FR2623348A1 - Dispositif a ondes elastiques de surface - Google Patents
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Abstract
La présente invention a pour objet un dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéristiques non linéaires en fréquence et en phase, comprenant un élément piézo-électrique pour la propagation à travers sa couche superficielle d'une onde élastique de surface, et des première et seconde électrodes situées sur ladite couche superficielle à distance l'une de l'autre de façon à émettre et capter une onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes. Elle est caractérisée en ce que chacune desdites première et seconde électrodes comporte une paire d'éléments d'électrode 60; 64 ayant des doigts d'électrodes en forme de peigne s'étendant entre les électrodes, lesdits doigts d'électrode 70, 74; 82, 88 entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et seconde électrodes comportant une série de doigts d'électrode 70, 74; 82, 88 divergents s'étendant dans une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode 72, 84 situé en un emplacement défini entre lesdits doigts divergents 70, 74; 82, 88 d'électrode.
Description
DISPOSITIF A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE
La présente invention concerne un appareil ou dispositif à ondes élastiques de surface et plus particulièrement un dispositif à ondes élastiques de surface ayant des électrodes d'entrée et de sortie placées sur une couche superficielle d'un élément piézolélectrique pour l'émission et la réception d'une onde de surface entre les électrodes de façon à produire un signal ayant des caractéristiques de fréquence souhaitées,
à partir d'un signal haute fréquence injecté.
Les dispositifs à ondes élastiques de surfaces utilisent les propriétés d'une onde élastique de surface qui sont telles que la majeure partie de son énergie se propage le long de la
surface d'un corps solide. De tels dispositifs à ondes élasti-
ques de surfaces sont largement utilisés dans des circuits oscillants, des circuits filtres, des circuits de temporisation et d'autres analogues dans divers types d'équipements de
télécommunication ou d'équipements d'électroniques. Le disposi-
tif à ondes élastiques de surfaces comprend par exemple un corps ou élément de cristal piézo-électrique avec une surface de base et des électrodes d'entrée et de sortie ayant la forme de deux films minces sur la surface de l'élément de cristal piézo-électrique pour l'émission et la réception d'une onde élastique de surface entre les électrodes. Plus spécialement, lorsqu'un signal haute fréquence est appliqué à l'électrode d'entrée sur l'élément de cristal piézo-électrique, ce dernier vibre à cause de l'effet piézo-électrique et la vibration se transmet et se propage comme une onde élastique le long de la surface de l'élément de cristal piézo-électrique en allant de l'électrode d'entrée vers l'électrode de sortie. L'électrode de sortie reçoit l'onde élastique et émet un signal de sortie
haute fréquence qui se produit à cause de l'effet piézo-élec-
trique inverse dans l'élément de cristal piézo-électrique.
Récemment, les dispositifs à ondes élastiques de surface
ont été largement utilisés comme filtres puisque les caracté-
ristiques de phase ou d'amplitude peuvent être choisis comme
on veut.
La figure 1 des dessins joints illustre la configuration
de base d'un filtre classique à ondes élastiques de surface.
Le filtre à ondes élastiques de surface comporte un substrat piézoélectrique 12 et une paire d'électrodes d'entrée et de sortie 16 et 18 écartées l'une de l'autre et situées sur le substrat piézo-électrique. Les électrodes d'entrée et de sortie 16, 18 ont des électrodes communes 16a, 16b et 18a, 18b, respectivement. L'électrode d'entrée 16 comporte une série de doigts d'électrode interdigités et parallèles 20a, b, 20c, 20d, 20e s'étendant entre les électrodes communes 16a et 16b. L'électrode de sortie 18 comporte une série de doigts d'électrodes interdigités et parallèles 24a, 24b, 24c,
24d, 24e s'étendant entre les électrodes communes 18a, 18b.
Un signal haute fréquence S1 est appliqué à l'électrode d'entrée 16 entre les électrodes communes 16a, 16b et un
signal haute fréquence S2 ayant les caractéristiques de fré-
quence souhaitées se produit à l'électrode de sortie 18 entre
les électrodes communes 18a, 18b.
Bien que la configuration de base du filtre d'onde élastique de surface soit montré à la figure 1, les doigts d'électrode interdigités peuvent subir des modifications de forme dans le cas d'une application concrète de façon à obtenir des caractéristiques souhaitées pour la fréquence du signal de sortie. Par exemple, les doigts d'électrode interdigités peuvent être mis en forme de façon à élargir la bande passante du filtre et à éliminer les ondulations des caractéristiques
de fréquence dans la bande passante.
Un autre filtre classique d'onde élastique de surface est représenté à la figure 2 des dessins joints. Le filtre
d'onde élastique de surface comprend un substrat piézo-électri-
que 23 et une paire d'électrodes d'entrée et de sortie 36, 38
situées à l'écart l'une de l'autre sur le substrat piézo-élec-
trique 23. Les électrodes d'entrée et de sortie 36, 38 ont des électrodes respectives: 36a, 36b et 38a, 38b. L'électrode d'entrée 36 comporte des doigts d'électrode divergents 40a, 40b, 40c situés entre les électrodes communes 36a, 36b et des doigts d'électrodes 40d, 40e situés-en des emplacements définis entre les doigts d'électrodes interdigités 40a, 40b, 40c. De la même façon l'électrode de sortie 38 comporte également des doigts d'électrode divergents et des doigts d'électrode 44d, 44e 44a, 44b, 44c situés entre les électrodes communes 38a, 38b. Le pas ou la distance dans la direction x dans laquelle l'onde élastique de surface se propage entre deux doigts d'électrode adjacents de chacune des électrodes communes 36b, 38b varie progressivement à partir d'une valeur minimum PL à une valeur maximum PH à travers des trajets de propagation a à n qui sont juxtaposés dans une direction y perpendiculaire à
la direction x de propagation sur le substrat piézo-électri-
que 32.
On applique un signal haute fréquence S4 aux électrodes
communes 36a, 36b et l'on recueille un signal haute fréquen-
ce S5 ayant les caractéristiques de fréquence souhaitées entre
les électrodes communes 38a, 38b.
Il y a lieu de se rendre compte que les électrodes interdigités selon la forme représentée à la figure 2 sont en mesure de donner un nombre de filtres élastiques de surface reliés en parallèle ayant des pas interélectrodes différents
selon les petits segments respectifs Ay dans la direction y.
