JPS62177314A - 磁気浮上形回転機械 - Google Patents

磁気浮上形回転機械

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JPS62177314A
JPS62177314A JP61020797A JP2079786A JPS62177314A JP S62177314 A JPS62177314 A JP S62177314A JP 61020797 A JP61020797 A JP 61020797A JP 2079786 A JP2079786 A JP 2079786A JP S62177314 A JPS62177314 A JP S62177314A
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JP
Japan
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rotating body
rotary member
damping force
gravity
axis
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JP61020797A
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Shosuke Sasaki
佐々木 祥介
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
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    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/0476Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16C32/0408Passive magnetic bearings
    • F16C32/0423Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
    • F16C32/0425Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ジャイロスコープ、圧力計あるいはターボ分
子ポンプ等のように高速回転を行なう装置類に好適に使
用できる磁気浮上形の回転機械に関するものである。
[従来の技術] 超高速の回転体を備えた回転機械においては、磁気軸受
によりその回転体を浮上支持し得るようにしたものが少
なくない。
そして、近時、前記磁気軸受をサーボ機構を備えた詣動
形のものにし、前記回転体の浮上位置を強制的に規定し
得るようにしたものが開発されている。すなわち、この
ものは、回転体の支承部の周囲に電磁石を配設するとと
もに、この支承部近傍の位置変化を検出するセンサを設
けておき、このセンサからの位鐙検出信号により前記電
磁石の磁力をフィードバック制御して前記回転体を常に
一定の位置に浮上させておくことができるようになって
いる。
し発明が解決しようとする問題点] しかしながら、高速で作動する回転体の軸心の傾きや重
心の偏位を従来の方式により修正制御するには、非常に
大きな制御力と高速応答性が必要であり、制御装置の複
雑化および大容積化を招くという問題がある。
そのため、近時、軸心回りに回転する回転体をラジアル
磁気軸受により軸心の傾きに対して安定平衡をなすよう
に静磁場により浮上支持するとともに、この回転体の所
定部位に単一の減衰力付与機構を設けておき、前記回転
体が歳差運動を行なった場合にその回転体の所定部位に
前記減衰力付与機構により歳差運動と逆の方向の力を連
続的己付与し得るようにしたものが本発明者により提案
されている(特願昭60−255594号参照)。
しかして、このものは、〔作用]の項で詳説するように
、その回転体の歳差運動を小さな力により無理なく減衰
させることができるわけであるが、減衰力付与機構を一
個所にのみ設けたものでは、外力や初期条件等により重
心がラジアル磁気軸受の中心線からずれると、その重心
が軸と直交する面内で前記中心線に対して回転したり振
動したりする動きが惹起されることがある。
本発明は、このような問題点を確実に解消することがで
きる画期的な磁気浮上形回転機械を提供しようとするも
のである。
