FR2521776A1 - Anode tournante pour tube a rayon x - Google Patents

Anode tournante pour tube a rayon x Download PDF

Info

Publication number
FR2521776A1
FR2521776A1 FR8302472A FR8302472A FR2521776A1 FR 2521776 A1 FR2521776 A1 FR 2521776A1 FR 8302472 A FR8302472 A FR 8302472A FR 8302472 A FR8302472 A FR 8302472A FR 2521776 A1 FR2521776 A1 FR 2521776A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
rotating anode
alloy
oxides
base body
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8302472A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2521776B1 (fr
Inventor
Helmut Petter
Hubert Bildstein
Fritz Simader
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Metallwerk Plansee GmbH
Original Assignee
Metallwerk Plansee GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metallwerk Plansee GmbH filed Critical Metallwerk Plansee GmbH
Publication of FR2521776A1 publication Critical patent/FR2521776A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2521776B1 publication Critical patent/FR2521776B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H01J35/105Cooling of rotating anodes, e.g. heat emitting layers or structures

Landscapes

  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)

Abstract

ANODE TOURNANTE POUR TUBE A RAYONS X, CONSTITUEE PAR UN CORPS DE BASE EN ALLIAGE DE MOLYBDENE CONTENANT DU CARBONE, PAR EXEMPLE EN ALLIAGE TZM, AINSI QUE PAR UNE VOIE CATHODIQUE EN TUNGSTENE OU EN ALLIAGE DE TUNGSTENE, LA SURFACE DE L'ANODE TOURNANTE A L'EXTERIEUR DE LA VOIE ETANT MUNIE AU MOINS PARTIELLEMENT D'UN REVETEMENT CONSTITUE PAR UN OU PLUSIEURS OXYDES OU PAR UN MELANGE CONSTITUE PAR UN OU PLUSIEURS METAUX ET UN OU PLUSIEURS OXYDES. ENTRE LE CORPS DE BASE ET LE REVETEMENT, EST DISPOSEE UNE COUCHE INTERMEDIAIRE DE 10-200M D'EPAISSEUR, EN MOLYBDENE ETOU EN TUNGSTENE.