On sait dans ce type de technique que les fréquences qui peuvent se propager à travers un filtre d'ondes élastiques de
surface sont déterminées par le pas interélectrode. En suppo-
sant que la vitesse de propagation d'une onde élastique de surface à travers le filtre de la figure 2 soit désignée par v, les fréquences que le filtre pourra laisser passer iront de: f =P/v... (1) fL = L/ à f Ph/V.. . (2) Dans cette plage de fréquence, le pas P(y) dans la direction y perpendiculaire à la direction x de propagation de l'onde
élastique de surface varie progressivement. La plage de fré-
quences est large sans aucune ondulation d'ondes. Dans la disposition de la figure 2, le pas ou la distance interélec- trode subit une variation à l'électrode d'entrée 36 comme à
l'électrode de sortie 38. Cependant, la distance interélec-
trode des doigts d'électrodes interdigités peut être modifiée aussi bien pour l'électrode d'entrée 26 que pour l'électrode de sortie 38. La figure 3 montre les phases et les amplitudes (affaiblissements d'insertion) aux différentes fréquences du filtre d'ondes élastiques de surface de la figure 2, et la figure 4 illustre les pertes de phases et d'insertion aux différentes fréquences du filtre d'ondes élastiques de surface
de la figure 2.
Le filtre d'ondes élastiques de surface représenté à la figure 2 est en mesure de donner des caractéristiques de fréquence en phase et linéaire dans un domaine de fréquence relativement large mais n'est pas capable de procurer des
caractéristiques de fréquence en phase non linéaires.
De manière plus précise, un signal qui a traversé un filtre LC a des défauts de surmodulation et de sousmodulation dûs à l'effet transitoire du filtre et, par conséquent, le signal provenant du filtre a des flancs avant ou arrière distordus c'est-à-dire une détérioration des caractéristiques telle que celle d e à des caractéristiques de retard de groupe incurvés. Afin d'éviter ce problème on fait passer-à plusieurs reprises un signal produit par un filtre LC à travers un filtre d'ondes élastiques de surface de façon telle que les caractéristiques souhaitées de phase et d'amplitude seront fournies au signal grâce au filtre d'ondes élastiques de surface. Quant on emploie un tel filtre d'ondes élastiques de
surface, on est plus exigeant quant à la précision des carac-
téristiques et les surondulations dues à l'action du filtre d'ondes élastiques de surface peuvent être un problème. C'est pourquoi on souhaite pouvoir disposer d'un filtre d'ondes élastiques de surface qui puisse donner des caractéristiques
de fréquence en phase non linéaire avec de faibles surondula-
tions et dont la plage de fonctionnement soit large en fré- quence.
L'objet principal de la présente invention est de pro-
poser un appareil ou dispositif à ondes élastiques de surface ayant des électrodes d'entrée et de sortie disposé sur une couche superficielle d'un corps ou élément piézo-électrique pour l'émission et la réception d'une onde élastique de surface entre les électrodes, l'appareil d'ondes élastiques de surface comportant soit un conducteur électrique placé entre les électrodes d'entrée et de sortie et ayant une certaine longueur
dans la direction de propagation de l'onde élastique de surfa-
ce, cette longueur étant modifiée dans la direction perpendi-
culaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface de façon à modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface en raison de diverses conditions électriques aux limites, ou un milieu placé entre la couche superficielle entre les électrodes d'entrée et de sortie pour modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface à travers la couche superficielle, de façon qu'un signal fournit à l'électrode d'entrée soit émis à l'électrode de sortie comme signal de sortie avec des caractéristiques de fréquence souhaitées dans une large plage de fréquence et de façon que les caractéristiques de fréquence souhaitées puissent être réalisées avec précision et dans un large domaine de fréquence. Un autre but de la présente invention est de proposer un
dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéris-
tiques non linéaires de fréquence et de phase comprenant un
élément piézo-électrique pour la propagation d'une onde élas-
tique de surface à travers sa couche superficielle, et des première et seconde électrodes situées sur ladite couche superficielle à distance l'une de l'autre, de façon à émettre et recevoir une onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, chacune desdites première et seconde électrodes ayant une paire d'éléments d'électrode munis de doigts d'électrodes en forme de peigne s'étendant entre les électrodes, lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes
communes d'au moins une desdites première et seconde élec-
trodes comportant une pluralité de doigts d'électrodes diver-
gents s'étendant dans une direction sensiblement perpendicu-
laire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode situé en un emplacement défini
entre lesdits doigts divergents d'électrode, le doigt d'élec-
trode de ladite première électrode servant à l'émission et à la réception de l'onde élastique de surface ayant un axe central transversal à la direction de propagation, le doigt d'électrode de ladite seconde électrode servant à l'émission et à la réception de l'onde élastique de surface ayant un axe central transversal à ladite direction de propagation, la distance selon ladite direction de propagation entre les axes centraux étant modifiée dans ladite direction sensiblement
perpendiculaire à ladite direction de propagation.
Un autre objet encore de la présente invention est de proposer un dispositif d'onde élastique de surface comprenant de plus un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézoélectrique et s'étendant dans ladite direction de propagation, la longueur du conducteur
dans cette direction étant modifiée dans une direction sensi-
blement perpendiculaire à ladite direction de propagation et
ledit conducteur électrique comprenant une couche métallisée.
Un autre objet encore de la présente invention est de proposer un dispositif à ondes élastiques de surface dans lequel les doigts d'électrode qui sont situés entre lesdits axes centraux comprennent des conducteurs d'électrodes et de
plus un conducteur électrique disposé sur ladite couche super-
ficielle de l'élément piézo-électrique et s'étendant dans ladite direction de propagation, de telle façon que sa longueur
dans cette direction soit modifiée dans une direction sensible-
ment perpendiculaire à ladite direction de propagation, lesdits conducteurs électriques comportant respectivement des couches métallisées. Un autre objet encore de la présente invention est de proposer un dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéristiques non linéaires en fréquence et en phase, qui
comprend un élément piézo-électrique dont la couche superfi-
cielle peut être traversée par la propagation d'ondes élasti-
ques de surface, et ayant des première et seconde électrodes disposées sur ladite couche superficielle à distance l'une de l'autre, de façon à émettre et à recevoir l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, et un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique entre lesdites première et seconde électrodes et ayant dans le sens de la propagation une longueur qui peut être modifiée dans ladite direction sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propagation, chacune desdites première et seconde électrodes ayant une paire d'éléments d'électrode comportant des doigts d'électrodes en forme de peigne et s'étendant entre les électrodes, lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et seconde électrodes comportant une pluralité de doigts d'électrodes divergents s'étalant le long d'une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de
propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'élec-
trode disposé dans un emplacement défini entre lesdits doigts
divergents d'électrodes.
