FR2606311A2 - Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide - Google Patents

Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide Download PDF

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Abstract

L'OBJET DE L'INVENTION SE RATTACHE AU SECTEUR TECHNIQUE DE LA MICRO-ELECTRONIQUE. SELON L'ADDITION, L'ORGANE DE COMMANDE 3 EST CONVENABLEMENT PROFILE POUR COOPERER AVEC DES FORMES D'APPUI ET DE CENTRAGE COMPLEMENTAIRES D'UN ORGANE SUPPORT 8 EN VUE DE PROVOQUER UNE ACTION DE BASCULEMENT AUTOMATIQUE DUDIT ORGANE DE COMMANDE 3 CORRESPONDANT A LA POSITION DE FERMETURE.

Description

-1-
L'addition, conformément au brevet principal, concer-
ne une pipette à vide, notamment pour le transfert de plaquet-
tes de silicium.
L'objet de l'invention se rattache au secteur techni-
que de la micro-électronique. Dans le brevet principal, il a été défini une pipette équipée notamment d'un organe de commande sous forme d'un bouton-poussoir qui agit sur un piston asservi à un organe élastique pour interrompre ou non l'action du vide en fonction de l'appui digital exercé ou non sur le poussoir. Pour arrêter totalement l'action du vide en cas d'inutilisation, le bouton
poussoir étant relâché, il était nécessaire d'agir transversa-
lement sur l'axe d'articulation du poussoir.
Selon l'addition, on a voulu améliorer les caracté-
ristiques définies dans le brevet de base en proposant une solution qui permette de couper automatiquement le vide lorsque
la pipette est posée sur son support.
Dans ce but, pour atteindre ce résultat, le bouton-
poussoir est convenablement profilé pour coopérer avec des formes d'appui complémentaires de l'organe support en vue de
provoquer le basculement automatique dudit poussoir correspon-
dant à la position de fermeture.
Les ailes du bouton-poussoir sont prolongés par deux
branches angulaires profilées qui coopèrent avec des échan-
crures formées sur les côtés parallèles d'une tête d'appui
inclinée que présente le support.
L'invention est exposée ci-après plus en détail à
l'aide des dessins qui représentent seulement un mode d'exécu-
tion:
- la figure 1 est une vue en perspective de la pipet-
te selon l'addition; - la figure 2 est une vue en perspective du support -2- de pipette; - la figure 3 montre la pipette positionnée-dans son support; - la figure 4 est une vue partielle en coupe montrant l'appui digital exercé sur l'organe poussoir pour interrompre l'action du vide; la figure 5 est une vue correspondant à la figure
4, aucune action n'étant exercée sur le poussoir ce qui corres-
pond à l'utilisation de la pipette; - la figure 6 est une vue en coupe partielle montrant
la pipette positionnée sur son support en position de ferme-
ture; - la figure 7 est, à une échelle plus importante, une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 7.7 de la
figure 4.
Afin de rendre plus concret l'objet de l'invention, on le décrit maintenant d'une manière non limitative en se
référant aux exemples de réalisation des figures des dessins.
On rappelle, pour une meilleure compréhension de la
suite de la description, que le corps (1) de la pipette com-
prend un organe-poussoir (3) qui agit sur un piston (5) asservi à un organe élastique (6) pour obturer ou non l'orifice (lcl) de communication entre les deux chambres (la) et (lb). L'appui digital sur le poussoir (3) enfonce le piston (5) pour obturer l'orifice (lcl) coupant ainsi l'action du vide eu égard à
l'embout (2).
Inversement, lorsqu'aucun appui digital n'est exercé sur le poussoir (3), le piston (5) soumis à l'action du ressort (6), n'obture pas l'orifice (lcl) de sorte que la chambre (lb) recevant l'embout (2), est soumise à l'action du vide. On rappelle que l'axe (4) d'articulation du poussoir (3) présente une gorge centrale (4a) positionnée en regard de l'orifice
(lcl). Cet axe (4), compte-tenu des caractéristiques spécifi-
-3-
ques de la présente addition, n'est plus mobile latéralement.
Les ailes (3b) du poussoir (3) qui enserrent la
section du corps (1) de la pipette, sont prolongées en direc-
tion du bas par des branches angulaires profilées (3c) suscep-
-tibles de coopérer avec des formes d'appui et de centrage complémentaires d'un organe support (8) destiné à recevoir la pipette. Dans ce but, l'organe support (8) présente une tête d'appui inclinée (8a) formant deux ailes verticales parallèles
(8al) entre lesquelles est engagé le corps (1) de la pipette.
Chacune des ailes (8al) forment à partir d'une de ses
extrémités, une échancrure (8a2) entre lesquelles sont sucepti-
bles d'être engagées les branches angulaires profilées (3c) de l'organe poussoir. Au fur et à mesure de l'engagement des branches (3c) dans les échancrures, compte-tenu de leur profil, ces dernières entraînent le basculement angulaire du poussoir (3) autour de son axe (4) ce qui a pour effet de déplacer le
piston (5) en position d'obturation (figure 6).
A noter que la tête d'appui (8a) est convenablement
inclinée et les échancrures convenablement déterminées en com-
binaison avec les profils des branches angulaires (3c) et le tarage du ressort (6), pour que, aussitôt l'engagement desdites branches, la pipette se positionne automatiquement par gravité (figure 3). Les échancures (8a2) s'étendent parallèlement à la
surface d'appui inclinée (8c) de la tête (8a).
La tête inclinée d'appui (8a) du support est formée en bout d'un piètement vertical (8b) agencé pour être posé sur son plan de travail en y étant éventuellemenc fixé par vis par
exemple.
La mise en action et l'interruption du vide s'effec-
tue donc automatiquement, en combinaison avec le support (8).
-4-.