Description

ANODE TOURNANTE POUR TUBE A RAYON X
L'invention concerne une anode tournante pour tube à rayons X, constituée par un corps de base en alliage de molybdène contenant du carbone, par exemple en alliage TZM, ainsi que par une voie cathodique en tungstène ou en alliage de tungstène, la surface de l'anode tournante à l'extérieur de la voie cathodique étant munie au moins partiellement d'un revêtement constitué par un ou plusieurs oxydes ou par un mélange constitué par un ou plusieurs métaux et un ou plusieurs oxydes. L'énergie électrique appliquée à une anode tournante lors de la production de rayons X n'est convertie qu'à environ 1 % en énergie de rayonnement X Les 99 % restants sont convertis en chaleur non souhaitée, ce qui conduit à une charge thermique importante de l'anode tournante On n'a donc pas manqué dans le passé de chercher à évacuer aussi rapidement que possible l'énergie thermique produite dans des anodes tournantes, principalement en augmentant le coefficient d'émission thermique de la surface Des mesures connues consistent à recouvrir l'anode tournante de graphite, de revêtements en métaux réfractaires pulvérisés, comme par exemple du titane ou du tantale, en carbures, comme par exemple du carbure de titane ou du carbure de tantale, ou en mélanges
d'oxydes ou en mélanges de métaux et d'oxydes.
Le document DE-OS 24 43 354 décrit une anode tournante du type mentionné ci-dessus, dans laquelle le corps de base, par exemple en alliage TZM, est recouvert d'une couche d'oxyde métallique, constituée par de l'oxyde d'aluminium et de l'oxyde de titane, pour augmenter
la capacité de rayonnement de la chaleur.
Le document AT-PS 336 143 décrit également une anode tournante constituée par un corps de base en métaux réfractaires, par exemple également en alliages de molybdène, qui est muni à l'extérieur de la voie cathodique d'une couche de revêtement constituée par un -2- matériau composite en molybdène et/ou tungstène et/ou niobium et/ou tantale avec des matériaux à base d'oxydes
céramiques tels que Ti O 2 et/ou A 1203 et/ou Zr O 2.
Dans les deux publications mentionnées, des alliages de molybdène contenant du carbone sont recommandés comme matériau de base, ou ont été mentionnés expressément Par conséquent, sur la base de ces publications, l'homme de, l'art n'a visiblement, ni prévu, ni encore reconnu, que dans le cas d'alliages de molybdène contenant du carbone, notamment dans le cas d'un alliage TZM, l'augmentation du rayonnement thermique prévue constante pendant la durée de vie habituelle ne pouvait pas être obtenue au moyen d'une couche de
revêtement convenant dans d'autres cas.
La demanderesse s'est aperçu de façon tout à fait surprenante pour l'homme de l'art, que dans le cas d'anodes tournantes constituées par un corps de base en alliage de molybdène contenant du carbone, notamment en alliage TZM, qui sont munies d'un revêtement d'oxydes pour augmenter le rayonnement thermique, une forte détérioration des propriétés émissives initialement bonnes apparaît déjà après une courte durée d'utilisation de l'anode tournante Ce phénomène pourrait être attribué vraisemblablement à une diffusion de carbone du corps de base dans la couche d'oxyde extérieure L'influence négative sur -la capacité de rayonnement de la chaleur n'est cependant pas compréhensible, étant donné que suivant l'état de la technique, il est également connu et courant de déposer des couches de carbure pures, par exemple du carbure de titane, sur les corps de base d'anodes tournantes, pour
augmenter le rayonnement de chaleur.
Le problème à la base de l'invention consiste à fournir une anode tournante pour des tubes à rayons X du type mentionné ci-dessus, en alliages de molybdène contenant du carbone, dans laquelle on obtient un coefficient d'émission de chaleur plus important,
indépendamment de la durée d'utilisation.
-3- Ce problème est résolu suivant l'invention grâce au fait qu'entre le corps de base et le revêtement est disposée une couche intermédiaire de 10 200 p
d'épaisseur, en molybdène et/ou en tungstène.
