FR2534980A1 - Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations - Google Patents

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Abstract

TURBOPOMPE MOLECULAIRE DONT LE ROTOR 1 EST MONTE DANS DES PALIERS MAGNETIQUES RADIAUX PASSIFS 4, 5; 4, 5 ET DANS DES PALIERS AXIAUX ELECTROMAGNETIQUES OU MECANIQUES 7; 7; POUR AMORTIR LES VIBRATIONS DU ROTOR IL EST PREVU UNE COMBINAISON DE DISPOSITIFS D'AMORTISSEMENT DIRECT 6; 6 ET INDIRECT 9, CE QUI PERMET D'OBTENIR UN AMORTISSEMENT EFFICACE POUR TOUTES LES FREQUENCES DE VIBRATION QUI APPARAISSENT.

Description

B 7031 -1 2534980
EC/f f Turbopompe moléculaire montée magnétiquement avec amortissement des vibrations
L'invention concerne une turbopompe moléculaire compor-
tant des paliers magnétiques radiaux passifs, ainsi que
des paliers axiaux mécaniques ou électromagnétiques.
Pour le montage sans lubrifiant des rotors de turbopompes moléculaires on utilise différentes -versions de paliers magnétiques La demande de brevet DE publiée sous le No 23 49 033 et le brevet FR N O 1 475 765 décrivent des
turbopompes moléculaires comportant des paliers magné-
tiques actifs régulés électroniquement La demande de
brevet DE publiée sous le N O 28 25 551 décrit une turbo-
pompe moléculaire avec un support hybride Dans ce cadre, le rotor est maintenu radialement au moyen de paliers magnétiques passifs, tandis que suivant la direction
axiale on utilise des paliers mécaniques.
Dans les deux types de montage les rotors se comportent comme des gyrostats retenus élastiquement Par conséquent,, il apparaît différentes possibilités de vibrations Les vibrations peuvent être provoquées de l'extérieur par des secousses ou provenir comme par exemple dans le cas de l'agencement de la demande de brevet DE publiée sous le N' 28 25 551, de forces de frottement dans le palier
axial mécanique.
Les types suivants de vibrations du rotor sont possibles dans différentes gammes de fréquences
l 1 Vibrations de précession avec une fréquence d'envi-
ron 0,1 à 10 Hz La fréquence dépend de la vitesse de rotation, des moments d 'inertie et des constantes de
rappel des paliers du rotor.
2534980.
2 Vibrations parallèles du rotor perpendiculairement à l'axe de rotation Les fréquences de ces vibrations sont
déterminées par les constantes de rappel des paliers ma-
gnétiques et par la masse du rotor et sont comprises en-
tre 30 et 100 Hz. 3 Vibrations de nutation qui dépendent de la vitesse
de rotation et du rapport des moments d'inertie longitu-
dinalement et transversalement par rapport à l'axe de rotation Elles apparaissent dans les gammes allant de
300 à 1500 Hz.
Pour éviter les vibrations possibles, des paliers magné-
tiques régulés de façon active peuvent être amortis élec-
troniquement Des montages magnétiques passifs, par exem-
ple suivant le préambule de la première revendication et dans la demande de brevet DE publiée sous le numéro 28 25 551 ont tendance, dans le cas de fortes secousses, à vibrer suivant un ou plusieurs des types mentionnés ci-dessus Des forces de frottement peuvent notamment
provoquer des vibrations de nutation en présence de pa-
liers mécaniques Si les amplitudes des vibrations ou oscil-
lations dans les paliers magnétiques dépassent le jeu
existant, le rotor doit être ramené dans sa position ini-
tiale par les paliers de réception existants, ce qui se traduit par un fort freinage et une usure des paliers de
réception Ceci est valable pour tous les rotors compor-
tant des paliers magnétiques radiaux passifs en dépit du
type du montage axial.
Le problème à la base de l'invention est d'assurer, sur
des turbopompes moléculaires comportant des paliers ma-
gnétiques radiaux passifs, un amortissement des vibra-
tions grâce auquel les vibrations ou oscillations provo-
quées de l'extérieur et par la pompe elle-même sont
amorties de façon efficace, et de garantir un fontionne-
ment sans vibrations ou oscillations, sûr et stable de la pompe pour toutes les fréquences jusqu'à la vitesse 3 253498 e
de rotation nominale.
Ce problème est résolu suivant l'invention grâce à une
combinaison de deux dispositifs d'amortissement diffé-
rents, c'est-à-dire-grâce au fait que pour l'amortisse-
-ment des vibrations suivant la direction des plans des
paliers magnétiques il est prévu un dispositif d'amortis-
sement direct et indirect Le dispositif d'amortissement direct est un dispositif d'amortissement à courant de Foucault, constitué par des bagues en cuivre ou en un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique qui sont enfilées sur les stators des paliers magnétiques
et le dispositif d'amortissement indirect étant consti-
tué par une plate-forme qui porte les stators des paliers
magnétiques et qui est accrochée à des ressorts qui n'au-
torisent que des mouvements perpendiculaires par rapport à la direction axiale de la pompe, la plate-forme étant
couplée au carter fixe par l'intermédiaire d'un amortis-.
seur de vibrations connu en soi, et par conséquent amor-
tie. Un dispositif d'amortissement direct pour les fréquences plus élevées agit comme un amortissement à courant de Foucault Il est constitué par des bagues, en cuivre ou
un autre matériau bon conducteur du point de vue élec-
