l'ouverture 6 peut être reliée à une pompe 42 par un branchement de pompe, lorsqu'une pureté maximale est exigée pour l'atmosphère dans la chambre 1 Mais étant donné le volume extrêmement faible de la zone d'ouverture 6 agissant comme sas, le rapport de dilution entre le volume présent dans cette zone d'ouverture 6 et le volume de la chambre 1 peut être équilibré pour garantir le plus souvent

une pureté suffisante de l'atmosphère de la chambre 1.

Comme il a-déjà été indiqué, le plateau 8 peut être conçu comme un plateau de transport et faire partie d'un mécanisme de transport prévu dans une autre chambre bridée au niveau de l'ouverture 6, ou bien un mécanisme de transport d'un autre type peut amener les pièces vers le carrousel 14 et les évacuer de celui-ci par l'ouverture 6 Par ailleurs, il est tout à fait possible de prévoir, par exemple dans la position radiale B, un sas d'évacuation présentant par exemple la même structure que celui qui a été décrit à propos de l'ouverture 6, et d'amener les pièces vers la chambre 1 et

de les évacuer de celle-ci au niveau de deux zones séparées.

Comme il a été indiqué plus haut, il est possible de prévoir plus de deux plateaux 30 afin de desservir un nombre correspondant d'ouvertures prévues dans la chambre 1, et dans un cas extrême, autant d'ouvertures qu'il y a de logements

20.

Comme on peut le voir sur la figure 2, la trajectoire de transport pour les pièces allant de leur entrée dans la chambre 1 à leur sortie de celle-ci est sensiblement plus longue, en direction d'un poste d'usinage, que la trajectoire de transport qui ramène les pièces d'un poste d'usinage dans

la chambre 1 et, de là, vers la sortie de la chambre 1.

Fondamentalement, lorsque la chambre 1, quelle que soit sa configuration, est utilisée comme chambre de conditionnement pour les pièces avant leur usinage, la trajectoire de transport choisie pour les pièces entre une ouverture de réception et une ouverture de sortie pour les pièces à usiner est plus longue que la trajectoire de transport pour les pièces usinées entre une ouverture de réception correspondante et une ouverture de sortie, si les ouvertures d'entrée/sortie sont combinées, comme sur la figure 2, par exemple en forme de sas d'entrée/sortie Cela augmente le temps de séjour des pièces dans la chambre 1 servant de chambre préliminaire, pendant lequel les pièces peuvent dégager de la vapeur d'eau et du gaz Les pièces sont ainsi préparées (conditionnées) pour des phases d'usinage ultérieures Cela est important en particulier pour les matériaux présentant une grande absorption de gaz ou d'eau, comme par exemple les matières plastiques habituellement utilisées pour les disques de mémoires Un trop fort dégagement de gaz à partir des pièces au niveau des postes de traitement n'est donc pas tolérable car le revêtement des

pièces pourrait ainsi devenir inutilisable.

Considérons maintenant la chambre 2 et son

interaction avec la chambre 1.

Dans la chambre 2 est prévu un transporteur en étoile 44 comportant par exemple six bras de transport 46, qui est entraîné en rotation autour d'un axe 50 par un mécanisme d'entraînement 48 A 1 'extrémité des bras 46 sont disposés des plateaux 52 aptes à être déployés et rétractés radialement à l'aide d'organes d'entraînement enveloppés de façon étanche au vide Les plateaux 52 peuvent être amenés par pivotement d'un côté en face de l'ouverture 4 de la chambre 1, et de l'autre côté en face d'une ou plusieurs ouvertures supplémentaires 54, au niveau desquelles peuvent être prévus un ou plusieurs postes d'usinage, comme dans l'exemple représenté, et/ou d'autres chambres de transport ou chambres formant sas Dans l'exemple représenté, il est prévu

une chambre d'usinage 56.

Le transfert des pièces de la chambre 1 vers la chambre 2 va maintenant être expliqué Pour leur traitement de surface dans un poste d'usinage situé en aval de l'ouverture 4, c'est-à-dire après l'ouverture 4 dans le sens de déplacement des pièces, les pièces doivent être couvertes au niveau de zones de surface souhaitées Dans le cas de disques de mémoires qui est considéré ici, la zone centrale située autour de l'ouverture 28 et la zone périphérique de ces disques doivent être couvertes, pour l'usinage, au niveau

de l'un au moins des postes d'usinage.

