JPH0374921A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH0374921A JPH0374921A JP21200089A JP21200089A JPH0374921A JP H0374921 A JPH0374921 A JP H0374921A JP 21200089 A JP21200089 A JP 21200089A JP 21200089 A JP21200089 A JP 21200089A JP H0374921 A JPH0374921 A JP H0374921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- pitch
- saw
- wave device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 8
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 206010051602 Laziness Diseases 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、弾性表面波装置に係るもので、特にスペクト
ラム拡散通信方式に用いられる弾性表面波コンボルバの
改良に関するものである。
ラム拡散通信方式に用いられる弾性表面波コンボルバの
改良に関するものである。
［発明の概要］
本発明は、速度分散性をもつ圧電基板を用いたモノリシ
ック型弾性表面波コンボルバにおいて。
ック型弾性表面波コンボルバにおいて。
速度分散性を補償するための広帯域入力トランスデュー
サの設計を簡便化できるようにしたものである。
サの設計を簡便化できるようにしたものである。
［従来の技術］
弾性表面波（ＳＡＷ）素子については、現在、既に幅広
い応用と研究開発がなされており、特にＳ Ａ Ｗコン
ボルバは、例えば民生の次世代通信方式と期待されてい
るスペクトラム拡散（ＳＳ）通信方式の復調器における
主要デバイスとして注目を集めている。このＳＳ通信方
式では、搬送波が擬似雑音符号（ＰＮｃｏｄａ）によっ
て広い周波数帯域に拡散されるため、ＳＡＷコンボルバ
の周波数特性も広帯域であることが要求される。
い応用と研究開発がなされており、特にＳ Ａ Ｗコン
ボルバは、例えば民生の次世代通信方式と期待されてい
るスペクトラム拡散（ＳＳ）通信方式の復調器における
主要デバイスとして注目を集めている。このＳＳ通信方
式では、搬送波が擬似雑音符号（ＰＮｃｏｄａ）によっ
て広い周波数帯域に拡散されるため、ＳＡＷコンボルバ
の周波数特性も広帯域であることが要求される。
そこで、従来より、第５図に示すように、圧電基板１上
の（し型電極のピッチを連続的に変化させたチャープ型
電極を入力トランスデューサ２゜２′ヒして用いた構造
が提案さｈている。図面中、３は出力ゲート電極である
。
の（し型電極のピッチを連続的に変化させたチャープ型
電極を入力トランスデューサ２゜２′ヒして用いた構造
が提案さｈている。図面中、３は出力ゲート電極である
。
前記チャープ型電極の設計法として、例えば、Ｗ、Ｒ，
Ｓ＋ｍ１ｔｈ ｅｔ ａｌ、 ”Ａｎａｌｙｓｉｓ
ａｎｄ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆＤｉｓｐｅｒｓｉｖａ
Ｉｒ＋ｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ ５ｕｒｆａｃｅ−１ｉ
１ａｖＯＴｒａｎｓｄｕｅｅｒ、ｔ’ ＩＥＥＨＴｒａ
ｎｓ、 Ｍｉ、ｅｒｏｖａｖＯＴｈｅｏｒｙＴｅｅｈ、
、 Ｖｏｌ、 ＭＴＴ−２０，ｐｐ、４５８〜４７１．
、Ｊｕｌ、、１９７２゜に示される手法が用いられて
いる。
Ｓ＋ｍ１ｔｈ ｅｔ ａｌ、 ”Ａｎａｌｙｓｉｓ
ａｎｄ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆＤｉｓｐｅｒｓｉｖａ
Ｉｒ＋ｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ ５ｕｒｆａｃｅ−１ｉ
１ａｖＯＴｒａｎｓｄｕｅｅｒ、ｔ’ ＩＥＥＨＴｒａ
ｎｓ、 Ｍｉ、ｅｒｏｖａｖＯＴｈｅｏｒｙＴｅｅｈ、
、 Ｖｏｌ、 ＭＴＴ−２０，ｐｐ、４５８〜４７１．
、Ｊｕｌ、、１９７２゜に示される手法が用いられて
いる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、ＳＡＷの音速が分散を持たない基板に応