[問題点を解決するための1段] 本発明は、以上のような目的を達成するために、次のよ
うな手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、本発明に係る磁気浮上形回転機械は、第1図
に模式的に示すように、軸心回りに回転する回転体重と
、この回転体重を軸心の傾きに対して安定平衡をなすよ
うに静磁場により浮上支持するラジアル磁気軸受■と、
前記回転体■の軸方向に離間する複数の部位A、Hにそ
れぞれ対応させて設けられそれら各部位A、Bに力を連
続的に付与する複数の減衰力付与機構■^、■Bとを具
備してなり、前記各減衰力付与機構mA 、 I[IB
から前記回転体Iの各部位A、Hにあたえられる力の合
力がこの回転体Iの重心Gの運動方向と反対向きで且つ
それらの力が重心まわりにもつ全トルクが該回転体重の
軸心の傾きを正す方向になるようにそれら各減衰力付与
機構m^、■Bの力の方向を設定していることを特徴と
する。
このラジアル磁気軸受Hの代表的な実施態様としては、
第2図に示すように、回転体■にN極とS極とを軸方向
に配列させた永久磁石lを設けておき、その永久磁石l
のN極の周囲に内方端にN極を有した第1の永久磁石2
を配列するとともに、S極の周囲に内方端にS極を有し
た第2永久磁石3を配設したものがある。しかして、こ
の上うなラジアル磁気軸受Hにより回転体■を支承する
と、この回転体Iがラジアル磁気軸受■の中心軸(図面
では2輪)に対して傾いた場合、前記永久磁石lと第1
.第2の永久磁石2,3との磁気反発力によって前記回
転体Iに復元力Fが作用することになり、軸の傾きに対
して安定平衡となる。このラジアル磁気軸受■の他の態
様としては、第3図〜第5図に示すようなものが考えら
れる。しかして、これらの図面において、4〜12はそ
れぞれ永久磁石である。第5図において、回転体■の平
衡位置を若干り方にずらせて設定しているのは、該回転
体Iの重力を支えるためである。なお、これらの永久磁
石2.3.5,7゜9.12に代えて、静磁場を形成す
る電磁石を用いてもよい。
一方、各減衰力付与機構■^、 lll5は1回転体■
が歳差運動や重心の振れ回り運動を起こした場合に、こ
の回転体Iの対応する部位A、Hに所要方向□に力fを
連続的に付与し得るようなものでありさえすればよく、
その方fとしては磁気力や機械的な摩擦;力等が使用可
能である。
[作用1 □次いで、この発明の作用を「減衰力゛付与機構を用い
ない場合」、「単一の減衰力付与機構を用いた場合」お
よび「複数の減衰力付与機構を用いた場合(本発明の要
件を充足する場合)」の各作用を順に説明することによ
り明らかにする。
■減衰力付与機構を用いない場合 板に減衰力付与機構を使用することなしに、ラジアル磁
気軸受■を用いて回転体重を軸心の傾きに対して安定平
衡をなすように静磁場にXり浮上支持するようにした場
合には、この回転体重が回転(自転)の方向と反対回り
の歳差運動を行なうことになる。
これを、第2図および第6図を参照して説明する0回転
体Iの角運動!峰をLとし、回転体重の改心GからL端
部Ao  (磁石1の埋込位置)までの位置ベクトルを
Qで示す。
運動方程式は、 T −=QXF−(IX (−F) =2 QXF  (1
,1)dt となる。
但し、L=11 ωQ / Q  (1,2)であり、
I3は回転軸pまわりの慣性モーメントを表わし、ωは
そのまわりの角速度を表わす。
高速回転の場合、前記角速度ωに対して、傾斜角度0お
よび歳差運動の角度ψの時間微分値は無視で5るほど小
さい、又傾斜角度0自身も非常に小さい、それ故、以下
、θについて2次以上の高次の項を省略する。そうする
と、回転体重の上端に設けた磁石lに働く復元力Fは、 F=−人Oer  (θ((lに対して) (1,3)
となる、イ■し入は正イ〆iの比例gt数、e「は次の
式で定義される単位ベクトルである。
ここで、e×とevはそれぞれX軸、y軸方向の単位ベ
クトルである。
角度Oを使って、ベクトルqを分解すると、Q −Q 
cos θe2 + Qsin Oeroo e、+Q
 Oer (0((l に対しテ) (1,5)但し、
eZはZ軸方向の単位ベクトルを表わす、 (1,5)
式より速度dQ/dtは、となる0次のよく知られてい
る式 %式% を使うと(1,8)式は、 とな机 (1,2)式を時間tで微分して、(1−5) 、 (
1,9)式を代入すると、 dt     dt dt     dt dt 一方、(1,3) 、 (1,5) 、 (1,8)式