D'une manière décrite plus loin, le masquage central est assuré par un élément de masquage amené de façon amovible pour chaque pièce à usiner, et qui est appliqué sur les pièces avant leur usinage et est enlevé après l'usinage, comme il sera décrit Les organes de masquage 58 qui sont appliqués, après l'usinage, sur les pièces ramenées sur les plateaux 52, sont enlevés dans la zone de l'ouverture 4 de ces pièces déjà usinées, et appliqués sur une nouvelle pièce posée sur l'un des plateaux 52 prévus dans la chambre 2, laquelle pièce est ensuite amenée dans la position d'usinage grâce à une rotation du transporteur en étoile 44 A cet effet, un électro-aimant est disposé de façon centrale au niveau du plateau 30 b de la chambre 1 qui est fixe en rotation. Supposons que dans le sens de rotation S 4 représenté à titre d'exemple sur la figure 2, une pièce en forme de disque 22 du type indiqué soit amenée dans la position représentée sur la figure 1, en face de l'ouverture 4 Le plateau 52 correspondant est appliqué de f açon étanche contre

la bordure de l'ouverture 4 avec des joints d'étanchéité 62.

La pièce 22 placée sur ce plateau et maintenue par un aimant 64, de préférence un aimant permanent, est ainsi insérée dans l'ouverture 4 Pendant le mouvement rotatif du plateau 52 autour de l'axe 50 o A 44, un logement 20 sans pièce, c' est-à-dire un logement 20 vide, reste positionné en face de l'ouverture 4 Le plateau 30 b presse ce logement 20 vide de façon étanche, par l'intermédiaire de joints d'étanchéité 66 et 68, contre la bordure de l'ouverture 4 située du côté de la chambre 1, de sorte que pendant le mouvement rotatif du transporteur en étoile 44, les deux chambres 1 et 2 sont

séparées de façon étanche, et éventuellement étanche au vide.

Lorsque le plateau 52, une fois amené en position, garantit de son côté cette séparation du côté de la chambre 2 à l'aide des joints d'étanchéité 62, l'électro-aimant 60 prévu au niveau du plateau 30 b est activé, l'organe de masquage 58 réalisé en un matériau magnétique est saisi et détaché de la pièce 22 et du plateau 52 grâce à la rétraction du plateau 30 b Grâce à l'actionnement d'un coulisseau tel qu'il est représenté schématiquement en 70 sur la figure 1, le mécanisme de retenue 26 de la figure 2 a saisit dans le logement 20 la pièce 22 usinée Après que le plateau 30 b a été rétracté avec l'organe de masquage 58 fixé sur lui par voie magnétique, le carrousel 14 tourne suivant un cycle dans le sens S 2, et un logement 20 chargé d'une pièce non usinée est alors amené en face de l'ouverture 4 La pièce qui a été traitée et qui est débarrassée del'organe de masquage se trouve maintenant, avec son logement 20 associé, selon la figure 2, dans la position angulaire B Grâce au déploiement du plateau 30 b contenant, là encore, l'organe de masquage 58 recueilli précédemment, celui-ci est appliqué sur la nouvelle pièce 22 amenée La séparation entre les chambres est assurée une nouvelle fois à l'aide des joints d'étanchéité 66 et 68,

au niveau du nouveau logement 20 inséré.

L'électro-aimant 60 est désactivé, et c'est l'aimant 64 qui attire et retient l'organe de masquage 58 avec la pièce contre le plateau 52 A cet effet, le mécanisme de retenue 26 est libéré grâce au coulisseau 70 monté de façon

étanche, de préférence étanche au vide (soufflet).

La pièce se trouve ainsi masquée sur le plateau 52.

Le logement 20 est vide et prêt à recevoir lors du cycle suivant une pièce usinée Le plateau 52 qui vient d'être chargé est rétracté, et la séparation entre les chambres est assurée par le plateau 30 b et le logement 20 vide Grâce à la rotation du transporteur en étoile 44, la pièce qui vient d'être chargée est d'une part amenée vers sa position d'usinage, et d'autre part une pièce déjà usinée est amenée dans une position faisant face au logement 20 vide Le joint d'étanchéité 68 est disposé par exemple au niveau du logement et dans le cas de l'installation représentée, il a pour

rôle de rendre le sas étanche au niveau de l'ouverture 6.

Comme le joint d'étanchéité 68, les joints d'étanchéité 66 et/ou 62 peuvent être conçus comme des joints à labyrinthe de diffusion si, avec des procédés d'usinage moins délicats, une séparation étanche au vide entre les chambres 1 et 2 n'est pas nécessaire ou si des chambres d'usinage et/ou de transport montées par exemple en aval de la chambre 2 présentent en soi des organes de séparation et des moyens de conditionnement. Lorsqu'un bras 46 du transporteur en étoile 44 est positionné en face d'un poste d'usinage et en face de l'ouverture menant à celui-ci, comme 54, son plateau 52 est déployé et s'applique par exemple et au cas o cela est nécessaire, avec les joints d'étanchéité 62, contre la bordure de l'ouverture 54 Le traitement de surface de la pièce masquée 23 a lieu à l'aide d'un procédé de gravure ou de revêtement par exemple Dans l'exemple représenté pour des disques de mémoires, le masquage périphérique est réalisé grâce à une bague de masquage 72 qui est montée fixe sur le poste d'usinage 56 et qui peut avoir une configuration élastique Mais il est tout à fait possible, si cela est nécessaire, de manipuler des organes de masquage périphériques ou autres suivant le même principe que l'organe de masquage central 58, et cela sera expliqué plus loin en

référence à la figure 4.