La couche intermédiaire en molybdène et/ou tungstène empêche une détérioration, qui peut autrement être déjà observée après une courte durée d'utilisation, des propriétés d'émission de la chaleur de, l'anode tournante Simultanément, la couche intermédiaire constitue un agent promoteur d'adhérence remarquable, de sorte que la couche de revêtement adhère bien au corps de base Même en supposant que les couches intermédiaires de molybdène et/ou tungstène servent de barrière de diffusion pour le carbone, le choix de ces métaux n'est pas évident dans la mesure o pour un problème apparenté objet de recherches intensives, le dépôt de voies cathodiques en métaux réfractaires sur des corps de base d'anodes tournantes en graphite, des couches intermédiaires sont nécessaires en tant que barrières de diffusion du carbone, mais pour cela le molybdène et le tungstène ne conviennent pas, et à leur place, il est recommandé d'utiliser surtout du rhénium et des métaux du groupe de platine, mais également des carbures, nitrures, oxydes et borures de Ti, Zr, Hf, Nb et
Ta, en tant que matériau pour la couche intermédiaire.
Pour les corps de base d'anodes tournantes, ce sont surtout les alliages de molybdène TZM et TZC qui se sont révélés avantageux La couche intermédiaire peut être déposée sur le corps de base nettoyé par projection de sable, par des procédés de revêtement habituels tels que la pulvérisation d'un fil à la flamme ou la pulvérisation d'une poudre à la flamme, ou par pulvérisation de plasma, avec des épaisseurs de couche comprises entre 10 et 200 p, de préférence entre 40 et 50 y L'effet souhaité n'est pas atteint pour des épaisseurs de couche inférieures à 10 p Des épaisseurs de couche supérieures à 200 p ne sont pas économiques -> 4- pour la fabrication, étant donné qu'elles ne sont pas nécessaires pour l'effet souhaité et qu'elles agissent défavorablement sur les propriétés mécaniques et thermiques des anodes tournantes ainsi traitées Le dépôt de la couche d'oxyde extérieure a également lieu avantageusement par pulvérisation de poudre à la flamme ou pulvérisation de plasma Il est avantageux d'effectuer un traitement de recuit sous atmosphère d'hydrogène, à 16000 C, pendant une durée d'environ une demi-heure, après
le dépôt de chaque couche.
Le progrès technique inattendu lors de la mise en oeuvre de l'invention est décrit plus en détail à l'aide
d'un diagramme.
Le diagramme de la figure unique annexée représente les variations de l'émissivité thermique e (en ordonnées) en fonction du nombre d'expositions (bombardements de l'anode tournante par un faisceau électronique), porté en abscisses On a comparé deux anodes tournantes de mêmes dimensions constituées, pour l'une d'un corps de base en alliage TZM avec un revêtement de Ti O 2 (courbe 2), et pour l'autre d'un corps de base en alliage TZM avec une couche supérieure de Ti O 2 et avec en
outre une couche intermédiaire de molybdène (courbe 1).
Pour déterminer le coefficient d'émission thermique, les anodes tournantes ont été soumises respectivement, dans un poste d'essai de tubes à rayons X, à 500 expositions avec une durée de bombardement de 5,4 secondes, une tension de tube de 81 k V et un courant de tube de 300 m A Entre les bombardements individuels on a respecté une phase de refroidissement de 5 mn Après respectivement 100 expositions on a relevé, au moyen de thermocouples, les courbes de refroidissement à partir desquelles on a pu calculer le coefficient d'émission thermique. Les deux anodes possèdent un coefficient d'émission thermique initial d'environ 0, 9 Dans le cas de l'anode tournante sans couche intermédiaire de -5- molybdène, le coefficient d'émission chute déjà fortement après un petit nombre d'expositions, et après environ 500 expositions il oscille autour d'une valeur
d'environ 0,5.
A l'opposé, dans le cas de l'anode tournante avec une couche intermédiaire en molybdène, le coefficient d'émission ne décroit que légèrement avec le nombre croissant d'expositions, et après environ 500 expositions
il oscille autour de 0,83.
Il apparat donc clairement que la couche intermédiaire suivant l'invention permet d'obtenir un progrès technique important, sans que cela se traduise par des inconvénients, mis à part le coût de fabrication
légèrement plus élevé.
-6-