Un autre but de la présente invention est de proposer un
dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéris-
tiques non linéaires en fréquence et en phase, comportant un
élément piézo-électrique pour la propagation d'une onde élas-
tique de surface à travers sa couche superficielle, et des première et seconde électrodes disposées sur ladite couche superficielle en étant espacées l'une par rapport à l'autre de manière à émettre et à capter l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, chacune desdites première et seconde électrodes ayant une paire d'éléments d'électrode comportant des doigts d'électrodes en forme de peigne et s'étendant entre les électrodes, lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes communes d'au moins une
desdites première et seconde électrodes comportant une plura-
lité de doigts d'électrodes divergents s'étalant le long d'une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de
propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'élec-
trode disposé dans un emplacement défini entre lesdits doigts divergents d'électrodes, le doigt d'électrode central de ladite première électrode ayant un axe central et le doigt d'électrode central de ladite seconde électrode ayant un axe central, ces doigts d'électrode de ladite première électrode et/ou de ladite seconde électrode qui sont disposés entre lesdits axes centraux comprenant des conducteurs électriques, chacun desdits conducteurs électriques s'étendant en longueur
dans la direction de propagation, ladite longueur étant modi-
fiée dans ladite direction sensiblement perpendiculaire à
ladite direction de propagation.
Un autre but de la présente invention est de proposer un dispositif à ondes élastiques de surface comportant de plus un conducteur électrique disposé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique et orienté dans le sens de la longueur dans ladite direction de propagation, ladite longueur
étant modifiée dans ladite direction sensiblement perpendicu-
laire à ladite direction de propagation, ledit conducteur
électrique comportant une couche métallisée.
Un autre but encore de la présente invention est de proposer un dispositif à ondes élastiques de surface dans lequel ces doigts d'électrode qui sont situés entre lesdits axes centraux comportent des conducteurs d'électrodes, et comportant de plus un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique et ayant une longueur dans ladite direction de propagation, ladite longueur étant modifiée dans ladite direction sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propagation, lesdits conducteurs électriques comprenant des couches métallisés,
chacun respectivement.
Un autre but de la présente invention est de proposer un
dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéris-
tiques non linéaires en fréquence et en phase comprenant un
élément piézo-électrique pour la propagation d'une onde élas-
tique de surface à travers sa couche superficielle, des pre-
mière et seconde électrodes disposées sur ladite couche super-
ficielle à distance l'une de l'autre pour émettre et capter l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, chacune desdites première et seconde électrodes
ayant une paire d'éléments d'électrode avec des doigts d'élec-
trodes en forme de peigne qui sont situés entre elles ou interdigités. Lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes
communes d'au moins d'une desdites première et seconde électro-
des comportant une pluralité de doigts d'électrodes divergents s'étendant dans une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode situé en un emplacement défini entre lesdits doigts divergents d'électrodes et, un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique entre lesdites première et seconde électrodes disposé dans le sens de la longueur dans ladite direction de
propagation, ladite longueur étant modifiée dans ladite direc-
tion sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propa-
gation, et/ou le doigt central d'électrode de ladite première électrode ayant un axe central et le doigt central d'électrode de ladite seconde électrode ayant un axe central, ces doigts d'électrode desdites première et/ou seconde électrodes qui sont disposés entre lesdits axes centraux comprenant des conducteurs électriques, chacun desdits conducteurs électriques
étant orientés dans le sens de la longueur dans ladite direc-
tion de propagation, ladite longueur étant modifiée dans
ladite direction sensiblement perpendiculaire à ladite direc-
tion de propagation.
Un autre but de la présente invention est de proposer un
dispositif à ondes élastiques de surface ayant des caractéris-
tiques non linéaires en fréquence et en phase, comprenant un
élément piézo-électrique pour la propagation d'une onde élas-
tique de surface à travers sa couche superficielle, des pre-
mière et seconde électrodes disposées sur ladite couche super-
ficielle à distance l'une de l'autre de façon à émettre et à capter l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, chacune desdites première et seconde électrodes ayant une paire d'éléments d'électrode munis de doigts d'électrodes en forme de peigne situées entre elles, lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et seconde électrodes comportant
une pluralité de doigts divergents s'étendant dans une direc-
tion sensiblement perpendiculaire à la direction de propaga-
tion de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrodes situé en un emplacement défini entre lesdits doigts divergents d'électrodes, et un milieu prévu transversalement aux canaux entre lesdites première et seconde électrodes pour modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface à travers
ladite couche superficielle.
Un autre but encore de la présente invention est de proposer un dispositif à ondes élastiques de surface dans lequel ledit milieu comporte une pellicule ou un film mince de
dioxyde de silicium.