Comme il a été indiqué précédemment, plusieurs postes d'usinage peuvent aussi être prévus au niveau de la chambre 2 et/ou certaines des ouvertures prévues peuvent déboucher dans d'autres chambres de transport ou de distribution ou encore dans d'autres chambres formant sas Comme il est représenté schématiquement en 74, on fait aussi le vide dans la chambre 2 elle-même ou on la conditionne, dans l'installation représentée. Les conduites de commande (non représentées) prévues pour l'entraînement des plateaux 52 sont amenées dans l'axe

du transporteur en étoile 44.

Ce que les figures 1 à 2 a ne montrent pas, c'est que les organes de masquage 58, une fois qu'ils sont usés par l'usinage, par exemple lorsque leur revêtement est devenu trop épais après plusieurs passes, ne sont plus ramenés dans la chambre 2, mais qu'ils sont évacués par exemple avec le plateau 30 b, sans être soulevés et en restant sur la pièce usinée Etant donné que cela est prévu, une nouvelle pièce non usinée amenée avec le logement 20 comme il a été décrit, est introduite dans la chambre 1 en étant déjà dotée d'un organe de masquage 58, ce qui remplace l'organe de masquage

58 usé.

La présente invention a été représentée sur les figures 1 à 2 a en référence à un exemple de réalisation

spécial préféré.

La représentation de principe de la figure 3 montre comment se fait fondamentalement le changement de masque entre deux organes de transport lorsqu'on suit le concept des

figures 1, 2, 2 a.

Selon la figure 3 a, deux chambres 80 et 78 sont séparées par une cloison 76 pourvue d'une ouverture 82 Dans chaque chambre est disposé un dispositif de transport représenté ici schématiquement sous la forme d'un convoyeur à bande, respectivement 84 et 86 Sur chacun des convoyeurs sont prévus des organes de retenue manoeuvrables pour les pièces 88, comme le représente schématiquement 90 Le sens de transport des pièces 88 vers la position d'usinage va de la chambre 78 à la chambre 80, comme le représente S 5 Supposons

maintenant que l'installation soit mise en marche.

Selon la figure 3 a, le dispositif de transport 84 est vide tandis qu'avec le dispositif de transport 86, les pièces 88 sont amenées conjointement avec les organes de masquage 92 conçus comme des éléments séparés, dans le sens indiqué par S 6 La première pièce fournie N O 1 est amenée en face de l'ouverture 82 et, comme le montre la figure 3 b, elle est poussée par l'organe de transport transversal 94 se présentant par exemple sous la forme d'un coulisseau, du convoyeur 86 sur le convoyeur 84 en passant par ladite ouverture 82 Le convoyeur 84 est alors déclenché pour un nouveau cycle dans le sens 57 indiqué à titre d'exemple sur

la figure 3 b.

Ce processus dure jusqu'à ce que le convoyeur 84 tournant cycliquement soit entièrement chargé de pièces dont une partie sont déjà usinées Jusqu'ici, le convoyeur 88 était toujours vidé en aval de l'ouverture 82 dans le sens du transport. Supposons que N pièces puissent être appliquées sur le convoyeur 84 Après son usinage, la pièce N O 1 réapparaît devant l'ouverture 82, selon la figure 3 c, en aval de l'ouverture 82 dans le sens de transport La pièce no (n+l) placée sur le convoyeur 86 est amenée sans masquage 92 Comme le montre le transfert représenté sur la figure 3 d, l'organe de transport transversal 94 fait passer d'une part la pièce N O 1 usinée du convoyeur 84 sur le convoyeur 86, et soulève

d'autre part l'organe de masquage 92 de cette pièce no 1.

Puis le convoyeur 86 avance d'un pas dans le sens S 6 * On obtient alors la situation représentée sur la figure 3 e: la pièce n 1 usinée est transportée vers une sortie de la chambre 78 tandis que la pièce N O (n+ 1) se trouve en face de l'ouverture 82 A l'aide de l'organe de transport transversal 94, l'organe de masquage 92 qui a déjà fait un tour complet de l'ouverture 82 à l'ouverture 82 dans la chambre 80, est appliqué sur la pièce N O (n+ 1) non usinée, et comme le montre la figure 3 f, cette pièce passe du convoyeur 86 au convoyeur

84 par l'ouverture 82.

Le logement de pièce sur le convoyeur 86 est alors

libre, et les cycles des figures 3 c à 3 f peuvent être repris.