Claims (1)

REVENDICATION
1 Anode tournante pour tube à rayons X, constituée par un corps de base en alliage de molybdène contenant du carbone, par exemple en alliage TZM, ainsi que par une voie cathodique en tungstène ou en alliage de tungstène, la surface de l'anode tournante à l'extérieur de la voie cathodique étant munie au moins partiellement d'un revêtement constitué par un ou plusieurs oxydes ou par un mélange constitué par un ou plusieurs métaux et un ou plusieurs oxydes, caractérisée en ce qu'entre le corps de base et le revêtement est disposée une couche intermédiaire d'épaisseur, en molybdène et/ou en tungstène de 10 200 p.
FR8302472A 1982-02-18 1983-02-16 Anode tournante pour tube a rayon x Expired FR2521776B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0061882A AT376064B (de) 1982-02-18 1982-02-18 Roentgenroehren-drehanode

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2521776A1 true FR2521776A1 (fr) 1983-08-19
FR2521776B1 FR2521776B1 (fr) 1987-11-06

Family

ID=3495354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8302472A Expired FR2521776B1 (fr) 1982-02-18 1983-02-16 Anode tournante pour tube a rayon x

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4516255A (fr)
JP (1) JPS58152353A (fr)
AT (1) AT376064B (fr)
DE (1) DE3303529A1 (fr)
FR (1) FR2521776B1 (fr)
NL (1) NL188485C (fr)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986000171A1 (fr) * 1984-06-08 1986-01-03 Maiya Feodosievna Boyarina Anode rotative pour tube a rayons x et tube a rayons x dote de cette anode
FR2569050A1 (fr) * 1984-08-07 1986-02-14 Boyarina Maiya Anode tournante pour tube a rayons x et tube a rayons x equipe d'une telle anode
EP0421521A2 (fr) * 1989-10-02 1991-04-10 Metallwerk Plansee Gesellschaft M.B.H. Anode pour tube à rayons X avec couche d'oxide
EP0488450A1 (fr) * 1990-11-30 1992-06-03 PLANSEE Aktiengesellschaft Anode pour tube à rayons X à couche d'oxyde

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4777643A (en) * 1985-02-15 1988-10-11 General Electric Company Composite rotary anode for x-ray tube and process for preparing the composite
AT391223B (de) * 1987-08-03 1990-09-10 Plansee Metallwerk Verfahren zur herstellung einer drehanode fuer roentgenroehren
US4870672A (en) * 1987-08-26 1989-09-26 General Electric Company Thermal emittance coating for x-ray tube target
US4975621A (en) * 1989-06-26 1990-12-04 Union Carbide Corporation Coated article with improved thermal emissivity
US4953190A (en) * 1989-06-29 1990-08-28 General Electric Company Thermal emissive coating for x-ray targets
EP0487144A1 (fr) * 1990-11-22 1992-05-27 PLANSEE Aktiengesellschaft Anode pour tube à rayons X munie d'une couche d'oxyde
US5150397A (en) * 1991-09-09 1992-09-22 General Electric Company Thermal emissive coating for x-ray targets
US5159619A (en) * 1991-09-16 1992-10-27 General Electric Company High performance metal x-ray tube target having a reactive barrier layer
US5553114A (en) * 1994-04-04 1996-09-03 General Electric Company Emissive coating for X-ray tube rotors
US5461659A (en) * 1994-03-18 1995-10-24 General Electric Company Emissive coating for x-ray tube rotors
US6078644A (en) * 1998-07-01 2000-06-20 Varian Medical Systems, Inc. Carbon-backed x-ray target with coating
US6118853A (en) * 1998-10-06 2000-09-12 Cardiac Mariners, Inc. X-ray target assembly
US6749337B1 (en) 2000-01-26 2004-06-15 Varian Medical Systems, Inc. X-ray tube and method of manufacture
US6456692B1 (en) * 2000-09-28 2002-09-24 Varian Medical Systems, Inc. High emissive coatings on x-ray tube components
WO2002035574A1 (fr) * 2000-10-23 2002-05-02 Varian Medical Systems, Inc. Tube a rayons x et son procede de fabrication
US6554179B2 (en) * 2001-07-06 2003-04-29 General Atomics Reaction brazing of tungsten or molybdenum body to carbonaceous support
DE10301069B4 (de) * 2003-01-14 2007-08-02 Siemens Ag Thermisch belastbarer Werkstoffverbund aus einem faserverstärkten und einem weiteren Werkstoff
US7194066B2 (en) * 2004-04-08 2007-03-20 General Electric Company Apparatus and method for light weight high performance target
US20090103684A1 (en) * 2004-10-26 2009-04-23 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Molybdenum-molybdenum brazing and rotary-anode x-ray tube comprising such a brazing
US8428222B2 (en) * 2007-04-20 2013-04-23 General Electric Company X-ray tube target and method of repairing a damaged x-ray tube target
US8699667B2 (en) 2007-10-02 2014-04-15 General Electric Company Apparatus for x-ray generation and method of making same
US7720200B2 (en) * 2007-10-02 2010-05-18 General Electric Company Apparatus for x-ray generation and method of making same
US8280008B2 (en) 2007-10-02 2012-10-02 Hans-Henning Reis X-ray rotating anode plate, and method for the production thereof
DE102010040407A1 (de) * 2010-09-08 2012-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenröhre
CN109852917B (zh) * 2019-01-31 2021-04-13 航天材料及工艺研究所 C/C、C/SiC复合材料表面钼钛锆构件真空等离子喷涂成形制备方法
CN111415852B (zh) * 2020-05-06 2024-02-09 上海联影医疗科技股份有限公司 X射线管的阳极组件、x射线管及医疗成像设备
CN117524816B (zh) * 2024-01-04 2024-03-22 科罗诺司医疗器械(上海)有限公司 X射线管及阳极回收方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3836807A (en) * 1972-03-13 1974-09-17 Siemens Ag Rotary anode for x-ray tubes
FR2305018A1 (fr) * 1975-03-19 1976-10-15 Plansee Metallwerk Anode a rayons x avec, a l'exterieur du foyer, un mince revetement en metal et materiau ceramique
US3993923A (en) * 1973-09-20 1976-11-23 U.S. Philips Corporation Coating for X-ray tube rotary anode surface remote from the electron target area
AT340007B (de) * 1973-12-17 1977-11-25 Vsessojuzny Ni I Pi Tugoplavki Rotierende anode fur hochleistungsrontgenrohren und verfahren zu ihrer herstellung
EP0024764A1 (fr) * 1979-08-27 1981-03-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Procédé de fabrication d'une anode tournante pour tubes à rayons X et anode obtenue selon ce procédé
EP0031940A2 (fr) * 1980-01-02 1981-07-15 General Electric Company Substrat en molybdène pour des cibles de tubes à rayons X à haute puissance avec la zone d'impact en tungstène
EP0037956A1 (fr) * 1980-04-11 1981-10-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Anode tournante pour tube radiogène et procédé pour sa fabrication