を使うと。
(1,1)の右辺は =−2Q入Oe t       (1,11)となる
(1,1)式に(1,103と(1,11)を代入する
とdt       dt dt を得る。 (1,12)式を精分すると。
ω=ωO1θ=00 ■3ωO (但し、ω0、θ0、ψ0は初期値)となる。
しかして、(1,13)式から歳差連動が回転体重の回
転方向と逆向きに起こることがわかる。すなわち、2軸
の正の側から回転体Iを見る時には、ωo>Oに対して
は、歳差運動が時計まわりに起こり、ωo<Oに対して
は反時計まわりに起こる。
正方のもとで玩具のコマが歳差運動する時と比べて、こ
の回転機械の歳差運動の方向が反対であることに注意す
べきである0以上は、減衰力付与機構が発生する力を無
視した場合について考えたが以下、この力を考慮した時
の連動を考える。
■単一の減衰力付与機構を用いた場合 以上のようにして回転方向と逆の方向にa差連動を行な
っている回転体Iに、減衰力付与機構■によりその歳差
運動の方向と反対の方向の力fを連続的に作用させるこ
とにより、その歳差運動を減衰させることができる。
例えば、その力fを回転体Iの端部AOにおける歳差J
J!動の速度に比例する大きさの力とすると、力fは次
のようになる。
dt      dt (θ((lに対して) (1,14) (但し鉢は係数である) この時、遅効方程式は次のようになる。
dt =−2Q入θe【−Q (e、+θe「)×dt   
   dt 郊−2a入Oet 但し、第2の等号は、(1,5) 、 (1,11)、
 (1゜14)式を代入することにより導出され、第3
の等号は、0の高次の項を無視し、(1,8)式を使う
ことによって得られる。
次に、(1,15)式の左辺に(1,10)式を代入す
ると、 dψゆ I3 ω0−et =  2 Q入Oet −#Le2
 [dt 、 dt      dt を得る。
各々の単位ベクトルez 、er 、etの係数をひろ
い集めることにより、 (1,19) を得る。 (1,17)式は ω=ωO(1,20) となる、 (1,19)式に(1,18) 、(1,2
0)式を代入すると。
工3ωo O□ dt I3ωo   dt が得られ、これから次の式が導出される。
dt  130g +#L2 11’ / (I3 ω
0)(1,21) (1,21)式を用いると、 (1,18)式はdt 
     I  3”ω(17+  #L2  Q 4
となる。もし、 (1,22)式の右辺の係数の正値の
部分を数値αで次のように書き表わすならば、I32 
(1) o2 + 141  Q 4(1,22)式の
解は θ= Oo  e−oIL(1,24)となる。
結局、 (1,20)、(1,21)、(1,24)式
は1次の三点を意味する。
第1点、回転軸pまわりの角速度ωは一定である。
第2点、回転軸pはZ軸まわりに定速で歳差連動する。
第3点1回転軸pとZ軸との間の傾きの角0は時間と共
に指数関数的に減少する。
このように、減衰力付与機構mはその歳差連動を除去す
るという作用を営み得る。
以上は、減衰力付与機構■により回転体重に歳差I?I
!動の速度に比例した大きさの力fを加える場合につい
て説明したが、回転体Iにその大きさが一定の力あるい
は速度の2東、3乗に比例する力等を歳差運動の方向と
逆の方向に加え続けるようにしてもこれにやじた作用が
得られる。
ところが、午にこれだけのものでは、前述したように外
力や初1111条件等の影響により回転体Iに改心Gの
振れ回り連動が惹起されることがある。
り複数のll&衰力打力付与機構いた場合(本発明の場
合) 例えば、第1図に示すように1回転体工の改心Gに対し
て上、下に対称となる部位A、Bに、それぞれ減衰力付
与機構IIIA 、 mBを配設した場合について説明
する。上部の減衰力付与機構mAにより回転体■の第1
の部位Aに付与される力をfA、同様に下部の減衰力付
与機構I[1sにより回転体の第2の部位Bに付与され
る力をf8とする。そして、この力f^、fBをその大
きさが前記回転体■の各部位A、Hの運動速度vA 、
Vaに比例し、その方向が常にその運動と反対の方向に
なるように設定した場合には。
fn=−αV八    (2,1) fe  =−aVu     (2,2)と表すことが
できる。したがって。
(改心Gに働く力)=f八 十fB= 2     (2,3) ところで。
である。