La figure 4 montre, à l'aide d'un détail représenté schématiquement de l'ouverture 4 de l'installation selon la figure 1, un autre mode de réalisation de l'installation dans lequel des organes de masquage périphériques 58 p sont également changés comme l'organe de masquage 58 décrit précédemment Dans le mode de réalisation représenté, qui ne doit pas obligatoirement être associé au concept de masquage mentionné, le plateau 52 pourvu de joints d'étanchéité 62 porte une plaque véhicule 52 a qui est maintenue sur le plateau 52 par voie magnétique, de préférence à l'aide

d'aimants permanents 64 a.

La plaque véhicule 52 a porte elle-même des aimants périphériques 64 P situés du côté du plateau 52, ainsi que l'aimant central 64 Comme il a été décrit, un logement 20 pourvu de ses joints d'étanchéité est amené par un plateau b pourvu de joints d'étanchéité 66 contre la bordure de l'ouverture 4 Sur le plateau 30 b sont prévus des électro- aiman-ts, respectivement 60 P pour l'organe de masquage

périphérique 58 p, et 60 pour l'organe de masquage central 58.

Les aimants 60 p permettent de réaliser le transfert de l'organe de masquage périphérique 58 p comme il a été expliqué

précédemment pour l'organe de masquage 58.

La plaque véhicule 52 a peut consister en une plaque de raccord pour pièce qui est changée en fonction des pièces 22 à usiner Avec la pièce 22 correspondante, elle parcourt

une partie au moins de la trajectoire de transport de pièce.

Comme il est représenté schématiquement, le mécanisme de retenue 26 est en prise avec la plaque véhicule 52 a, lorsque

celle-ci est prévue.

Pour illustrer le caractère général du procédé de marquage décrit et de l'installation prévue à cet effet, la figure 5 représente schématiquement le principe de base de ce procédé et de cette installation Sur un convoyeur 100, des pièces 102 a sont amenées sans masquage vers un poste d'application 104 qui agit le long du convoyeur 100 et donc de la trajectoire de déplacement B des pièces 102, et qui est alimenté en éléments de masquage amovibles 108 par un magasin 106 Du côté de la sortie du poste d'application 104, c'est-à-dire du poste dans lequel les éléments de masquage 108 sont appliqués sur les pièces 102 a, les pièces 102 b pourvues des éléments de masquage 108 sont amenées vers un ou plusieurs postes d'usinage représentés d'une manière générale, sur la figure 5, par le dispositif de traitement de surface sous vide 110 dans lequel lesdites pièces 102 b sont soumises à un traitement de surface sur un ou deux côtés ou sur tous les côtés Du côté de la sortie du dispositif 110, les pièces 102 b usinées et toujours masquées sont amenées vers un poste d'évacuation 112 agissant le long de la trajectoire de transport B des pièces, et elles quittent ce dernier poste 112 sous la forme de pièces 102 c usinées et sans éléments de masquage 108 Les éléments de masquage 108 enlevés au niveau du poste 112 sont ramenés au poste d'application 104 ou, s'ils sont usés par l'action du dispositif d'usinage 110 après plusieurs cycles de retour,

retirés de la circulation comme il est représenté en 114.

Cela se fait par l'intermédiaire d'une unité de sélection

commandée 116 représentée schématiquement.

Les figures 6 et 7 représentent le principe généralement valable pour la technique de transport appliquée dans l'installation préférée des figures 1 à 2 a, dans la

chambre 1.

Selon la figure 6, il est prévu, dans la chambre de transport 120 qui peut être conditionnée selon la technique du vide en elle-même et/ou par l'une au moins des deux ouvertures de chambre 122 prévues ou plus, un carrousel 124 qui est entraîné en rotation de façon commandée comme il est représenté par (à Sur le carrousel, des organes de retenue d'un type quelconque et éventuellement commandés sont

prévus pour les pièces 126.

Selon la représentation de la figure 6, des pièces 126 par exemple en forme de disques sont retenues et transportées au niveau du carrousel 124 de telle sorte que leurs surfaces décrivent, lors de la rotation autour de l'axe du carrousel 124, une surface cylindrique Un mode de réalisation préféré prévoit des organes coulissants 128 qui sont aptes à être déployés et rétractés de façon commandée, radialement par rapport à l'axe de rotation A 124 du carrousel 124, en étant solidaires en rotation S'ils sont solidaires en rotation, leur nombre est égal au nombre d'ouvertures 122 de la chambre 120 à desservir, ce nombre n'étant cependant pas forcément égal au nombre d'ouvertures prévues dans la

chambre 120 et traversées par les pièces.