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1363155A (fr) * 1963-01-30 1964-06-12 Tubix Sa Anode tournante pour tubes à rayons x
AT281215B (de) * 1968-04-03 1970-05-11 Plansee Metallwerk Drehanode für Röntgenröhren
GB1383557A (en) * 1971-04-01 1974-02-12 Philips Electronic Associated Manufacturing a rotatable anode for an x-ray tube
DE2201979C3 (de) * 1972-01-17 1979-05-03 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren zur Herstellung einer geschwärzten Schicht auf Drehanoden von Röntgenröhren
NL158967B (nl) * 1972-12-07 1978-12-15 Philips Nv Werkwijze voor de vervaardiging van een gelaagde roentgendraaianode, alsmede aldus verkregen gelaagde roentgendraaianode.
DE2430226A1 (de) * 1974-06-24 1976-01-15 Siemens Ag Drehanode fuer roentgenroehren
US4132916A (en) * 1977-02-16 1979-01-02 General Electric Company High thermal emittance coating for X-ray targets
DE2929136A1 (de) * 1979-07-19 1981-02-05 Philips Patentverwaltung Drehanode fuer roentgenroehren

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3836807A (en) * 1972-03-13 1974-09-17 Siemens Ag Rotary anode for x-ray tubes
US3993923A (en) * 1973-09-20 1976-11-23 U.S. Philips Corporation Coating for X-ray tube rotary anode surface remote from the electron target area
AT340007B (de) * 1973-12-17 1977-11-25 Vsessojuzny Ni I Pi Tugoplavki Rotierende anode fur hochleistungsrontgenrohren und verfahren zu ihrer herstellung
FR2305018A1 (fr) * 1975-03-19 1976-10-15 Plansee Metallwerk Anode a rayons x avec, a l'exterieur du foyer, un mince revetement en metal et materiau ceramique
EP0024764A1 (fr) * 1979-08-27 1981-03-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Procédé de fabrication d'une anode tournante pour tubes à rayons X et anode obtenue selon ce procédé
EP0031940A2 (fr) * 1980-01-02 1981-07-15 General Electric Company Substrat en molybdène pour des cibles de tubes à rayons X à haute puissance avec la zone d'impact en tungstène
EP0037956A1 (fr) * 1980-04-11 1981-10-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Anode tournante pour tube radiogène et procédé pour sa fabrication