よって、この式(2,4)を上式(2,3)に代入する
と。
(重心Gに働く力)=−2αV G     (2,5
)となる、しかして、このカー2αVGは1重心Gの振
動その他の動きを押え吸収する働きを有していることが
わかる。また、重心GまわりのトルクN1は、 N+=QXf八−QXfs となる、しかして、重心Gのみが動いて回転体■が何1
かなし)時にはV、=V、であるから、このトルクN1
はゼロとなり回転体は傾きを変えない。
すなわち、V八−■Bが回転体Iの傾きの変化速度を表
わしているので、前記■項で述べた歳差運動除去の作用
が正しく発揮される。
以上の如く、重心Gの上下対称位置に設けた減衰力付手
機構mA 、m、により1回転体Iの重心Gの振動の吸
収と歳差運動の除去を共に行なうことができる。
複数の減衰力付与機構を回転体の重心に対する上下対称
な位置に配置できない場合にも、各減衰力付与機構によ
り回転体に付与する力の方向を適正に設定することによ
り以上の説明に準じた作用を得ることができるが、その
詳細は実施例2.3に基いて説明する。
「実施例」 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
実施例1(第7図〜第14図) この磁気浮北形回転機械は、モータ21により駆動され
軸心2回りに高速回転する回転体Iを備えている。モー
タ21は、第7図および第8図に示すように前記回転体
重に設けたカゴ型ロータ22と、このロータ22の周囲
に配設したステータコイル23とを具備してなる誘導モ
ータであり、前記ステータコイル23はハウジング24
に固定されている0回転体Iは軸状のもので、対をなす
ラジアル磁気軸受Hにより軸心pの傾きに対して安定平
衡をなすように浮上支持されている。ラジアル磁気軸受
■は、回転体重にN極とS極とを軸方向に配列させた永
久磁石25を埋設しておき。
その永久磁石25のN極の周囲に内方端にN極を有した
第1の永久磁石26を配設するとともに。
S極の周囲に内方端にS極を有した第2の永久磁石27
を配設したものである。そして、一方のラジアル磁気軸
受■が回転体重の上端近傍部に設けられ、他方のラジア
ル磁気軸受■が回転体Iの下端近傍部に設けられている
なお、これらのう3.シアル磁気軸受Hのみでは、回転
体Iの軸方向の移動を規制することはできないため、こ
の回転体Iの下端部にサーボ式のスラスト磁気軸受28
を設けている。スラスト磁気軸受28は、第9図に示す
ように前記回転体Iの下Q 面Eサーボサスペンション
コイル29を対向配置するとともに、前記回転体Iの下
端両側部に回転体重の軸方向の位置を検出するための発
光ダイオード31とフォトトランジスタ32とを配設し
、前記フォトトランジスタ32からの信号を比例積分微
分回路(P、1.D)30により処理しテ前記−サーポ
サスペンションコイル29を流れる制御電流をフィード
バック制御するようにした通常のものである。
また、前記回転体Iの重心Gに対し上、F対称となる部
位A、Hに、対をなす減衰力付与機構mn、moを設け
ている。減衰力付与機構■^は、第7図、第10図およ
び第11図に示すように、前記回転体重の上端側の所定
部位Aの周囲に1例えば、4個の電磁石33+ 〜33
4と、2対の発光ダイオード341.342およびフォ
トトランジスタ35+ 、352 とを配設してなる。
そして、一方のフォトトランジスタ351の出力電圧v
1の変化を、コンデンサ37および抵抗窓38により構
成される微分回路を備えてなる′電子回路36により第
1.第3の′1を磁石331.333に供給する電流1
1の変化に変換するとともに、他方のフォトトランジス
タ352の出力電圧v2の変化を図示しない同様な電子
回路により第2.第4の電磁石332.334に供給す
る電流工2の変化に変換するようにしている。すなわち
1回転体IのX軸方向の変位Xと、一方のフォトトラン
ジスタ35!の出力電圧v3と、ml、第3の電磁石3
31.333に供給される電流11 との関係は、第1
3図に示すようであり、また1回転体Iのy軸方向の変
位yと、他方のフォトトランジスタ352の出力電圧v
2と、第2゜第4の電磁石332.33sに供給される
電流■2との関係は、第14図に示すようになっている
また、前記回転体Iの下端側に配した減衰力付与機構■
2も、前記減衰力付与機構m!と全く同様な構成のもの
であり、4個の電磁石33.〜334と、2対の発光ダ
イオード34..342およびフォトトランジスタ3!