D'autres buts, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront plus clairement à la lecture
de la description de divers modes de réalisation de l'invention
faite à titre non limitatif et en regard du dessin annexé o: La figure 1 est une vue en plan d'un filtre d'ondes élastiques de surface classique comportant des électrodes d'entrée et de sortie situées sur la couche superficielle d'un corps ou élément piézo-électrique; La figure 2 est une vue en plan d'un autre filtre d'ondes élastiques de surface classique comportant des électrodes d'entrée et de sortie situées sur la couche superficielle d'un élément piézo-électrique;
Les figures sont des graphes illustrant les caractéris-
3 et 4 tiques en fréquence du filtre d'ondes élastique de surface de la figure 2; La figure 5 est une vue en plan d'un filtre selon la présente invention d'ondes élastiques de surface montrant les électrodes d'entrée et
de sortie situées sur une couche superfi-
cielle de l'élément piézo-électrique; La figure 6 est un graphe montrant les affaiblissements de phase et d'insertion aux différentes fréquences du filtre d'ondes élastiques de surface représenté à la figure 5; il La figure 7 est un graphe montrant les phases aux différentes fréquences du filtre d'ondes élastiques de surface; La figure 8 est un graphe illustrant les phases ainsi que mesurées, les affaiblissements d'inser-
tion et de groupe mesurés par les différen-
tes fréquences du filtre d'ondes élastiques de surface représenté à la figure 5; La figure 9 est un graphe montrant les changements dans la distance séparant les électrodes d'entrée et de sortie aux différentes fréquences du
filtre d'ondes élastiques de surface repré-
senté à la figure 5; La figure 10 est une vue en plan d'un filtre d'ondes élastiques de surface selon un autre mode de réalisation de la présente invention, montrant les électrodes d'entrée et de sortie et un contrôle de phase'et une
électrode de commande de phase et de pro-
tection qui sont situées sur une couche superficielle d'un élément piézoélectrique; La figure 11 est une vue en plan d'un filtre d'ondes élastiques de surface selon encore un autre
mode de réalisation de la présente inven-
tion, montrant les électrodes d'entrée et
de sortie situées sur une couche superfi-
cielle de l'élément piézo-électrique; La figure 12 est une vue en plan d'un filtre d'ondes élastiques de surface selon encore un autre
mode de réalisation de la présente inven-
tion, montrant les électrodes d'entrée et de sortie et un contrôle de phase et une électrode de protection qui sont situées sur une couche superficielle d'un élément piézo-électrique; * La figure 13 est une vue en plan d'un filtre d'ondes élastiques de surface selon encore un autre
mode de réalisation de la présente inven-
tion, montrant les électrodes d'entrée et de sortie et un milieu qui sont disposées sur la couche superficielle de l'élément piézo-électrique et; La figure 14 est une vue partielle en coupe prise le long de la ligne V - V' de la figure 13 Un dispositif à ondes élastiques de surface selon la présente invention est décrit ci-après pour être appliqué à un
filtre d'ondes élastiques de surface.
Des numérotations identiques ou correspondantes seront
utilisées pour reproposer des parties identiques ou correspon-
dantes dans toutes les figures.
La figure 5 montre un filtre d'ondes élastiques de
surface selon la présente invention. Le filtre d'ondes élasti-
ques de surface désigné généralement par 50, a une base piézo-
électrique 52 et des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56 disposées sur la base piézo-électrique 52 pour recevoir et émettre un signal haute fréquence. L'électrode d'entrée 54 a deux électrodes parallèles communes et se faisant face de façon à recevoir un signal haute fréquence S. L'électrode de sortie 56 a deux électrodes communes 64, 66 susceptible de fournir un signal haute fréquence S9. Des doigts d'électrode en forme de peigne sont situés entre les électrodes 60, 62 et 64, 66, ils sont inclinés d'un certain angle par rapport à des lignes fictives perpendiculaires aux électrodes communes. Plus spécialement l'électrode commune 60 a trois doigts d'électrodes divergents 70, 72, 74 s'étendant le long d'une direction y et l'électrode commune 62 a deux doigts d'électrodes 76 et 78 interdigités par rapport aux doigts divergents 70, 72, 74. De
la même façon, l'électrode commune 64 a trois doigts d'élec-
trode divergents 82, 84, 88 s'étendant dans la direction y et,
l'électrode commune 66 a deux doigts d'électrode 92, 94 inter-
digités. Les électrodes communes et les doigts d'électrodes des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56 constituent des surfaces électriquement fermées ou des conducteurs électriques ayant la forme de couches métallisées déposées sur la base
piézo-électrique 52.
La distance entre les axes centraux des doigts d'élec-
trodes centraux des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56, c'est-à-dire la distance Lj entre les axes centraux des doigts d'électrodes centraux 72, 84 varie de façon progressive le long de la direction y qui est sensiblement perpendiculaire à la direction x de propagation d'une onde élastique de surface
à travers le filtre d'ondes élastiques de surface 50.
Le filtre d'ondes élastiques de surface 50 du premier mode de réalisation et constitué de la sorte fonctionne comme suit. On suppose que le filtre d'ondes élastiques de surface 50 a un ensemble de canaux de propagation a constitué de n cannaux juxtaposés ou séparés le long de la direction y. Une onde élastique de surface produite par l'électrode d'entrée 54 en réponse à un signal d'entre S8 qui lui est appliqué, se propage le long des canaux de propagation a à n, à travers les couches métallisées ou les doigts d'électrodes et les surfaces non
métallisées ou les surfaces électriquement ouvertes en direc-
tion de l'électrode de sortie 56. Le calcul de la vitesse à laquelle l'onde élastique de surface se propage dans le cas o elle rencontre différentes conditions-électriques aux limites, quand elle se propage à travers les couches métallisées et les surfaces non métallisées, est bien connu des spécialistes et
ne sera pas détaillé.
La distance Lj représente la distance entre les axes
centraux des doigts d'électrode centraux des électrodes d'en-
trée et de sortie 54, 56 correspondant aux jième canal de propagation. Les distances entre les axes centraux des doigts d'électrodes sont progressivement différentes quand on passe
du canal a au canal n dans la direction y. La fréquence centra-
le fj et la longueur d'onde j de l'onde élastique de surface se propageant le long du canal de propagation j, la distance Lj entre les axes centrauxdes doigts d'électrodes des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56 pour le jième canal de propagation et le temps de retard T. et le retard de groupe tj de l'onde J élastique de surface qui se propage le long du jième canal de propagation sont reliés entre eux par les relations suivantes: j = v/fj...(3) Tj = Loj/vo + Lmj/vm = Loj*(1/vo + 1/vm) = Lj/v... (4) Tj= -dej(fj)/dw... (5) o v = 2*(vo*vm)/(vo + vm) et Lj/2 = Loj = Lmj Le retard de groupe Tj donné par l'équation (5) est le temps de retard de groupe en cas d'indépendance des canaux de propagation entre eux. En fait, le retard de groupe est donné par e(f) lequel est déterminé en combinant les canaux de propagation: T = - de(f)/dw En postulant que les distances de propagation le long des canaux de propagation sont égales: L1 = L2 =... = Lj =... = L...(6) Tj = Lj/v = T... (7) La différence de fréquence Afj et la différence de phase Aej entre les fréquences fj et fj+1 sont données par: Afj = fj+1 - fj... (8) aej = 2r.L/Xj - 2r.L/Xj+1 = 2r.L.(l/v). (v/Aj - v/Xj+1) = 2Â.(L/v). (fj - fj+1).
