JP2014192866A

JP2014192866A - 弾性波フィルタ

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Publication number: JP2014192866A
Application number: JP2013069436A
Authority: JP
Inventors: Tadaaki Tsuda; 忠秋津田; Osamu Tokuda; 治徳田
Original assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date: 2013-03-28
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2014-10-06
Also published as: US20140292444A1

Abstract

【課題】入力側電極及び出力側電極における電極指群を各々テーパー状に形成するにあたって、弾性波の回折や屈折による特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】通過域の下端周波数に対応するトラックＴｒ１から通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２までに亘って弾性波が伝搬するように、多数の電極指２２をテーパー状に形成する。この時、トラックＴｒ２のピッチＰＴｒ２については、手前側のバスバー２１に近接する位置に形成されないように、当該手前側のバスバー２１よりも寸法Ｄ１だけ奥側のバスバー２１に寄った位置に形成する。
【選択図】図２

Description

本発明は、電極指群をテーパー状に形成した弾性波フィルタに関する。

弾性表面波（ＳＡＷ）などの弾性波を用いたフィルタ（バンドパスフィルタ）として、図１７に示すように、一対のバスバー１０１、１０１間の領域に多数の電極指１０２をテーパー状に形成したＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極１０３を入出力電極として圧電基板１０４上に配置したテーパー型フィルタが知られている。このフィルタでは、一対のバスバー１０１、１０１のうち一方のバスバー１０１側（奥側）には当該フィルタの通過域における最小周波数（下端周波数）に対応するトラックＴｒ１が配置され、他方のバスバー１０１側（手前側）には通過域における最大周波数（上端周波数）に対応するトラックＴｒ２が配置される。図１７中１０５はシールド電極であり、１０６はダンパーである。

このようなフィルタでは、当該フィルタの寸法を抑えながら広帯域化を図ろうとすると、ＩＤＴ電極１０３のテーパー角度θが小さくなる（寝てくる）ので、弾性波の屈折や回折が起こりやすくなる。そのため、図５に一点鎖線（従来１）で示すように、減衰曲線のいわば肩ダレが起こり、例えば通過帯域幅が設定よりも狭帯域化すると共に、通過域の近傍（特に高周波数側）における減衰量が劣化してしまう。

特許文献１には、このような屈折や回折による特性劣化を抑制するために、テーパー型フィルタにおける高周波数側のトラックあるいは低周波数側のトラックを延長させた構成が挙げられている。即ち、図１８に示すように、例えばフィルタの通過域における最大周波数に対応するトラックＴｒ２については、他のトラックよりも電極指１０２の長さ寸法を長めに充てている。しかしながら、このような構成では、既述の図１７のフィルタと比べて特性が改善されるものの、図５に破線（従来２）で示すように、トラックＴｒ２（通過域の最大周波数）近傍における減衰曲線が盛り上がり、結果として通過域における平坦性が劣化すると共に、通過帯域幅が設定よりも広がってしまう。
特許文献２〜５では、フィルタにおける電極指の構成やレイアウトなどについて種々検討されているが、それ程良好な特性は得られない。

特許４７０７９０２号特許４７６８１１３号特開平６−９０１３２特開平２−７２７０９特開２０１０−１７１８０５

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、入力側電極及び出力側電極における電極指群を各々テーパー状に形成するにあたって、弾性波の回折や屈折による特性の劣化を抑制することのできるフィルタを提供することにある。