Le carrousel 124 est de préférence entraîné en rotation de façon intermittente, de sorte qu'à chaque fois, un logement 125 se trouve dans l'alignement d'une ouverture de chambre 122 à desservir, après quoi, à l'aide de l'organe coulissant 128 associé de façon fixe à ladite ouverture de chambre 122, la pièce 126 positionnée est sortie de la chambre 120 ou une pièce est au contraire entrée ou ramenée

de l'extérieur de la chambre 120 par ladite ouverture 122.

Comme on peut le voir, le nombre de pièces 126 pouvant être stockées momentanément dans une telle chambre de transport 120, en atmosphère conditionnée en conséquence, est supérieur au nombre d'organes coulissants 128 prévus Le mouvement rotatif autour de l'axe 124 et le mouvement radial comme celui qui est effectué à l'aide des organes coulissants 128 sont séparés, ce qui simplifie sensiblement la réalisation des mécanismes d'entraînement et des conduites de

commande correspondants.

On obtient ainsi pour la chambre 120 une forme plate optimale grâce au fait que le mouvement rotatif nécessaire du carrousel et le mouvement radial des organes coulissants se

font dans un seul plan.

Mais il s'agit là non pas d'un mode de réalisation obligatoire mais d'un mode de réalisation préféré Il est tout à fait possible de disposer le organes coulissants 128 suivant un angle oblique par rapport à l'axe A 124, comme il est indiqué en trait mixte sur la figure 6, et de prévoir en conséquence les fixations sur le carrousel et les ouvertures dans la chambre 120 Comme le montre la ligne en trait discontinu sur le carrousel représenté sur la figure 6, il est également possible de prévoir deux couches de pièces ou plus, dans le sens axial A 124, et de desservir les ouvertures de chambre 122 à l'aide d'organes coulissants 128 étagés dans ce sens axial, ou même, comme le montre v, de prévoir les organes coulissants 128 solidaires en rotation là aussi, mais mobiles de façon commandée dans le sens axial Comme le montre sur la figure 6 <)2 a, il est tout à fait possible de faire tourner également les organes coulissants 128 autour de l'axe A 124, à l'aide d'un mécanisme d'entraînement rotatif séparé, comme le montre en trait discontinu 128 m Comme l'homme de l'art peut le voir, on obtient ainsi de nombreuses possibilités de modifier, en fonction des besoins, le principe de transport appliqué à la chambre 120 et à la

chambre 1 des figures 1 à 2 a.

Parmi ces nombreuses possibilités, la figure 7 en représente une qui permet de réduire sensiblement la hauteur de construction de la chambre de transport 120 Le carrousel 124 est ici conçu de telle sorte que la plus petite dimension de la pièce, c'est-à-dire, dans le cas d'une pièce 126 en forme de plaque, son épaisseur, est parallèle à l'axe du carrousel 124 Les organes coulissants 128 sont conçus de la même manière que sur la figure 6, et les ouvertures 122 a ont

la forme de fentes.

Considérons maintenant la conception d'ensemble de la chambre 2, ainsi que le concept de la construction d'installations utilisant au moins une chambre conçue comme

la chambre 1 ou 2.

La figure 8 est une représentation en coupe transversale d'une variante de réalisation d'une chambre 2 selon les figures 1 et 2 Elle comprend un moteur d'entraînement 130 dont l'axe, qui constitue un axe physique A et un axe d'entraînement 133, porte, fixé sur lui, au moins un bras de transport 135 présentant un axe A 135 qui est prévu suivant un certain angle, par exemple de 45 par rapport à l'axe physique A Si l'axe d'entraînement 133 est mis en rotation à l'aide du moteur, comme il est représenté en o 2, le ou les bras de transport 135 définissent une surface conique présentant un angle d'ouverture conique p qui est par exemple de 450 dans le cas présent Sur la figure 8, la chambre K présente deux ouvertures à desservir Une première ouverture 137 est conçue par exemple, comme il est représenté, directement comme ouverture formant sas Dans ce cas, une seconde chambre 180 construite par exemple selon le principe de la chambre des figures 5 et 6 peut éventuellement se dispenser d'un sas Ladite ouverture 137 comprend un châssis 139 sur lequel est bridé un châssis 141 apte à être relevé et abaissé A l'intérieur de ce châssis 141 se trouve un châssis d'étanchéité 142 qui définit le volume de sas 143, avec une normale A 143 L'ouverture formant sas 137 comprend également un couvercle 145 qui est mobile par exemple linéairement dans le sens x Il est bien évident qu'il peut également pivoter autour d'un axe vertical, sur la figure 7, en vue de l'ouverture et de la fermeture Dans sa position fermée représentée, il est appliqué de façon étanche sur le châssis d'étanchéité 142 grâce à l'abaissement du châssis

intermédiaire 141 dans le sens y.

L'ouverture formant sas 137 est rendue étanche par

rapport à l'environnement U de la façon suivante.