(9) Le retard de groupe Tj de chaque canal de propagation est exprimé par: Tj = Aej/(Afj.2iî) = L/v..DTD: = T
Tj = T(fj) = T(f) = T... (10) Même si les canaux de propagation sont combinés, le retard de groupe est constant et égal au temps de retard T quelle que soit la fréquence. Dans chaque filtre d'ondes élastique de surface représenté à la figure 5, les distances de propagation à travers les canaux de propagation respectifs diffèrent légèrement de l'un à l'autre, il en va de même pour les phases des ondes élastiques de surface se propageant à travers les canaux de propagation. De la sorte, il se crée des différences de phases pour chacune des distances de propagation dans les canaux de propagation a à n. Dans l'hypothèse que l'énergie d'une onde élastique de surface de fréquence fj se concentre
sensiblement dans le jième canal de propagation et que l'éner-
gie d'une onde élastique de surface de fréquence fj+l se concentre sensiblement dans le (j+l)ième canal de propagation, la différence de phase A6j entre les fréquences fj et fj+1 s'expriment par: Lej = 2r.Lj/Xj - 2r.Lj+l/Àj+l... (11) Si Lj - Lj+l = ALj... (12) Alors A8j = 2r.Lj/Xj 2m.(Lj+l/Àj+l) = 2r. (Lj/Xj - Lj+l/Xj+1) = 2. (Lj/Àj - Lj/Xj+l + ALj/Xj+l) = 21. (Lj/v).(fj - fj+l) + 27..(tLj/Xj+lI (13) Dans ce cas, le retard de groupe T(fj) est différent du
retard de groupe Tj dans le jième canal de propagation indé-
pendant. Si 8(fj) peut être considéré comme la phase résultant
de la combinaison des jièmes et (j+l)ièmes canaux de propaga-
tion, alors T(fj) = - Aej/(Afj.2r) = Lj/v - 2n.(ALj/Xj+l)/(2w.Afj) = tj AAej/Aj... (14) ou AAOj = 2r.(ALj/lj+l) ALj = 2Â.Afj... (15) Le temps de retard qui est déterminé par la distance géométrique entre les canaux de propagation est donné par: tj = Lj/v... (16) tj+j = Lj+l/v... (17) - Si Lj+l - Lj = ALj " Lj+1, Lj... (18) alors tj - tj+l... (19) Bien que ALj soit négligeable par rapport à Lj, Lj+l, il ne peut pas être négligé par rapport à lj. Pour cette raison: T(fj) = tj - AAej/Awj = tj - LTej... (20) o ATej = AAej/AWj... (21) ATej = AAej/Auj = (ALj/Xj+l). (1/Afj) = (àLj/v).(fj+l/Aj).. (22) =. (ALj/v)
ou = fj+l/Afj.
Plus la différence entre fj+l et fj, c'est-à-dire Lfj, est importante plus grand sera Y. Si la variation de phase est plus petite que + r/2 comparativement à ALj/v, alors il est possible de modifier les caractéristiques de retard de groupe en dehors du temps de retard, lequel est déterminé par la distance géométrique presque sans changer les caractéristiques d'amplitude dans la somme des vecteurs des réponses d'ondes de
surface dans les canaux de propagation allant de a à n.
Parmi les canaux de propagation allant de a à n ceux ayant les fréquences centrales fj-1, fj, fj+l, fj+2 ont des gradients de caractéristique de phase qui sont sensiblement
égaux entre eux comme on le voit dans l'équation (19). Cepen-
dant, comme les valeurs absolues des grandeurs des fréquences sont légèrement différentes, comme on peut le voir dans les
équations suivantes, les phases combinees n'ont pas une résul-
tante en ligne droite: ej(fj) = 2r.Lj/Xj +... (23) ej+l(fj) = 2Â.Lj+l/Xj +
. (24) Gj(fj+l) = 2r.Lj/Xj+l + e... (25) ej+l(fj+l) = 2r.Lj+1/Xj+l +... (26)..DTD: Par rapport aux caractéristiques de phase, les caracté-
ristiques de phase réelles sont modifiées comme on le voit en comparant avec les caractéristiques de phase ej(f) déterminées par la distance des doigts centraux d'électrode des électrodes d'entrée et de sortie pour le jième canal de propagation. Le
retard de groupe représenté par la différentielle de sa fré-
quence angulaire est différent du temps de retard tj qui est
déterminé par la distance géométrique. Cependant, si la varia-
tion de phase est plus petite que + %/2, alors les caractéris-
tiques d'amplitude de la sortie globale produites par la somme vectorielle des réponses dans les canaux de propagation restent
sensiblement les mêmes.
Le concept d'approche pour obtenir les caractéristiques de retard de groupe est simple, comme la différentielle de la fréquence angulaire des caractéristiques de phase représente les caractéristiques de retard de groupe, les caractéristiques de phase sont déterminées en fonction de la fréquence par intégration des retards de groupe souhaités. Ainsi l'axe de fréquence des canaux de propagation de a à n, c'est-à-dire, l'axe dans la direction y, est alignée avec cette fréquence et ALj pour les canaux de propagation de a à n est déterminé dans
le but d'avoir les caractéristiques de phase souhaitées.
Les caractéristiques réelles de phase combinées varient comme e(ff représenté à la figure 7. Le retard de groupe qui est en fait la différentielle de la fréquence angulaire des caractéristiques de phase combinées, diffère du temps de
retard tj déterminé par la distance géométrique. Si la varia-
tion de phase est plus petite que + w/2, alors les caractéris-
tiques d'amplitude restent sensiblement constantes même si l'on fait la somme des différents vecteurs réponses dans les
différents canaux de propagation respectifs. Une courbe carac-
téristique de fréquence avec des caractéristiques de retard de
groupe lissées est représentée à titre d'exemple à la figure 8.
Dans le but de réaliser le lissage des caractéristiques de retard de groupe, les variations en ALj sont représentées par une courbe cubique ayant les valeurs minimum et maximum des deux côtés de la fréquence centrale comme on le voit à la
figure 9.