本発明の弾性波フィルタは、
通過域における低周波数側のトラックＴｒ１から高周波数側のトラックＴｒ２までに亘って波長の互いに異なる弾性波が圧電基板上を伝搬するように入力側電極における電極指群及び出力側電極における電極指群を各々テーパー状に形成した弾性波フィルタにおいて、
前記入力側電極及び前記出力側電極は、
弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように、且つ弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に互いに離間するように配置された一対のバスバーと、これらバスバー間において互いに交差するように各々のバスバーから対向するバスバーに向かって櫛歯状に伸び出す複数の電極指とを各々備え、
前記電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指同士の間の離間寸法からなる、圧電基板上を伝搬する弾性波の波長を周期長Ｐとすると、前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方は、以下の（１）及び（２）の少なくとも一方の構成を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
（１）トラックＴｒ１における周期長Ｐ_Ｔｒ１からトラックＴｒ２における周期長Ｐ_Ｔｒ２まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域と、トラックＴｒ３における周期長Ｐ_Ｔｒ３からトラックＴｒ４における周期長Ｐ_Ｔｒ４まで周期長Ｐが大きくなるように各々の電極指が配置された領域とが、トラックＴｒ２とトラックＴｒ３とが互いに隣接するように配置されると共に、これら領域間において対向する電極指同士が互いに接続されている構成。ただし、Ｐ_Ｔｒ１≧Ｐ_Ｔｒ４＞Ｐ_Ｔｒ３＝Ｐ_Ｔｒ２となっている。
（２）トラックＴｒ１における周期長Ｐ_Ｔｒ１からトラックＴｒ２における周期長Ｐ_Ｔｒ２まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域と、トラックＴｒ５における周期長Ｐ_Ｔｒ５からトラックＴｒ６における周期長Ｐ_Ｔｒ６まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域とが、トラックＴｒ１とトラックＴｒ５とが互いに隣接するように配置されると共に、これら領域間において対向する電極指同士が互いに接続されている構成。ただし、Ｐ_Ｔｒ１＝Ｐ_Ｔｒ５＞Ｐ_Ｔｒ６≧Ｐ_Ｔｒ２となっている。

前記弾性波フィルタとしては、具体的に以下の態様を採っても良い。
即ち、前記（１）の構成を備え、
一対のバスバー間の寸法を開口長Ｗと呼ぶと、前記圧電基板上におけるトラックＴｒ３とトラックＴｒ４との間の離間寸法Ｄ１は、
３≧Ｄ１÷Ｗ×１００
となっている態様。

前記（２）の構成を備え、
一対のバスバー間の寸法を開口長Ｗと呼ぶと、前記圧電基板上におけるトラックＴｒ５とトラックＴｒ６との間の離間寸法Ｄ２は、
３≧Ｄ２÷Ｗ×１００
となっている態様。
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極は、前記（１）の構成及び前記（２）の構成の少なくとも一方の構成を各々備えている態様。

本発明は、トラックＴｒ１からトラックＴｒ２（Ｔｒ１＞Ｔｒ２）までの周期長の弾性波が伝搬するように電極指群をテーパー型に形成したフィルタを構成するにあたり、トラックＴｒ１及びトラックＴｒ２の少なくとも一方のトラックＴｒ１（Ｔｒ２）について、バスバーに近接した位置（電極指の端部位置）よりも弾性波の伝搬方向に直交する方向に離間した位置に配置している。そして、前記少なくとも一方のトラックＴｒ１（Ｔｒ２）から見て他方のトラックＴｒ２（Ｔｒ１）とは反対側の領域に、このフィルタの通過域の少なくとも一部に対応する周期長で電極指群をテーパー型に並べている。そのため、前記少なくとも一方のトラックＴｒ１（Ｔｒ２）の弾性波が屈折や回折によって電極指群の配置された領域から外れた領域に伝搬しようとしても、当該外れた領域にも電極指が配置されているので、弾性波の屈折や回折に基づく周波数特性の劣化を抑制できる。

本発明の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。前記フィルタの一部を拡大して示す平面図である。前記フィルタの特性を模式的に示す特性図である。前記フィルタの特性を模式的に示す特性図である。前記フィルタの特性を示す特性図である。前記フィルタの特性について説明するための模式図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記他の例のフィルタの一部を拡大して示す平面図である。前記他の例におけるフィルタの特性を模式的に示す特性図である。前記フィルタの別の例を示す平面図である。前記別の例のフィルタの一部を拡大して示す平面図である。前記別の例のフィルタの特性を模式的に示す特性図である。前記フィルタの更に他の例の一部を拡大して示す平面図である。前記フィルタのまた別の例の一部を拡大して示す平面図である。前記また別の例のフィルタの特性を模式的に示す特性図である。前記フィルタの他の例における特性を模式的に示す特性図である。従来のフィルタを示す平面図である。従来のフィルタを示す平面図である。