Claims (5)

    REVENDICATIONS
  1. - 1 - Pipette à vide, notamment pour le transfert de plaquet-
    tes de silicium, ladite pipette comprenant un corps creux agencé à l'une de ses extrémités pour être relié à une pompe et à son autre extrémité à un embout de préhension, ledit corps étant en outre équipé d'un organe de commande (3) pour assurer
    à volonté la mise en action du vide, selon les revendications 1
    et 2 du brevet principal, caractérisée en ce que l'organe de commande (3) est convenablement profilé pour coopérer avec des
    formes d'appui et-de centrage complémentaires d'un organe sup-
    port (8) en vue de provoquer une action de basculement automa-
    tique dudit organe de commande (3) correspondant à la position
    de fermeture.
  2. - 2 - Pipette selon la revendication 1, caractérisée en ce que
    l'organe de commande (3) sous forme d'un bouton-poussoir, pré-
    sente deux ailes (3b) enserrant la section du corps il) de pipette et qui sont prolongées en direction du bas par des branches angulaires profilées (3c) susceptibles de coopérer avec les formes d'appui et de centrage complémentaires du
    support (8).
  3. - 3 - Pipette selon la revendication 2, caractérisée en ce que les formes d'appui et de centrage complémentaires du support (8) sont des échancrures (8a2) formées à partir d'une des
    extrémités de deux ailes verticales parallèles (8al) que pré-
    sente une tête d'appui inclinée (8a) recevant le corps de
    pipette.
  4. - 4 - Pipette selon la revendication 3, caractérisée en ce que les échancrures (8a2) s'étendent parallèlement à la surface
    d'appui inclinée de la tête.
  5. -5- - 5 - Pipette selon la revendication 3, caractérisée en ce que
    la tête inclinée d'appui (8al) est formée en bout d'un piète-
    ment vertical (8b) agencé pour être posé et/ou fixé sur un plan
    de travail.
FR868616186A 1985-12-10 1986-11-12 Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide Expired FR2606311B2 (fr)

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DE3641727A DE3641727C2 (de) 1985-12-10 1986-12-06 Vakuumvorrichtung, insbesondere für die Handhabung von Siliziumplättchen
JP61294607A JP2551418B2 (ja) 1985-12-10 1986-12-10 真空ハンドリング装置
US06/940,535 US4744594A (en) 1985-12-10 1986-12-10 Vacuum handling especially for the use in handling silicon wafers