用する場合は上記設計は比較的容易であるが、現在、最
も高効率を実現している圧電膜／絶縁層／半導体基板の
積層構造を利用した第６図のモノリシック型ＳＡＷコン
ボルバのように、彦速が速度分散性を持つ基板を利用す
る場合、速度分散性の補償を考慮した設計は極めで複雑
になる欠点がある。なお５図面中、４は圧電膜、５１ｉ
絶縁膜、６は半導体、７は入力１−ランスデューサ、３
は出力ゲート電極である。
用する場合は上記設計は比較的容易であるが、現在、最
も高効率を実現している圧電膜／絶縁層／半導体基板の
積層構造を利用した第６図のモノリシック型ＳＡＷコン
ボルバのように、彦速が速度分散性を持つ基板を利用す
る場合、速度分散性の補償を考慮した設計は極めで複雑
になる欠点がある。なお５図面中、４は圧電膜、５１ｉ
絶縁膜、６は半導体、７は入力１−ランスデューサ、３
は出力ゲート電極である。
［発明の目的］
本発明の目的は、前述した従来方式における設計の複雑
さを解消し、簡便に設計できる広帯域トランスデユーサ
を用いたＳＡＷコンボルバを提供することにある。
さを解消し、簡便に設計できる広帯域トランスデユーサ
を用いたＳＡＷコンボルバを提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は、半堪体基板上に直接または間接的に圧電膜を
形成した積層構造基板の前記圧電膜に接して左右一対の
入力トランスデューサと、その間の出力ゲート電極を備
える弾性表面波コンボルバにおいて、前記入力トランス
デユーサは等ピッチ（し型電極であり１弾性表面波伝播
方向の直角方向で各村のピッチが互いに異なり、各組を
並列接続したフィルタバンク型であるとεもに、入力ト
ランスデューサ左右間の距離が各村で異なる構成により
、上述した問題点の解決を図ったものである。
形成した積層構造基板の前記圧電膜に接して左右一対の
入力トランスデューサと、その間の出力ゲート電極を備
える弾性表面波コンボルバにおいて、前記入力トランス
デユーサは等ピッチ（し型電極であり１弾性表面波伝播
方向の直角方向で各村のピッチが互いに異なり、各組を
並列接続したフィルタバンク型であるとεもに、入力ト
ランスデューサ左右間の距離が各村で異なる構成により
、上述した問題点の解決を図ったものである。
〔作用］
」二記構成の弾性表面波装置においては、入力］−ラン
スデューサは圧電基板の速度分散性を補償するとともに
、それを構成している各くし型電極は等ピッチの極めて
単純な構造とされているので、設計は容易である。
スデューサは圧電基板の速度分散性を補償するとともに
、それを構成している各くし型電極は等ピッチの極めて
単純な構造とされているので、設計は容易である。
［実施例］
以下、本発明を各種の実施例を示す図面に基づいて具体
的に説明する。
的に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すＳＡＷコンボルバの平
面図であって、８は圧電基板、９．９′は入力トランス
デューサ、３は出力ゲート電極であり、ここで入力トラ
ンスデューサ９，９′は、広帯域の周波数成分を含んだ
入力信号によって励振されるＳＡＷの伝播路をその周波
数によってＳＡＷの伝播方向Ｊ：、直交する方向に分離
するため、それぞれの電極指のピッチが異なる複数の等
ピッチくし型電極を並列に接続した、いわゆるフィルタ
バンク型の構造ヒし、かつ２つの入力トランスデューサ
９，９′の同一ピッチを有する電極同士の間隔ｎ、、ｎ
、、Ｑ□怠。・・・・・・Ｑｎは、そのピッチに対応す
るＳＡＷの角周波数をＷｎとしたとき。
面図であって、８は圧電基板、９．９′は入力トランス
デューサ、３は出力ゲート電極であり、ここで入力トラ
ンスデューサ９，９′は、広帯域の周波数成分を含んだ
入力信号によって励振されるＳＡＷの伝播路をその周波
数によってＳＡＷの伝播方向Ｊ：、直交する方向に分離
するため、それぞれの電極指のピッチが異なる複数の等
ピッチくし型電極を並列に接続した、いわゆるフィルタ
バンク型の構造ヒし、かつ２つの入力トランスデューサ
９，９′の同一ピッチを有する電極同士の間隔ｎ、、ｎ
、、Ｑ□怠。・・・・・・Ｑｎは、そのピッチに対応す
るＳＡＷの角周波数をＷｎとしたとき。
βｎ／ｖ（ｗｎ）が、分割されたいずれのチャネルでも
ほぼ一定値となるように設計されている。
ほぼ一定値となるように設計されている。
例えば、ＳＡＷ素子の中心角周波数ｗｏに対する希望の
遅延時間をτとした場合、各チャネルの伝播距離Ｑｎは
、Ｍｎ＝τ・ｖ （Ｗｎ）で与えられる。
遅延時間をτとした場合、各チャネルの伝播距離Ｑｎは