Un filtre d'ondes élastiques de surface selon un second mode de réalisation de la présente invention sera décrit en référence à la figure 10. Le filtre d'ondes élastiques de surface a des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56 situées sur une base ou substrat piézo-électrique 52 pour l'émission et réception d'un signal haute fréquence. Les électrodes d'entrée et de sortie 54, 56 ont des électrodes parallèles et se faisant face 60, 62 et 64, 66, respectivement, de façon à recevoir un signal haute fréquence S8 et à émettre un signal haute fréquence respectif S9. L'électrode commune 60 a trois doigts d'électrodes divergents 70, 72, 74 et l'électrode commune a deux doigts d'électrodes 76, 78 interdigités par rapport aux doigts divergents d'électrodes 70, 72, 74. De la même façon, l'électrode commune 64 a trois doigts d'électrodes divergents 82, 84, 88 et l'électrode commune 66 a deux doigts
d'électrodes 92, 94 interdigités par rapport aux doigts diver-
gents d'électrodes 82, 84, 88. Les doigts divergents d'élec-
trodes 72, 84 sont situés perpendiculairement aux électrodes
communes respectifs 60, 62 et 64, 66. Les autre doigts d'élec-
trode sont inclinés par rapport à des lignes fictives perpen-
diculaires aux électrodes communes 60, 62 et 64, 66.
Une électrode de protection 100 ayant la forme d'une gourde avec fonction d'électrode de commande de phase, est située sur la base piézo-électrique 52 entre les électrodes d'entrée et de sortie 54, 56. L'électrode de protection 100 comporte des parties rectangulaires 100a, 100b servant de protection pour affaiblir le couplage électrique entre les
électrodes d'entrée et de sortie 54, 56. L'électrode de pro-
tection 100 comporte également une partie métallisée 100c s'étendant entre les parties rectangulaires 100a, 100b à
travers les canaux de propagation a à n, la partie métalli-
sée 100c ayant différentes longueurs dans et le long des canaux de propagation a à n dans l'espace compris entre les doigts centraux d'électrode des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56. La partie métallisée 100c sert d'organe de
contrôle de phase et de protection ou d'écran.
Les phases des ondes élastiques de surface se propageant le long des canaux de propagation a à n sont contrôlées par diverses conditions électriques aux limites entre la partie métallisée 100c et la base piézoélectrique 52, c'est-à-dire, les différentes vitesses de propagation des ondes élastiques de surface à travers les canaux de propagation a jusqu'à n à travers la partie métallisée et les surfaces non métallisées
situées dans les canaux de propagation a jusqu'à n.
Le fonctionnement du filtre d'ondes élastiques de surface s'effectue comme suit. On supposera que, pour l'intervalle correspondant à la distance Lj entre les axes centraux des doigts divergents d'électrodes 72, 84 le long du canal de propagation j, la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface dans une surface électriquement ouverte ou une surface Loj non métallisée (qui est représentée par la sommme des distances égales a et b sur la distance Lj) est désignée par vo, la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface dans une surface électriquement fermée ou métallisée Lmj est désignée par vm, et la vitesse moyenne de propagation de l'onde élastique de surface dans les surfaces d'électrode Laj de longueurs égales sur la distance Lj est indiquée par v. Les phases ej, 8k des ondes élastiques de surface le long du jième chemin de propagation et le long du kième chemin de propagation (non représenté) s'expriment comme suit: oj = 2w. (2.Laj/Xaj + Loj/Xoj + Lmj/Àmj + ek = 2. (2.Lak/Xak + Lok/Aok + Lmk/Xmk +
10... (27)
oû Laj Lak et, de plus: v vo vm laj =-, xoj =, lmj = f. fj fj v vo vm Xak = -, Xok = -, Àmk = fk fk -fk Même si les distances entre les axes centraux des doigts d'électrodes 72, 84 dans les canaux de propagation sont égales l'une à l'autre, ce qui est exprimé par l'égalité Loj + Lmji = Lok + Lmk, on peut imprimer une différence de phase à l'onde
élastique de surface se propageant dans les canaux de propaga-
tion en choisissant une relation dimensionnelle de Lmj # Lmk.
Si Lmj = Lmk + AL, alors la différence de phase AQj es donnée par: AEj = 2w.(AL/Ao) - 2r. (AL/Xm) = 2w.AL.(1/Xo - l/Xm) = 2w.AL.(fj/vo - fj/vm) = 2w.AL.fj(1/vo - 1/vm)... (28) En utilisant l'équation (21) (1/vo - 1/vm) = O,5.KZ/vo... (29) On peut donc écrire l'équation (28) sous la forme: Aj = 2w.AL.0,5K2.fj/vo = AL.2w/lo.0,5.K2 Dans le but de faire varier la phase de + 6% de la longueur d'onde si la base piézo-électrique est faite en LiTaO3, de X-112 Y (tantalate de lithium, de coefficient électromécanique K2 = 0,0075), on peut à partir de la dernière équation mentionnée déduire la relation suivante: ae1/2w = 0,12 = AL/Ao.0,5.K2 Dès lors, EL = 32.ko et la différence entre les longueurs de l'électrode de protection le long des canaux de propagation
est égale à 32 longueurs d'onde.
Pour ces raisons, si la phase ou la distance Lj entre les doigts centraux d'électrode est modifiée de + 6% de la longueur d'onde, la largeur de la partie métallisée 10Oc de
l'électrode de protection 100 à travers les canaux de propa-
gation a jusqu'à n devrait être modifiée approximativement de fois la longueur d'onde pour mettre en oeuvre le second mode de réalisation. Cette disposition permet l'obtention de caractéristiques en fréquence et en phase non linéaires, de façon relativement précise au cas o la modification de phase est très petite ou bien la fréquence centrale est élevée et la
longueur d'onde est courte.
Un filtre d'ondes élastiques de surface selon un troi-
sième mode de réalisation est illustré à la figure 11. Le filtre d'ondes élastique de surface diffère du filtre d'ondes élastique de surface de la figure 5 par ses doigts divergents d'électrodes 75, 83 qui sont des couches métallisées ayant des largeurs ou longueurs pour les canaux de propagation a à n qui varient dans la direction y qui est perpendiculaire à la direction x de propagation de l'onde élastique de surface. Le fonctionnement du filtre d'ondes élastique de surface selon le troisième mode de réalisation sera facilement compris à partir
* de la description qui précède du second mode de réalisation.