Comme partie porteuse, le bras de transport 135 porte, à son extrémité, un plateau 149 sur lequel est posée une pièce à traiter, dans l'exemple représenté, un disque de mémoire 151 Comme l'indique un trait discontinu, le plateau 149 prévu sur le bras de transport 135 peut être ramené, à partir de son ajustement (dessiné) contre le châssis d'étanchéité 142, vers l'axe physique A, et le sas peut ainsi être ouvert du côté du dispositif de transport Le plateau 149 n'a pas besoin d'être appliqué de faaçon étanche contre le châssis 142 s'il n'est pas nécessaire de maintenir dans la chambre K une atmosphère répondant à des exigences de pureté élevées La pièce 151 est amenée avec le bras de transport à la seconde ouverture 157 représentée, grâce à la rotation de l'arbre 133 à l'aide du moteur 130 Caractéristique essentielle, le mécanisme d'entraînement radial prévu au niveau du bras de transport 135, dont la configuration en soi ne concerne pas la présente invention et pour lequel des possibilités de réalisation s'offriront à l'homme de l'art, est prévu directement au niveau du bras de transport rotatif, et rendu étanche au vide par rapport à l'environnement de la chambre K à l'aide d'un soufflet 153 Grâce à la rotation du bras de transport 135, la pièce 151, à savoir le disque, est amenée dans la zone de la seconde ouverture 157 Cette ouverture 157 détermine la normale superficielle d'ouverture A 157 A partir de la position d'approche Q représentée en trait discontinu, le plateau de transport 149 contenant la pièce 151 est une nouvelle fois soulevé et amené dans la position représentée en trait continu à l'aide du mécanisme de levage mentionné, par exemple pneumatique, prévu au niveau du bras 135, de sorte que le plateau 149 vient s'appliquer de

façon étanche contre le bord de l'ouverture 157.

Par rapport à l'environnement U, la chambre K est construite de préférence de façon étanche au vide Suivant l'utilisation recherchée, des dispositifs (non représentés) sont prévus au niveau des postes accouplés aux ouvertures de la chambre K et/ou des chambres de transport et/ou de la chambre K elle-même et/ou de l'ouverture formant sas 137, afin de régler des atmosphères correspondantes, c'est-à-dire que des branchements pour faire le vide et/ou des orifices d'admission de gaz sont prévus Un branchement de pompe 160 est représenté sur la figure 8 pour la chambre K et

éventuellement pour l'ouverture formant sas 137.

Si la chambre est conçue de telle sorte que toutes les ouvertures de chambre soient obturées de façon étanche par l'un des bras 135 prévus, on a alors la possibilité de prédéfinir les différentes atmosphères dans les postes d'usinage associés aux ouvertures et/ou dans les chambres de transport et/ou dans les postes formant sas indépendamment de celles qui règnent dans la chambre K Mais dans certains cas, il peut être suffisant de prévoir une atmosphère commune pour au moins une chambre ou un poste supplémentaire et pour la chambre K, moyennant quoi le conditionnement et le vide doivent être réalisés uniquement pour la chambre K, par exemple conjointement pour l'ouverture formant sas 137 et la

chambre K, comme le représente la figure 8.

La figure 9 représente, partiellement en coupe, une chambre conçue suivant le principe de la chambre 2 des figures 1 à 2 a, et dans laquelle les bras 135 dépassent perpendiculairement de l'axe 133 du moteur 130, moyennant

quoi < = 900.

Sur la figure 10, la chambre, qui fait partie d'une installation conçue selon la figure 9, est représentée de dessus Les mêmes chiffres de référence désignent des éléments de construction identiques De la même manière que sur la figure 9, il est prévu autour de l'axe A par exemple six bras de transport 135 a à 135 f qui desservent alternativement par exemple un poste formant sas 158 a pour l'entrée et la sortie de disques 151 et une chambre de transport 158 b comportant des postes 158 b,, et cinq autres

chambres ou postes d'usinage, par des ouvertures 157 a à 157 e.

L'ouverture 157 b est associée par exemple à une chambre de transport 158 b contenant un carrousel et des organes coulissants, de la même manière que pour la chambre 1 et pour les chambres décrites en référence aux figures 6 et 7 Cette chambre 158 b est reliée à d'autres postes d'usinage et/ou à d'autres postes de transport L'ouverture 157 c quant à elle est reliée par exemple à une seconde chambre 158 c du type de la chambre 2 de la figure 1, d'une manière décrite en référence à la figure 8, et cette seconde chambre 158 c est elle-même reliée à d'autres chambres d'usinage et/ou de transport et/ou formant sas La disposition représentée pour l'ensemble de l'installation a une simple valeur d'exemple pour montrer que des installations peuvent être assemblées de façon flexible et modulaire à l'aide de chambres du type de la chambre 1 des figures 1 à 2 a et/ou du type de la chambre 2 de ces mêmes figures On reviendra plus loin sur cette flexibilité, étant précisé que les symboles des types de chambres définis plus loin sont déjà utilisés sur la figure 10. La figure 11 représente schématiquement le principe de base de la chambre K décrite en référence aux figures 1, 2, 8 à 10 A l'aide par exemple des trois bras de transport a à 135 c représentés ici, qui tournent autour de l'axe physique A, les trois ouvertures 157 dessinées sont par exemple desservies La chambre K est définie par la délimitation 159 dessinée schématiquement Lors de sa rotation W 2, le dispositif de transport définit une surface conique présentant un angle d'ouverture À, et il dessert les ouvertures 157 qui déterminent les normales superficielles 157 Celles-ci sont orientées dans le sens de génératrices du cône défini Les ouvertures 157 se trouvent sur un grand cercle de la surface conique définie, c'est-àdire qu'elles se trouvent toutes à une égale distance de la pointe S du