trique, qui sont enfilées sur les stators des paliers
magnétiques radiaux Dans le cas d'oscillations ou vi-
brations, il apparaît dans cès bagues des variations de champs magnétique qui produisent des courants de Foucault
avec des forces d'amortissement.
Ces forces d'amortissement sont proportionnelles à la
fréquence des vibrations ou oscillations qui apparais-
sent et par conséquent conviennent notamment à l'amortis-
semant des vibrations présentant des fréquences plus
élavées.
Pour des vibrations présentant des fréquences plus fai-
bles, il est prévu un dispositif d'amortissement qui
4 2534980
est constitué par une plate-forme qui porte un stator de paliers magnétiques et qui est accrochée à des ressorts qui n'autorisent que des mouvements perpendiculaires à
la direction axiale de la pompe La plate-forme est cou-
plée au carter fixe par l'intermédiaire d'amortisseurs
de vibrations Ce faisant, le rotor est couplé à la plate-
forme par l'intermédiaire du palier magnétique radial -Ce
palier magnétique transmet également les forces d'amortis-
sement au rotor L'agencement est conçu de manière à obte-
riir un amortissement suffisant pour des fréquences faibles.
Dans la gamme de la fréquence propre de la plate-forme, qui est donnée par la masse de la plate-forme y compris
le stator du palier magnétique et les constantes de rap-
pel des ressorts, l'amortissement est maximum Pour des
fréquences plus élevées, il diminẻ.
Les forces d'amortissement sont représentées en fonction
des fréquences d'oscillation sur le diagramme (fig 2).
La courbe A représente l'allure des forces d'amortisse-
ment de l'amortissement direct-, et la coube B l'allure
des forces d'amortissement de l'amortissement indirect.
La courbe C représente les forces d'amortissement du dis-
positif d'amortissement combiné, constitué par l'amortis-
sement direct et l'amortissement indirect, en fonction de la fréquence d'oscillation Grâce à cette combinaison, on obtient un amortissement efficace sur toute la gamme des oscillations qui apparaissent On ne peut obtenir un amortissement direct efficace que pour des fréquences élevées, en raison de l'espace limité dans l'entrefer à
air des paliers magnétiques.
L'amortissement indirect est supérieur de quelques puis-
sances de dix à l'amortissement direct dans le cas de
faibles fréquences.
- Pour obtenir des conditions optimales, la constante de
rappel des ressorts, auxquels est accrochée la plate-
forme, est adaptée à la constante de rappel du palier
2534980
magnétique associé Il est également possible de ne pré-
voir l'amortissement indirect que sur un des deux paliers magnétiques, de préférence du côté du vide préliminaire
de la pompe.
L'invention sera maintenant illustrée à l'aide de la
description suivante d'un exemple de réalisation préfé-
ré mais non limitatif représenté aux dessins annexés sur lesquels:
la figure 1 représente un exemple de réalisation du dispo-
sitif suivant l'invention; et la figure 2 représente les
forces d'amortissement en fonction de la fréquence de vi-
bration ou d'oscillation.
Le dispositif suivant l'invention est illustré par l'exem-
ple de réalisation de la figure 1 La référence 1 désigne le rotor et la référence 2 désigne les disques rotoriques d'une turbopompe moléculaire Les disques statoriques 3 sont placés alternativement entre les disques rotoriques 2 Les paliers magnétiques radiaux sont constitués par les rotors 4 et 4 ' de paliers magnétiques et les stators et 5 ' de paliers magnétiques Dans le présent exemple de réalisation, le support axial est représenté par des paliers axiaux mécaniques 7 et 7 ' Comme support axial
on peut également utiliser un dispositif électromagnéti-
que Des bagues 6 et 6 ' en cuivre ou en un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique sont enfilées sur les stators 5 et 5 ' des paliers magnétiques Lors de l'apparition de perturbations, des variations du champ magnétique produisent dans ces bagues des courants de Foucault qui produisent des forces d'amortissement pro-a
portionnelles à la fréquence.
Dans le cas de l'amortissement indirect pour des basses fréquences, des mouvements de la plate-forme 8 disposée
sur des ressorts 9 placés verticalement, qui sont provo-
qués par des vibrations ou oscillations du rotor, sont empêchés efficacement par les amortisseurs hydrauliques 10
6 2534980
connus en soi qui y sont couplés Les ressorts 9 guident
la plate-forme suivant la direction axiale, mais permet-
tant des mouvements perpendiculaires.
La figura 2 représente l'allure des forces d'amortissement, sous forme logarithmique, en fontion de la fréquence de
vibration ou d'oscillation La courbe A représente l'al-
lure des forces d'amortissement directes qui sont prrpor-
tionnelles à la fréquence et par conséquent ne devien-
nent efficaces que pour des fréquences plus élevées La courbé B représente les forces d'amortissement indirectes
dont l'effet le plus important apparaît pour des fréquen-
ces faibles dans la gamme de la fréquence propre de la plate-forme La courbe C représente l'effet résultant des
deux courbes A et B On obtient de ce fait un amortisse-
ment efficace pour toutes les fréquences de vibration ou
d'oscillation qui apparaissent.
7 253498 @