本発明の弾性波フィルタの実施の形態の一例について、図１〜図３を参照して説明する。このフィルタは、入力側ＩＤＴ電極１１と、出力側ＩＤＴ電極１２と、これら電極１１、１２間に配置されたシールド電極１３とを備えており、例えば水晶やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）などの圧電基板１上に形成されている。そして、このフィルタは、通過域と、当該通過域よりも低周波数側及び高周波数側に各々設けられた阻止域と、を備えたバンドパス型のフィルタとなっており、以下に詳述するように、ＩＤＴ電極１１、１２をテーパー型に形成しながら、弾性波の回折や屈折による特性劣化を抑えるように構成されている。尚、図１中２は入力ポート、３は出力ポートであり、４は不要な弾性波を吸収するための樹脂などからなるダンパーである。また、図１ではＩＤＴ電極１１、１２について一部簡略化して描画している。

入力側ＩＤＴ電極１１は、一対のバスバー２１、２１と、これらバスバー２１、２１間においてテーパー状に形成された複数の電極指２２とを備えている。即ち、バスバー２１、２１は、弾性波の伝搬方向（Ｘ方向）に沿って各々伸びるように、且つ当該伝搬方向に直交する方向（Ｙ方向）に互いに離間するように配置されている。電極指２２は、これらバスバー２１、２１の各々から対向するバスバー２１、２１に向かって交互に櫛歯状に伸び出すように配置されている。

ここで、圧電基板１上を伝搬する弾性波の波長をピッチ（周期長）Ｐと呼ぶものとする。即ち、図１に示すように、手前側のバスバー２１から奥側のバスバー２１に向かって互いに隣接して伸びる２本の電極指２２、２２の各々の中心線同士の寸法をピッチＰと呼ぶと、各々の電極指２２は、ピッチＰが一対のバスバー２１、２１間に亘って連続的に変化するように配置されている。

具体的には、奥側のバスバー２１に近接する領域では、通過域における下端周波数に対応するトラックＴｒ１の弾性波が伝搬するように、このトラックＴｒ１に対応するピッチＰ_Ｔｒ１で電極指２２が形成されている。そして、手前側のバスバー２１から寸法Ｄ１だけ奥側のバスバー２１に寄った位置にて当該バスバー２１に沿って伸びる仮想上のラインに符号「Ｌ」を付すと、ピッチＰは、奥側のバスバー２１から前記ラインＬに向かうにつれて、既述のピッチＰ_Ｔｒ１から、通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２におけるピッチＰ_Ｔｒ２まで連続的に小さくなっている。

また、ラインＬよりも手前側では、ピッチＰは、手前側のバスバー２１に向かうにつれて、トラックＴｒ３に対応するピッチＰ_Ｔｒ３から、トラックＴｒ４に対応するピッチＰ_Ｔｒ４まで連続的に大きくなっている。この例では、トラックＴｒ２とトラックＴｒ３とではピッチＰが同じ寸法になっている。従って、入力側ＩＤＴ電極１１では、通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２（Ｔｒ３）がバスバー２１に対向する位置に形成されないように、ラインＬから奥側及び手前側に向かってピッチＰが各々大きくなるように各電極指２２が形成されていると言える。ピッチＰ_Ｔｒ１、Ｐ_Ｔｒ２（Ｐ_Ｔｒ３）及びＰ_Ｔｒ４は、具体的には夫々例えば２２．６１μｍ、１９．１６μｍ及び１９．６６μｍとなっている。従って、Ｐ_Ｔｒ２（Ｐ_Ｔｒ３）：Ｐ_Ｔｒ４の比率は、１：１．０２〜１：１．２となっている。