cône défini par les bras 135.

La figure 12 montre une autre possibilité Dans ce cas, des ouvertures sont prévues sur un premier grand cercle 163 du cône 161 représenté et défini par les bras 135, alors que d'autres ouvertures, dont une seule est dessinée, sont situées sur le grand cercle 165 Les normales superficielles d'ouvertures A 1 i 7 sont dirigées là aussi dans le sens des génératrices m du cône Afin de pouvoir desservir les ouvertures 157 situées sur des grands cercles 163, 165 différents, les bras 135, comme il est représenté schématiquement en 167, peuvent être allongés et raccourcis de façon commandée, par exemple grâce à une commande télescopique pneumatique, et ils peuvent être couverts par des soufflets, non représentés ici, semblables au soufflet 153 de la figure 8 Cela permet de disposer les ouvertures 157 non seulement sur un grand cercle, comme pour la chambre des figures 8 à 10, mais également sur plusieurs grands cercles du cône, de façon décalée, de préférence de façon azimutale W. Selon un perfectionnement de la chambre K selon la figure 13, les bras 135 sont aussi aptes à être déployés et rétractés, comme il est représenté là encore en 167, et ils portent une plaque de transport 149 a De plus, l'angle de cône < est réglable de façon commandée de sorte que des cônes présentant des angles d'ouverture <p différents peuvent être définis Cela permet de desservir des ouvertures 157 disposées dans n'importe quelles limites La plaque de support 149 a est également montée sur le bras 135 correspondant suivant un angle B < 900, et elle peut tourner autour de l'axe A 135 du bras, comme il est représenté en p Le réglage de l'angle de cône < ainsi que la rétraction et le déploiement du bras et la rotation en p se font de façon commandée, et un dispositif de ce type permet ainsi de desservir des ouvertures 157 disposées dans l'espace pratiquement de n'importe quelle façon La délimitation de la

chambre K est représentée là aussi, en trait discontinu.

Sur la figure 14, les bras 135 sont conçus et montés en forme de L de manière à être parallèles à l'axe de rotation A Si 1 ' axe physique ou l'axe de rotation A est vertical, l'avantage sensible de cette disposition est que

les pièces n'ont pas besoin d'être fixées sur le plateau 149.

Les mécanismes d'entraînement prévus pour le mouvement v des

plateaux 149 se trouvent à l'intérieur des soufflets 153.

Les types de chambres suivants vont maintenant être définis, ainsi que les symboles apparaissant sur la figure 15, utilisés par souci de simplification graphique: 1 Chambre formant sas d'entrée et de sortie (EASK) Chambre formant sas par laquelle les pièces passent

dans les deux sens.

2 Chambre formant sas d'entrée (ESK) Chambre formant sas au niveau de laquelle les pièces entrent seulement en direction de leur traitement de

surface sous vide.

3 Chambre formant sas de sortie (ASK) Chambre formant sas à l'aide de laquelle les pièces sont transportées seulement à partir de leur

traitement de surface sous vide.

4 Chambre d'usinage (BEAK) Chambre dans laquelle les pièces sont soumises à un usinage de surface tel que l'enlèvement de matière, le revêtement, le nettoyage, le chauffage, le refroidissement, etc. 5 Chambre à carrousel à desserte radiale (RAKAK) Chambre de transport représentée par la chambre 1 et

décrite en référence aux figures 1 et 2, 6 et 7.

6 Chambres à transporteur en étoile à desserte radiale

(RADK)

Chambres du type de la chambre 2 de la figure 1,

décrites également en référence aux figures 8 à 14.

7 Chambre de transport (TR) Chambre dans laquelle les pièces sont déplacées entre au moins deux ouvertures, et qui couvrent les chambres EASK, ESK, ASK, RAKAK et RADK, mais également les chambres pourvues de mécanismes de transport autres que ceux qui ont été représentés et

décrits au sujet des chambres RAKAK et RADK.