Claims (3)

Revendications
1 Turbopompe moléculaire comportant des paliers magnéti-
ques radiaux passifs, ( 4,5 et 4 ', 5 '), ainsi que des pa-
liers axiaux mécaniques ou électromagnétiques, caractéri- séeèn ce que pour l'amortissement des'vibrations suivant la direction des plans des paliers magnétiques il est prévu un dispositif d'amortissement direct et indirect; le dispositif d'amortissement direct est un dispositif d'amortissement à courant de Foucault, constitué par des
bagues ( 6,6 ') an cuivre ou en un autre matériau bon conduc-
teur du point de vue électrique qui sont enfilées sur les stators ( 5,5 ') des paliers magnétiques, et le dispositif
d'amortissement indirect étant constitué par une plate-
forma ( 8) qui porte les stators des paliers magnétiques et qui est accrochée à des ressorts ( 9), qui n'autorisent
que des mouvements perpendiculaires par rapport à la di-
rection axiale de la pompe, la plate-forme ( 8) étant cou-
plée au carter fixe ( 11) par l'intermédiaire d'un amortis-
saur de vibrations ( 10), connu an soi, et par conséquent amortie.
2 Turbopompe moléculaire suivant la revendication 1,
caractérisée en ce que le dispositif d'amortissement in-
direct se trouve sur les deux stators ( 5,5 ') des paliers magnétiques et que la constante de rappel des ressorts ( 9)
auxquels est suspendue la plate-forme ( 8) est respective-
ment adaptéeà la constante de rappel radiale du palier ma-
gnétique associé.
3 Turbopompe moléculaire suivant la revendication 1, caractérisée en ca qu'un seul dispositif d'amortissement direct se trouve sur un palier, et que, sur l'autre palier est prévu aussi bien un dispositif d'amortissement direct qu'un dispositif d'amortissement indirect, la constante de
rappel des ressorts ( 9) auxquels est suspendue la plate-
forme ( 8) étant adaptée à la constante de rappel radiale du
palier magnétique associé.
FR8315545A 1982-10-23 1983-09-29 Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations Expired FR2534980B1 (fr)

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IT (1) IT1167198B (fr)
NL (1) NL8303081A (fr)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0333200A1 (fr) * 1988-03-18 1989-09-20 Ebara Research Co., Ltd. Pompe turbomoléculaire
EP0470637A1 (fr) * 1990-08-10 1992-02-12 Ebara Corporation Pompe turbomoléculaire
EP0597365A1 (fr) * 1992-11-11 1994-05-18 Leybold Aktiengesellschaft Pompe à vide avec convertisseur
WO1994025760A1 (fr) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Aktiengesellschaft Pompe a vide rotative a friction comportant des sections de conception differente
WO1994025759A1 (fr) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Aktiengesellschaft Pompe a vide a friction munie d'un support de palier