lz 、352 とヲ備えている・ このような構成のものであれば、前記回転体Iが歳差遅
動を行なった場合には、この回転体Iの部位Aにその歳
差運動の方向と逆向きでかつその歳差運動の速度に比例
した大きさの電磁力fAがM統帥に作用するとともに1
部位Bにその歳差運動の方向と逆向きでかつその歳差運
動の速度に比例した大きさの電磁力f8が連続的に作用
することになる。そのため、前記[作用]の項で詳述し
た原理により、その回転体Iの傾斜角度θは、時間の経
過に伴って指数関数的に減少する。また。
回転体重の重心Gが何らかの原因により振動その他の運
動を起こした場合には、この回転体Iに前記[作用1の
項で述べたように−2(xVaなる合力が作用すること
になり、この合力によって回転体重の重心Gの運動は抑
止される。したがって、この回転体■はきわめて安定し
た状態で回転を続けることになる。つまり、この実施例
のように回転体重の重心Gに対して上、下対称となる位
置A、Hに減衰力付与機構■^、mBを配した場合には
、これら各減衰力付与機構■^、mBによって回転体重
の対応する部位A、Hに該回転体Iの歳差連動と逆向き
の力fA、faをそれぞれ連続的に与え得るように設定
すれば、それら各部位転体IのM動方向と反対向きで且
つそれらの力が重心Gまわりにもつ全トルクが該回転体
Iの軸心pの傾きを正す方向に作用することになるわけ
である。
実施例2(第15図) この実施例は1回転体Iの重心Gをはさんで両側に対を
なす減衰力付与機構mA 、meを配置したものである
が、前記実施例1とは異なり、重心Gから上側の減衰力
付与機構m^に対応する第1の部位Aまでの距flla
と1重心Gからド側の減衰力付与機構msに対応する第
2の部位Bまでの距abとが異なっている。なお、実施
例1と同一または相当する部分には同一の符号を付して
説明を省略する。
この場合、第1の部位Aでの回転体Iの運動速ると、該
回転体Iの重心Gの運動速度vGは一方、上端側の減衰
力付与機構■^により回転体Iの第1の部位Aに付与さ
れる力をfA とし、下端側の減衰力付与機構[8によ
り第2の部位Bに付与される力をfB とすると、重心
に働く力FCは そしてこれらの力fA、f++に係る重心Gまわりのト
ルクN1 は =ew   X   (af  八  −bfa  )
          (3,3)となる、ここでi。は
回転体■の回転軸方向の単位ベクトルである。この時、
これらの力FGおよびトルクN1が、回転体Iの重心G
の動きおよび歳差2I!勅を共に除く条件は、 (3,4) ベクトルの反対方向]  (3,5) であればよい、これをかきなおすと、 Vc / I Va  l     (3,6)a f
n −b fa  = −(a fA−b f、)大き
さ)Xここで、VA−Veが回転体Iの傾きの変化速度
を表わしていることは前述した通りである。
したがって、この式(3,8) 、(3,7)を満足す
るような方向にfA、fBが回転体■に作用することに
なるように、電磁石33+〜334に制御電流を供給す
るようにすればよい。
の大きさに比例するように設定した場合には、前記(3
,8)式および(3,7)式は、fn   +  fe
   =−ctVc                
      (3,8)aTB  −b fe  =−
β (Vn  −Vo ) (3,9)なる関係が成立
する。但しα、βは正の比例定数である。
よって、これらの式から そして、この(3,10)、 (3,11)式に(3,
1)式を代入すると、 が得られる。したがって、この(L12)、(3,13
)式を満足するようにセンサーたるフォトトランジスタ