バスバー２１、２１間の離間寸法を「開口長Ｗ」と呼ぶと、ラインＬと手前側のバスバー２１との間の離間寸法Ｄ１は、大きすぎるとフィルタが大型化するおそれがあり、一方小さすぎるとラインＬよりも手前側で弾性波の回折が起こりやすくなってしまう。従って、離間寸法Ｄ１は、開口長Ｗの０．５％〜３％この例では２．９％となっており、好ましくは開口長Ｗの０．７％〜１．５％である。開口長Ｗは、フィルタの通過域の中心周波数ｆ０に対応するトラックＴｒ０のピッチＰ_Ｔｒ０（＝（Ｐ_Ｔｒ１＋Ｐ_Ｔｒ２）÷２）で規定すると、例えば５１．５Ｐ_Ｔｒ０となっている。

この例では、ラインＬよりも奥側の領域及びラインＬよりも手前側の領域では、電極指２２のテーパー角度が揃っており、従ってラインＬよりも寸法Ｄ１だけ奥側に離間した位置におけるピッチＰは、手前側のバスバー２１に近接する位置のトラックＴｒ４のピッチＰ_Ｔｒ４と同じ寸法となっている。

以上纏めると、入力側ＩＤＴ電極１１は、ラインＬよりも奥側では通過域に対応するトラックＴｒ１〜Ｔｒ２の弾性波が伝搬するように構成されると共に、トラックＴｒ１〜Ｔｒ２のうち一部の（通過域における高周波数側の帯域に対応する）トラックＴｒ３〜Ｔｒ４が伝搬する領域をラインＬよりも手前側に形成していると言える。そして、トラックＴｒ２とトラックＴｒ３とのピッチＰを互いに揃えると共に、これらトラックＴｒ２、Ｔｒ３同士が互いに隣接する（重ね合わされる）ように電極指２２を形成している。また、ラインＬよりも奥側の領域と、ラインＬよりも手前側の領域とでは、当該ラインＬ上において対向する電極指２２同士が互いに接続されている。従って、既述のように、通過域における上端周波数に対応するトラックＴｒ２は、手前側のバスバー２１よりも奥側のバスバー２１に寄った位置（ラインＬ上）に形成されている。図３は、以上説明した入力側ＩＤＴ電極１１のピッチＰの分布を概略的に示したものであり、各々の電極指２２は、ピッチＰの分布を示す直線がラインＬにおいていわば屈曲するように形成されている。

出力側ＩＤＴ電極１２についても、以上説明した入力側ＩＤＴ電極１１と同様に構成されており、具体的にはラインＬよりも奥側ではトラックＴｒ１〜Ｔｒ２までの弾性波が伝搬するように、またラインＬよりも手前側ではトラックＴｒ３（＝Ｔｒ２）〜Ｔｒ４までの弾性波が伝搬するように各々の電極指２２が配置されている。そして、これらＩＤＴ電極１１、１２では、弾性波の伝搬方向に沿って各トラックＴｒ１〜Ｔｒ４が各々一列に並ぶように各電極指２２が配置されている。

従って、入力ポート２から入力側ＩＤＴ電極１１に対して電気信号を入力すると、入力側ＩＤＴ電極１１では各トラックＴｒ１〜Ｔｒ４に対応する弾性波が発生する。そして、各々の弾性波は、出力側ＩＤＴ電極１２に向かって伝搬していく。ここで、例えば高周波数側のトラックＴｒ２（Ｔｒ３）では、弾性波は回折や屈折によってラインＬよりも手前側の領域に向かって伝搬しようとする。即ち、ラインＬよりも奥側の領域だけでトラックＴｒ１からトラックＴｒ２までの波長域に対応する周波数帯を通過域とするフィルタを構成した場合には、図４の上段に示すように、通過域の高周波数側の帯域ではいわば肩ダレが生じて損失が生じようとする。尚、図４は、周波数特性を模式的に示している。