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168295A (ja) * 1983-03-16 1984-09-21 Hitachi Ltd タ−ボ分子ポンプ
JPS62177314A (ja) * 1986-01-30 1987-08-04 Shimadzu Corp 磁気浮上形回転機械
JP2651569B2 (ja) * 1986-11-04 1997-09-10 セイコー精機 株式会社 ターボ分子ポンプ
DE3721680C2 (de) * 1987-07-01 1996-12-12 Vdo Schindling Lüfter
JP2527245Y2 (ja) * 1988-03-08 1997-02-26 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
JPH01166292U (fr) * 1988-05-11 1989-11-21
DE3818556A1 (de) * 1988-06-01 1989-12-07 Pfeiffer Vakuumtechnik Magnetlager fuer eine schnell rotierende vakuumpumpe
US4988906A (en) * 1988-09-08 1991-01-29 The Dow Chemical Company Magnetic bearing assembly
JPH02105597U (fr) * 1989-02-08 1990-08-22
JPH0645698Y2 (ja) * 1989-04-20 1994-11-24 エヌティエヌ株式会社 １軸制御型磁気軸受装置
JP2515923Y2 (ja) * 1989-06-01 1996-11-06 日本フェローフルイディクス株式会社 磁気軸受装置
US4963804A (en) * 1989-07-10 1990-10-16 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for reducing vibration of rotating machinery
DE3931661A1 (de) * 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
US5302874A (en) * 1992-09-25 1994-04-12 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetic bearing and method utilizing movable closed conductive loops
US5396136A (en) * 1992-10-28 1995-03-07 Sri International Magnetic field levitation
DE4301076A1 (de) * 1993-01-16 1994-07-21 Forschungszentrum Juelich Gmbh Magnetlagerzelle mit Rotor und Stator
DE4342582A1 (de) * 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine
DE4410656A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-28 Balzers Pfeiffer Gmbh Reibungspumpe
US6019581A (en) * 1995-08-08 2000-02-01 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with cooling arrangement
US5736798A (en) * 1995-10-19 1998-04-07 Eastman Kodak Company Passive magnetic damper
DE19712711A1 (de) * 1997-03-26 1998-10-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Dämpfungssystem für magnetisch gelagerte Rotoren
US6262505B1 (en) * 1997-03-26 2001-07-17 Satcon Technology Corporation Flywheel power supply having axial magnetic bearing for frictionless rotation
US6213737B1 (en) * 1997-04-18 2001-04-10 Ebara Corporation Damper device and turbomolecular pump with damper device
DE19804768B4 (de) * 1998-02-06 2006-08-24 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe
US6078120A (en) * 1998-03-10 2000-06-20 Varian, Inc. Vacuum pump with magnetic bearing system, backup bearings and sensors
US6412173B1 (en) 1999-07-26 2002-07-02 Phoenix Analysis And Design Technologies, Inc. Miniature turbomolecular pump
JP2001241393A (ja) * 1999-12-21 2001-09-07 Seiko Seiki Co Ltd 真空ポンプ
DE10001509A1 (de) * 2000-01-15 2001-07-19 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schwingungsdämpfer
DE10022061A1 (de) 2000-05-06 2001-11-08 Leybold Vakuum Gmbh Magnetlagerung mit Dämpfung
JP4250353B2 (ja) * 2001-06-22 2009-04-08 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2003049772A (ja) * 2001-08-08 2003-02-21 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプの接続構造
FR2831621B1 (fr) * 2001-10-25 2004-02-13 Cit Alcatel Utilisation des billes en zircone pour les roulements d'atterrissage des pompes turbomoleculaires sur palier magnetique
SE0200014L (sv) * 2002-01-04 2003-07-05 Olov Hagstroem Magnetiskt radiallagrad rotoranordning
US6834841B2 (en) * 2002-07-03 2004-12-28 Honeywell International Inc. Method and system for decoupling structural modes to provide consistent control system performance
DE102004050743A1 (de) * 2004-10-19 2006-04-20 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vibrationsarme Vakuumpumpe
DE102007027711A1 (de) 2007-06-15 2008-12-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
DE102008032921A1 (de) 2008-07-12 2010-01-14 Schaeffler Kg Lagersystem
DE102008048210A1 (de) * 2008-09-20 2010-05-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Dämpfungsvorrichtung
DE102009035812A1 (de) * 2009-08-01 2011-02-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpenrotor
DE102009041530A1 (de) * 2009-09-15 2011-04-07 Weh, Herbert, Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Axialfeld-Ringgenerator mit Magnetfeld-Lagestabilisierung
US8717579B2 (en) * 2011-04-20 2014-05-06 Thomas E. Portegys Distance measuring device using a method of spanning separately targeted endpoints
JP6435338B2 (ja) 2013-10-16 2018-12-05 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 放射源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、センサシステム及びセンシング方法
DE102013113986A1 (de) * 2013-12-13 2015-06-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotierendes System
EP3051141B1 (fr) * 2015-01-30 2020-01-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Roulement de rotor
EP3154166B1 (fr) * 2015-10-08 2022-11-30 Skf Magnetic Mechatronics Machine rotative à paliers magnétiques et mécaniques
JP7371852B2 (ja) * 2019-07-17 2023-10-31 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
CN111677810B (zh) * 2020-05-27 2021-09-21 哈尔滨工业大学 光学有效载荷被动隔振系统
CN111735571B (zh) * 2020-07-20 2021-07-09 天津飞旋科技股份有限公司 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法
CN115247650B (zh) * 2022-07-28 2023-03-21 瑞希特(浙江)科技股份有限公司 一种全永磁悬浮轴承磁力泵
GB2621342A (en) * 2022-08-09 2024-02-14 Leybold Gmbh Eddy current damper and vacuum pump