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2606311B2 (fr) * 1985-12-10 1989-11-17 Recif Sa Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide
WO1990012675A1 (fr) * 1989-04-27 1990-11-01 Harold Dwaine Palmer Dispositif de ramassage portatif
US5106139A (en) * 1989-04-27 1992-04-21 Palmer Harold D Hand-held pick-up device
FR2652334B1 (fr) * 1989-09-22 1992-01-10 Recif Sa Embout pour corps de pipette a vide notamment.
US5280979A (en) * 1991-06-20 1994-01-25 Recif, S.A. Tip for a vacuum pipette with improved electrostatic discharge properties
US5169192A (en) * 1991-06-28 1992-12-08 H-Square Corporation Electronic article pickup tool
US5217273A (en) * 1992-05-14 1993-06-08 H-Square Corporation Serial pumping for portable handling tool of electronic workpieces
DE4235902A1 (de) * 1992-10-23 1994-04-28 Ant Nachrichtentech Tragbare Vorrichtung zum Ansaugen von Gegenständen
US5511840A (en) * 1994-02-16 1996-04-30 H-Square Corporation Static dissipative coupling of an article-pickup tip to a wand
US5467525A (en) * 1994-03-14 1995-11-21 Motorola, Inc. Apparatus for picking and placing components using a morphing vacuum tip
FR2721496B1 (fr) * 1994-06-28 1996-09-13 Lionel Julien Preneur-transporteur de choses plus petites qu'une graine de haricot par principe de dépression.
US5783754A (en) * 1996-02-28 1998-07-21 Integrated Device Technology, Inc. Apparatus and method for measuring the gripping strength of a vacuum wand
US5803979A (en) * 1996-07-15 1998-09-08 Hine Design Inc. Transport apparatus for semiconductor wafers
US6072157A (en) * 1998-12-11 2000-06-06 Euv Llc Thermophoretic vacuum wand
US6343823B1 (en) * 2000-10-23 2002-02-05 William G. Busby Vacuum pickup tool
US7162881B2 (en) * 2004-04-07 2007-01-16 Nikon Corporation Thermophoretic wand to protect front and back surfaces of an object
US20070297885A1 (en) * 2006-06-27 2007-12-27 Jean Michel Processe Product designed to be used with handling system
CN105304544B (zh) * 2015-11-18 2018-01-23 颀中科技（苏州）有限公司 真空吸笔
CN107458684B (zh) * 2017-08-22 2020-04-10 歌尔股份有限公司 真空贴附设备
CN113955499B (zh) * 2021-11-05 2023-02-03 内蒙古赛宝伦科技有限公司 一种设有保护机构的单晶硅生产用转运装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2966371A (en) * 1957-08-30 1960-12-27 Earl F Bruning Longitudinally yieldable coupling
US3071402A (en) * 1959-09-28 1963-01-01 Air Vac Engineering Company In Vacuum-operated probe tools
DE2038975A1 (de) * 1970-08-05 1972-02-10 Kaltenbach & Voigt Zahnaerztliche Absaugvertichtung
US3843183A (en) * 1972-08-16 1974-10-22 C Hutson Vacuum pick-up instrument
JPS5258589A (en) * 1975-11-10 1977-05-14 Hitachi Ltd Vacuum pincette
DE2628488A1 (de) * 1976-06-25 1978-01-05 Siemens Ag Werkzeug-sortiment fuer eine vakuumgreifpinzette
WO1981001666A1 (fr) * 1979-12-10 1981-06-25 Indicon Inc Embout remplacable pour pipette

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US954927A (en) * 1909-03-10 1910-04-12 Charles L Burdick Sheet or card lifter.
GB190906385A (en) * 1909-03-17 1909-09-16 Charles Laurence Burdick Device for Handling Sheets and Cards.
US1302028A (en) * 1914-07-13 1919-04-29 Westinghouse Electric & Mfg Co Sheet-handling implement.
US1542015A (en) * 1924-07-12 1925-06-16 Clarence E Strickland Valve
US3335727A (en) * 1965-03-02 1967-08-15 Victor T Spoto Valve controlled coronary profusion suction tube
DE2416105B2 (de) * 1974-04-03 1980-10-30 Kaltenbach & Voigt Gmbh & Co, 7950 Biberach Labortisch für die Bearbeitung von Zahnersatz oder Gebißmodellen
JPS5339874A (en) * 1976-09-24 1978-04-12 Hitachi Ltd Vacuum pincette
JPS5416494U (fr) * 1977-07-06 1979-02-02
JPS5433678A (en) * 1977-08-22 1979-03-12 Hitachi Ltd Vacuum pincette
US4212300A (en) * 1978-02-06 1980-07-15 Meals Roy A Rubber band powered piston valve aspirator
US4434858A (en) * 1982-01-18 1984-03-06 The Stanley Works Air tool with stall torque regulator and air biasing mechanism
GB2149465B (en) * 1983-11-15 1987-09-09 Desoutter Ltd A pneumatically operated power tool
FR2606311B2 (fr) * 1985-12-10 1989-11-17 Recif Sa Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2966371A (en) * 1957-08-30 1960-12-27 Earl F Bruning Longitudinally yieldable coupling
US3071402A (en) * 1959-09-28 1963-01-01 Air Vac Engineering Company In Vacuum-operated probe tools
DE2038975A1 (de) * 1970-08-05 1972-02-10 Kaltenbach & Voigt Zahnaerztliche Absaugvertichtung
US3843183A (en) * 1972-08-16 1974-10-22 C Hutson Vacuum pick-up instrument
JPS5258589A (en) * 1975-11-10 1977-05-14 Hitachi Ltd Vacuum pincette
DE2628488A1 (de) * 1976-06-25 1978-01-05 Siemens Ag Werkzeug-sortiment fuer eine vakuumgreifpinzette
WO1981001666A1 (fr) * 1979-12-10 1981-06-25 Indicon Inc Embout remplacable pour pipette

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, vol. 16, no. 11, avril 1974, pages 3651-3652, New York, US; W.G. TOMSON: "Weightless probe for chip picking" *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, page 5413 E 77, & JP-A-52 58 589 (HITACHI SEISAKUSHO K.K.) 14-05-1977 *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2606311B2 (fr) 1989-11-17
DE3641727C2 (de) 1998-07-30
DE3641727A1 (de) 1987-06-11
JP2551418B2 (ja) 1996-11-06
JPS62155533A (ja) 1987-07-10
US4744594A (en) 1988-05-17

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