、Ｍｎ＝τ・ｖ （Ｗｎ）で与えられる。
前記入力トランスデューサを構成する等ピッチくし型電
極個々のΦ６角周波数ｗｎは、第２図に示すように、Ｓ
ＡＷ素子の動作周波数帯域（Ｂ）をＮ分割した各分割帯
域Δｗｎにおける中心角周波数となるように、そのピッ
チを決定する。
極個々のΦ６角周波数ｗｎは、第２図に示すように、Ｓ
ＡＷ素子の動作周波数帯域（Ｂ）をＮ分割した各分割帯
域Δｗｎにおける中心角周波数となるように、そのピッ
チを決定する。
第３図に示したものは、本発明の他の実施例であって、
分割したチャネル相互のクロストークを抑圧するため、
出力ゲート電極１０をＳＡＷ伝播方向にストリップ状に
分割し、導波効果を持たせたものである。
分割したチャネル相互のクロストークを抑圧するため、
出力ゲート電極１０をＳＡＷ伝播方向にストリップ状に
分割し、導波効果を持たせたものである。
また、第４＠は、クロストークの抑圧を、圧電膜４をＳ
ＡＷの伝播方向にライン状に部分的に除去した溝１２に
よって行うようにした実施例である。１１はストリップ
状出力ゲート電極である。
ＡＷの伝播方向にライン状に部分的に除去した溝１２に
よって行うようにした実施例である。１１はストリップ
状出力ゲート電極である。
［発明の効果］
本発明によれば、入力トランスデューサを構成する１つ
１つの等ピッチくし型電極は極めて単純な構造であり、
設計は容易である。また、それらを並列接続する場合の
位置関係は、ＳＡＷの音速の分散カーブ（ｖ（ｗｎ））
を用いて単純に計算可能であり、したがって簡便に広帯
域の入力トランスデューサを実現させることができる６
１つの等ピッチくし型電極は極めて単純な構造であり、
設計は容易である。また、それらを並列接続する場合の
位置関係は、ＳＡＷの音速の分散カーブ（ｖ（ｗｎ））
を用いて単純に計算可能であり、したがって簡便に広帯
域の入力トランスデューサを実現させることができる６
第１図は本発明の一実施例を示すＳＡＷコンボルバの平
面図、第２図はくし型電極ピッチを規定するための説明
図、第３図は他の実施例を示すＳＡＷコンボルバの平面
図、第４図は他の実施例を示すＳＡＷコンボルバの斜視
図、第５図は従来の弾性表面波コンボルバの平面図、第
６図はモノリシック型弾性表面波コンボルバの斜視図で
ある。 １・・・・・・・・・圧電基板、２．２’・・・・・・
・・・入力トランスデューサ（チャー型電極）、３・旧
・・・・・出力ゲート電極、４・・・・・・・・・圧電
膜、５・・・・・・・・・絶縁膜、６・・・・・・・・
・半導体、７・・・・・・・・・入力トランスデューサ
、８・・・・・・・・・圧電基板、９．９’・・・・・
・・・・入力トランスデューサ（フィルタバンク型入力
電極）、１０゜１１・・・・・・・・・出力ゲート電極
（ストリップ状ゲート電極）、１２・・・・・・・・・
溝。
面図、第２図はくし型電極ピッチを規定するための説明
図、第３図は他の実施例を示すＳＡＷコンボルバの平面
図、第４図は他の実施例を示すＳＡＷコンボルバの斜視
図、第５図は従来の弾性表面波コンボルバの平面図、第
６図はモノリシック型弾性表面波コンボルバの斜視図で
ある。 １・・・・・・・・・圧電基板、２．２’・・・・・・
・・・入力トランスデューサ（チャー型電極）、３・旧
・・・・・出力ゲート電極、４・・・・・・・・・圧電
膜、５・・・・・・・・・絶縁膜、６・・・・・・・・
・半導体、７・・・・・・・・・入力トランスデューサ
、８・・・・・・・・・圧電基板、９．９’・・・・・
・・・・入力トランスデューサ（フィルタバンク型入力
電極）、１０゜１１・・・・・・・・・出力ゲート電極
（ストリップ状ゲート電極）、１２・・・・・・・・・
溝。
Claims (3)
- （１）半導体基板上に直接または間接的に圧電膜を形成
した積層構造基板の前記圧電膜に接して、左右一対の入
力トランスデューサと、その間の出力ゲートを備える弾
性表面波コンボルバにおいて、前記入力トランスデュー
サは等ピッチくし型電極であり、弾性表面波伝播方向の
直角方向で各対のピッチが互いに異なり、各組を並列接
続したフィルタバンク型であるとともに、入力トランス
デユーサ左右間の距離が各対で異なるように構成されて
いることを特徴とする弾性表面波装置。 - （２）前記入力トランスデューサを構成している各対の
くし型電極での弾性表面波伝播路に対応して、前記出力
ゲート電極が分割されている第１請求項記載の弾性表面
波装置。 - （３）出力ゲート電極の分割部分間の下側に溝を備えて