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR877315A (fr) * 1940-11-29 1942-12-03 Lampes Sa Perfectionnements aux culots de lampes
FR1471843A (fr) * 1965-03-29 1967-03-03 Chemelex Procédé d'enduisage de compositions conductrices de l'électricité
FR1475765A (fr) * 1966-01-31 1967-04-07 Snecma Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse
FR2344744A1 (fr) * 1976-03-16 1977-10-14 Hochvakuum Dresden Veb Montage de support sur paliers pour une turbopompe moleculaire

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB877315A (en) * 1959-04-13 1961-09-13 Eaton Mfg Co Improvements in eddy current machines
US3399827A (en) * 1967-05-19 1968-09-03 Everett H. Schwartzman Vacuum pump system
DE2052120A1 (de) * 1970-10-23 1972-04-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen
US3929390A (en) * 1971-12-22 1975-12-30 Cambridge Thermionic Corp Damper system for suspension systems
FR2212889A5 (fr) * 1972-08-23 1974-07-26 Europ Propulsion
JPS5226578B2 (fr) * 1974-02-08 1977-07-14
CH583856A5 (fr) * 1974-09-27 1977-01-14 Balzers Patent Beteilig Ag
NL167102C (nl) * 1976-04-06 1982-04-16 Ultra Centrifuge Nederland Nv Dempinrichting voor een in een huis geplaatste draaibare rotor.
DE2658925C3 (de) * 1976-12-24 1980-05-08 Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8000 Muenchen Notlauflager für schnellaufende Drehkörper
DE2825551C3 (de) * 1978-06-10 1982-06-09 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetische Lagerung
JPS578396A (en) * 1980-06-18 1982-01-16 Hitachi Ltd Movable vane mixed flow pump

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR877315A (fr) * 1940-11-29 1942-12-03 Lampes Sa Perfectionnements aux culots de lampes
FR1471843A (fr) * 1965-03-29 1967-03-03 Chemelex Procédé d'enduisage de compositions conductrices de l'électricité
FR1475765A (fr) * 1966-01-31 1967-04-07 Snecma Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse
FR2344744A1 (fr) * 1976-03-16 1977-10-14 Hochvakuum Dresden Veb Montage de support sur paliers pour une turbopompe moleculaire

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0333200A1 (fr) * 1988-03-18 1989-09-20 Ebara Research Co., Ltd. Pompe turbomoléculaire
EP0470637A1 (fr) * 1990-08-10 1992-02-12 Ebara Corporation Pompe turbomoléculaire
US5152679A (en) * 1990-08-10 1992-10-06 Ebara Corporation Turbo molecular pump
EP0597365A1 (fr) * 1992-11-11 1994-05-18 Leybold Aktiengesellschaft Pompe à vide avec convertisseur
WO1994025760A1 (fr) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Aktiengesellschaft Pompe a vide rotative a friction comportant des sections de conception differente
WO1994025759A1 (fr) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Aktiengesellschaft Pompe a vide a friction munie d'un support de palier
US5662456A (en) * 1993-05-03 1997-09-02 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with bearing support
US5695316A (en) * 1993-05-03 1997-12-09 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with pump sections of different designs

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5993995A (ja) 1984-05-30
JPH078879Y2 (ja) 1995-03-06
GB2129068A (en) 1984-05-10
IT1167198B (it) 1987-05-13
GB2129068B (en) 1986-06-18
NL8303081A (nl) 1984-05-16
GB8328170D0 (en) 1983-11-23
DE3239328C2 (de) 1993-12-23
DE3239328A1 (de) 1984-04-26
JPH0569397U (ja) 1993-09-21
CH661100A5 (de) 1987-06-30
IT8322779A0 (it) 1983-09-06
BE898011A (fr) 1984-02-15
FR2534980B1 (fr) 1986-05-23
US4541772A (en) 1985-09-17

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