しかし、ラインＬよりも手前側では、前記高周波数側の帯域に対応するように、各電極指２２をテーパー状に形成している。また、トラックＴｒ２（Ｔｒ３）の弾性波が回折や屈折によりラインＬより手前側の領域に伝搬しても、当該領域に配置された電極指２２によって弾性波のエネルギーのうち少なくとも一部が受け取られる。そのため、ラインＬよりも手前側では、図４の中段に示すように、ラインＬよりも奥側で生じようとする損失が補われるように、通過域における高周波数側の帯域に対応する減衰特性が得られる。言い換えると、本発明では、従来の構成において高周波数側の帯域で平坦性などの周波数特性が劣化することを見越して、この帯域に対応するトラックＴｒ３〜トラックＴｒ４の弾性波が伝搬するように、ラインＬよりも手前側に電極指２２を予めテーパー状に配置している。

従って、図４の下段に示すように、高周波数側の帯域の減衰特性が改善されて、通過域に亘って良好な平坦性が得られると共に、高周波数側の減衰カーブが急峻となり、設定に沿った通過帯域幅が得られる。図５は、以上説明したフィルタの周波数特性をシミュレーションしたものであり、既に詳述したように、本発明では、従来のフィルタと比べて良好な平坦性及び通過帯域幅が得られている。図５におけるシェープファクターを計算したところ、従来１及び従来２では夫々１．３３及び１．２９となっていたが、本発明では１．２６となり、これら従来１、２よりもシェープファクターが改善されていた。尚、シェープファクターとは、図６に示すように、フィルタの周波数特性を示す特性図において、通過域において減衰曲線が概略フラットになる位置よりも減衰量が１ｄＢ大きい位置における帯域幅Ａと、前記フラットになる位置よりも減衰量が３０ｄＢ大きい位置における帯域幅Ｂとの比（Ｂ÷Ａ）であり、減衰曲線の急峻さを表している。

上述の実施の形態によれば、多数の電極指２２をテーパー型に配置するにあたって、通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２について、手前側のバスバー２１よりも奥側のバスバー２１側に寄った位置（ラインＬ）に配置している。そのため、高周波数側に対応する弾性波の屈折や回折によってエネルギー損失が生じたとしても、当該エネルギー損失に応じた分だけ、ラインＬよりも手前側にてエネルギーが賄われる。即ち、ラインＬよりも手前側の領域では、通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２だけでなく、通過域の高周波数側にてある幅の帯域を持たせている。従って、通過域における平坦性を確保しつつ、通過帯域幅及び阻止域における減衰量の劣化を抑制できる。

以上のようにフィルタを構成するにあたって、手前側のバスバー２１に近接する位置におけるトラックＴｒ４について、通過域の下端周波数に対応するトラックＴｒ１と同じピッチＰ_Ｔｒ１に設定しても良い。即ち、図１におけるラインＬの手前側にも、当該ラインＬの奥側と同様に構成された電極指２２を配置しても良い。

続いて、本発明の他の例について以下に説明する。図７は、通過域における高周波数側の回折や屈折を抑制することに代えて、通過域における低周波数側の屈折や回折を抑制するように構成した例を示している。具体的には、この例ではラインＬは、図８に示すように、奥側のバスバー２１に対して寸法Ｄ２だけ手前側に離間した位置に形成されている。そして、ラインＬよりも手前側の領域では、トラックＴｒ１〜Ｔｒ２の弾性波が伝搬するように各電極指２２が形成されており、一方ラインＬよりも奥側の領域では、トラックＴｒ５〜Ｔｒ６の弾性波が伝搬するように構成されている。尚、以下の例について、既述の図１と同じ構成については同じ符号を付して説明を省略している。

トラックＴｒ５におけるピッチＰ_Ｔｒ５は、トラックＴｒ６におけるピッチＰ_Ｔｒ６よりも大きくなっており、この例ではピッチＰ_Ｔｒ１と同じ寸法となっている。またピッチＰ_Ｔｒ６は、ピッチＰ_Ｔｒ１よりも小さく、且つピッチＰ_Ｔｒ２以上となっている。この例では、Ｐ_Ｔｒ１（Ｐ_Ｔｒ５）：Ｐ_Ｔｒ６＝１：０．８〜１：０．９８となっている。また、寸法Ｄ２は、開口長Ｗの０．５〜３％となっている。