いる第２請求項記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21200089A JPH0374921A (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 | 弾性表面波装置 |
| GB9017436A GB2236637B (en) | 1989-08-16 | 1990-08-09 | Surface acoustic wave device |
| DE19904026000 DE4026000A1 (de) | 1989-08-16 | 1990-08-16 | Oberflaechenwellenbauelement |
| US07/764,053 US5189330A (en) | 1989-08-16 | 1991-09-23 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21200089A JPH0374921A (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0374921A true JPH0374921A (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=16615235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21200089A Pending JPH0374921A (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0374921A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07212184A (ja) * | 1991-05-16 | 1995-08-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222993A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222992A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JP2005217709A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Samsung Yokohama Research Institute Co Ltd | Ｓａｗマッチドフィルタ、及びこれを用いた送信機と受信機 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62120115A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-01 | スペリ−・コ−ポレ−シヨン | テ−パ変換器を有する分散形表面音響波フイルタ |
| JPH01130613A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
-
1989
- 1989-08-16 JP JP21200089A patent/JPH0374921A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62120115A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-01 | スペリ−・コ−ポレ−シヨン | テ−パ変換器を有する分散形表面音響波フイルタ |
| JPH01130613A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07212184A (ja) * | 1991-05-16 | 1995-08-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222993A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222992A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JP2005217709A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Samsung Yokohama Research Institute Co Ltd | Ｓａｗマッチドフィルタ、及びこれを用いた送信機と受信機 |
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