35+ 、352の出力V1.V7 を合成して力fΔ
、fQを発生させるようにすれば、回転体Iの歳差連動
と重心Gの振動その他の連動を減衰させることができる
。特にセンサーの出力をαab=β(a+b)    
     (3,14)となるように合成すると、 となり、fA、fBとも単一のセンサー出力のみで作る
ことが可ス彪となる。
実施例3(第16図) この実施例は、回転体重の重心Gの片側に対をなす減衰
力付JJ−機構■^、1口を配置したものであり、重心
Gから一方の減衰力付与機構IIIAに対応する第1の
部位Aまでの距離がaで、重心Gから他方の減衰力付与
機構[8に対応する第2の部位Bまでの距離がbである
場合のものである。なお、実施例1.2と同一または相
わする部分には同一の符号を付して説明を省略する。
この実施例3では、aを−aに置き換えて実施例2と同
様に考察すれば、 f^ +f8 =−(f^ +fOの大きさ)Xなる関
係が成立する。そして、f^+fBの大きさがVGの大
きさに比例し。
に比例するように設定した場合には、 となる、しかして、この実施例では、−αab−β(b
−a)〜Oであるため、f^をvAのみの項で表わし、
f8をweのみのダ1で表わすことはできない、そのた
め1回転体Iに付与する力f^、f8を作るには1次の
ようにする。まず。
力f^のXff1分を作るには、センサー出力に基〈V
 AおよびVBの各X成分により定電流回路を作る。す
なわち、実施例1の回路と同様にしてを出力とする定電
流回路と、 を出力する定電流回路を設け、それらの出力電流を合わ
せて’il(磁石33+ 、333 に流して力f^の
X成分作り出す、同様にして力fAのy成分、なお、以
上の実施例1.2.3.においては、減衰力付ケ機構と
して電磁式のものを使用した場合について説明している
が1本発明はかならずしもこのようなものに限られない
のは勿論であり、その一部に機械的な摩擦力や、流体抵
抗を利用したものを使用してもよい、摩擦力を利用した
減衰力付与機構としては1例えば、第17図に示すよう
なものが挙げられ、また、流体抵抗を利用した減衰力付
与機構としては第18図に示すようなものが考えられる
すなわち、第17図に示す減衰力付与機構mは、回転体
重の端部軸心部に突設した鋼鉄製の針41と、この針4
1の直下に配設したテフロン製の平板42と、この平板
42上に滑動可能に載置したテフロン製の軸受キャップ
43と、このキャップ43の上面に設けられ前記針41
の先端を回転可能に支承するルビー製の軸受44と。
前記回転体Iの上端に対向配置され上方への磁力により
前記回転体■に作用する重力の大部分を打消す永久磁石
(図示せず)とを具備してなる。
そして、前記平板42は、前記ハウジング24に螺合さ
せたiIJMS台46に保持させてあり、この調節台4
6の螺合進退1lJW1により前記軸受キャップ43の
前記平板42に対する押付力を非常に小さな値に設定し
ている。しかして、この減衰力付与機構mは1回転体I
の軸方向の移動を規制するスラスト軸受としての役−1
りをも担っている。
また、1ln18図に示す減衰力付4機構mは、回転体
重に埋設した永久磁石51の近傍に、この永久磁石51
の移動に伴って遊動する磁石製の遊動子52と、この遊
動子52の動きに抵抗を与える粘性流体53とを充填し
た非磁性材製の固定ケース54とを配設したものである
。しかして、このようなものであれば、前記回転体Iが
歳差連動等を行なって、該回転体重の永久磁石51が円
形軌道等な画くように振れ動くと、それに粘性流体53
内の磁石52が追従することになり、前記回転体Iに歳