図９は、このフィルタにおけるピッチＰを概略的に纏めたグラフである。図９からも分かるように、この例では、トラックＴｒ１におけるピッチＰ_Ｔｒ１からトラックＴｒ２におけるピッチＰ_Ｔｒ２までピッチＰが小さくなるように各電極指２２が配置された領域と、トラックＴｒ５におけるピッチＰ_Ｔｒ５からトラックＴｒ６におけるピッチＰ_Ｔｒ６までピッチＰが小さくなるように各電極指２２が配置された領域とが弾性波の伝搬方向に対して直交する方向において互いに隣接して（重なり合うように）配置されている。そして、これら領域の間（ラインＬ）において、互いに隣接する電極指２２同士が接続されている。

このようにフィルタを構成することにより、通過域における低周波数側の屈折や回折を抑制することができるので、既述の例と同様の効果が得られる。この場合であっても、トラックＴｒ６について、通過域の上端周波数に対応するトラックＴｒ２と同じピッチＰ_Ｔｒ２に設定しても良い。

更に、図１０は、既述の図１のフィルタと、図７のフィルタとを組み合わせて一つのフィルタを構成した例を示している。即ち、図１１にも示すように、ラインＬは、手前側のバスバー２１に対して寸法Ｄ１だけ奥側に離間した位置と、奥側のバスバー２１に対して寸法Ｄ２だけ手前側に離間した位置と、の２箇所に形成されている。そして、これらラインＬよりもバスバー２１側には、図１２に示すように、既に説明したように、通過域における一部（高周波数側及び低周波数側）の帯域に対応するピッチＰの弾性波が伝搬するように構成されている。
この場合には、通過域における高周波数側及び低周波数側のいずれについても屈折や回折を抑制できるので、更に良好な周波数特性が得られる。

以上の各例では、ラインＬよりもバスバー２１寄りの領域における電極指２２について、当該ラインＬを挟んで反対側の領域における電極指２２とテーパー角度を揃えたが、これら領域においてテーパー角度を個別に設定しても良い。図１３は、図１及び図２の構成において、寸法Ｄ１を短くすることにより、ラインＬよりも手前側では、ラインＬよりも奥側の領域と比べて、テーパー角度を小さく設定した（寝せた）例を示している。また、図２よりも寸法Ｄ１を長めに設定することにより、テーパー角度を急峻に設定しても良い。

また、図１４は、図１及び図２の構成において、ラインＬよりも手前側の領域では、弾性波の伝搬方向に直交する方向において、ピッチＰをＰ_Ｔｒ２〜Ｐ_Ｔｒ３の間で連続的に変化させながら、電極指２２の幅寸法ｈ１及び互いに隣接する電極指２２、２２間の離間寸法ｈ２を調整した例を示している。即ち、ラインＬよりも手前側では、図１５に示すように、電極指２２の幅寸法ｈ１を一定の値に設定している。従って、ラインＬよりも手前側では、前記離間寸法ｈ２は、奥側から手前側に向かうにつれて連続的に広がっている。

以上説明した各例では、入力側ＩＤＴ電極１１及び出力側ＩＤＴ電極１２を互いに同じ構成にしたが、これらＩＤＴ電極１１、１２間で互いに異なる構成にしても良い。図１６は、このような一例について、ピッチＰについての分布図を示したものであり、入力側ＩＤＴ電極１１は、既述の図１に示した構成を採っている。出力側ＩＤＴ電極１２については、ラインＬよりも奥側では入力側ＩＤＴ電極１１と同じ配置レイアウトで電極指２２が配置されており、一方ラインＬよりも手前側では、ピッチＰは通過域の上端周波数に対応するピッチＰ_Ｔｒ２に一様に設定されており、従ってこの出力側ＩＤＴ電極１２は既述の特許文献１に記載の構成に相当する。
この場合であっても、既述の各例と同様の効果が得られる。