La figure 16 montre quelques configurations d'installations dans lesquelles l'une au moins des chambres est une chambre RAKAK ou RADK On peut voir qu'avec les deux types de chambres et avec d'autres chambres connues, on peut assembler de façon très flexible et modulaire n'importe quelle configuration d'installation, avec ou sans intégration du concept de masquage selon la figure 5 Le procédé conforme à la présente invention convient en particulier pour

l'usinage de disques de mémoires magnétiques optiques.

Claims (11)

REVENDICATIONS

1 Procédé pour le masquage d'une pièce, notamment pour couvrir la zone centrale et/ou périphérique de pièces en forme de disques, par exemple lors de la fabrication de disques de mémoires, pendant un traitement de surface sous vide, caractérisé en ce qu'au moins un organe de masquage se présentant comme un élément séparé est appliqué sur la pièce, sur le trajet amenant celle-ci au traitement, puis est enlevé

de cette pièce.

2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en

ce que l'application se fait dans des conditions de vide.

3 Procédé selon l'une quelconque des

revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la pièce est

transférée au moins d'une première chambre dans une seconde chambre puis amenée dans une position de traitement, et inversement après son traitement, et en ce que l'organe de masquage est appliqué sur la pièce lors du transfert de celle-ci de la première à la seconde chambre, et est de préférence enlevé de la pièce lors du retour ou après le

retour de celle-ci.

4 Procédé selon l'une quelconque des

revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que c'est le même

organe de masquage qui est enlevé d'une pièce usinée et appliqué sur une pièce à usiner, et en ce qu'il est de

préférence remplacé périodiquement.

Procédé selon l'une quelconque des

revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'application de

l'organe de masquage et de préférence, également, son enlèvement, se font de façon commandée par champ magnétique, et ledit organe de masquage est de préférence retenu en position d'application contre la pièce de façon magnétique,

et de préférence magnétique permanente.

6 Procédé selon l'une quelconque des

revendications 3 à 5, caractérisé en ce que, lors du

transfert, l'organe de masquage est soulevé d'une pièce usinée, dans la zone de retour, la pièce usinée est transférée dans la première chambre et évacuée dans celle-ci, une pièce non usinée se trouvant dans la première chambre est amenée en position de transfert, l'organe de masquage soulevé est appliqué sur la pièce non usinée, et celle-ci est transférée dans la seconde chambre et, de là, amenée vers la position d'usinage.

7 Installation de traitement sous vide pour le traitement de surface de pièces, notamment pour couvrir la zone centrale et/ou périphérique de pièces en forme de disques, comme pour la fabrication de disques compacts ou de disques de mémoires, comportant un dispositif de chambre apte à être mis sous vide et des moyens de transport ( 100) pour faire entrer les pièces ( 102) dans le dispositif de chambre, pour les faire passer par celui-ci et pour les faire sortir de celui-ci, caractérisée en ce qu'il est prévu, le long des moyens de transport ( 100), un poste d'application ( 104) pour appliquer à chaque fois au moins un organe de masquage

amovible ( 108) sur une pièce.

8 Installation de traitement sous vide selon la revendication 7, caractérisée en ce que le poste d'application ( 104; 4) au moins est disposé à l'intérieur du

dispositif de chambre ( 1, 2).

9 Installation de traitement sous vide selon l'une

quelconque des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce que

le dispositif de chambre comprend au moins deux chambres ( 1, 2) communiquant au moins temporairement par l'intermédiaire d'une ouverture de transfert ( 4), et dans lesquelles est prévu un mécanisme de transport ( 52, 30 b) pour les pièces ( 22), et en ce que le poste d'application est défini dans la

zone d'ouverture ( 4).

10 Installation de traitement sous vide selon la revendication 9, caractérisée en ce que des postes d'application et d'évacuation sont définis au niveau de l'ouverture de transfert ( 4) et sont conçus conjointement comme un poste de transition qui soumet l'organe de masquage ( 58) à un mouvement de va-et-vient par rapport au mécanisme de transport ( 52) prévu dans la seconde chambre ( 2), suivant

qu'il doit être enlevé ou ré-appliqué.

11 Installation de traitement sous vide selon la revendication 10, caractérisée en ce que le poste de transition comporte, au niveau du mécanisme de transport ( 30 b) prévu dans la première chambre ( 1), un dispositif de transfert ( 60) pour transférer l'organe de masquage ( 58) à partir du mécanisme de transport ( 52) prévu dans la seconde chambre ( 2) et pour le ramener sur ledit mécanisme de

transport ( 52) prévu dans la seconde chambre ( 2).

12 Installation de traitement sous vide selon l'une

quelconque des revendications 7 à 11, caractérisée en ce que

le poste d'application et également, de préférence, le poste d'évacuation comportent un dispositif d'électro-aimant ( 60) pour la manipulation commandée par champ de l'organe de

masquage ( 58).