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986000171A1 (fr) * 1984-06-08 1986-01-03 Maiya Feodosievna Boyarina Anode rotative pour tube a rayons x et tube a rayons x dote de cette anode
GB2170951A (en) * 1984-06-08 1986-08-13 Maiya Feodosievna Boyarina Rotating anode for x-ray tube and x-ray tube with that anode
US4731805A (en) * 1984-06-08 1988-03-15 Boyarina Maiya F Rotary anode for an x-ray tube and an x-ray tube having such anode
DE3490721C2 (de) * 1984-06-08 1990-08-16 Maja Bojarina Drehanode f}r R¦ntgenr¦hren
FR2569050A1 (fr) * 1984-08-07 1986-02-14 Boyarina Maiya Anode tournante pour tube a rayons x et tube a rayons x equipe d'une telle anode
EP0421521A2 (fr) * 1989-10-02 1991-04-10 Metallwerk Plansee Gesellschaft M.B.H. Anode pour tube à rayons X avec couche d'oxide
EP0421521A3 (en) * 1989-10-02 1991-07-24 Metallwerk Plansee Gesellschaft M.B.H. X-ray tube anode with oxide layer
EP0488450A1 (fr) * 1990-11-30 1992-06-03 PLANSEE Aktiengesellschaft Anode pour tube à rayons X à couche d'oxyde

Also Published As

Publication number Publication date
AT376064B (de) 1984-10-10
NL188485C (nl) 1992-07-01
NL8300487A (nl) 1983-09-16
ATA61882A (de) 1984-02-15
NL188485B (nl) 1992-02-03
JPS58152353A (ja) 1983-09-09
FR2521776B1 (fr) 1987-11-06
DE3303529A1 (de) 1983-09-08
DE3303529C2 (fr) 1989-07-13
US4516255A (en) 1985-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2521776A1 (fr) Anode tournante pour tube a rayon x
US4109061A (en) Method for altering the composition and structure of aluminum bearing overlay alloy coatings during deposition from metallic vapor
US6231956B1 (en) Wear-resistance edge layer structure for titanium or its alloys which can be subjected to a high mechanical load and has a low coefficient of friction, and method of producing the same
US2665475A (en) Highly refractory body
JPH02138459A (ja) 複合硬質材料及びその製造方法
WO2020094929A4 (fr) Procede de fabrication de fibres termostable a haute temperature
FR2691167A1 (fr) Procédé pour l'apport de couches intermédiaires métalliques et application du procédé.
JP2901049B2 (ja) アークイオンプレーティング用Al−Ti合金ターゲット材
JPS6154869B2 (fr)
US4412901A (en) Method for the manufacture of solid electrolyte layers for galvanic cells
US20070207338A1 (en) X-ray target and method for manufacturing same
NL8205001A (nl) Inrichting voor het teweegbrengen van x-straling.
JP6996921B2 (ja) 焼却炉用熱電対の保護管用構造体及びその製造方法
Gibson Erosion-resistant coating of tubes by physical vapour deposition
EP0185598B1 (fr) Anode tournante pour tube à rayons X
US5199059A (en) X-ray tube anode with oxide coating
JPH0587591B2 (fr)
RU2213801C2 (ru) Способ нанесения покрытий на сплавы
Adams et al. Co-sputtering of aluminum-silver alloy mirrors for use as solar reflectors
JPH07102376A (ja) 被覆部材及びその製造方法
JPH0365502A (ja) 超電導薄膜の作製方法
FR2466851A1 (fr) Electrode a emission secondaire, notamment pour photomultiplicateur
JPH02185964A (ja) 複合材料及びその製造方法
US20200040441A1 (en) Method for producing a multi-layer plain bearing element
JPH03252078A (ja) コロナ放電電極およびその製造方法