Selon un quatrième mode de réalisation un filtre d'ondes élastique de surface représenté à la figure 12 comporte des doigts d'électrodes divergents 75, 83 qui sont des couches métallisées dont la largeur ou la longueur des canaux de
propagation a à n, varient dans la direction y qui est perpen-
diculaire à la direction x de propagation de l'onde élastique de surface comme c'était le cas pour le troisième mode de réalisation représenté à la figure 11. De plus, une électrode de protection 100 ayant la forme d'une gourde agissant comme électrode de commande de phase est située sur un élément
piézo-électrique 52 entre les électrodes d'entrée et de sor-
tie 54, 56 comme c'était le cas pour le second mode de réali-
sation représenté à la figure 10. L'électrode de protection 100 comporte des parties rectangulaires 100a, 100b servant d'écran pour minimiser le couplage électrique entre les électrodes d'entrée et de sortie 54, 56. L'électrode de protection 100 comporte également une partie métallisée 10Oc située entre les parties rectangulaires 100a,-100b à travers les canaux de propagation a jusqu'à n, la partie métallisée 10OC ayant différentes longueurs dans la direction et le long des canaux de propagation a jusqu'à n, de manière à respecter la distance entre les doigts centraux d'électrode des électrodes d'entrée et de sortie 54, 56. La partie métallisée 100C a des fonctions
de commande de phase et d'écran.
Les phases des ondes élastiques de surface se propageant dans les canaux de propagation a jusqu'à n sont en rapport direct avec différentes conditions électriques aux limites
existant entre la partie métallisée 0lc et la base piézo-
électrique 52 c'est-à-dire les différentes vitesses de propa-
gation des ondes élastiques de surface le long des canaux de propagation a jusqu'à n à travers les parties métallisées et les surfaces non métallisées se trouvant dans les canaux de
propagation a jusqu'à n.
Le fonctionnement du filtre d'ondes élastique de surface selon le quatrième mode de réalisation sera aisément compris
sur la base de la description donnée ci-dessus du fonctionne-
ment des seconds et troisièmes modes de réalisation.
La figure 13 représente un filtre d'ondes élastique de surface selon un cinquième mode de réalisation de la présente
invention. Le filtre d'ondes élastique de surface de la figu-
re 13 comporte des électrodes d'entrée et de-sortie 54, 56 situées sur un élément piézo-électrique 52 ayant des canaux de
propagation de a jusqu'à n, une paire d'électrodes rectangu-
laires de protection 100a, 10Ob à distance l'une de l'autre et disposées sur l'élément piézo-électrique 52 en dehors des canaux de propagation a jusqu'à n et un milieu 102 situé sur
l'élément piézo-électrique 52 à travers les canaux de propaga-
tion a jusqu'à n, entre les électrodes de protection 100a, b. Le milieu 102 a la forme d'une pellicule mince faite d'un matériau différent d'un conducteur électrique, comme le
dioxyde de silicium capable de modifier la vitesse de propaga-
tion de l'onde élastique de surface. Le milieu 102 a la même forme que la partie métallisée 100C représentée aux figures 10 et 12, et fonctionne de la même façon pour proposer le même avantage que la partie métallisée 100C. La figure 14 est une
vue partielle montrant une coupe prise le long de la ligne V -
V' de la figure 13.
Dans la présente invention, comme on l'a vu ci-dessus, les électrodes d'entrée et de sortie pour l'émission et la réception d'une onde élastique de surface sont situées sur la couche superficielle de l'élément piézo-électrique et on modifie soit la longueur du conducteur électrique entre les
électrodes d'entrée et de sortie dans la direction de propa-
gation de l'onde élastique de surface et dans la direction perpendiculaire à la direction de propagation pour modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface en raison de différentes conditions électriques aux limites, soit le milieu susceptible de modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface le long de la couche superficielle de l'élément piézo-électrique sur l'élément piézo-électrique, entre les électrodes d'entrée et de sortie. On applique un
signal à l'électrode d'entrée et un signal ayant les caracté-
ristiques de fréquence souhaitées dans un large domaine de fréquence se produit à l'électrode de sortie. On peut de façon
précise et avec une plus grande liberté obtenir les caracté-
ristiques de fréquence souhaitées dans un domaine de fréquence large. Le filtre d'ondes élastique de surface de l'invention permet d'obtenir les caractéristiques souhaitées de retard de groupe sur une large plage de fréquence et également des caractéristiques en phase et en fréquence non linéaires sur une large plage de fréquence, et l'on dispose de plus de liberté de contrôle pour la phase de façon à obtenir des
caractéristiques précises non linéaires en phase et en fré-
quence. Bien entendu, la présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits et elle est susceptible de nombreuses variantes accessibles à l'homme de l'art, sans que
l'on ne s'écarte de l'esprit de l'invention.
Claims (10)
1.- Dispositif à ondes élastiques de surface ayant des
caractéristiques non linéaires en fréquence et en phase, com-
prenant un élément piézo-électrique pour la propagation à travers sa couche superficielle d'une onde élastique de sur- face, et des première et seconde électrodes situées sur ladite couche superficielle à distance l'une de l'autre de façon à émettre et capter une onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, caractérisé en ce que chacune desdites première (54) et seconde (56) électrodes comporte une paire d'éléments d'électrode ayant des doigts d'électrode en forme de peigne, lesdits doigts d'électrode (60, 64) entre les
électrodes d'au moins une desdites première et seconde électro-
des comportant une série de doigts d'électrodes divergents (70,
74; 82, 88) s'étendant dans une direction sensiblement perpen-
diculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de
surface et un doigt d'électrode (72; 84) situé en un emplace-
ment défini entre lesdits doigts divergents d'électrode, le doigt d'électrode de ladite première électrode servant à l'émission et à la réception de l'onde élastique de surface ayant un axe central transversal à la direction de propagation, le doigt d'électrode de ladite seconde électrode servant à l'émission et la réception de l'onde élastique de surface
ayant un axe central transversal à ladite direction de propaga-
tion, la distance le long de ladite direction de propagation entre les axes centraux étant modifiée dans ladite direction
sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propagation.
2.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique (12) et s'étendant dans ladite direction de propagation, sa longueur
dans cette direction étant modifiée dans une direction sensi-
blement perpendiculaire à ladite direction de propagation,
ledit conducteur électrique, comprenant une couche métallisée.
3.- Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2,
caractérisé en ce que les doigts d'électrode qui sont situés
entre lesdits axes centraux comprennent des conducteurs d'élec-
trodes et de plus un conducteur d'électrode disposé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-électrique (12) et s'étendant dans ladite direction de propagation de telle façon que sa longueur dans cette direction soit modifiée dans une direction sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propagation, lesdits conducteurs électriques comportant respec-
tivement des couches métallisées.