差運動等と逆向きの力(運動の速度に比例する力)が連
続的に作用することに、なる。そのため、 mi述した
と同様な原理により他の減衰力付q−機構と協働して歳
差運動や重心の偏位遅動を減衰させることができる。
L発明の効果J 本発明は、以上のような構成であるから、筒中な構成に
よって回転体の安定した高速回転を損保することができ
る。
すなわち、サーボ式のラジアル磁気軸受により回転体を
一定の姿勢に保持しつつ回転を行なわせるには、この回
転体に付与する径方向の強力な磁気力を高速度で変化さ
せる惑星がある。これに対して、本発明のものは、静磁
場により回転体の傾き方向の姿勢を安定に維持しておき
、何らかの原因により回転体に歳差運動や重心の振動等
が発生した場合にこの回転体にその連動と15fJ連し
た力を付!Fし続けることにより1回転体の傾きや該回
転体の重心の振動その他の連動を無理なく消滅させ得る
ようにしたものである。そのため、回転体の傾きや重心
の偏位をラジアル磁気軸受の磁力制御により強制的に修
正する場合のような強大な力を一切必要とすることがな
く、単純で小さな力を連続的に付与するだけで回転体の
安定した回転を保証する二とができる。したがって、容
j逢が大きく高い応答性を有した複雑な制御装置を用い
ることなしに回転体を安定に浮上支持した状5E1で高
速側転させることが口ffff1である。よって、ジャ
イロスコープ、圧力計あるいはターボ分子ポンプ等のよ
うにロータを超高速で安定に回転させる必要のある種々
の!A/iに好適に使用できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を明示するための構成説II図、第2図
は末完13+の作用説明図、第3図〜第5図は末完1!
1に係るラジアル磁気軸受の種々の態様を説明するため
の説明図、第6図は減衰力付与機構による歳差2I動除
去の原理を説明するための原理説明図である。第7図〜
第14図は本発明の一実施例を示し、第7図は概略縦断
面図、第8図は第7図におけるQ−Q線に沿う概略断面
図、第9図はスラスト軸受部分を示す拡大説明図、第1
0図は減衰力付与機構部分を示す拡大説II図、第11
図は第1O図におけるR矢視図、第12図は同機構の回
路説明図、第13図、第14図は同機構の特性説明図で
ある。第15図および第16図は本発明のそれぞれ他の
実施例を示す概略縦断面図である。第17図および第1
8図は本発明のさらに他の実施例を示す減衰力付与機構
の説明図である。 工・・・回転体 ■・舎・ラジアル磁気軸受 m、 mA 、 lll8  ・・・減衰力付Li−機
構l争・・永久磁石 211・・第1の永久磁石 3・赤・第2の永久磁石 4〜12−・・永久磁石

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 軸心回りに回転する回転体と、この回転体を軸心の傾き
    に対して安定平衡をなすように静磁場により浮上支持す
    るラジアル磁気軸受と、前記回転体の軸方向に離間する
    複数の部位にそれぞれ対応させて設けられそれら各部位
    に力を連続的に付与する複数の減衰力付与機構とを具備
    してなり、前記各減衰力付与機構から前記回転体の各部
    位にあたえられる力の合力がこの回転体の重心の運動方
    向と反対向きで且つそれらの力が重心まわりにもつ全ト
    ルクが該回転体の軸心の傾きを正す方向になるようにそ
    れら各力の方向を設定していることを特徴とする磁気浮
    上形回転機械。
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