以上の各トラックＴｒ３〜Ｔｒ６におけるピッチＰの範囲について纏めると、Ｐ_Ｔｒ１＞Ｐ_Ｔｒ３≧Ｐ_Ｔｒ２、Ｐ_Ｔｒ１≧Ｐ_Ｔｒ４＞Ｐ_Ｔｒ２、Ｐ_Ｔｒ４＞Ｐ_Ｔｒ３である。また、Ｐ_Ｔｒ１＞Ｐ_Ｔｒ６≧Ｐ_Ｔｒ２、Ｐ_Ｔｒ１≧Ｐ_Ｔｒ５＞Ｐ_Ｔｒ２、Ｐ_Ｔｒ５＞Ｐ_Ｔｒ６である。

１圧電基板
１１入力側ＩＤＴ電極
１２出力側ＩＤＴ電極
２２電極指
Ｐピッチ
Ｔｒトラック

Claims

通過域における低周波数側のトラックＴｒ１から高周波数側のトラックＴｒ２までに亘って波長の互いに異なる弾性波が圧電基板上を伝搬するように入力側電極における電極指群及び出力側電極における電極指群を各々テーパー状に形成した弾性波フィルタにおいて、
前記入力側電極及び前記出力側電極は、
弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように、且つ弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に互いに離間するように配置された一対のバスバーと、これらバスバー間において互いに交差するように各々のバスバーから対向するバスバーに向かって櫛歯状に伸び出す複数の電極指とを各々備え、
前記電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指同士の間の離間寸法からなる、圧電基板上を伝搬する弾性波の波長を周期長Ｐとすると、前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方は、以下の（１）及び（２）の少なくとも一方の構成を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
（１）トラックＴｒ１における周期長Ｐ_Ｔｒ１からトラックＴｒ２における周期長Ｐ_Ｔｒ２まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域と、トラックＴｒ３における周期長Ｐ_Ｔｒ３からトラックＴｒ４における周期長Ｐ_Ｔｒ４まで周期長Ｐが大きくなるように各々の電極指が配置された領域とが、トラックＴｒ２とトラックＴｒ３とが互いに隣接するように配置されると共に、これら領域間において対向する電極指同士が互いに接続されている構成。ただし、Ｐ_Ｔｒ１≧Ｐ_Ｔｒ４＞Ｐ_Ｔｒ３＝Ｐ_Ｔｒ２となっている。
（２）トラックＴｒ１における周期長Ｐ_Ｔｒ１からトラックＴｒ２における周期長Ｐ_Ｔｒ２まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域と、トラックＴｒ５における周期長Ｐ_Ｔｒ５からトラックＴｒ６における周期長Ｐ_Ｔｒ６まで周期長Ｐが小さくなるように各々の電極指が配置された領域とが、トラックＴｒ１とトラックＴｒ５とが互いに隣接するように配置されると共に、これら領域間において対向する電極指同士が互いに接続されている構成。ただし、Ｐ_Ｔｒ１＝Ｐ_Ｔｒ５＞Ｐ_Ｔｒ６≧Ｐ_Ｔｒ２となっている。
前記（１）の構成を備え、
一対のバスバー間の寸法を開口長Ｗと呼ぶと、前記圧電基板上におけるトラックＴｒ３とトラックＴｒ４との間の離間寸法Ｄ１は、
３≧Ｄ１÷Ｗ×１００
となっていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
前記（２）の構成を備え、
一対のバスバー間の寸法を開口長Ｗと呼ぶと、前記圧電基板上におけるトラックＴｒ５とトラックＴｒ６との間の離間寸法Ｄ２は、
３≧Ｄ２÷Ｗ×１００
となっていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極は、前記（１）の構成及び前記（２）の構成の少なくとも一方の構成を各々備えていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。