4.- Dispositif selon la revendication 1, et ayant des caractéristiques en fréquence et en phase non linéaires, qui comprend un élément piézoélectrique (12) dont la couche superficielle peut être traversée pour assurer la propagation d'ondes élastiques de surface, et ayant des première et seconde électrodes disposées sur ladite couche superficielle à distance
l'une de l'autre de façon à émettre et à capter l'onde élasti-
que de surface entre les première et seconde électrodes, et un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézoélectrique (12) entre lesdites première et seconde électrodes et ayant dans le sens de la propagation une
longueur qui peut être modifiée dans ladite direction sensible-
ment perpendiculaire à ladite direction de propagation, carac-
térisé en ce que chacune desdites première et seconde électro-
des comporte une paire d'éléments d'électrode (60; 64) compor-
tant des doigts d'électrodes en forme de peigne et s'étendant entre les électrodes, lesdits doigts d'électrode (70, 74; 82, 88) entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et seconde électrodes comportant une pluralité de
doigts d'électrodes divergents s'étalant le long d'une direc-
tion sensiblement perpendiculaire à la direction de propaga-
tion de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode (72, 84) disposé dans un emplacement défini entre lesdits doigts
divergents d'électrodes.
5.- Dispositif ayant des caractéristiques en fréquence
et en phase non linéaires, bomportant un élément piézo-électri-
que (12) pour la propagation d'une onde élastique de surface à travers sa couche superficielle, et des première et seconde électrodes disposées sur ladite couche superficielle en étant espacées l'une par rapport à l'autre de manière à recevoir et émettre l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, chacune desdites première et seconde électrodes ayant une paire d'éléments d'électrode (60; 64) comportant des doigts d'électrodes en forme de peigne et s'étendant entre les électrodes, caractérisé en ce que lesdits doigts d'électrodes entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et seconde électrodes comportent une pluralité de doigts d'électrode (70, 74; 82, 88) divergents s'étalant le long d'une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode disposé dans un emplacement défini entre lesdits doigts divergents (70, 74; 82, 88) d'électrodes, le doigt d'électrode central de ladite première électrode ayant un axe central et le doigt central d'électrode de ladite seconde électrode ayant un axe central, les doigts d'électrode de ladite première électrode et/ou de la seconde électrode qui sont disposés entre lesdits axes centraux comprenant des conducteurs électriques dont chacun s'étend en longueur le long de la direction de propagation, ladite longueur étant modifiée dans ladite direction sensiblement perpendiculaire à
ladite direction de propagation.
6.- Dispositif comporte selon la revendication 5, carac-
térisé en ce qu'il comporte en outre un conducteur électrique
disposé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-
électrique (12) et qui s'étend en longueur dans ladite direc-
tion de propagation, ladite longueur étant modifiée dans
ladite direction sensiblement perpendiculaire à ladite direc-
tion de propagation, ledit conducteur électrique comportant
une couche métallisée.
7.- Dispositif selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que les doigts d'électrode qui sont situés entre lesdits axes centraux comportent des conducteurs d'électrodes, et comportant de plus un conducteur électrique situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézoélectrique (12) et qui s'étend en longueur dans ladite direction de propagation,
ladite longueur étant modifiée dans ladite direction sensible-
ment perpendiculaire à ladite direction de propagation, lesdits conducteurs électriques comprenant des couches métallisés,
chacun respectivement.
8.- Dispositif à ondes élastiques de surface ayant des
caractéristiques en fréquence et en phase non linéaires com-
prenant un élément piézo-électrique (12) pour la propagation
d'une onde élastique de surface à travers sa couche superfi-
cielle, les premières et secondes électrodes étant disposées sur ladite couche superficielles à distance l'une de l'autre pour émettre et capter l'onde élastique de surface entre les première et seconde électrodes, caractérisé en ce que chacune desdites première et seconde électrodes comporte une paire d'éléments d'électrode (60; 64) avec des doigts d'électrodes en forme de peigne qui sont situés entre elles, lesdits doigts d'électrode (70, 74; 82, 88) entre les électrodes communes d'au moins d'une desdites première et seconde électrodes comportant une pluralité de doigts d'électrodes divergents (70,
74; 82, 88) s'étendant dans une direction sensiblement perpen-
diculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode (72, 84) étant disposé en un emplacement défini entre lesdits doigts divergents (70, 74; 82, 88) d'électrodes et en ce qu'un conducteur électrique est
situé sur ladite couche superficielle de l'élément piézo-
électrique (12) entre lesdites première et seconde électrodes et s'étend dans le sens de la longueur dans ladite direction
de propagation, sa longueur étant modifiée dans ladite direc-
tion sensiblement perpendiculaire à ladite direction de propa-
gation, en ce que le doigt d'électrode central de ladite première électrode et le doigt d'électrode central de ladite
seconde électrode présentant un axe central, ces doigts d'élec-
trode desdites première électrode et/ou seconde électrode qui sont disposées entre lesdits axes centraux comprenant des conducteurs électriques, qui s'étendent dans le sens de la longueur dans ladite direction de propagation, et dont la longueur est modifiée dans ladite direction sensiblement
perpendiculaire à ladite direction de propagation.
9.- Dispositif ayant des caractéristiques en fréquence
et en phase non linéaires, comprenant un élément piézo-élec-
trique (12) pour la propagation d'une onde élastique de surface à travers sa couche superficielle, des première et seconde électrodes disposées sur ladite couche superficielle à distance
l'une de l'autre de façon à émettre et à capter l'onde élasti-
que de surface entre les première et seconde électrodes, caractérisé en ce que chacune desdites première et seconde électrodes comporte une paire d'éléments d'électrode (60; 64) ayant des doigts d'électrodes en forme de peigne situées entre elles, lesdits doigts d'électrode (70, 74; 82, 88) entre les électrodes communes d'au moins une desdites première et
seconde électrodes comportant une pluralité de doigts diver-
gents (70, 74; 82, 88) s'étendant le long d'une direction sensiblement perpendiculaire à la direction de propagation de l'onde élastique de surface et un doigt d'électrode (72, 84) étant situé en un emplacement défini entre lesdits doigts divergents (70, 74; 82, 88) d'électrodes, et en ce qu'un milieu est prévu transversalement aux canaux entre lesdites première et seconde électrodes pour modifier la vitesse de propagation de l'onde élastique de surface à travers ladite
couche superficielle.
10.- Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit milieu comporte une pellicule mince de dioxyde de
silicium.
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